DE1761170B1 - Foto-Zeichenkopf mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage - Google Patents
Foto-Zeichenkopf mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen ZeichenunterlageInfo
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Foto-Zeichenkopf mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen
Zeichenunterlage, wobei während der Relativbewegung zwischen Foto-Zeichenkopf und Zeichenunterlage
eine Belichtung der Unterlage erfolgt und eine Lichtquelle über einen faseroptischen Lichtleiter
mit einer Projektionseinrichtung verbunden ist und ein steuerbares, die Größe des Lichtstromes beeinflussendes
Organ vorgesehen ist.
Es ist bereits ein Foto-Zeichenkopf bekannt, bei welchem die Beleuchtungsstärke des auf die Zeichenunterlage
projizierten Lichtpunktes abhängig von der Relativgeschwindigkeit zwischen Zeichenkopf und
Zeichenunterlage mittels eines im Strahlengang angeordneten, als Filter ausgebildeten Organs geändert
wird (USA.-Patentschrift 3 330 182).
Um einwandfreie Zeichnungen auf der fotoempfindlichen Unterlage zu erhalten, muß die Beleuchtungsstärke
(Helligkeit) des projizierten Lichtpunktes in Abhängigkeit von der Geschwindigkeit der gegeneinander
verfahrenden Teile (Kopf und Unterlage) geändert werden können. Je größer diese Geschwindigkeit
ist, um so größer muß auch die Beleuchtungsstärke des Lichtpunktes sein, da mit größer werdender
Geschwindigkeit die effektive Belichtungszeit eines Flächenelementes der Unterlage geringer wird. Bei
Verringerung der Geschwindigkeit wird die effektive Belichtungszeit eines Flächenelementes der Unterlage
größer, und die Beleuchtungsstärke muß entsprechend kleiner werden bei geringerer Geschwindigkeit.
Im Prinzip ist es auch möglich, die Lichtstärke der für den Kopf vorhandenen Lichtquelle (Lampe) zu
ändern, indem deren Speisespannung in Abhängigkeit von der Geschwindigkeit der gegeneinander verfahrenden
Teile beeinflußt wird (USA.-Patentschrift 3 330 182).
Moderne Zeichenkopf und Zeichenunterlage aufnehmende Zeichenmaschinen haben nun jedoch hochdynamische Antriebe, die es erforderlich machen, daß
die Lichtstärke von Null bis zum Maximum in etwa 10 ms veränderbar sein muß. Infolge der Wärmekapazität
der Leuchtwendel der Lampe wird bei einer Lampensteuerung die geforderte Dynamik nicht
erreicht. Auch Ausbildungen mit einem Graukeil zwischen Lichtquelle und dieser zugeordnetem Kondensor
haben zu große Masse und Trägheitsmoment, so daß nicht die geforderten Stellzeiten erreicht werden.
Gleiches gilt für automatisch gesteuerte Irisblenden.
Die Eigenzeit der Helligkeitsregelung muß also geringer als die Zeitkonstante der Antriebe der
Zeichenmaschine sein.
Die gegenseitige Lageänderung von Zeichenkopf und Zeichenunterlage erfolgt durch ein vorgegebenes
Programm, welches auch vorgibt, mit welcher Geschwindigkeit gezeichnet werden soll. Die Lichtstärke
der Lichtquelle bzw. die Beleuchtungsstärke in der Bildebene der Zeichenunterlage muß zu jedem Zeitpunkt
proportional der Geschwindigkeit sein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Foto-Zeichenkopf mit hochdynamischer Helligkeitssteuerung
zu schaffen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Beeinflussung des Lichtstromes am Eingang
des faseroptischen Lichtleiters durch Beleuchtung von mehr oder weniger Fasern erfolgt.
Einer weiteren Ausbildung entsprechend wird vom am Lichtausgang des Lichtleiters austretenden Licht
ein Signal abgeleitet, welches mit einem aus der Geschwindigkeit des bewegten Teiles (Zeichenkopf
und/oder Zeichenunterlage) und aus der Lichtdurchtrittsfläche des jeweils gewählten Symbols abgeleiteten
Signal verglichen wird, wobei die Abweichung das dem Lichteingang des Lichtleiters zugeordnete
Organ steuert.
Einer weiteren Ausbildung entsprechend ist im Kopf nur der Lichtausgang des Lichtleiters und die
ίο von diesem mit Licht gespeiste Projektionseinrichtung
angeordnet, während sich die Lichtquelle mit einer zweiten, von dieser gespeisten Projektionseinrichtung
mit dem dem Lichteingang des Lichtleiters zugeordneten Organ außerhalb des Kopfes befindet.
Zweckmäßig hat das Faserbündel am Eingang des Lichtleiters rechteckförmigen und am Ausgang kreisförmigen
Querschnitt. Zweckmäßig betätigt das Organ eine Blende, die als Verschluß dient.
Die Erfindung wird an Hand eines in der Zeichao nung schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles
näher erläutert. Der Zeichenkopf besteht aus einer Projektionseinrichtung 1, an welche über einen Lichtleiter
9 eine zweite Projektionseinrichtung 2 angeschlossen ist.
Die Projektionseinrichtung 2 besteht aus einer Lichtquelle 3, einem Kondensor 4 und einem Objektiv
6. Die Projektionseinrichtung 2 hat den Zweck, möglichst viel Licht der Lichtquelle 3 gleichmäßig
auf den Lichteingang 18 des Lichtleiters 9 zu fokussieren. Dem Lichteingang 18 des Lichtleiters 9 ist
eine Blende 7 zugeordnet, welche durch ein Organ 8 betätigbar ist.
Die Projektionseinrichtung 1 besteht aus einem dem Lichtausgang 19 des Lichtleiters 9 zugeordneten
Kondensor 10, einem teildurchlässigen Spiegel 11, einem weiteren Kondensor 12, einem Symbolspeicher
13 und einem Objektiv 14. Dem teilduchlässigen Spiegel 11 ist eine Linse 16 und eine Fotodiode 17
zugeordnet.
Mit 15 ist eine fotoempfindliche Zeichenunterlage bezeichnet, die auf einem nicht weiter dargestellten
Koordinaten-Zeichentisch aufgespannt ist.
Die Austrittspupille des Kondensors 4 der Projektionseinrichtung 2 wird auf dem Lichteingang 18 des
Lichtleiters 9 abgebildet, so daß ein großer Lichtanteil der Quelle 3 in den Lichtleiter 9 gelangt. Wie
weiter unten noch genauer erläutert wird, kann die dem Lichteingang 18 zugeordnete Blende 7 mehr oder
weniger in den Öffnungsquerschnitt des Lichtleiters 9 hereingeschoben werden. Der durch die Blende 7 freigegebene
Querschnitt des Lichteinganges 18 ist ein Maß für den in den Lichtleiter 9 gelangenden
Lichtstrom, welcher am Lichtausgang 19 des Lichtleiters 9 zur Projektion der Symbole des Symbolträgers
13 auf der Zeichenunterlage 15 zur Verfügung steht.
Die Fasern des Lichtleiters 9 sind nur an seinen Enden 20 fest verklebt und gefaßt, während sie zwischen
diesen Enden willkürlich angeordnet sind. Dies hat den Vorteil, daß durch die Blende 7 auch ein
halbkreisförmiger Querschnitt des Lichteinganges 18 freigegeben werden kann, ohne daß am Lichtausgang
19 ebenfalls nur eine halbkreisförmige Ausleuchtung erfolgt. Vielmehr ergibt sich ein praktisch gleichmäßig
leuchtender Lichtausgang 19, da die leuchtenden Lichtleitfasern statistisch über den ganzen
Querschnitt des Lichtausgangs 19 verteilt sind. Die Wirkung kann durch Anbringung eines nicht weiter
dargestellten Lichtleitstabes am Ausgangsende 20 des Lichtleiters 9 weiter verbessert werden.
Der Lichtausgang 19 stellt eine »Lichtquelle« dar, die in ihrer Lichtstärke durch Betätigung der Blende 7
am Lichteingang 18 des Lichtleiters 9 verändert werden kann.
Die Symbole des Symbolträgers 13 werden durch das Objektiv 14 auf der fotoempfindlichen Zeichenunterlage
abgebildet.
Wie bereits oben angedeutet, besteht der eigentliehe
Zeichenkopf nur aus der Projektionseinrichtung 1 und gegebenenfalls Linse 16 mit Fotodiode
17, wobei in diesen Kopf nur das Lichtausgangs-Ende 20 hineinragt. Die Projektionseinrichtung 2 mit
dem Blendenbetätigungsorgan 8 ist außerhalb des Zeichenkopfes angeordnet. Für die genannten Elemente
2 und 8 kann ein praktisch beliebiger Ort gewählt werden, da der Lichtleiter 9 flexibel ist und
verschiedene Längen haben kann.
Die Helligkeitssteuerung erfolgt in folgender Weise.
Durch den zwischen den Kondensoren 10 und 12 angeordneten teildurchlässigen Spiegel 11 wird ein
Teil des Lichtes aus dem Hauptstrahlengang ausgeblendet und über die Linse 16 auf die Fotodiode 17
fokussiert. Am Ausgang 17' der Fotodiode tritt ein Ist-Signal auf. Das Ist-Signal der Fotodiode 17 ist
an einen Eingang 22 einer aus den Widerständen 24, 25 und 26 bestehenden Summierschaltung 21
geführt.
Ein am Eingang 23 der Summierschaltung 21 auftretendes Soll-Signal wird aus einem Geschwindigkeits-Digital/Analog-Umsetzer
31, der den nicht weiter dargestellten Antrieben der Zeichenmaschine zugeordnet ist, und einem von der numerischen
Steuerung 32 ausgegebenen Korrektursignal abgeleitet, welches die Lichtdurchtrittsfläche des jeweils
gewählten Symbols (Symbolträger 13) berücksichtigt. Das geschwindigkeitsabhängige Signal des Umsetzers
31 und das Symbol-Korrektursignal der numerischen Steuerung 32 steuern ein Koppelglied 30 an, dessen
Ausgang mit dem Eingang 23 der Summierschaltung 21 verbunden ist.
Der Summierpunkt 27 der Summierschaltung 21 ist an den Eingang eines Operationsverstärkers 28 geschaltet,
dessen Ausgang 29 an das die Blende 7 betätigende Organ 8 geführt ist.
Als Programmträger für die numerische Steuerung
32 kann beispielsweise ein Lochstreifen 33 dienen. Am Eingang des Operationsverstärkers 28 wird
das an der Summierschaltung 21 liegende Soll-Signal mit dem anliegenden Ist-Signal verglichen. Die jeweils
auftretende Differenz steuert den Operationsverstärker 28 aus, welcher wiederum das Organ 8 und
damit die Blende 7 betätigt.
Am Eingang 23 der Summierschaltung 21 tritt also ein von der Verfahrgeschwindigkeit abhängiger Sollwert auf, wobei der Widerstand 24 der Bewertungswiderstand
für die Sollspannung ist, während am Eingang 22 der Summierschaltung 21 der Istwert auftritt,
wobei der Widerstand 26 der Bewertungswiderstand für den Strom der Fotodiode 17 ist und der
Widerstand 25 der Bewertungswiderstand für die aus dem Fotodiodenstrom gewonnene Istspannung.
Die Lichtstärke am Lichtausgang 19 des Lichtleiters 9 entspricht stets dem vorgegebenen, von der
Geschwindigkeit und dem gewählten Symbol abhängigen Sollwert.
Für die Ausbildung der Blende 7 und deren Betätigung durch das Organ 8 gibt es mehrere Möglichkeiten.
Die Blende 7 kann beispielsweise die Drehspule eines Drehspulsystems sein, wobei die Drehspule
eine Fahne trägt. Die Drehspule ist mit dem Ausgang 29 des Operationsverstärkers 28 verbunden. Entsprechend
der Aussteuerung des Verstärkers 28 wird über die Winkelbewegung der Drehspule die an dieser
befestigte Fahne in den Lichteingang 18 des Lichtleiters 19 eingeschwenkt.
Zur Betätigung der Blende 7 kann auch eine Tauchspule eines elektrodynamischen oder permanentdynamischen
Systems herangezogen werden. Die Tauchspule ist beispielsweise ebenfalls mit einer
Fahne als Blende versehen, die entsprechend der auftretenden Abweichung von Soll- und Istwert mehr
oder weniger den Lichteingang 18 des Lichtleiters 19 abdeckt.
Die Blende 7 muß nicht unbedingt als Fahne ausgebildet sein. Wie nicht weiter dargestellt, kann der
Strahlengang zwischen dem Objektiv 6 und dem Lichteingang 18 des Lichtleiters 9 über einen Spiegel
eines Schleifenmeßwerkes (Oszillographenschleife) gelenkt werden, wobei durch die Drehung des Spiegels
bei auftretenden Abweichungen von Soll- und Istwert das Bild der Projektionseinrichtung 2 mehr
oder weniger in den Öffnungsquerschnitt des Lichteinganges 18 eingeblendet wird. Der Ausschlag des
Spiegels für die Strahlablenkung kann sehr klein gemacht werden, so daß sich eine sehr kleine Stellzeit
und damit hohe Dynamik ergibt.
Da die Verstellzeit der Blende sehr kurz ist, kann die Blende selbst auch als Verschluß dienen. Eine
lineare Beziehung zwischen der Auslenkung der Blende 7 (Fahne) und dem in den Lichtleiter 9 eintretenden
Lichtstrom wird erzielt, indem das Faserbündel am Lichteingang 18 einen rechteckförmigen
Querschnitt hat. Der Querschnitt des Lichtausgangs 19 ist zweckmäßig kreisförmig. Bei einer solchen
Gestaltung der Ein- und Ausgänge des Lichtleiters 9 kann die Ausbildung auch so gewählt werden, daß
der Regelkreis entfällt und die Helligkeitssteuerung beispielsweise mittels eines digitalisierten Blendenbetätigungsorgans
8 (Schrittmotor) erfolgt.
Claims (5)
1. Foto-Zeichenkopf mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage,
wobei während der Relativbewegung zwischen Foto-Zeichenkopf und Zeichenunterlage eine Belichtung
der Unterlage erfolgt und eine Lichtquelle über einen faseroptischen Lichtleiter mit
einer Projektionseinrichtung verbunden ist und ein steuerbares, die Größe des Lichtstromes beeinflussendes
Organ vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Beeinflussung des
Lichtstromes am Eingang (18) des faseroptischen Lichtleiters (9) durch Beleuchtung von mehr oder
weniger Fasern erfolgt.
2. Foto-Zeichenkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vom am Lichtausgang
(19) des Lichtleiters (9) austretenden Licht ein Signal (17) abgeleitet wird, welches mit einem
aus der Geschwindigkeit des bewegten Teiles (1 und/oder 15) und aus der Lichtdurchtrittsfläche
des jeweils gewählten Symbols (13) abgeleiteten Signal (23) verglichen wird, wobei die
Abweichung (29) das Organ (8) steuert.
3. Foto-Zeichenkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Kopf nur der Lichtausgang
(19) des Lichtleiters (9) und die von diesem mit Licht gespeiste Projektionseinrichtung
(1) angeordnet ist, während sich die Lichtquelle (3) mit einer zweiten, von dieser gespeisten Projektionseinrichtung
(2) mit dem dem Lichteingang (18) des Lichtleiters (9) zugeordneten Organ (8) außerhalb des Kopfes befindet.
4. Foto-Zeichenkopf nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Faserbündel
am Eingang (18) des Lichtleiters (9) rechteckförmigen und am Ausgang (19) kreisförmigen Querschnitt
hat.
5. Foto-Zeichenkopf nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Organ (8) eine
Blende betätigt, die gleichzeitig als Verschluß dient.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Priority Applications (4)
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CH349969A CH486043A (de) | 1968-04-10 | 1969-03-08 | Foto-Zeichenkopfanordnung mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage |
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GB1257104D GB1257104A (de) | 1968-04-10 | 1969-04-10 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19681761170 DE1761170B1 (de) | 1968-04-10 | 1968-04-10 | Foto-Zeichenkopf mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage |
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Publication Number | Publication Date |
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DE1761170B1 true DE1761170B1 (de) | 1971-05-13 |
Family
ID=5696421
Family Applications (1)
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Country Status (4)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EGA | New person/name/address of the applicant | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |