DE1904701A1 - Verfahren zur Herstellung eines aetzbaren Copolymerenkoerpers - Google Patents

Description

1 River Road
SCHENECTADY N.Y./U.S.A.

Verfahren zur Herstellung eines ätzbaren Copolymerenkörpers

Die vorliegende Erfindung betrifft einen atzbaren Copolymerenkörper und ein Verfahren zur Herstellung von Vertiefungen und Öffnungen in Polymerenkörpern unter Anwendung geladener Teilchen.

Es ist allgemein bekannt, daß die Beschießung eines Stoffes mit geladenen Partikeln als Teil eines Verfahrens zur Erzeugung von .Vertiefungen und/oder Öffnungen in diesem Stoff Anwendung finden kann. Beim Durchgang der Partikel durch den Stoff hinterlassen sie im wesentlichen gerade Spuren beschädigten Materials. Dieses beschädigte Material löst sich leichter auf, d.h., es wird leichter geätzt als das unbeschädigte Material. Wird der beschossene Stoff deshalb mit einem geeigneten Reagens in Berührung gebracht, dann wird das beschädigte Material extrahiert und hinterläßt in dem Material Vertiefungen oder Öffnungen.

903837/1542

it »

Das Verfahren kann so gewählt werden, daß in dem Material entweder Öffnungen oder Vertiefungen hervorgerufen werden, was von der Art der Beschießung und der Stärke des Stoffes abhängt. Die extrahierten Stoffe finden zahlreiche Verwendung, beispielsweise für Filter.

Es wurde gefunden, daß ein im wesentlichen ähnliches Verfahren bei zahlreichen Polymeren Anwendung finden kann, in denen Spuren ausgebildet sind und das die Spur bildende, beschädigte Polymere durch Ätzung extrahiert ist. Diese Polymeren werden im folgenden als spurenätzbare Polymere bezeichnet. Typische W Beispiele derartiger Polymere sind die Polykarbonate, die im allgemeinen lineare aromatische Polyester aus Karbonsäure und Bis(alpha-hydroxyphenyl)-alkanen sind. Diese Polymere sind thermoplastische Kunststoffe, die hohe Verformungstemperaturen, eine ausgezeichnete Dimensionsbeständigkeit und hohe Zerreißfestigkeiten aufweisen, was sie für zahlreiche Verwendungszwecke geeignet macht. Eines der wirtschaftlich wichtigsten Polykarbonate ("Lexan") wird aus 2,2-Bis(4-hydroxyphenyl)-propan, ("Bisphenol A") erhalten.

Weitere Beispiele für spurenätzbare Polymere sind Polyäthylenterephthalat ("ftylar"), kristallines Polyäthylen, Polystyrol t und die Celluloseester wie z.B. das Nitrat, Acetat und Butyrat.

Es gibt jedoch gewisse Polymere, die praktisch nicht spurenätzbar sind und die im folgenden als nichtätzbare Polymere bezeichnet werden. Beispielsweise sind einige Polymere wie z.B. Polytetrafluoräthylen (Teflon) chemisch so inert, daß sogar ihre spurenbildenden zerstörten Teile nahezu nicht ätzbar sind. Andererseits werden bestimmte Polymere wie beispielsweise Elastomere durch derartige Ätzmittel zersetzt oder in Gummi überführt und sind gegenüber anderen Ätzmitteln so inert, daß auch ihre spurenbeschädigten Teile nicht ätzbar sind. Ein typisches Beispiel dieser Elastomere ist Polydimethylsiloxan.

Die nichtätzbaren Polymere zeigen Eigenschaften, die sie für

9098 37/1542

zahlreiche Anwendungszwecke geeignet machen. Zusätzlich zu seiner Inertheit ist Polytetrafluoräthylen über einen weiten Temperaturbereich elastisch. Auf der anderen Seite ist PoIydimethylsiloxan in zahlreichen Lösungsmitteln inert und zeigt gute elastische Eigenschaften.

Der vorliegenden Erfindung liegt als Aufgabe die Verwendung nichtätzbarer Polymeren zugrunde. Im besonderen findet ein spurenätzbares Copolymeres aus einem spurenätzbaren Polymeren · und einem nichtätzbaren Polymeren Verwendung.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher { beschrieben. i

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer zusammengesetzten -.Atiordnung, die ein Verfahren der Beschießung einer Copolyme- ^! renfolie mit geladenen Teilchen zeigt.

Fig. 2 ist eine vergrößerte Ausschnittsansicht der beschossenen j Copolymerenfolie der Fig. 1,nach dem die Beschießung in Luft j ausgeführt wurde. j

Fig. 3 ist eine Ansicht ähnlich der Fig. 2 und zeigt die Folie der Fig. 2, nachdem die spurenbildenden Teile des Copolymeren ausgeätzt wurden.

Fig. 4 ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht einer nach dem Verfahren der Fig. 1 erhaltenen Copolymerenfolie, die entweder im Vakuum oder unter Verwendung der Kollimation der Spaltungsteilchen erhalten wurde und im wesentlichen parallele Spuren zeigt.

Fig. 5 ist eine Ansicht ähnlich der Fig. 4 und zeigt die Folie der Fig. 4 nachdem die spurenbildenden Teile des Copolymeren ausgeätzt wurden.

Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht eines Teiles der Folie der Fig. 5.

909837/1542

ORIGINAL INSPECTS»

Fig. 7 ist eine Ansieht ähnlich der Fig. 6 und zeigt die Vertiefungen und Öffnungen ausgefüllt mit einem Fremdstoff.

Das vorliegende ätzbare Copolymere kann das nlchtätzbare Copolymere in einem großen Mengenbereich enthalten» Beispielsweise kann das Copolymere das nichtät'zbare Polymere in einer geringen Menge von im allgemeinen mindestens etwa Λ% enthalten, um gewisse Eigenschaften wie beispielsweise die Elastizität des ätzbaren Polymeren zu verändern. Auf der anderen Seite kann das ätzbare Copolymere das nichtätzbare Copolymere in einer überwiegenden Menge enthalten, solange das Copolymere selbst spurenätzbar bleibt. Im allgemeinen liegt die Höchstmenge des in dem Copolymeren enthaltenen nichtätzbaren Polymeren bei etwa 30%. Die genaue Zusammensetzung des ätzbaren Copolymeren hängt im wesentlichen von den jeweils vorgesehenen Eigenschaften ab.

! Die erfindungsgemäßen, ätzbaren Copolymeren können auf eine ! herkömmliche Weise erhalten werden und sind zahlreich im Handel

erhältlich. Ein typisches Beispiel eines derartigen Copolymeren ist ein Organopolysiloxan-Polykarbonat-Blockcopolymeres, j das im US Patent 3 I89 662 geoffenbart wird.

' Bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung wird das ätzbare ψ Copolymere mit Hilfe irgendeines der bekannten Verfahren vor der Beschießung in die vorgesehene Form gebracht. Für die meisten Verwendungszwecke wird es in die Form einer Folie gebracht. Die Stärke der Folie hängt wesentlich von ihrer letztliehen Verwendung und weiterhin davon ab, ob eine größere Anzahl von Vertiefungen oder öffnungen in der extrahierten Folie vorgesehen sind. Die Copolymerenfolie muß nur stark genug sein,

j um einen zusammenhängenden Film, im allgemeinen von etwa 1 ,um zu bilden. Es gibt keine Beschränkung der Höchstgrenze, was

die Stärke der Copolymerenfolie betrifft, wennrausschließlich Vertiefungen in der Folie ausgebildet werden eollen. Sollen in der Copolymerenfolie öffnungen gebildet werden, dann hängt « ihre Stärke von der Reichweite der zur Beschießung benutzten

909837/1542

ORIGINAL INSPECTED

geladenen Teilchen, der Ätzbarkeit des Copolymeren selbst und seiner spurenbildenden, beschädigten Teilen, ab. Für zahlreiche Copolymere und ihre Verwendungen kann die größte Stärke etwa bei 20,um oder größer liegen, wenn zur Bildung der Spur Spaltungsbruchstücke verwendet werden.

Ist das Copolymere elastisch, dann können stärkere Folien, d.h., im allgemeinen bis zu etwa 100 ,um verwendet werden. Ein derartiges Copolymeres kann auf eine geeignete Stärke gedehnt werden, d.h., auf eine Stärke, die sich für die Bildung von Öffnungen eignet, und dann im gedehnten Zustand beschossen werden. Die gedehntenm beschossenen Copolymeren können anschließend in gedehntem Zustand oder in ihren normalen ungedehnten Zustand entlang der Spuren aus beschädigtem Copolymeren geätzt werden.

Eine Öffnung in dem geformten Copolymeren wie sie hierin verstanden wird, ist ein Loch, das sich im wesentlichen geradlinig von der beschossenen Oberfläche bis zur gegenüberliegenden Oberfläche erstreckt. Auf der anderen Seite ist eine Vertiefung in dem geformten Copolymeren ein Loch, das in einer im wesentlichen geraden Linie von der beschossenen Oberfläche ausgeht und innerhalb des geformten Copolymeren endigt.

Es kann jedes Verfahren der Beschießung, das in der Copolymerenfolie die vorgesehenen Spuren herbeiführt, Anwendung finden. Das Verfahren kann in Luft oder im Vakuum ausgeführt werden. Vorgezogen werden Ionen und Partikel, die bündeiförmig erzeugt werden, wie beispielsweise Argon- und Säuerstoffionen und alpha-Teilchen, da sie in der Copolymerenfolie in Luft oder in Vakuum im wesentlichen gebündelte Spuren hervorrufen. Dagegen können Teilchen wie z.B. die Spaltungsbruchstücke von Uran 235 oder Californium 252 entweder nahezu gebündelte oder gestreute Spuren erzeugen. Eine verbesserte Bündelung kann in Luft bei Verwendung von Spaltungsbruchstücken dadurch erreicht werden, daß eine feste.Folie mit zahlreichen Öffnungen zwischen die beschießenden Teilchen und die Copolymerenfolie angeordnet wird, so daß ausschließlich im wesentlichen parallele Teilchen durchgelassen werden. 909837/1542

J * it*

Die Art der für die Beschießung der Copolymerenfolie verwendeten geladenen Teilchen hängt im wesentlichen von dem Ausmaß ab, mit dem sie Spuren von zerstörtem Copolymeren bilden, da einige Copolymere leichter beschädigt werden als andere. Spaltungsbruchstücke und Ionen , die schwerer sind als Sauerstoff, wie beispielsweise Argon bilden"in den meisten Copolymeren Spuren aus zerstörtem Copolymeren.

Sauerstoffionen sind bei Polymeren wie beispielsweise den PoIykarbonaten wirksam, während alpha-Teilchen bei Polymeren, die leichter beschädigt werden können, wie beispielsweise den Celluloseestern anwendbar sind.

Fig. 1 zeigt ein Verfahren der Beschießung der Copolymerenfolie mit geladenen Teilchen. Eine Schicht 11 aus Californium 252 auf einem Substrat 10 sendet Spaltbruchstücke aus,d.h., hochgeladene Teilchen, welche die Copolymerenfolie 12 beschießen. In Fig. 2 wird die beschossene Copolymerenfolie 12 gezeigt, nachdem die Beschießung in Luft durchgeführt wurde und es ist daraus zu sehen, daß die Teilchenspuren 13» in der Copolymerenfolie willkürlich verteilt sind, wobei zahlreiche Spuren durch die Folie hindurchgehen, während andere innerhalb der Folie endigen. Fig. 3 zeigt die Folie 12, nachdem ihre spurenbildenden Teile unter Zurücklassung von Vertiefungen 14 und hindurchgehenden Öffnungen 15 ausgeätzt wurden, d.h., die Öffnungen erstrecken sich von der beschossenen Oberfläche bis zur gegenüberliegenden Fläche.

Die beschossene Copolymerenfolie 16 der Fig. 4 wurde entsprechend dem Verfahren der Fig. 1 erhalten, nachdem die Beschießung im Vakuum oder in Luft unter Verwendung der Kollimation der

und Spaltbruchstücke durchgeführt wurde zeigt, daß die Spuren 17 nahezu parallel verlaufen. Fig. 5 zeigt die Folie 16, nachdem die spurenbildenden Teile des Copolymeren unter Zurücklassung von Vertiefungen 18 und Öffnungen 19, die sich von der bombardierten Oberfläche bis zur gegenüberliegenden Fläche erstrecken, ausgeätzt worden sind.

909837/1542 ORIGINAL INSPECTED

f ir

Das bombardierte, spurenenthaltende Copolymere ist insofern stabil, als seine spurenbildenden zerstörten Teile während der Lagerung nicht wieder geheilt werden. Es kann dashalb zu jeder geeigneten Zeit geätzt werden.

Das Verfahren der Ätzung kann zum Zwecke der Extrahierung der zerstörten Copolymerenteile auf eine herkömmliche Weise ausgeführt werden. Beispielsweise kann das spurenenthaltende Copolymere so lange in eine Lösung des Ätzmittels eingetaucht werden, bis das zerstörte Copolymere nahezu vollständig extrahiert ist. Zur Entfernung des Ätzmittels muß anschließend das zurückbleibende Copolymere mit Wasser abgespült werden.

Das zur Extraktion des zerstörten Copolymeren verwendete chemische Mittel darf das restliche Copolymere nicht stark angreifen. Im allgemeinen ist dieses Mittel eine Flüssigkeit. Das ' Jeweilige verwendete Mittel und seine Konzentration in Lösung hängt von der Extrahierbarkeit des zerstörten Copolymeren ab. ; Typische Mittel sind beispielsweise Fluorwasserstoffsäure, Natriumhydroxid, Kaliumhydroxid und Kaliumpermanganat. '

Die Struktur des geätzten Copolymeren hängt von zahlreichen Paktoren ab. Im allgemeinen weisen die Öffnungen und Vertiefungen nahezu gleichförmige Größe auf. Ihre Querschnitts- ; fläche hängt im wesentlichen vom letztlichen Verwendungszweck des Copolymeren ab. Im allgemeinen kann der Querschnittsdurchmesser etwa 5 A betragen. Der maximale Quersohnittsdurehmesser hängt von der Ätzbarkeit des Polymeren selbst ebenso wie von der des spurenbildenden zerstörten Copolymeren ab. Bei vielen Copolymeren kann bei Verwendung von Spaltungsbrtfoh-BtUoken die maximale Querschnittsausmessung etwa 3 χ 10 A betragen. Die Vertiefungen und Öffnungen können gebündelt oder nicht gebündelt sein, d.h., mit ihren longitudinal*» Achsen nahezu parallel angeordnet sein. Für die meisten Anwendungssweoke ist es vorzuziehen, wenn die Vertiefungen und Öffnungen gebündelt sind.

90983 7/1542 ^0RIGINAL INSPECTED

Sie erstrecken sich jedoch in allen Fällen nahezu geradlinig in das Copolymere hinein. Im einzelnen sind sie gerade oder sich leicht verjüngende Löcher, die sich von den, bei gedehntem Vykor und Erzeugnissen aus Filterpapier erhaltenen, charakteristischen ι gekrümmten Bahnen unterscheiden.

Im allgemeinen weisen die Öffnungen und Vertiefungen über ihre ganze Länge eine im wesentlichen gleichmäßige zylindrische Form auf. In manchen Fällen können die Vertiefungen und Öffnungen eine sich verjüngende oder abgestumpfte Kegelform oder eine Stundenglasform aufweisen, wenn die Ätzung in der Weise wirkt, P daß entlang der Linie der Spur eine konische Vertiefung herbeigeführt wird und das Ätzmittel mit nur einer Seite oder gleichzeitig mit beiden Seiten des Copolymeren in Berührung gebracht wird.

Nach Extraktion des spurenbildenden beschädigten Copolymeren können die Vertiefungen und öffnungen vergrößert werden, indem das Copolymere wiederum mit einem Ätzmittel in Berührung gebracht wird. Eine wiederholte oder ausgedehnte Ätzung kann auch dafür Anwendung finden, um starke Vertiefungen in Öffnungen zu verwandeln.

Das geätzte Copolymere der vorliegenden Erfindung weist zahl- W reiche Anwendungsmöglichkeiten auf. Zur Herstellung poröser Kontaktlinsen kann das Copolymere beispielsweise so hergestellt werden, daß es klar, bearbeitbar, leicht elastisch und nicht kratzend ist. Ein Beispiel eines derartigen Copolymeren ist ein PolyUarbont-Organosiloxancopolymeres, das das Polykarbonat in einer Menge von etwa 75# enthält. Schwere Ionen, d.h. Argon von etwa 10 MeV/Nukleon können ätzbare Spuren durch eine Linse von etwa 0,25 mm Stärke hervorrufen.

Das die Öffnungen enthaltende erfindungsgemäße Erzeugnis kann als Filter verwendet werden. Wenn der Filter schwach elastische Eigenschaften zeigt, kann er auf ein expandierbares Diaphragma aufgebracht werden, dessen Öffnungsdurchmesser durch Veränderung

909837/1542 i

des Durchmessers des Diaphragmas so geändert werden können, daß Gegenstände von nahezu gleichem Durchmesser getrennt werden können. Da dieser Filter reversibel expandierbar ist, kann er nach dem Filtrieren dadurch ausgewaschen werden, daß er in gedehntem Zustand mit unter Druck stehendem Wasser ausgespült wird. Der Filter kann auch in Richtung einer Achse gedehnt werden und ergibt dann elliptische Löcher, die besonders zur Trennung scheibenförmiger Stoffe geeignet sind.

Im besonderen können die erfindungsgemäß hergestellten Filter als Molekularsiebe, d.h. zur Trennung von Molekülen verschiedener Größe wie beispielsweise von Proteinen, Hochpolymeren und Viren verwendet werden. Außerdem können sie zur Wasserreinigung und als kalibrierte Leckstelle für Vakuumsysteme verwendet werden.

Das überwiegend Vertiefungen aufweisende Copolymere kann zur Kenntlichmachung von Teilchenverteilungen wie sie beispielsweise bei der Neutronen-Radiographie notwendig ist, verwendet werden.

Für gewisse Anwendungszwecke können die Vertiefungen und Öffnung gen des Copolymeren mit einem Fremdstoff 20 gefüllt werden, wie es Fig. 7 zeigt, d.h., mit einem Material, das sich vom Copolymeren unterscheidet. Das jeweilige Material hängt von den vorgesehenen Eigenschaften des Endproduktes ab. Beispielsweise können sie mit supraleitendem Material oder mit Eisenteilchen gefüllt werden und ergeben einbereichige ferromagnetische Folien. -

Sie können ebenfalls gefüllt werden, um sie für die Verwendung als Abbildungsflächen für Fernsehkameras brauchbar zu machen.

Wenn nicht anders festgestellt ist, sind alle Teile hierin als Teile vom Gewicht zu verstehen. Die Erfindung wird in den folgenden Beispielen näher erläutert.

909837/1542

" " 190A701 - ίο -

Die in den folgenden Beispielen verwendeten Copolymeren waren Polydimethylsiloxan-Polykarbonat-Blockcopolyrnere, die im wesentlichen nach US Patent 3 I89 662 hergestellt wurden. Das PoIykarbonat war das Kondensationsprodukt aus 2,2-Bis(4-hydroxyphenyl)-propan und Phosgen. Die Copolymerenfilme wurden aus einer Methylenchloridlösung, gegossen.

Die Öffnungen und Vertiefungen in den Copolymerenfolien der folgenden Beispiele wurden durch ein Hochleistungs-Mikroskop ausgemessen, das durch Betrachtung einer Skala mit Feinefreilung eingestellt worden war.

Beispiel 1

In diesem Beispiel wurde eine Block-Copolymerenfolie aus 65$ Polydimethylsiloxan und 25$ Polycarbonat mit einer Stärke von 8 um verwendet.

Die Beschießung wurde im Vakuum (1 mm Hg) ausgeführt. Eine Schicht aus Californium 252, die auf einer Platinscheibe aufgetragen war, diente zur Herstellung von Spaltstücken. Die Copolymerenfolie wurde im Abstand von etwa 5 cm (2 inch) von der Californium 252-Quelle 15 Min. lang angebracht und erhielt eine Bestrahlung von 10 /cm .

Anschließend wurde die Copolymerenfolie in eine 6 η Natriumhydroxidlösung, die auf einer Temperatur von 55 gehalten wurde, Minuten lang eingetaucht.

Die Folie wurde anschließend aus der Lösung entfernt, mit Wasser abgespült und getrocknet.

Durch die Natriumhydroxidlösung war die Stärke der Copolymerenfolie gleichmäßig um etwa 2 μπι vermindert worden. Die Copolymerenfolie zeigte zahlreiche im wesentlichen parallele und geradlinig verlaufende Öffnungen. Die Öffnungen meßen' etwa 20 000 A im Durchmesser. Die durch Zählung der Öffnungen pro cm unter einem Mikroskop bestimmte Porosität der Folie betrug etwa 0,1$.

_.,.. ...9.09837/1542

Die Folie zeigte gleichfalls zahlreiche Vertiefungen, die etwa einen Durchmesser von 20 000 A aufwiesen.

In den folgenden, in der Tabelle aufgeführten Beispielen 2, J> und 4 wurden die Copolymerenfolien mit Spaltungsbruchstücken bombardiert.

Beispiel Copolymeres Eigenschaften

2 65% Polydimethylsiloxan- glasklar

Polykarbonat sehr gummiartig

3 51% Polydimethylsiloxan- glasklar

Polykarbonat dehnbar

4 25% Polydimethylsiloxan- glasklar

15% Polykarbonat kratzfest

Die beschossenen Folien der Beispiele 2, 3* ^unä 4· wurden in eine 6,25 η 1

eingetaucht.

eine 6,25 η Natriumhydroxidlösung, die bei 80° gehalten wurde,

Nach 10 Minuten wurden die Folien aus der Ätzlösung entfernt, mit Wasser abgewaschen und getrocknet.

Jede Folie enthielt zahlreiche hohle Spuren.

Beispiel 5

Es wurde ein Copolymeres aus 65% Poiydimethylsiloxan und y^% Polycarbonat verwendet, daß eine Grenzviskositätszahl von 145 ml/g (intrinsic viscosity, 1.45 deciliters/gm) in Chloroform aufwies.

Die Copolymerenfolie war etwa 70 yum stark und hatte eine Abmessung von 2 am auf 2 cm. Sie w rde auf einem Dorn mit einer gleichmäßigen, in Richtung beider Achsen wirkenden Kraft auf eine Stärke von 15 ^m gedehnt und wie in Beispiel 1 mit Spaltungsbruchstücken beschossen . Anschließend wurde sie vom Dorn abgenommen, geätzt, ausgewaschen und getrocknet wie in Beispiel 1. Das geätzte Copolymere zeigte zahlreiche nahezu geradlinig und parallel verlaufende Öffnungen, die einen Durchmesser von etwa 20 000 A aufwiesen.

909837/1542

ORlGfNAt INSPECTED

Obenstehendes Verfahren wurde mit einer zweiten Copolymerenfolie der gleichen Zusammensetzung wiederholt, mit der Abwandlung, daß die Folie im gedehnten Zustand geätzt wurde. Das geätzte Copolymere zeigte in seinem gedehnten Zustand zahlreiche nahezu geradlinige parallele öffnungen, die etwa 20 000 A betrugen· Nach Entspannung maßen die Öffnungen JOOO A.

Die im gedehnten Zustand geätzte Folie zeigte eine rauhe Oberfläche, während die in entspanntem Zustand geätzte Folie ihre nahezu glatte Oberfläche beibehielt.

Beispiel 6

In diesem Beispiel wurde eine Copolymerenfolie mit einer überwiegenden Zahl von Vertiefungen hergestellt.

Es wurde dasselbe Verfahren wie in Beispiel 1 angewendet mit der Abwandlung, daß die Copolymerenfolie eine Stärke von 30/um aufwies.

Es wurde festgestellt, daß die erhaltene extrahierte Copolymerenfolie überwiegend Vertiefungen mit einem Querschnittsdurchmesser von etwa 20 000 A aufwies.

9 09837/1542" ORIGINAL INSPECTED

Claims (12)

1. Patentansprüche

   1 J Verfahren zur Herstellung eines Copolymerenkörpers,der Ver- · . tiefungen und Öffnungen aufweist, und dessen Eigenschaften j

   durch ein nichtätzbares Polymeres verändert sind, dadurch
   gekennzeichnet, daß die Oberfläche eines ge- j

   formten ätzbaren Copolymeren aus einem ätzbaren Polymeren und :

   einem nichtätzbaren Polymeren zur Erzeugung nahezu geradlini- ^!

   ger Spuren aus beschädigtem Copolymeren mit geladenen Teilchen
   beschossen wird und das geformte ätzbare Copolymere entlang
   der Spuren aus beschädigtem Copolymeren geätzt wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spuren aus beschädigtem Copolymeren

   ι überwiegend innerhalb des geformten Copolymeren endigen. ^:
3. 3· Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- {

   zeichnet, daß zahlreiche Spuren aus beschädigtem Copo* j

   lymeren sich von der beschossenen Oberfläche durch das geform- }

   te Copolymere hindurch zu der gegenüberliegenden Fläche er- i

   strecken. ■ I
4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das geformte Copolymere auf
   eine vorgesehene Stärke gedehnt und in diesem gedehnten Zustand mit geladenen Teilchen beschossen und geätzt wird.
5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das geformte Copolymere auf eine gewünsch- ι te Stärke gedehnt wird, im gedehnten Zustand mit geladenen
   Teilchen beschossen und nach seiner Entspannung geätzt wird.
6. 6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5* dadurch gekennzeichnet, daß das ätzbare Copolymere ein Polydlmethylsiloxan-Polykarbonat-Blockcopolymeres ist, in dem das PoIykarbonat durch Kondensation aus 2,2 Bis(4-hydroxyphenyl)-propan
   und Phosgen erhalten wurde. ■ ' '

   909837/15 42 , ORIGINAL INSPECTED
7. 7. Geformtes Copolymeres, dadurch gekennzeichnet, daß es Vertiefungen und Öffnungen aufweist, die sich nahezu geradlinig in das Copolymere erstrecken und

   einen Durchmesser von mindestens etwa 5 A aufweisen.
8. 8. Geformtes Copolymeres nach Anspruch 7* dadurch gekennzeichnet, daß diese Vertiefungen in überwiegender Anzahl vorliegen.
9. 9. Geformtes Copolymeres nach Anspruch 7 > dadurch gekennzeichnet, daß diese Öffnungen in überwiegender Anzahl vorliegen.
10. 10. Geformtes Copolymeres nach Anspruch 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß es elastisch ist.
11. 11. Geformtes Copolymeres nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß diese Öffnungen durch Dehnung in ihrer Form zu verändern sind.
12. 12. Geformtes Copolymeres nach Anspruch 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das ätzbare Copolymere ein Polydimethylsiloxan-Polykarbonat-Blockcopolymeres ist, in dem das Polykarbonat durch Kondensation von 2,2-Bis(4-Hydroxyphenyl>. propan und Phosgen erhalten wurde .

    13· Geformtes Copolymeres nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Fremdstoff diese Vertiefungen und Öffnungen ausfüllt.

    . ORIGINAL fNSPECTED

    9098377 1542