DE19517373C2 - Spannungserzeugungs-Schaltung zum Testen integrierter Schaltungen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Spannungserzeugungs-Schaltung zum Testen integrierter Schaltungen (IC), nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Sie wird zum Messen der statischen und dynamischen Eigenschaften einer integrierten Halbleiterschaltung verwendet (Funktionstest). Der der integrierten Halbleiterschaltung im statischen Zustand zugeführte Strom unterscheidet sich dabei vergleichsweise deutlich von dem im dynamischen Zustand zugeführten Strom, wie beispielsweise bei LSI-Bausteinen (large-scale integrated circuit) mit einer CMOS-Struktur.

Fig. 4 zeigt beispielhaft eine Struktur einer bekannten Spannungserzeugungs-Schaltung, wie sie in Testgeräten zum Testen von integrierten Halbleiterschaltungen mit einem hohen Integrationsgrad eingesetzt wird.

In Fig. 4 ist eine Last 1 dargestellt, die einen bezüglich seiner statischen und dynamischen Eigenschaften zu testenden integrierten Schaltkreis (IC) repräsentiert. Ein Bypass-Kondensator C2 ist der Last 1 parallelgeschaltet. Der Last 1 wird von einem Operationsverstärker A1 eine Gleichspannung Vo zugeführt. Die an die Last 1 angelegte Spannung Vo wird über eine Rückkopplungsschaltung 3 an den Operationsverstärker A1 zurückgeführt, wodurch die Schwankung der an die Last 1 angelegten Spannung Vo gesteuert werden kann. Dabei ist es wünschenswert, daß der Schaltungspunkt O, an dem über die Rückkopplungsschaltung 3 die an die Last 1 angelegte Spannung Vo rückgeführt wird, möglichst nahe an der Last 1 liegt. Wird mit Vi die Ausgangsspannung der Gleichspannungsversorgung 2 bezeichnet, so entspricht im statischen Zustand die Gleichspannung Vo der Gleichspannung Vi.

Zum Messen der statischen Eigenschaften der Last 1 sind ein Stromerfassungs- Widerstand R1 und ein Phasenkompensations-Kondensator C1 vorhanden, wobei der Kondensator C1 parallel zu dem Widerstand R1 geschaltet ist, um den von dem Operationsverstärker A1 der Last 1 zugeführten Strom zu erfassen. Die statischen Eigenschaften der Last 1 werden gemessen, indem die zwischen den beiden Anschlüssen des Stromerfassungs-Widerstands R1 abfallende Spannung einer in Fig. 1 nicht dargestellten analogen Subtraktionsschaltung (Differenzverstärker) zugeführt und anschließend in ein digitales Spannungssignal mit Hilfe eines Analog/Digital-Wandlers umgewandelt wird. Somit können die statischen Eigenschaften der Last 1 an ihrem Stromversorgungsanschluß gemessen werden, indem die Ausgangsspannung Vi der Gleichspannungsversorgung 2 sukzessiv verändert und für jeden Spannungswert der entsprechende der Last 1 zugeführte Stromwert gemessen wird. Ist der getestete Prüfling fehlerhaft, so erhöht oder erniedrigt sich der Versorgungsstrom im Vergleich zu bestimmten vorgegebenen Stromwerten, wodurch entschieden werden kann, ob der Prüfling fehlerfrei oder fehlerhaft ist.

Der Bypass-Kondensator C2 ist parallel zu der Last 1 geschaltet. Zudem ist der Phasenkompensations-Kondensator C1 parallel zu dem Stromerfassungs-Widerstand R1 geschaltet. Nachfolgend sollen kurz die Gründe für das Vorhandensein des Bypass- Kondensators C2 und des Phasenkompensations-Kondensators C1 erläutert werden.

Ist beispielsweise die Last 1 ein V_LSI-Baustein mit CMOS-Struktur, so kann in dem statischen Zustand lediglich ein schwacher Strom von wenigen Mikroampere die Last passieren, während im Laufe des Umschaltvorganges ein starker Strom I_L fließen kann.

Aufgrund einer derartig großen Schwankung des der Last 1 zugeführten Stroms dauert es einige Zeit, bis mit Hilfe des Operationsverstärkers A1 die Stromschwankung erfaßt werden kann, so daß sich die Antwort des Operationsverstärkers entsprechend verzögert.

Während dieser Phase dient der Bypass-Kondensator C2 zur Kompensation der Schwankung des der Last 1 zugeführten Stromes. Wird der der Last 1 zugeführte Strom erhöht, so wird durch Entladung von dem Bypass-Kondensator C2 ein Entladestrom abgeführt und dadurch die Verzögerung des Operationsverstärkers A1 kompensiert. Wird dagegen der der Last 1 zugeführte Strom verringert, so wird mit der Verzögerung des Operationsverstärkers A1 dem Bypass-Kondensator C2 durch Aufladung ein großer Ladestrom zugeführt und somit ebenfalls die Verzögerung des Operationsverstärkers A1 kompensiert.

Dagegen dient der Phasenkompensations-Kondensator C1 zur Vermeidung instabiler Zustände des Operationsverstärkers A1. Wird aufgrund der Leerlaufverstärkung des Operationsverstärkers A1 eine durch die Vorrichtung selbst festgelegte Grenzfrequenz überschritten, tritt eine statische Dämpfung (d. h. ohne Oszillation etc.) von -6dB/Okt auf. Ist zudem der Bypass-Kondensator C2 angeschlossen, tritt daher für Frequenzen oberhalb einer durch den Bypass-Kondensator C2 und den Stromerfassungs-Widerstand R1 festgelegten Grenzfrequenz f1 = 1/(2π · R1 · C2) eine Dämpfung von -12dB/Okt auf. Kreuzt die entsprechende Dämpfungskennlinie den Wert OdB, so treten Oszillationen etc. auf und der gesamte Vorgang wird instabil. Um dieses Phänomen zu vermeiden, ist es erforderlich, daß die Dämpfung auf den ursprünglichen Wert -6dB/Okt festgesetzt wird, bevor die 0 dB Grenzfrequenz erreicht wird. Aus diesem Grund ist der Phasenkompensations-Kondensator C1 vorhanden. Die entsprechende Grenzfrequenz ist f2 = 1/(2 π · R1 · C1).

Mit dieser Schaltung kann die an die Last 1 angelegte Spannung Vo durch Verändern der von der Gleichspannungsversorgung gelieferten Spannung Vi variiert werden. Da im statischen Zustand der der Last 1 zugeführte Strom I_L und der über den Widerstand R1 fließende Strom Io gleich groß sind, kann durch Erfassen der von dem Analog/Digital-Wandler ausgegebenen Spannung Vm folgende Gleichung erhalten werden IO = I_L = Vm/R1. Daher kann der interne Widerstand RX der Last 1 aus RX = Vo/Io = Vi · R1/Vm abgeleitet werden, wobei eine Schwankung der Eingangsspannung Vo durch eine Schwankung des internen Widerstandes RX erfaßt werden kann, so daß die Messung der statischen Eigenschaften möglich ist.

Aufgrund der vorhergehenden Erläuterungen kann folgendes festgehalten werden:

• 1. Ist der im statischen Zustand fließende Strom Io sehr klein, so ist der Widerstandswert des Stromerfassungs-Widerstandes R1 groß.
• 2. Der Phasenkompensations-Kondensator C1 sollte zu diesem Stromerfassungswiderstand R1 parallelgeschaltet werden.
• 3. Ein Bypass-Kondensator C2 ist erforderlich.

Mit Hilfe einer derartigen Spannungserzeugungs-Schaltung können die statischen Eigenschaften der Last 1 getestet und demzufolge ein Funktionstest der Last 1 mit demselben Testgerät durchgeführt werden. Der Funktionstest wird durchgeführt, indem an mehrere Eingangpins des LSI-Bauteils verschiedene Testmuster angelegt und anschließend an Ausgangspins, die von dem LSI-Bauteil ausgegebenen Ausgangs- Signalsmuster abgegriffen werden. Diese Ausgangs-Signalmuster werden mit bereits vorhandenen Referenz-Signalmustern verglichen. Aufgrund der vorhergehenden Erläuterungen ist es daher wünschenswert, daß die an die Last 1 angelegte Versorgungsspannung während des Funktionstests stabil und gleichmäßig ist.

Fig. 5 zeigt Strom- und Spannungszustände an verschiedenen Schaltungspunkten in der in Fig. 4 gezeigten bekannten Schaltung.

Fig. 5A zeigt den Laststrom I_L während des statischen Spannungszustandes, wenn der der Last 1 zugeführte Strom umgekehrt wird. Mit t10 ist die Anstiegszeit des Laststroms I_L bezeichnet. Obwohl, wie in Fig. 5B gezeigt, der Strom Io zu Beginn stetig mit dem Laststrom I_L ansteigt, kann aufgrund der Verzögerung des Operationsverstärkers A1 nicht sofort darauf reagiert und ein entsprechendes Ausgangssignal ausgegeben werden. Um dies zu kompensieren, entlädt sich der Bypass- Kondensator C2 und führt somit einen Strom I_C2 an die Last 1 ab (Fig. 5C). Aus diesem Grund fällt die Spannung Vo des Bypass-Kondensators C2 (Fig. 5D). Die Spannung Vo wird an den Operationsverstärker A1 rückgeführt, da die Spannung an dem Bypass-Kondensator C2, d. h. an dem Schaltungspunkt O zwischen dem Bypass- Kondensator C2 und der Rückkopplungsschaltung 3, fällt, und ein großer Ladestrom Io fließt von dem Operationsverstärker A1 zu dem Bypass-Kondensator C2 (Fig. 5B). Da dieser Ladestrom Io über den Stromerfassungs-Widerstand R1 fließt, fällt zwischen den beiden Anschlüssen des Widerstandes R1 eine Spannung Vx = R1 · Io ab. Aus diesem Grund schwankt die Spannung V_A am Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers A1, wie in Fig. 5E gezeigt.

Nach einer Aufladezeit t20 des Bypass-Kondensators C2 nimmt der Ladestrom Io ab und nach einer Zeitspanne t30 wird für den Umkehrvorgang ein stabiler Zustand erreicht und der Strom Io entspricht dem Laststrom I_L. Nimmt die Last wiederum nach einer Abfallzeit t11 den ursprünglichen statischen Zustand ein, so zeigt die Spannungs- und Stromkennlinie bezüglich der Anstiegszeit jeweils umgekehrte Eigenschaften. Obwohl der Laststrom I_L abnimmt, fließt somit der Strom Io weiterhin von dem Operationsverstärker A1 weg, da sich die Reaktion auf das Abnehmen des Laststromes über die Rückkkopplungsschaltung 3 verzögert, und der Bypass-Kondensator C2 speichert vorübergehend durch Aufladung den zusätzlichen Strom.

Auch wenn die Zeiten t20, t30, t21 und t31 durch die Gesamtfrequenzcharakteristik des Operationsverstärkers A1, des Widerstandes R1, der Kondensatoren C1 und C2 und die Rückkopplungsschaltung festgelegt sind, so sind doch die Frequenzeigenschaften des Operationsverstärkers A1 dominant und bestimmen vorwiegend die zuvor genannten Zeitspannen. Allgemein gilt: t1X « t2X « t3X.

Wird unter Ausnutzung der zuvor beschriebenen Spannungserzeugungs-Schaltung zum Testen integrierter Schaltungen ein Funktionstest der Last 1 durchgeführt, so schwankt die an die Last 1 angelegte Spannung Vo, wie in Fig. 5D gezeigt, während der Anstiegs- und Abfallzeit, um die Spannung +/-Vx. Ist beispielsweise R1 = 0,1Ω, Io = 5A, so schwankt die an die Last 1 angelegte Spannung Vo um 0,5 V. Kommt es zu bedeutenden Schwankungen der Spannung Vo, so können Fehlfunktionen der Last hervorgerufen werden oder schlimmstenfalls die Last zerstört werden. Ebenso dauert es sehr lange, bis entschieden werden kann, ob die Spannung einen stabilen Zutand erreicht hat.

Die Aufgabe der Erfindung ist daher, eine stabile Spannungserzeugungs-Schaltung zu schaffen, bei der die an eine Last bzw. einen Prüfling angelegte Spannung während der Durchführung eines Funktionstests des IC-Prüflings lediglich geringfügig schwankt.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Die bekannte Schaltung zum Testen von integrierten Schaltungen wird durch Schalter erweitert und ein niederohmiger Widerstand zwischen dem Schaltungspunkt, an dem die an die Last abgegebene Spannung Vo an die Rückkopplungsschaltung rückgeführt wird, und der Last eingefügt, und eine veränderbare Stromversorgung wird eingesetzt, die mit dem Zu- bzw. Abnehmen des über den niederohmigen Widerstand fließenden Stroms einen entsprechend um dieselbe Stromstärke verringerten bzw. erhöhten Strom in der Nähe des Schaltungspunktes abführt und speichert.

Mit anderen Worten bedeutet dies, daß der entnommene Strom um die Stromstärke A verringert wird, um welche der über den Widerstand fließende Strom erhöht worden ist. Dies bedeutet, daß ein vergleichsweise hoher Strom von der Nähe des Kontaktpunktes der veränderbaren Stromversorgung zugeführt wird, wenn sich die Last im statischen Zustand befindet, so daß der Last lediglich ein geringer Strom zugeführt wird. Während des Umkehrvorganges ist der entnommene Strom lediglich gering und der der Last zugeführte Strom dagegen hoch.

Durch die Verwendung des niederohmigen Widerstandes mit einem geringen Widerstandswert kann die Schwankung der Versorgungsspannung der Last gering gehalten werden. Ist beispielsweise der Widerstandswert R2 = 0,01 Ω und der Laststrom wiederum I_L = 5A, so beträgt die Spannungsschwankung Vx lediglich 0,05 V = 50 mV. Dies entspricht 1/10 der Spannungsschwankung bei der bekannten Spannungserzeugungs-Schaltung.

Da zudem mit der erfindungsgemäßen Lösung der statische Zustand schnell erreicht werden kann, sind Testvorgänge mit hoher Geschwindigkeit möglich.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele näher beschrieben.

Es zeigt

Fig. 1 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels,

Fig. 2 Kennlinienverläufe zur Erläuterung der Funktionsweise des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels,

Fig. 3 ein Blockdiagramm eines weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels,

Fig. 4 ein Blockdiagramm gemäß einer bekannten Technologie, und

Fig. 5 Kennlinienverläufe zur Erläuterung der Funktionsweise der in Fig. 4 gezeigten Schaltung.

Fig. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel, wobei die den in Fig. 4 gezeigten Schaltungsteilen entsprechende Schaltungsteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind.

Bei der in Fig. 1 gezeigten Schaltung werden die statischen Eigenschaften der Last 1 auf dieselbe Art und Weise wie bei der bekannten Schaltung gemessen, indem die Schalter S1 und S5 geschlossen und die Schalter S2, S3 und S4 offen sind. Zum Messen der dynamischen Eigenschaften werden die Schalter S1 und S5 geöffnet und die Schalter S2, S3 und S4 geschlossen. Dadurch wird ein niederohmiger Widerstand R2 zwischen den Kontaktpunkt O, an dem die an die Last 1 angelegte Spannung der Rückkopplungsschaltung 3 zugeführt wird, und der Last 1 eingefügt, und in der Nähe dieses Schaltungspunktes O wird ein Strom I1 abgezweigt und der veränderbaren Stromversorgung 4 zugeführt.

Die zwischen den beiden Enden des niederohmigen Widerstandes R2 erzeugte Spannung Vy ist proportional zu dem über den Widerstand R2 fließenden Strom I2 und steuert die veränderbare Stromversorgung 4 über einen Differenzverstarker A5. Die veränderbare Stromversorgung 4 entnimmt in der Nähe des Schaltungspunkts O den Strom I1, der umgekehrt proportional zu der an dem niederohmigen Widerstand R2 erzeugten Spannung Vy ist. Dieser Vorgang wird nachfolgend detailliert beschrieben.

Wie in Fig. 1 gezeigt, wird die zwischen den beiden Enden des niederohmigen Widerstandes R2 erzeugte Spannung mittels eines Differenzverstärkers A5 abgegriffen und an einen der Eingangsanschlüsse eines Operationsverstärkers A3 angelegt. An den anderen Eingangsanschluß des Operationsverstärkers A3 wird die von einer Referenzspannungsquelle 5 gelieferte Referenzspannung Vr angelegt. Durch die Widerstandsschaltung mit den Widerständen R3 und R4 bildet der Operationsverstärker A3 einen Gleichstromverstärker mit dem Verstärkungsfaktor n = R4/R3. Über einen Spannungsfolger A4 wird ein Transistor T1 durch die Ausgangsspannung des Operationsverstärkers A3 angesteuert und somit der Strom I1 in der Nähe des Schaltungspunktes O über eine Diode D1 abgeführt. Der abgezweigte Ladestrom I1 beträgt dann I1 = n · (Vr - R2 · I2)/R5 = K - I2 · (n · R2/R5), wobei K einen stabilen spezifischen Stromwert darstellt. In diesem Fall ist K = n · Vr/R5. Gegenüber dem stabilen Stromwert K nimmt also der abgezweigte Strom I1 im gleichen Maße ab bzw. zu die der der Last 1 zugeführte Strom I2 zunimmt bzw. abnimmt. Wird lediglich einmal die Spannung Vo an dem Schaltungspunkt O eingestellt, so kann auf diese Weise die Spannung stets stabil gehalten werden. Ebenso ist der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 stets stabil und die Spannungsschwankung an der Last 1 ist nur noch sehr gering.

Im folgenden soll die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Schaltung durch Berechnungen verdeutlicht werden.

Ist während des Testvorganges die Spannung stabil, so entspricht die an dem Schaltungspunkt O auftretende Spannung Vo der Spannung Vi der Gleichspannungsversorgung 2, d. h. Vo = Vi. Die Potentialdifferenz Vy zwischen den beiden Anschlüssen des niederohmigen Widerstands R2 beträgt Vy = R2 · I2. Wird mit Vr die Referenzspannung der Referenzspannungsquelle 5 bezeichnet, so beträgt die Ausgangsspannung Vb des Differenzverstärkers A3 Vb = n · (Vr - Vy) = n · (Vr - R2 ·I2). Der abgeführte Strom I1 beträgt I1 = Vb/R5 = n · (Vr - R2 · I2)/R5 = K - I2 · (n · R2/R5).

Demzufolge nimmt der abgeführte Strom I1 im gleichen Maße ab bzw. zu, wie der der Last 1 zugeführte Strom I2 zunimmt bzw. abnimmt.

Der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 beträgt Io = I1 + I2 = [n · (Vr - R2 · I2)/R5] + I2 = [I2 · (R5 - n · R2) + n · Vr]/R5.

Wird beispielsweise der Widerstand R5 als R5 = n · R2 gewählt, so nimmt Io den Wert Io = n · Vr/R4 an und der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 ist stets stabil.

Der Zusammenhang zwischen den einzelnen Spannungen und Strömen wird nachfolgend anhand Fig. 2 beschrieben.

Fig. 2A zeigt den Verlauf des Laststromes I_L, der während des Umkehrvorganges einer Last 1 ansteigt. Mit t10 ist die Anstiegszeit und mit t11 die Abfallszeit bezeichnet. Mit Beginn des Ansteigen des Laststromes I_L nimmt auch der Strom I2 wie in Fig. 2B gezeigt zu. Der Entladestrom I_C2 fließt wie in Fig. 2C gezeigt, von dem Bypass- Kondensator C2. Der von der variablen Stromversorgung 4 abgeführte Strom I1 nimmt entsprechend dem Anstieg des Stroms I2 wie in Fig. 2D gezeigt um den den Anstiegsbetrag von I2 entsprechenden Betrag ab. Wie aus Fig. 2E ersichtlich, schwankt demzufolge der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 nicht. Da der Ausgangsstrom Io nicht schwankt, schwankt ebenfalls die Spannung Vo an dem Schaltungspunkt O nicht und die Spannungsversorgung kann weiterhin eine statische und stabile Spannung Vo liefern.

Die an die Last 1 angelegte Spannung V_L beträgt V_L = Vo - R2 · I2. Da R2 ein niederohmiger Widerstand ist, ist auch die Schwankung der Spannung V_L gering. Wie zuvor erwähnt beträgt R2 0,01 Ω und I2 5A, so daß die Schwankung der Lastspannung V_L 50mV beträgt, d. h. sehr gering ist. Abhängig von der Widerstandswahl kann diese Spannungsschwankung somit lediglich 1/10tel der Spannungsschwankung der bekannten Schaltung betragen. Die Spannung nimmt daher schnell einen stabilen Wert an, so daß ohne Probleme Testvorgänge mit hohen Geschwindigkeiten durchgeführt werden können.

Fig. 3 zeigt ein weiteres erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel.

Die den in Fig. 1 gezeigten Schaltungsteilen entsprechenden Schaltungsteile sind mit identischen Bezugszeichen versehen. Die in Fig. 1 dargestellten Schalter S1-S5 sind nicht dargestellt.

Bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel wurde die zwischen den beiden Anschlüssen des niederohmigen Widerstandes R2 abgegriffene Spannung Vy mit der Referenzspannung Vr an dem Differenzverstärker A3 verglichen. Dagegen wird bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel die an die Last angelegte Spannung V_L mit der Referenzspannung Vr an dem Differenzverstärker A3 verglichen. Die Referenzspannung Vr wird somit vom der Referenzspannungsquelle 5 über einen Spannungsfolger A6 an den einen Eingangsanschluß des Differenzverstärkers A3 angelegt, während die Lastspannung V_L dem anderen Eingangsanschluß des Differenzverstärkers A3 zugeführt wird. Die Spannung am Schaltungspunkt O ist Vo und die Referenzspannung Vr wird auf den Wert Vr = Vo · Vc festgelegt, wobei Vc einen vorgewählten Wert abhängig von dem maximal zulässigen Stromwert für I2 darstellt. Die Lastspannung V_L ist somit V_L = Vo - R2 · I2 und die Ausgangsspannung Vb des Differenzverstarkers A3 beträgt Vb = n · (V_L - Vr) = n · (Vo - R2 · I2 - Vo + Vc) = n · (Vc - R2 · I2).

Durch Ansteuern des Transistors T1 mittels der Spannung Vb über den Spannungsfolger A4 wird der Strom I1 an dem Schaltungspunkt O abgeleitet. Der Strom I1 nimmt dabei den Wert I1 = Vb/R5 = n · (Vc - R2 · I2)/R5 = Ko - 12 · (n · R2/R5) an. Somit nimmt I1 um denselben Betrag ab wie I2 zunimmt bzw. um denselben Betrag zu wie I2 abnimmt. Ko stellt wieder einen stabilen spezifischen Stromwert dar und beträgt in diesem Fall Ko = n · Vc/R5.

Der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 beträgt Io = I1 + I2 = [n · (Vc - R2 · I2)/R5] + I2 = [I2 · (R5 - n · R2) + n · Vc]/R5. Wird R5 = n · R2 gewählt, so beträgt Io = n Vc/R5 und der Ausgangsstrom Io des Operationsverstärkers A1 nimmt einen stabilen Wert an, ohne daß die Spannungserzeugungs-Schaltung Schwankungen liefert.

Wie zuvor beschrieben, ist die erfindungsgemäße Schaltung mit einer Mehrzahl von Schaltern zum Messen der statischen und dynamischen Eigenschaften einer Last ausgestattet. Zum Messen der statischen Eigenschaften wird die Messung mit der bekannten Schaltungsstruktur exakt und schnell durchgeführt, während für die Messung der dynamischen Eigenschaften die Messung mit der modifizierten Schaltungsstruktur gemäß der vorliegenden Erfindung vollzogen wird. Aus diesem Grunde kann bei der Messung der dynamischen Eigenschaften die Spannungsschwankung auf 1/10tel reduziert werden und die Stabilität der Spannungseigenschaften wird verbessert.

Dadurch kann eine Fehlfunktion sowie eine Beschädigung der Last vermieden und die Testzeiten deutlich verringert werden. Die Erfindung stellt somit einen bedeutenden technologischen Fortschritt für das Testen von integrierten Schaltungen dar und bedeutet durch das Reduzieren der Testzeiten auch eine ökonomische Verbesserung.

Claims (1)

1. Spannungserzeugungs-Schaltung zum Testen integrierter Schaltungen, mit einer Gleichspannungsversorgungsquelle (2) zum Anlegen einer bestimmten Gleichspannung an eine Last (1) über einen Operationsverstärker (A1), mit einem Bypass-Kondensator (C2), der zu der Last (1) parallelgeschaltet ist, mit einer Rückkopplungsschaltung (3), die die an die Last (1) anzulegende Spannung an den Operationsverstärker (A1) rückführt, und
   mit einem Phasenkompensations-Kondensator (C1), der zu einem Stromerfassungs- Widerstand (R1) zur Erfassung eines Stromes parallelgeschaltet ist und in Serie zwischen einen Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers (A1) und der Last (1) geschaltet ist,
   gekennzeichnet durch
   einen Widerstand (R2), der geschaltet ist zwischen die Last (1) und einen Schaltungspunkt (O), an dem die an die Last (1) zu Testzwecken angelegte Spannung von der Rückkopplungsschaltung (3) entnommen wird, und
   eine veränderbare Stromversorgung (4), die in der Nähe des Schaltungspunktes (O) einen Strom (I1) abzweigt, der gegenüber einem spezifischen Stromwert (K, Ko) im selben Maße abnimmt bzw. zunimmt, wie der über den Widerstand (R2) fließende Strom zunimmt bzw. abnimmt.