DE1908409B1 - Einrichtung zur Drehung der Schwingungsrichtung von linearpolarisiertem Licht mittels kristalloptischer Bauelemente - Google Patents

Einrichtung zur Drehung der Schwingungsrichtung von linearpolarisiertem Licht mittels kristalloptischer Bauelemente

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DE1908409B1
DE1908409B1 DE19691908409 DE1908409A DE1908409B1 DE 1908409 B1 DE1908409 B1 DE 1908409B1 DE 19691908409 DE19691908409 DE 19691908409 DE 1908409 A DE1908409 A DE 1908409A DE 1908409 B1 DE1908409 B1 DE 1908409B1
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Application number
DE19691908409
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Inventor
Adolf Weyrauch
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • G02B5/3083Birefringent or phase retarding elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Description

  • Für die Drehung einer vorgegebenen Schwingungsrichtung von linear polarisiertem Licht werden entweder Platten aus optisch aktivem Material oder doppelbrechende Platten mit einer Phasenverschiebung von /2 oder einem ungeraden Vielfachen davon allgemein also (2K+1) A/2 verwendet. Nachteilig ist dabei, daß sowohl das Drehvermögen als auch die Phasenverschiebung von der Wellenlänge abhängig ist. Wenn man also, wie z. B. bei der Polarisations-Interferenz-Mikroskopie mit weißem Licht arbeiten will, ist es erwünscht, eine Achromatisierung durchzuführen. Zu diesem Zweck hat man daher zwei Platten mit unterschiedlicher Rotationsdispersion oder zwei Platten mit unterschiedlicher Doppelbrechungsdispersion kombiniert (vgl. unter anderem deutsche Patentschrift 975 217).
  • Die Drehung einer vorgegebenen Schwingungsrichtung von linear polarisiertem Licht um einen bestimmten Winkel q 0 kann bekanntlicht entweder mit einer Platte aus optisch aktiver Substanz, wie z. B. einer senkrecht zur Kristallachse geschnittenen Quarzplatte oder mit einer doppelbrechenden Platte, die eine Phasenverschiebung von R besitzt, wie z. B.
  • Kalkspat, erreicht werden. Im folgenden seien diese beiden Bauelemente kurz als Dreh- bzw. Phasenplatte bezeichnet. Eine derartige Drehung der Polarisationsebene ist beispielsweise bei einem Interferenzmikroskop nach dem Jamin-Lebedeff-Prinzip erforderlich.
  • Nachteilig bei den obengenannten Bauelementen, d. h. also bei Dreh- bzw. Phasenplatten, ist, daß, wie oben bereits erwähnt, sowohl das Drehvermögen als auch die Phasenverschiebung von der Wellenlänge abhängig ist. Bringt man eine derartige Platte zwischen einem Polarisator und Analysator derart an, daß die Drehung der Schwingungsrichtung nicht Null ist, so tritt bei einer bestimmten Stellung des Analysators nur für eine Wellenlänge eine vollkommene Auslöschung ein. Dieser Nachteil kann durch eine Achromatisierung vermindert werden. Es ist bekannt (vgl. zum Beispiel deutsche Patentschrift 975 217), durch Kombination von Materialien unterschiedlicher Rotationsdispersion die Drehung der Schwingungsebene für zwei Wellenlängen gleich zu machen. Hierzu ist es erforderlich, daß das eine Material rechtsdrehend und das andere linksdrehend ist. Weiterhin ist bekannt, Phasenplatten aus Materialien mit unterschiedlicher Dispersion der Doppelbrechung derart zu kombinieren, daß für zwei Wellenlängen die Phasenverschiebung gleich wird, also bei der vorliegenden Aufgabenstellung gleich A/2.
  • Die Orientierung der beiden Achsen ist hierbei so, daß sich die beiden Platten in Subtraktionsstellung befinden. Diese bekannten Achromatisierungsmaßnahmen gleichen im Prinzip der Achromatisierung von Linsen, bei denen zwei Glieder mit unterschiedlicher Dispersion zur Anwendung gelangen.
  • Nachteilig bei dieser Methode der Achromatisierung ist, daß die Forderung nach unterschiedlicher Dispersion bei kristalloptischen Bauelementen Materialien bedingt, die hinsichtlich ihrer physikalischen Eigenschaften nicht allen Wünschen gerecht werden.
  • Nach der Erfindung wird ein grundsätzlich anderer Weg zur Drehung der Schwingungsrichtung von linearpolarisiertem Licht mittels kristalloptischer Bauelemente eingeschlagen, nämlich durch eine Kombination von Drehplatten aus optisch aktivem Material gemeinsam mit Phasenplatten aus doppelbrechendem Material zum Zwecke der Erzielung einer Achromatisierung unabhängig von dem Dispersionsverlauf der verwendeten Materialien.
  • Eine Einrichtung nach der Erfindung ist so aufgebaut, daß eine Phasenplatte, deren Kristallachse mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von uo/2 einschließt, zwischen zwei Drehplatten angeordnet ist, die so dimensioniert sind, daß für eine Wellenlänge ibl die Drehung ç0/2 beträgt, und für eine Wellenlänge 22 die Phasen verschiebung der mittleren Phasenplatte = A/2 ist.
  • Nach einem weiteren Gedanken kann die Einrichtung auch durch die Kombination von zwei Phasenplatten und einer zwischen diesen beiden angeordneten Drehplatte, deren Drehwinkel für eine Wellenlänge 22 gleich (Po ist, gebildet sein, während die Phasenverschiebung jeder der beiden Phasenplatten für eine Wellenlänge Al gleich i./4 ist und die Achse der ersten Phasenplatte mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von 450 und die Achse der zweiten Phasenplatte einen Winkel von (Qo - 450) einschließen.
  • In den Figuren sei die erfindungsgemäße Einrichtung näher erläutert, und zwar zeigen die F i g. 1 und 2 je eine Einrichtung, bei denen Dreh-bzw. Phasenplatten, in Kombination miteinander, und die Orientierung dieser Platten im Strahlengang schematisch dargestellt sind, während in F i g. 3 eine graphische Darstellung für die Durchlässigkeit bei parallelen Polarisatoren wiedergegeben ist und aus Fig. 4 die graphische Darstellung der Meßergeb nisse für eine achromatische Einrichtung zur Drehung der Schwingungsrichtung des Lichtes um 900 hervorgeht; Fig. 5 zeigt den Verlauf der Durchlässigkeit bei Verwendung einer Einrichtung, bei der sowohl die Dreh- als auch die Phasenplatten zusätzlich in der bekannten Weise achromatisiert werden.
  • Bei der ersten Ausführungsform nach F i g. 1 wird zwischen zwei Drehplatten 1 und 2 eine Phasenplatte 3, deren Achse mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von ço/2 einschließt, angeordnet. Die Drehplatten sind so dimensioniert, daß für die Wellenlänge Al die Drehung mio/2 beträgt und für die Wellenlänge 22 die Phasenverschiebung der mittleren Platte /2 ist. Licht mit der Wellenlänge Al wird durch die erste Platte um q20/2 gedreht und schwingt nunmehr parallel zur Achse der Phasenplatte, so daß es durch diese nicht beeinflußt wird. Durch die letzte Drehplatte 2 erfolgt nochmals eine Drehung um (po/2, so daß eine Gesamtdrehung von uü resultiert.
  • Bei der Wellenlänge 22 sei die Drehung für die erste Platte ovo/2 + S/2. Die Phasenplatte verursacht bei dieser Wellenlänge eine Phasenverschiebung von A/2, so daß durch diese eine Drehung um 2 Sço/2 erfolgt, und die letzte Platte 2 bewirkt eine Drehung um ç0/2 + Dz?/2. Daraus folgt eine Gesamtdrehung von 0. Man ersieht, daß sowohl für it als auch für 22 eine Drehung der Schwingungsrichtung um 0o stattfindet, ohne daß der Dispersionsverlauf der Bauelemente eingeht. Er kann also völlig beliebig sein.
  • Bei der zweiten Ausführungsform nach F i g. 2 wird eine Drehplatte 6 zwischen zwei Phasenplatten 4 und 5 angeordnet. Die Phasenverschiebung jeder einzelnen Phasenplatte muß für die Wellenlänge Al gleich A/4 und der Drehwinkel der mittleren Platte für die Wellenlänge 22 gleich o sein. Weiterhin muß die Achse der ersten Platte 4 mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von 450 und die der letzten Platte 5 einen Winkel von (oo 450) einschließen. Für die Wellenlänge Al wird aus dem einfallenden linear polarisierten Licht durch die erste Platte 4 zirkular polarisiertes Licht. Dieses wird durch die Drehplatte 6 in der Schwingungsform nicht geändert und durch die letzte Phasenplatte 5 entsteht wieder linear polarisiertes Licht, dessen Schwingungsrichtung bei Einhaltung der oben angegebenen Achsenlage um den Winkel 0 gegenüber dem einfallenden Licht gedreht ist. Für die Wellenlänge 22 erzeugt die erste Platte elliptisch polarisiertes Licht.
  • Die Achsen der Ellipse werden durch die Drehplatten um 0 gedreht und durch die letzte Phasenplatte entsteht wieder linear polarisiertes Licht, wobei die Schwingungsrichtung gegenüber dem einfallenden Licht ebenfalls um 90 gedreht ist. Auch hier ist, wie bei der Ausführungsform nach Fig. 1, die Achromatisierung unabhängig von dem Dispersionsverlauf der Einzelelemente.
  • Für die Durchlässigkeit bei parallelen Polarisatoren ergeben sich die aus F i g. 3 ersichtlichen Zusammenhänge. Die Kurve I entspricht einer reinen Drehplatte, die KurveII einer reinen Phasenplatte und die Kurve III einer achromatisierten Einrichtung, bei der sowohl die Drehplatte als auch die Phasenplatte eine Nullstelle bei der Wellenlänge i = 550 nm besitzen. Die Kurve IV zeigt die Meßergebnisse einer Anordnung, bei der die beiden Nullstellen bei 480 nm und 650 nm liegen. Man sieht ohne weiteres, wie durch die Achromatisierung eine wesentliche Verbesserung der Auslöschung von weißem Licht erreicht wird. Die Meßergebnisse einer achromatisierten Einrichtung gemäß Fig. 2 zur Drehung der Schwingungsrichtung des Lichtes um 900 gehen aus der Fig. 4 hervor. Zur Messung wurde eine Drehplatte 6 aus Quarz von zwei Phasenplatten 4 und 5 aus Glimmer eingeschlossen und die Durchlässigkeit der Anordnung wieder zwischen zwei parallelen Polarisatoren in Abhängigkeit von der Wellenlänge gemessen. Die Wirkung der Quarzplatte allein ist durch die Kurve V und die Wirkung der Phasenplatten ohne Quarzplatte ist durch die Kurve VI dargestellt. Wird die Quarzplatte 6 zwischen den beiden Phasenplatten4 und 5 angeordnet, so ergibt sich der aus Kurve VII ersichtliche Durchlässigkeitsverlauf. Die Messungen bestätigen, daß sich die durch Wellenlängenabweichungen bedingten Fehler der Einzelelemente bei der Achromatisierung multiplikativ zusammensetzen.
  • Es sei noch bemerkt, daß die Wirkung eines Apochromaten erreicht werden kann, wenn die Drehplatten und/oder Phasenplatten zusätzlich in der bekannten konventionellen Art (vgl. deutsche Patentschrift 975217) achromatisiert werden. Als Beispiel dafür sei in Fig. 5 der Verlauf der Kurve VIII für die Durchlässigkeit bei Verwendung einer achromatisierten Phasenplatte gezeigt. Die Nullstellen bei 2 = 450 nm und 650 um sind die von der achromatisierten Phasenplatte, wobei beide Teilplatten parallel zur optischen Achse der Kristalle geschnitten sind; die Nullstelle bei R = 550 nm entsteht durch die Drehplatte. Hierzu sei noch bemerkt, daß die Durchlässigkeitskurve 4 Nullstellen besitzt, wenn sowohl die Dreh- als auch die Phasenplatten in der konventionellen Art und Weise achromatisiert werden. Ohne Anderung der Zuordnung der Platten zueinander bei beiden Einrichtungen nach der Erfindung ändert sich naturgemäß an der Wirkungsweise der Einrichtungen bei einer Drehung der Gesamteinrichtung um 900 im Verhältnis zur Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes nichts.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Einrichtung zur Drehung der Schwingungsrichtung von linear polarisiertem Licht mittels kristalloptischer Bauelemente, g e k e n n z e i c h -n e t durch eine Kombination von zwei Drehplatten aus optisch aktivem Material und einer zwischen beiden angeordneten Phasenplatte aus doppelbrechendem Material zur Erzielung einer Achromatisierung der Einrichtung unabhängig vom Disp ersionsverlauf der verwendeten Materialien für die einzelnen Bauelemente, wobei die beiden Drehplatten so dimensioniert sind, daß für eine Wellenlänge , die Drehung ço/2 beträgt, während die Kristallachse der Phasenplatte mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von ovo/2 einschließt und deren Phasenverschiebung gleich 2/2 für 22 ist.
2. Einrichtung zur Drehung der Schwingungsrichtung von linear polarisiertem Licht mittels kristalloptischer Bauelemente, gekennzeichnet durch eine Kombination von zwei Phasenplatten aus doppelbrechendem Material und einer zwischen beiden angeordneten Drehplatte aus optisch aktivem Material zur Erzielung einer Achromatisierung der Einrichtung unabhängig vom Dispersionsverlauf der verwendeten Materialien für die einzelnen Bauelemente, wobei der Drehwinkel der Drehplatte für eine Wellenlänge 22 gleich q70 ist, während die Phasenverschiebung jeder der beiden Phasenplatten für eine Wellenlänge 21L gleich 2/4 ist, und die Achse der ersten Phasenplatte mit der Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes einen Winkel von 450 und die Achse der zweiten Phasenplatte einen Winkel von (97 -450) einschließen.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0098730A3 (en) * 1982-06-28 1986-03-19 Fujitsu Limited Polarization rotation compensator and optical isolator using the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2607272A (en) * 1949-02-11 1952-08-19 Bell Telephone Labor Inc Composite wave plate for light
DE975217C (de) * 1951-05-18 1961-10-05 Optische Ind De Oude Delf Nv Interferenz-Mikroskop

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