CH486043A - Foto-Zeichenkopfanordnung mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage - Google Patents

Foto-Zeichenkopfanordnung mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage

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CH486043A
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CH
Switzerland
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exposing
symbols
photosensitive
photo
head arrangement
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Application number
CH349969A
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English (en)
Inventor
Wolfgang Dipl Ing Pabst
Peter Dipl Ing Brembs
Original Assignee
Licentia Gmbh
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
    • G03F7/704—Scanned exposure beam, e.g. raster-, rotary- and vector scanning

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
CH349969A 1968-04-10 1969-03-08 Foto-Zeichenkopfanordnung mit Symbolen zur Belichtung einer fotoempfindlichen Zeichenunterlage CH486043A (de)

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CH486043A true CH486043A (de) 1970-02-15

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GB1257104A (de) 1971-12-15
US3565524A (en) 1971-02-23
DE1761170B1 (de) 1971-05-13

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