DE1774823C3 - Verfahren zur Herstellung einer strömungsgesteuerten Vorrichtung - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer strömungsgesteuerten VorrichtungInfo
- Publication number
- DE1774823C3 DE1774823C3 DE19681774823 DE1774823A DE1774823C3 DE 1774823 C3 DE1774823 C3 DE 1774823C3 DE 19681774823 DE19681774823 DE 19681774823 DE 1774823 A DE1774823 A DE 1774823A DE 1774823 C3 DE1774823 C3 DE 1774823C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- metal
- thin
- core
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 15
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 15
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 14
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 12
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000001119 stannous chloride Substances 0.000 claims description 3
- 229940013123 stannous chloride Drugs 0.000 claims description 3
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- FWPIDFUJEMBDLS-UHFFFAOYSA-L tin dichloride dihydrate Chemical compound O.O.Cl[Sn]Cl FWPIDFUJEMBDLS-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 22
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 11
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 4
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000122 Acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L Sulphite Chemical compound [O-]S([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 2
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L Copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OWZREIFADZCYQD-NSHGMRRFSA-N Deltamethrin Chemical compound CC1(C)[C@@H](C=C(Br)Br)[C@H]1C(=O)O[C@H](C#N)C1=CC=CC(OC=2C=CC=CC=2)=C1 OWZREIFADZCYQD-NSHGMRRFSA-N 0.000 description 1
- 241000272168 Laridae Species 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009924 canning Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- -1 nickel Alkane Chemical class 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000002195 soluble material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003319 supportive Effects 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
Die Krfiiuliing betrifft die Herstellung von strömungs
gesteuerten Vorrichtungen nach dem Oberbegriff des geltenden I lauptanspruchs, z. B. strömungsgesteuerten
logischen [-lementen und strömungsgesteuerten Verstärkern.
Die Phänomene, auf denen die Wirkungsweise
strömungsgesteuerter Vorrichtungen beruht, erfordern Durchlässe mit ziemlich verwickelten Formen und
kleinen Abmessungen, die in vielen Fällen hohen Anforderungen an die Genauigkeit entsprechen müssen,
s Solche strömungsgesteuerten Vorrichtungen können aus Kunststoffen hergestellt werden, was auch bereits
geschehen ist, wobei man aus der Tatsache Nutzen zieht,
daß die Methoden zur Verformung von Kunststoffen es erlauben, die Form einer Matrize verhältnismäßig billig
mit großer Genauigkeit zu wiederholen. Die Verwendung von Kunststoffen beschränkt jedoch die Anwendbarkeit
solcher Vorrichtungen auf Temperaturen, welche für die meisten Kunststoffe unter 100° C liegen
müssen und in der Praxis stets unter 2000C liegen. Wenn
die Vorrichtungen bei höherer Temperatur verwendet werden sollen, benötigt man zu ihrer Herstellung daher
Materialien, die höhere Temperaturen aushalten, insbesondere Metalle. In dem Buch »Fluidics« von
Humphrey, das 1965 in Boston erschienen ist, wird
auf den Seiten 87 und 88 bereits eine Methode zur Herstellung der Wandungen von strömungsgesteuerten
Vorrichtungen mit untereinander verbundenen Durchlässen beschrieben, bei welcher diese Durchlässe durch
sogenannte Elektroformierung gebildet werden, d. h.
durch Aufplattieren von Metall auf eine vorbereitete Oberfläche, von welcher das aufplattierte Metall dann
leicht ablösbar ist, z. B. erfolgt die Aufplattierung auf vorbereitete Oberflächen aus einem wachsartigen Kern
oder einem Kern aus Kunststoff.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines verbesserten Verfahrens zur Herstellung von strömungsgesteuerten
Vorrichtungen, die bei höheren Temperaturen bis zu 400° C betrieben werden können
und deren untereinander verbundenen Durchlässe Wandungen aus Metall aufweisen, welche durch
Niederschlagen von Metall auf einem Kern aus wachsartigem Material oder Kunststoff erzeugt werden.
Die Erfindung kennzeichnet sich dadurch, daß man auf den Kern eine dünne glatte elektrisch leitende Schicht
stromlos niederschlägt und auf diese Schicht dann Wandungsmetall nach einem anderen Verfahren auflagert.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Für Vorrichtungen, die bei Temperaturen wesentlich oberhalb 200° C betrieben werden sollen, wird vorzugsweise
Nickel für das Wandungsmetall verwendet. Wenn Kupfer als Material für die stromlose Metallisierung
verwendet wurde, wird die Kupferschicht abschließend durch Lösen entfernt, während bei Verwendung von
Nickel als Material für die stromlose Metallisierung der gebildete zusammengesetzte Körper zweckmäßig auf
eine Temperatur von etwa 400°C erhitzt wird; dieser Vorgang bewirkt eine Härtung der stromlos niedergeschlagenen
Nickelschicht, welche die Betriebsoberfläche der strömungsgesteuerten Vorrichtung bildet.
Obwohl bevorzugt die Niederschlagung der zweiten Metallschicht durch Elektroplattierung erfolgt, können
doch auch andere Niederschlagungsimethoden, einschließlich
der sogenannten Metallaufsprühung, angewendet werden.
Die erfindungsgemäße Methode kann auf zweierlei Wegen zur Erzeugung einer strömungsgesteuerten
Vorrichtung führen.
fts Bei einer Methode wird ein Körper aus Wachs oder
einem anderen leicht löslichen Material mit einer dem gewünschten Durchlaßsystem und seinem Außenanschluß
entsprechenden Form aufgehängt, und zwar
vorzugsweise mittels Drähten, welche mit einem Ende
in die Enden des Außenanschlusses hineinragen und axial daraus vorstehen; dieser Körper wird nach der
Metallniederschlagung dann durch Herausschmelzen oder Lösen entfernt, wobei die Lösung eine chemische
Reaktion einschließen kann.
Bei der anderen Methode wird eine das gewünschte Durchlaßsystem darstellende Kernstruktur in einem
Stück mit einer Unterlagsplatte hergestellt, von welcher die das Durchlaßsystem bildenden Kerne abstehen.
Obwohl auch hier das Material Wachs sein kann, verwendet man vorzugsweise doch einen Kunststoff,
z.B. ein Epoxidharz oder vorzugsweise sogenannten A-BÄ-Kunststoff, was ein Acrylnitril-Butadien-Styrolmischpolymerisat ist, das sich als besonders vorteilhaft
erwiesen hat, wenn durch die stromlose Niederschlagung eine Kupferschicht aufgebracht werden soll.
Nachstehend wird für jede Methode ein Beispiel gegeben.
Zur Herstellung des Durchlaßsystems eines strömungsgesteuerten Elements wird ein dem gewünschten
Durchlaßsystem und seinen Außenanschlüssen entsprechender Kern aus Wachs oder einem ähnlichen Material
hergestellt, welcher leicht durch Herausschmelzen oder Lösen entfernbar ist; dieser wird mit einem stützenden
Draht versehen, weicher in der Strömungsrichtung in die die Außenanschlüsse bildenden Kernteile eindringt.
Diese Kernstruktur wird dann für die stromlose Nickelplattierung aufnahmefähig gemacht, indem man
sie zuerst mit ein Netzmittel enthaltender Stannochloridlösung und dann nach einem Waschvorgang mit einer
Palladiumchloridlösung behandelt und anschließend wieder wäscht Dann wird der Kern nickelplattiert,
indem man ihn in eine der handelsüblichen, eine stromlose Nickelplattierung ergebenden Flüssigkeiten
eintaucht, z. B. die als Canning's Elektrolyte Nickel oder
Alkan Elektrolyte Nickel bekannten Flüssigkeiten. Nachdem so eine dünne Nickelschicht auf dem Wachs
oder dem anderen Material der Kernstruktur niedergeschlagen wurde, wird der Kern in einen Elektroplattierungsbehälter gebracht, und es erfolgt eine Elektroplattierung von Nickel aus einer Nickelsulfonatlösung auf
der dünnen durch stromlose Nickelniederschlagung erhaltenen Nickelschicht, und zwar so lange, bis die
Dicke des aufgebrachten Nickels eine ausreichende mechanische Festigkeit gewährleistet. Danach wird der
Stützdraht und das Kemniaterial entfernt, im Falle von
Wachs durch Herausschmelzen. Nach Entfernung des Stützdrahtes und der Kerne, in der Regel durch
Schmelzen, besitzt man eine strömungsgesteuerte Vorrichtung in Form von miteinander verbundenen
rohrförmigen Durchlässen. Diese Vorrichtung kann entweder als solche verwendet oder in einen geeigneten
Trägerkörper eingebracht werden, welch letzterer z. B. durch Metallaufsprühung erhalten werden kann.
Aus einem A.B.S.-Kunststoff wird ein das Durchlaßsy- <,0
stern einer gewünschten strömungsgesteuerten Vorrichtung darstellender Kernkörper in einem Stück mit einer
Unterlagsplatte hergestellt. Die Metallniederschlagung erfolgt dann sowohl auf der Oberfläche der ebenen
Unterlagsplatte als auch auf den die Durchlässe ns bildenden Kernteilen. Diese Niederschlagung erfolgt in
zwei Stufen, ähnlich wie in Beispiel I, jedoch mit der Ausnahme, daß durch die stromlose Plattierung eine
Kupferschicht aufgebracht wird, wofür eine Plattierungslösung Verwendung Findet, die 5 g Kupfersulfat,
5 g Ätznatron, 25 g Rochellesalz und 10 ecm 37—41% w/v Formaldehyd pro Liter Wasser enthalten kann; bei
der folgenden Elektroplattierung wird wie in Beispiel I auf der durch die stromlose Plattierung erhaltenen
Schicht Nickel niedergeschlagen. Das so erhaltene Produkt ist ein verhältnismäßig starrer Körper, welcher
dann von der Kernstruktur abgenommen wird und bei welchem in dieser Verfahrensstufe die Durchlässe an
der Oberseite noch offen sind. Dieser Körper wird dann mit verdünnter Salpetersäure zur Herauslösung des
Kupfers behandelt, und die Durchlässe werden dann mit Wachs oder einem löslichen Kunststoff bis zur Ebene
der durch die Unterlage gebildeten ebenen Oberfläche gefüllt, und durch eine weitere Niederschlagung wird
sowohl auf der durch die ebenen Teile des ursprünglichen Körpers gebildeten Oberfläche als auch auf der
Oberfläche der Wachs- oder Kunststoffüllung eine weitere Nickelschicht gebildet, die so dick gemacht
wird, daß sie die zu erwartenden Innendrücke der Vorrichtung aushält Wenn zum Füllen der Durchlässe
ein nichtleitendes Material verwendet wird, erfolgt diese Niederschlagung vorzugsweise so daß man zuerst
eine dünne Nickel- (oder Kupfer-)schicht stromlos niederschlägt und dann darauf eine dickere Nickel-(oder Kupfer-)schicht aufbringt, wobei die dickere
Schicht vorzugsweise durch Elektroplattierung aufgebracht wird.
Die der Elektroplattierung vorausgehende stromlose Niederschlagung einer anfänglichen Metallschicht kann
in diesem Stadium dann unterbleiben, wenn man zum Füllen der Durchlässe ein Material mit ausreichender
elektrischer Leitfähigkeit verwendet, das trotzdem leicht entfernbar ist. Ein geeignetes leitendes Füllmaterial erhält man durch Vermischen von etwa 95
Gewichtsteilen Aluminiumstaub mit etwa 5 Teilen Wachs, wobei das optimale Mischungsverhältnis am
besten experimentell festgestellt wird, da es etwas je nach der Teilchengröße und -form des Aluminiumstaubs
variiert. Die freiliegende Oberfläche des Füllmaterials wird zweckmäßig vor der anschließenden Elektroplattierung geläppt, und zwar mittels eines feinkörnigen
Siliziumcarbidpapiers.
Nach beendeter Bildung der den Querschnitt der Durchlässe vervollständigenden Metallschicht wird das
Füllmaterial herausgeschmolzen oder herausgelöst; im Falle der Aluminiummischung wird das Aluminium in
einer alkalischen Flüssigkeit, z. B. einer Ätznatronlösung, gelöst. Anschlüsse nach außen, welche durch die
zuletzt hergestellte flache Nickelschicht hindurchgehen, können erhalten werden, indem man sie nach Bildung
der Schicht bohrt, es sei denn, sie wurden während der Bildung der Schicht durch Verwendung von aus dem
Innern der Durchlässe herausstehenden Kernen gebildet.
Zur Erhöhung der Steifigkeit der Vorrichtung kann die ebene Oberflächenschicht, welche die ursprünglich
mit offenen Rinnen versehenen Durchlässe bedeckt, mechanisch durch eine Unterlagsplatte aus Metall
verstärkt werden, die mit der äußeren ebenen Oberfläche dieser Schicht verlötet wird. Die Unterlagsplatte kann in üblicher Weise mit öffnungen
versehen sein, welche mit den öffnungen der Außenan Schlüsse der strömungsgesteuerten Vorrichtung in
Verbindung stehen.
Die in den Beispielen beschriebenen Einzelheiten können innerhalb des Rahmens der Erfinfung abgeän-
dert werden. So kann in Beispiel I der Bildung der durch
Elektroplattierung aufgebrachten Nickelschicht eine stromlose Kupferplattierung vorangehen, wobei das
Kupfer vorzugsweise anschließend durch Lösen wieder entfernt wird, um so die bessere Wärmfbeständigkeit
des durch Elektroplattierung aufgebrachten Nickels ausnutzen zu können. Andererseits kann die stromlos
niedergeschlagene Kupferschicht in Beispiel II durch eine -elektrisch aufplattierte Nickelschicht ersetzt
werden, in welchem Falle der nach Aufbringung einer weiteren Nickelschicht durch Elektroplattierung erhaltene Körper vorzugsweise auf etwa 4000C erhitzt wird,
um die durch stromlose Plattierung gebildete Nickelschicht zu härten.
Die Verwendung von Kupfer anstelle von Nickel als Metall zur Bildung einer anfänglichen Schicht durch
stromlose Niederschlagung besitzt den Vorteil, daß diese Niederschlagung bei Raumtemperatur erfolgen
kann, wodurch eine Wärmeverformung der Kernstruktur vermieden wird.
Obwohl bei der zweiten Methode bevorzugt A.B.S.-Kunststoff für den Kern, auf welchem die Metallschichten gebildet werden, im allgemeinen verwendet wird,
hat sich doch auch Epoxidharz als geeignet erwiesen. Auch Wachs kann verwendet werden; die Verwendung
von Kunststoff, vorzugsweise von Epoxidharz oder A.B.S.-Kunststoff für den Kern, auf welchem die
Niederschlagung erfolgt, besitzt jedoch gegenüber der Verwendung eines Wachskernes den Vorteil, daß das
Harz oder der Kunststoff aufnahmefähiger für die
stromlose NickelplattieruRg gemacht werden kann,
indem man zuerst mit ein Netzmittel enthaltender Stannochloridlösung und dann nach einer Waschung mit
einer Palladiumchloridlösung behandelt und anschlie-
Bend wieder wäscht. Der Körper kann dann in ein
sogenanntes stromloses Nickelplattierungsbad, das Phosphor enthält, eingetaucht und abschließend mit
Nickel, vorzugsweise aus einer Nickelsulfonatlösung, elektroplattiert werden.
Im Gegensatz dazu muß ein Wachskörper für die Plattierung durch einen Silber- oder anderen Metallanstrich vorbereitet werden, damit eine stromlose
Nickelplattierung oder Elektroplattierung erfolgen kann. Dieser Metallanstrich ergibt eine Oberfläche, die
,5 etwas schlechter ist als die durch stromlose Nickelplattierung auf einer Oberfläche eines Epoxidharzkörpers
od;r A.B.S.-Kunststoffkörpers erhaltene, wobei letzterer lediglich chemisch auf die beschriebene Weise
behandelt worden war.
Obwohl Nickel wegen seiner ausgezeichneten Wärmebeständigkeit das bevorzugte Material für die
Herstellung erfindungsgemäßer strömungsgesteuerter Vorrichtungen ist, können gegebenenfalls doch auch
andere Metalle verwendet werden. So kann bei mäßigen
Temperaturen Kupfer Verwendung finden, wenn eine
hohe Wärmeleitfähigkeit erfordert wird, während die Verwendung von Legierungen mit besonders guter
Korrosionsbeständigkeit für die Verwendung bei selbst für Nickel zu hohen Temperaturen geeignet erscheint
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung einer strömungsgesteuerten
Vorrichtung mit untereinander verbundenen Durchlässen, deren Wandungen aus Metall
bestehen, wobei diese Wandungen durch Niederschlagen von Metall auf einem Kern aus wachsartigem
Material oder Kunststoff erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß man auf den
Kern eine dünne glatte elektrisch leitende Schicht stromlos niederschlägt und auf diese Schicht dann
Wandungsmetall nach einem anderen Verfahren auflagert
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Kern vor Aufbringung der dünnen Metallschicht zuerst mit Stannochlorid und dann mit
Palladiumchlorid behandelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandungsmetall durch
Elektroplattierung auf der dünnen Schicht niedergeschlagen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das die dünne glatte Schicht
durch chemische Nickelabscheidung gebildete und dann auf dieser dünnen Schicht weiteres Nickel
durch Elektroplattierung niedergeschlagen wird, und daß der aus der dünnen Schicht und dem
elektrisch aufplattierten Nickel bestehende Körper nach Abtrennung von dem Kern auf eine Temperatur
von etwa 400° C erhitzt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne glatte Schicht durch
chemische Kupferabscheidung gebildet und auf dieser dünnen Schicht dann Nickel elektrisch
aufplattiert wird, und daß nach Trennung des so erhaltenen Zweimetallkörpers von dem Kern dann
die dünne Kupferschicht aufgelöst wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kern verwendet
wird, bei welchem der den Durchlässen entsprechende Körper mit einer Unterlagsplatte ein Ganzes
bildet, daß die Auflagerung von Wandungsmetall auf die stromlos niedergeschlagene dünne Metallschicht
bis zur Bildung eines freitragenden Metallkörpers fortgeführt wird, in welchem die untereinander
verbundenen Durchlässe vorhanden, jedoch auf Höhe der Unterlagsplatte noch offen sind, daß man
dann, nach Trennung dieses Metallkörpers bis zur Oberfläche des auf der Unterlagsplatte abgelagerten
Metalls mit einem verflüssigbaren Material füllt und dann auf der durch diese Oberfläche und das die
miteinander verbundenen Durchlässe füllende Material gebildeten Fläche eine Wandungsmetallschicht
der für die obere Abschlußwandung gewünschten Dicke aufbringt, und daß man dann schließlich das
die Durchlässe füllende Material durch Verflüssigungentfernt.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB4325867A GB1249972A (en) | 1967-09-22 | 1967-09-22 | Improvements in or relating to fluidics devices |
GB4325867 | 1967-09-22 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1774823A1 DE1774823A1 (de) | 1971-11-04 |
DE1774823B2 DE1774823B2 (de) | 1977-06-16 |
DE1774823C3 true DE1774823C3 (de) | 1978-02-09 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3019804A1 (de) | Verfahren zur rueckgewinnung von metallen aus loesungen und dafuer geeignete vorrichtung. | |
DE3012999C2 (de) | Bad und Verfahren zur galvanischen Abscheidung von hochglänzenden und duktiler Goldlegierungsüberzügen | |
DE1496917A1 (de) | Elektrolytbaeder sowie Verfahren fuer die Herstellung galvanischer UEberzuege | |
DE2316115A1 (de) | Buersten fuer elektrische maschinen | |
DE1017000B (de) | Bad und Verfahren fuer die elektrolytische Abscheidung von Kupferueberzuegen | |
DE2240853A1 (de) | Verfahren zum verbinden einer zur herstellung einer leiterplatte geeigneten metallschicht mit einer biegsamen dielektrischen unterlage | |
DE2747955A1 (de) | Verfahren zum elektrolytischen beschichten von metallischen gegenstaenden mit einer palladium-nickel- legierung | |
DE2262429A1 (de) | Verbesserte stuetzflaeche | |
DE1774823C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer strömungsgesteuerten Vorrichtung | |
DE1590530B1 (de) | Verfahren zur herstellung von mikrowellenbauteilen | |
DE2211439A1 (de) | Goldbad | |
DE1774823B2 (de) | Verfahren zur herstellung einer stroemungsgesteuerten vorrichtung | |
DE1920585A1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines mit Loetmittel ueberzogenen,elektrisch leitenden Elementes | |
DE1239159B (de) | Bad und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Palladiumueberzuegen | |
DE2436700A1 (de) | Katalysator zur kontaktreduktion von stickstoffgasen und verfahren zu dessen herstellung | |
DE2618638C3 (de) | Galvanisches Bad und Verfahren zur Abscheidung von Überzügen aus Zinn-enthaltenden Legierungen | |
DE1771450A1 (de) | Metallisches fadenfoermiges Netzwerk und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE1167726B (de) | Verfahren zur Herstellung von Kupferplattierungen auf begrenzten Flaechenbereichen keramischer Koerper | |
DE1496984A1 (de) | Verfahren zum Herstellen gedruckter Schaltungen nach der Aufbaumethode | |
DE1912562A1 (de) | Verfahren zum Herstellen zusammengesetzter Gegenstaende | |
DE2439656C2 (de) | Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung einer Zinn-Nickel-Legierung | |
DE965462C (de) | Galvanoplastisches Verfahren zur Herstellung von Press- und Spritzgussformen fuer Zahnraeder aus Kunststoff oder Metall | |
DE2550952C3 (de) | Verfahren zur galvanoplastischen Serienherstellung von Raketenbrennkammer- oder -schubdüsenteilen | |
DE1949278C3 (de) | Verfahren zur Vorbehandlung von Kunststoffteilen für das chemische und galvanische Metallisieren auf Gestellen | |
AT233652B (de) | Gedruckter, elektrischer Schalter |