DE1910940B2 - Verfahren zur herstellung von siliziumkarbidkristallen und deren verwendung - Google Patents
Verfahren zur herstellung von siliziumkarbidkristallen und deren verwendungInfo
- Publication number
- DE1910940B2 DE1910940B2 DE19691910940 DE1910940A DE1910940B2 DE 1910940 B2 DE1910940 B2 DE 1910940B2 DE 19691910940 DE19691910940 DE 19691910940 DE 1910940 A DE1910940 A DE 1910940A DE 1910940 B2 DE1910940 B2 DE 1910940B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- crystals
- silicon carbide
- crystallization
- shaped
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/90—Carbides
- C01B32/914—Carbides of single elements
- C01B32/956—Silicon carbide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/10—Particle morphology extending in one dimension, e.g. needle-like
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/60—Particles characterised by their size
- C01P2004/61—Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Hersteilung
von Siliziumkarbidkristallen bei einer Temperatur von wenigstens 1000° C, wobei Silizium und Kohlenstoff als
Ausgangsmaterialien vorliegen und wobei diese Herstellung in Anwesenheit eines Elements aus der Gruppe
UIB des Periodensystems erfolgt, gemäß Patent 16 67 655.
Zur Herstellung von Siliziumkarbidkristallen sind mehrere Verfahren bekannt. Z. B. ist es aus der OE-PS
21 38 46 bekannt, mittels chemischer Reaktionen bei einer verhältnismäßig hohen Temperatur Siliziumkarbid
aus silizium- und kohlenstoffhaltigen Verbindungen in kristalliner Form herzustellen. Die Ausgangsstoffe
können in gasförmigem Zustand angewandt werden, wobei der Ausgangsstoff oder die Ausgangsstoffe das
Silizium und den Kohlenstoff entweder in derselben Verbindung, z. B. in einem Alkylsilan oder in einem
völlig oder teilweise durch Halogen substituierten Alkylsilan, oder in verschiedenen Verbindungen, z. B.
einem Kohlenwasserstoff und einem Silan oder einem Halogensilan, enthalten können. Die Verbindungen
können thermisch versetzt werden, wobei gegebenenfalls andere sich an der Reaktion beteiligende Stoffe,
wie z. B. Wasserstoff, Anwendung finden können. Siliziumkarbid, das dabei auf einem erhitzten Träger
abgelagert wird, kann die Form einer kompakten Schicht aufweisen oder aus einer Vielzahl mehr oder
weniger'gesonderter Kristalle bestehen. Diese Kristalle
haben im allgemeinen eine kubische, stark verzwillingte Struktur, wobei gegebenenfalls noch hexagonales
Material angewachsen sein kann.
Weiterhin können durch Umkristallisieren bei hoher Temperatur in einem von Siliziumkarbid umgebenden
Raum Siliziumkarbidkristalle gebildet werden, wie es in der CH-PS 3 46 864 beschrieben ist. Im letzteren Falle
wurden Temperaturen über 2000°C, z.B. 25000C,
angewandt. Dabei wurden plattenförmige hexagonale Kristalle erhalten, die lateral gleichmäßig entwickelt
waren. Diese Kristalle hatten zum größten Teil die 6 Η-Struktur (siehe die Nomenklatur in der Dissertation
von W.F. Knippenberg, »Growth Phenomena in Silicon Carbide« (Rijksuniversiteit te Leiden, 1963) oder in
»Philips Research Reports«, Bd. 18 (1963), S. 161 bis
ίο 274), einige Kristalle waren jedoch aus abwechselnden
Schichten verschiedener Struktur aufgebaut.
Demgegenüber entstehen bei dem Verfahren gemäß Patent 16 67 655 drahtförmige Kristalle, auch »Haarkristalle«
oder »Whiskers« genannt. Darunter sind in diesem Zusammenhang langgestreckte Kristalle zu
verstehen, ohne Rücksicht auf die Form ihres Querschnittes.
Solche Kristalle haben auf Grund ihrer günstigen elektronischen und mechanischen Eigenschaften und
ihrer hohen chemischen Resistenz in einem weiten Temperaturbereich in der Technik, z. B. bei Halbleitervorrichtungen,
für die mechanische Verstärkung von Gegenständen aus Materialien wie Glas, Kristall und
Kunststoff, für Isolationszwecke und für Filter Anwendung gefunden.
Nachdem in der Literatur, z. B. in der GB-PS 10 15 844, bereits mehrere Verfahren zur Herstellung
derartiger Kristalle angegeben worden waren, bei denen die Ausbeute an Kristallen und deren Abmessungen
gering oder unbeständig sind, wurde im älteren Patent 16 67 655 vorgeschlagen, die Form und die
Struktur der Siliziumkarbidkristalle bei ihrer Bildung durch Elemente aus der Gruppe IHB des Periodensystems
zu beeinflussen. Zur Gruppe IHB gehören die Elemente mit den Ordnungszahlen 21,39,57 bis 71 und
89.
Gemäß Patent 16 67 655 bewirkt z. B. die Anwesenheit von Lanthan oder dessen Verbindungen als
Hilfsstoff in der Kristallisationsatmosphäre bei Temperaturen über 20000C eine gute Ausbeute an langen
drahtförmigen Kristallen mit nur wenig unterschiedlichen Querabmessungen. Dies ist insbesondere bei einer
Temperatur von etwa 25000C der Fall, die für ein schnelles Wachstum von Siliziumkarbidkristallen in
einer inerten Gasatmosphäre in einem durch Siliziumkarbid begrenzten Hohlraum durch Kondensation
und/oder Rekristallisation am günstigsten ist.
Es wurde nun gefunden, daß neben Lanthan auch die übrigen Elemente der Gruppe IHB bzw. ihre Verbindungen
zur Erzielung einer guten Ausbeute an drahtförmigen Kristallen brauchbar sind, sofern die Temperatur in
dem Bereich zwischen 20000C und 2600X, in dem die
Kristallisation durchgeführt wird, ausreichend niedrig gewählt wird, und zwar immer niedriger als die
Temperatur von etwa 250O0C, die bei Verwendung von Lanthan bevorzugt wird.
Vermutlich hängt dies mit einer stärkeren Flüchtigkeit der in der Kristallisationsatmosphäre gebildeten
wirksamen Verbindungen der übrigen Elemente der Gruppe IHB im Vergleich mit der des Lanthans
zusammmen, wodurch ihre Konzentration in der Gasatmosphäre für die gewünschte Wirkung bei hohen
Temperaturen nicht auf dem richtigen Niveau gehalten werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß die Kristalle in einer Kristallisationsatmosphäre, die ein anderes Element der Gruppe HIB
des Periodensystems als Lanthan bzw. eine Verbindung
eines solchen Elments enthält, bei Temperaturen von höchstens 24500C, insbesondere zwischen 2200° C und
2400° C, gebildet werden. Die Kristallisation wird vorzugsweise durch Rekristallisation und/oder Kondensation
in einer inerten Gasatmosphäre in einem durch Siliziumkarbid begrenzten Raum durchgeführt.
Auf diese Weise ergibt sich eine gute Ausbeute an drahtförmigen Siliziumkarbidkristallen mit gleichmäßigen
Abmessungen. Die Abmessungen der Kristalle sind zwar im allgemeinen kleiner als es bei Verwendung von
Lanthan bei etwa 2500° C der Fall ist, aber dies ist bei manchen Anwendungen kein Nachteil. Die erhaltenen
dünnen, einige mm langen drahtförmigen Kristalle sind in bestimmten Fällen, wie bei mechanischer Verstärkung,
bei Wärmeisolierung und für Filter, ohne weiteres brauchbar.
Ein Vorteil der Möglichkeit, auch andere MB-Elemente als Lanthan als Hilfsstoff bei der Kristallisation
zu benutzen, ist, daß billigere und leichter erhältliche Stoffe, wie Cer und Cerverbindungen und Gemische
oder Mineralien mit einem hohen Cergehah, Verwendung Finden können.
Da manchmal geringe Mengen der Hilfsstoffe bei der Herstellung in die Kristalle aufgenommen werden, hat
man die Möglichkeit, bestimmte physikalische Eigenschäften der Kristalle zu beeinflussen.
Auch die Verwendung niedrigerer Temperaturen ist an sich bei einem technischen Verfahren wie dem
vorliegenden von Vorteil.
Die für das Wachstum der drahtförmigen Kristalle erforderliche Hilfsstoffmenge kann nicht genau angegeben
werden. Sie ist von der Menge der zu bildenden Siliziumkarbidkristalle und von der Oberfläche und der
Gestalt des Kristallisationsraums abhängig. Die richtige Menge läßt sich jedoch leicht experimentell ermitteln.
Ein Kristallisationsraum aus Siliziumkarbid ist auf verschiedene Weise herstellbar. Es kann z. B. ein als
Hohlraum dienendes Gefäß durch Pressen und Sintern von Siliziumkarbid unterschiedlicher Herkunft gebildet
werden. Auch ist es möglich, das Gefäß aus Silizium und Kohlenstoff und/oder ihren Verbindungen zu formen,
diese Werkstoffe dann bei Temperaturen unter 200° C in Siliziumkarbid umzuwandeln und anschließend, nach
Zuführung des gewählten Hilfsstoffs aus der Gruppe HIB und Erhöhung der Temperatur auf über 2000° C, das
Wachstum der drahtförmigen Kristalle zu bewerkstelligen.
Die letztere Ausführungsform ist besonders vorteilhaft,
wenn das Kristallisationsgefäß aus Siliziumdioxid (Sand) und Kohlenstoff geformt wird, weil dabei diese
billigen Werkstoffe in einem einzigen Arbeitsgang, z. B. in großem Umfang nach dem Acheson-Verfahren, in
drahtförmige Siliziumkarbidkristalle umgewandelt werden können.
Insoweit erforderlich, z. B. für elektronische Anwendüngen,
können in die drahtförmigen Kristalle während des Wachstums gewisse die Eigenschaften bestimmende
Elemente, z. B. N, Al, B und P, welche die Leitfähigkeit oder die Fluoreszenz beeinflussen, dadurch eingebaut
werden, daß sie der Kristallisationsatmosphäre in Form von flüchtigen Verbindungen zugesetzt werden. Dadurch,
daß nacheinander Donatoren und Akzeptoren eingeführt werden, können, wie gleichfalls an sich
bekannt ist, in den Kristallen nach pn-Übergänge gebildet werden. b5
Die erhaltenen Kristalle können je nach den eingeführten Stoffen oder Verunreinigungen die Form
von Nadeln oder Bändern haben. Das Vorhandensein von Stickstoff in der Kristallisationsatmosphäre bewirkt
z. B. die Bildung von nadeiförmigen Kristallen, während beim Vorhandensein vom Aluminium mehr bandförmige
Kristalle entstehen.
Die erfindungsgemäß hergestellten Kristalle sind wegen ihrer Abmessungen besonders brauchbar für die
Verstärkung von Gegenständen, für Isolationszwecke und für Filter.
Die Erfindung erstreckt sich daher auch auf die Verwendung der erfindungsgemäß hergestellten Kristalle
für völlig oder teilweise aus diesen Kristallen bestehende Gegenstände, z. B. für elektronische Vorrichtungen,
für aus mit den Kristallen verstärktem Material wie Glas, Metall und Kunststoff bestehende
Gegenstände, für isolierende Gegenstände und für Filter.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher
beschrieben. Die Figur zeigt schematisch im Schnitt eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß
der Erfindung.
Die Vorrichtung enthält ein Quarzgefäß 1, in dem eine Gasatmosphäre mit der gewünschten Zusammensetzung
und unter dem gewünschten Druck aufrechterhalten werden kann. Das Quarzgefäß 1 kann zum Zweck
einer Wasserkühlung von einem Glasmantel 2 umgeben sein.
Im Gefäß 1 ist auf einer Stütze 3 ein Graphittiegel 4 angeordnet, der mit einem verengten Teil 5 versehen ist.
Im Tiegel 4 ist ein passendes Rohr 6 aus Siliziumkarbid mit einer länge von 100 mm, einem Außendurchmesser
von 70 mm und einem Innendurchmesser von 44 mm angeordnet. Der Tiegel 4 ist mit einer Graphitplatte 7
derart abgedeckt, daß der Zutritt des im Quarzgefäß 1 befindlichen Gases möglich ist Der Graphittiegel 4 ist
zur thermischen Isolierung von einer Schicht 8 aus Graphitfilz umschlossen. Das Quarzgefäß ist zur
Erhitzung von einer Induktionsspule 9 umgeben. Die Temperaturmessung erfolgt durch optische Pyrometrie
am Boden eines fingerförmigen Tiegels aus pyrolytischem
Graphit, der bis zur Mitte des Kristallisationsraums 10 reicht.
In den Teil 5 des Tiegels 4 wird 15 g Ceroxid 11 gegeben. Im Quarzgefäß 1 wird eine Argonatatmosphäre
unter einem Druck von etwa 1 Atm aufrechterhalten. Mit Hilfe der Spule 9 wird der Tiegel 4 auf eine
Temperatur von 2250° C gebracht. Nach zwei Stunden ist die ganze Wand des Zylinders 6 regelmäßig mit
bandförmigen Siliziumkarbidkristallen mit jeweils einer Länge von einigen mm, einer Breite von 200μπι und
einer Dicke von ΙΟμηι besetzt.
In den Teil 5 des Graphittiegels 4 wird 4 g Yttriumoxid gegeben. Bei Erhitzung auf 2400° C auf die
Weise und unter den Bedingungen, wie sie im Beispiel 1 erw ihm worden sind, lagern sich in fünf Stunden auf der
Wand des Kristallisationsraumes 10, im wesentlichen in
einer breiten Zone im oberen Teil dieses Raumes, Siliziumkarbidkristalle ab, die jeweils eine Länge von
etwa 10 mm, eine Breite von ΙΟΟμίη und eine Dicke von
lOum aufweisen.
Ähnlich wie in den Beispielen 1 und 2 werden unter Verwendung von 10 g Gadoliniumoxid in fünf Stunden
bei 2370° C im wesentlichen in einer breiten Zone unten im Kristallisationsraum Siliziumkarbidkristalle abgelagert,
die jeweils eine Länge von etwa 10 mm, eine Breite von 200μπι und eine Dicke von 20μπι haben.
Ähnlich wie in den vorstehenden Beispielen werden unter Verwendung von 6 g Neodymoxid in dreieinhalb
Stunden bei 23700C im wesentlichen in einer breiten Zone im unteren Teil des Kristallisationsraums Siliziumkarbidkristalle
abgelagert, die je eine Länge von 10 mm, eine Breite von 150μΐτι und eine Dicke von 15μπι haben.
Auf entsprechende Weise wie in den vorstehenden Beispielen wurden auch unter Verwendung von Oxiden
von Scandium, Praseodym, Europium und Samarium als Hilfsstoffe drahtförmige Kristalle hergestellt.
Ähnlich wie in den vorstehenden Beispielen wurden unter Verwendung von Yttriumoxid als Hilfsstoff in
einer Argonatmospähre, der 1 Vol.% Stickstoff zugesetzt worden war, grün fluoreszierende, n-leitende,
nadeiförmige Kristalle mit einer Länge von 10 mm und einer Dicke von ΙΟμίτι erhalten.
Ähnlich wie in den vorstehenden Beispielen wurde be Verwendung von 15 g Ceroxid als Hilfsstoff untei
Zusatz von 15 g Aluminiumoxid in Argon bei 2350° C während drei Stunden und anschließend bei 237O0C
während zwei Stunden, wobei dem Argon 1 Vol.°/< Stickstoff zugesetzt worden war, drahtförmige Kristalle
gebildet, die aus einem bandförmigen p-leitenden Tei und einer aufgewachsenen abrundenden, n-leitender
Schicht bestehen.
In ein Epoxidharz wurden gemäß Beispiel 1 hergestellte drahtförmige Kristalle in einer Volumfrak
tion von 3% parallel ausgerichtet aufgenommen. Di« Zugfestigkeit des Materials wurde durch Zusatz dei
Kristalle um einen Faktor 3 erhöht.
Leicht zusammengepreßte Tabletten, die aus draht· förmigen Kristallen nach Beispiel 1 bestehen, werden ir
einem durch Siliziumkarbid begrenzten Raum in einei Edelgasatmosphäre eine halbe Stunde lang bei 2200° C
gesintert. Die erhaltenen Tabletten können als Filterkörper benutzt werden, zu welchem Zweck si«
gegebenenfalls in ein Borsilikatglas eingeschmolzer werden können.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Verfahren zur Herstellung von Siliziumkarbidkristallen bei einer Temperatur von wenigstens
10000C, wobei Silizium und Kohlenstoff als Ausgangsmaterialien
vorliegen und wobei diese Herstellung in Anwesenheit eines Elements aus der Gruppe
IHB des Periodensystems erfolgt, gemäß Patent 16 67 655, dadurch gekennzeichnet, daß
die Kristalle in einer Kristallisationsatmosphäre, die
ein anderes Element der Gruppe IHB des Periodensystems
als Lanthan bzw. eine Verbindung eines solchen Elements enthält, bei Temperaturen von
höchstens 2450° C gebildet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kristalle bei Temperaturen zwischen 22000C und 2400° C gebildet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kristallisation durch Rekristallisation
und/oder Kondensation in einer inerten Gasatmosphäre in einem durch Siliziumkarbid
begrenzten Raum durchgeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kristallisation in Gegenwart
von Cer oder Yttrium durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kristallisation in
Gegenwart eines Gemisches aus Seltenerdmetallen bzw. deren Verbindungen oder eines Minerals mit
einem hohen Cergehalt durchgeführt wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL6803421A NL6803421A (de) | 1968-03-11 | 1968-03-11 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1910940A1 DE1910940A1 (de) | 1969-10-16 |
DE1910940B2 true DE1910940B2 (de) | 1978-02-02 |
DE1910940C3 DE1910940C3 (de) | 1978-09-28 |
Family
ID=19802990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691910940 Granted DE1910940B2 (de) | 1968-03-11 | 1969-03-04 | Verfahren zur herstellung von siliziumkarbidkristallen und deren verwendung |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5033039B1 (de) |
BE (1) | BE712305A (de) |
BR (1) | BR6907033D0 (de) |
CH (1) | CH514501A (de) |
DE (1) | DE1910940B2 (de) |
ES (1) | ES364528A1 (de) |
FR (1) | FR1602477A (de) |
NL (1) | NL6803421A (de) |
NO (1) | NO128053B (de) |
-
1968
- 1968-03-11 NL NL6803421A patent/NL6803421A/xx unknown
- 1968-03-15 BE BE712305D patent/BE712305A/xx unknown
- 1968-12-30 FR FR1602477D patent/FR1602477A/fr not_active Expired
-
1969
- 1969-03-04 DE DE19691910940 patent/DE1910940B2/de active Granted
- 1969-03-07 CH CH346769A patent/CH514501A/de not_active IP Right Cessation
- 1969-03-07 JP JP44016909A patent/JPS5033039B1/ja active Pending
- 1969-03-08 ES ES364528A patent/ES364528A1/es not_active Expired
- 1969-03-08 NO NO00986/69A patent/NO128053B/no unknown
- 1969-03-10 BR BR207033/69A patent/BR6907033D0/pt unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL6803421A (de) | 1969-09-15 |
FR1602477A (en) | 1970-11-30 |
ES364528A1 (es) | 1970-12-16 |
JPS5033039B1 (de) | 1975-10-27 |
NO128053B (de) | 1973-09-24 |
BR6907033D0 (pt) | 1973-01-25 |
DE1910940A1 (de) | 1969-10-16 |
BE712305A (de) | 1968-07-15 |
DE1910940C3 (de) | 1978-09-28 |
CH514501A (de) | 1971-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69731506T2 (de) | Keramisches Verbundmaterial und poröses keramisches Material | |
DE1667657C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Siliciumkarbidwhiskers | |
DE1667655A1 (de) | Siliziumkarbidkristalle und deren Herstellung | |
DE1646796B2 (de) | Verfahren zur Herstellung hochfeuerfester Formkörper aus Siliciumnitrid. Ausscheidung aus: 1240458 | |
DE2363036A1 (de) | Heissgepresstes siliciumcarbid | |
DE2654063A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines bandes aus polykristallinem halbleitermaterial | |
DE1521465C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von texturlosem polykristallinen Silicium | |
DE2700208A1 (de) | Polykristalliner siliziumnitrid- koerper und verfahren zu dessen herstellung | |
DE1910940C3 (de) | ||
DE3511456A1 (de) | Verfahren und vorrichtungen zur herstellung von glaskoerpern | |
DE2617288C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Aluminatspinell-Fadeneinkristallen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
EP0005198A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines dichten keramischen Materials mit einem Gehalt an hochreinem Mullit | |
DE3613778A1 (de) | Verfahren zur herstellung von formkoerpern aus granulat auf der basis von silicium, germanium oder mischkristallen dieser elemente | |
DE1810504C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Siliciumcarbidkristallen | |
DE2508651B2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines ununterbrochenen kristallinen Bandes | |
DE1951971A1 (de) | Verfahren zur Herstellung kubischer Siliciumcarbidkristalle | |
DE1667655C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Slliziumkarbidkristalten | |
DE69123442T2 (de) | Oxidischer supraleiter und verfahren zu seiner herstellung | |
EP0171444A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines vollkristallinen Sinterkörpers aus Siliciumnitrid | |
DE2062058B2 (de) | Schichtkörper und Verfahren zu seiner Herstellung | |
AT257446B (de) | Verfahren zur Herstellung von La2BeO4 | |
DE2431717C2 (de) | Festkörper-Phosphorquelle zur Dotierung von Silizium-Halbleiterplättchen | |
DE2647862B2 (de) | Verfahren zur Herstellung von feuerfesten Verbundkörpern auf Faserbasis aus Siliciumcarbidfasern und metallischem Silicium | |
DE1471421A1 (de) | Verfahren zum Erzeugen einer Siliciumcarbidschicht | |
DE1227821B (de) | Verfahren zur Herstellung einer porzellanartigen Masse hoher Temperaturwechselbestaendigkeit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8340 | Patent of addition ceased/non-payment of fee of main patent |