DE1698199C3 - Verfahren und Vorrichtung zum Nachregeln der Lage der Ionenstrahlen in einem Massenspektrometer - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Nachregeln der Lage der Ionenstrahlen in einem Massenspektrometer mit mehreren Auffängern und auf eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens. Ein derartiges Verfahren findet ein günstiges Anwendungsgebiet insbesondere in einem Massenspektrometer für die Isotopenanalysen mit Doppelauffänger.

Bekanntlich beruht die Arbeitsvveise der massenspektrometrischen Analysesysteme ganz allgemein auf der Tatsache, daß die Ionen eines durch Anlage einer elektrischen Spannung beschleunigten Ionenstrahles beim Eintreten in ein zur Strahlrichtung senkrechtes Magnetfeld einen Kreis beschreiben, dessen Radius durch die Beziehung

gegeben ist, in der M die Masse der Strahlionen, V die Beschleunigungsspannung und B die Feldstärke des Magnetfeldes bedeuten.

Auf diese Weise beschreiben bei einem vorgegebenen Magnetfeld B und einer vorgegebenen Beschleunigungsspannung V Ionen mit dem gleichen Verhältnis q\M zwischen ihrer Ladung q und ihrer Masse M B.ihnen mit identischem Krümmungsradius. Dementsprechend werden die Ionen des Ionenstrahles auf so viele einzelne Strahlen aufgeteilt, wie unterschiedliche Ionenmassen M existieren.

Die als Methode mit einfachen Auffänger bekannte Verfahrensweise besteht darin, daß man das Magnetfeld oder die Beschleunigungsspannung zyklisch zwischen zwei vorgegebenen Grenzen ändert und so nacheinander auf einem einzigen Auffänger alle Ionengruppen auffängt, die den verschiedenen in dem Ionenstrahl vorhandenen Ionenmassen entsprechen. Auf diese Weise erhält man eine Registrierung von aufeinanderfolgenden Spitzen, deren Amplitude mit der Menge der entsprechenden Ionen verbunden sind.

Dabei ermöglichen es die bei einer massenspektroskopischen Isotopenanalyse von Uran erhaltenen und den Isotopen ²³⁵U und ²³⁸U entsprechenden Spitzen,

das Isotopen verhältnis .y aufzustellen, in dem U.

^u«

bzw. U₈ die Anzahl von Atomen wiedergeben, dit von jedem der beiden Uranisotope vorhanden sind Die unter der Bezeichnung Methode mit Doppelauffänger bekannte Verfahrensweise dagegen bestehi darin, daß man das Magnetfeld und die Beschleuni gungsspannung konstant hält und an einer Willkür liehen Stelle nicht mehr einen, sondern zwei Auffange] anordnet, die beispielsweise im Falle des Urans gleich zeitig die Ionen aufnehmen, die den Isotopen ²³⁵L und ^23fiU entsprechen. Die aufgefangenen Ionen ströme werden verstärkt und anschließend mitein ander verglichen, und man erhält eine Aufzeichnung

deren Amplitude den Betrag des Isotopenverhält- auffängers in einem MassenspektEometer bekannt nisses ^U> wierfermht (USA.-Patentschrift 3 247 373), der jedoch zur Steuerndes, ^ wieaergim. _{mng der} j_{ntensiläl eines} Elektronenstrahls dient.

Im einzelnen ist ein derartiges Verfahren mit Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf eine Vor-Doppelauffänger bekannt (The Review of Scientific 5 richtung zur Durchführung des obenerwähnten VerInstruments 18 [1947], S. 294 bis 297), bei dem mittels fahrens mit einem Doppelauffänger, einem Regelvereiner elektronischen Schaltung und eines rückge- stärker in der Hochspannungsversorgung für die koppelten Verstärke/s erreicht wird, daß der deich- Beschleunigung der Ionen und mit einer elektronischen gewichtspunkt unabhängig von Veränderungen der Schaltung und ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Intensität der Ionenitrahlen ist. io weiterer Auffänger als Steuerauffänger einen Spalt

Diese Meßmethode ist jedoch nur dann genau, wenn auFweist, der durch zwei gegeneinander und gegen der dem in geringerem Maße vorhandenen Isotop Erde isolierte Metallplättchen begrenzt ist, deren entsprechende Ionenstrahl zur Gänze aufgefangen gegenseitiger Abstand höchstens gleich der Breite wird, d. h. vollständig durch den Spalt des entsprechen- der dem auffangenden und bei der Analyse ungeden Auffängers hindurchgeht. Dementsprechend ist 15 nutzten Ionenstrahl entsprechenden Massenlinie ist, es erfordertich, daß während der Messungen die und daß die elektronische Schaltung eine ein Ungleichlonenbahnen vollkommen lagestabil und die Fokusie- gewicht zwischen den von dem Ionenstrahl an der rungspunkte der Ionenstrahlen genau auf die ent- beiden Metallplättchen erzeugten Ionenströmen ansprechenden Auffängerspalte zentriert bleiben. zeigende Spannung ableitet und diese Spannung den

Nun hängt jedoch die Bahnstabilität entsprechend ao Regelverstärker als Fehlersignal zuführt.

der Hauptgleichung der Massenspektrometrie Die Erfindung ermöglicht eine hohe Empfindlich

RⁱBⁱ — k ■ M ■ V ^ke'^{1 und eme senr} ßering«· Ansprechzeit. Sie biete!

weiterhin den großen Vorteil einer zeitlich kontinuier

von der Stabilität der von dem für nie Analyse ver- üchen Wirksamkeit, was bei der Messung von Iso

wendeten Magnetfeld erzeugten Induktion B und der 25 topenverhältnissen die verfügbare Informationsmengi

Stabilität der Beschleunigungsspannung V für die gegenüber den bisher allgemein üblichen Methoder

Strahlionen ab. Wenn infolge Schwankungen in der ;..nd insbesondere gegenüber der Abtastmethode urr

Stromversorgung die Beschleunigungsspanniinc V bzw. 90 °_o vergrößert. Außerdem sind die eingesetzter

die Induktion B Änderungen *^V- bzw ^Λ-» unter- elektronischen Schaltungen sehr einfach aufgebau:

⁶ V B 30 und haben nur einen geringen Platzbedarf.

liegen, so erfährt der Krümmungsradius R der Ionen- Mit Vorteil werden der Steuerauffänger und dei

bahnen eine Änderung ^A* , die sich berechnet zu ^P«*¹* Meßauffänger zu einer gemeinsamen An

W Ordnung zusammengefaßt, die im folgenden als aui

faseranordnung bezeichnet sei.

''^R_ ₌ \ . *}Y_ ^{/f ß} 35 Für den Fall einer massenspektroskopischen Iso

R 2 V B ' topenanalyse von in Form seines Hexafluorides UF₁

vorliegendem Uran mit Doppelauffänger entsprich

und die lonenstrahlen fallen nicht mehr genau auf die der von dem Steuerauffänger aufgefangene Ionen

Auffängerspalte. strahl den Ionen ²³⁸UF₄' oder den Ionen ²³⁵UF₁"

Die Erfindung soll diese Nachteile beseitigen und 40 je nachdem, ob das zu analysierende Produk! mehl

ein Nachregelverfahren für die Lage der lonenbahnen von dem einen oder mehr von dem anderen Uranisotoj

angeben, durch das die Krümmungsradien R der enthält. Die Ionen UF₁* machen etwa 30% des An

!onenbahnen und damit deren Fokussierungspunkte teils an Ionen UF₅" aus, die überwiegen und für dii

ungeachtet der kleinen Fluktuationen oder Drift- .. , . ..... . U_s },„„_„„,„„-.

erschwungen in der Stromversorgung für das Ma- 45 ^{MesSUng deS} «sotopenverhaltnisses _ϋ> herangezoger

gnetfeld oder die Beschleunigungsspannung konstant werden.

gehauen werden. Nachfolgend wird die Erfindung an Hand dei

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Lage- Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

abweichungen eines bei der Analyse ungenutzten F i g. 1 eine schematische Gesamtansicht de:

Ionenstrahl erfaßt und in ein Fehlcrsigna! umge- 30 Massenspektrometer, welche die von dem Steuer

wandelt werden und daß mit Hilfe dieses Fehler- auffänger und den Meßauffängern einzunehmend«

signals eine der den Bahnradius der lonenstrahlen Lage zeigt,

bestimmenden Größen so gesteuert wird, daß die F i g. 2 eine Aufsicht auf die Auffängeranordnung

Lageabweichungen zu Null werden. F i g. 3 einen Schnitt durch den Steucrauffänger

Eine Photozelle als geeignet« symmetrieempfind- 55 F i g. 4 *in Schaltschema für iiie zu der erfindungs

liehe Vorrichtung zur Stabilisierung der Lage von gemäßen Vorrichtung gehörige cbktronischc Nach

massenspektroskopischen Linien ist zwar bekannt führschaltung und

(Zeitschrift für angewandte Physik 5 [1953], S. 387). F i g. 5 ein Beispiel für eine elektronische Schal Doch findet sich kein Hinweis auf eine Verwendung Hing, die sich zur Nachführung der Beschleunigungs dieser Photozcllc als Auffänger für einen Ionenstrahl, δο spannung für die Strahlionen verwenden läßt.
Weiterhin sind Massenspektrometer mit drei Auf- Das bei der in den Figuren dargestellten Vorrich fängcrn bekannt (USA.-Patentschrift 3 240 9.11 und timg angewandte Verfahren beruh; auf der Tatsache des Amtes für Erfindungs- und Patentsvesen in Ost- daß sich bei einer Ionisierung von Uranhcxafluoric Patentschrift 25 529 des Amtes für Erfindungs- und UF, durch Flcktroncnbeschuß ein Spektrum ergibt Patentwesen in Ost-Berlin), wobei jedoch keiner s.5 das sich ai-s folgenden einfach geladenen lone.' diese Auffänger als Steuerauffänger für die Ab- zusammensetzt:
weichungen der lo.nenstrahlcn vorgesehen ist. Schließlich ist auch noch die Verwendung eines Kontroll- Uly Pl-V Ul₁* UF/ UF₂ ⁴ Ul' U'

Die Ionen UIV. tue in dieser Zusammensetzung überwiegen, werden für die Bestimmung des Isotopcn-

vcrhältnisses ^Λ herangezogen.

Nun ist jedoch bei einem Spektrometer, bei dem der Krümmungsradius für die loncnstrahlcn in der Größenordnung von 20 cm liegt, bei einer Induktion B 7000 GauD und einer Beschleunigungsspannung V 2600 Volt, wie dies für diesen Spektrometcrtyp üblich ist, die Dispersion der Ionen am Auffänger derart, daß die von den Ionen ²³⁸UI-',' und ²³⁸UF₄ ¹ gebildeten Massenlinien etwa 10mm auseinanderliegen. Betrachtet man diesen geringen Abstand, so ergibt sich, daß man gleichzeitig mit den Ionen UF₄ ¹" auch die 30";, davon ausmachenden Ionen UF₄ ¹ auffangen und den aus diesen Ionen bestehenden Ionenstrahl dazu benutzen kann, die Stabilität der Ionenbahnen zu gewährleisten.

In der schematischen Gesamtdarstellung in der F i g. 1 werden die von einer Ionisationskammer 1 ausgesandten Ionen durch eine Spannung V beschleunigt, anschließend einem von einem Elektromagneten 2 erzeugten Magnetfeld B ausgesetzt und gelangen schließlich zu der Kollektoranordnung.

Die für die Messung benutzten Ionenstrahlen ²³¹UF₆* und ⁴³⁶UF₅* werden an den mit dem Meßverstärker verbundenen Auffänger 3 bzw. 4 aufgefangen, während der Steuerionenstrahl ²³⁸UF₄* von einem Steuerauffänger 5 aufgefangen wird, dessen feiner Spalt von zwei elektrisch gegeneinander und gegenüber Erde isolierten Metallplättchen begrenzt wird.

Die in der F i g. 1 beispielshalber unter Zugrundelegung fester Werte für die Beschleunigungsspannung V und das analysierende Magnetfeld B angestellte Berechnung des Konvergenzpunktes C für die Ionenstrahlen "⁸UF/ und ²³⁸UF₅ ¹ oder ²³⁵UF₅' ergibt die Lage des Steuerauffängers 5 relativ zu den Meßauffängern 3 und 4. Wie die Werte y₀ — y = 14,45 mm und x_B — χ = 9,67 mm anzeigen, liegt die Genauigkeit, mit der der feine Spalt für den Durchtritt des Steuerionenstrahles an Ort und Stelle gebracht werden muß, bei einigen Hundertstel Millimeter. Demzufolge muß eine Vorrichtung zur Nachregelung der Lage des Steuerauffängers 5 vorgesehen werden. Diese Vorrichtung soll nunmehr beschrieben werden.

Die in den F i g. 2 und 3 im einzelnen veranschaulichte Auffängeranordnung ist im Inneren eines zylindrischen Hahmens 6 angeordnet, in dessen Achse ein Schutzbehälter angebracht ist, durch dessen Öffnung 7 die Ionenstrahlen "⁸UF₆ ⁺ und ²³⁵UF₆ ⁺ hindurchtreten, bevor sie an den Auffängern 3 bzw. 4 aufgenommen werden.

Der Steuerauffänger 5, von dem die F i g. 2 eine Aufsicht und die F i g. 3 einen Schnitt zeigt, besteht aus einer Aufeinanderfolge von Metallplättchen und Glimmerplättchen, die als Isolation dienen. Die Abmessungen liegen in der Größenordnung 8 · 20 mm.

Dabei folgen in der Ausbreitungsrichtung der Ionenstrahlen gesehen aufeinander:

1. Eine Blende 8 aus inoxydablem Rauschgold von 0,3 mm Stärke. Der Spalt dieser Blende ist 1,2 mm breit, und diese Blende ist dazu bestimmt, den Ionenstrahl ²³⁸UF₄ ⁺ zu eliminieren, wenn der Ionenstrahl ²³⁸UF₄ ⁺ als Steuerstrahl dient, und umgekehrt;

2. ein Glimmerplättchen 9 mit einer rechteckigen öffnung von 1,2 mm Breite und 10 mm Länge in seinem Mittelpunkt zur Isolation der Blende 8 von tier nachfolgenden Auffängcrplatte;

3. ein mit dem vorangehenden Glimmerplättchen 9 identisches (ilimmcrplättchcn 10, in das beim Auf-

S bau zwei Plättchen 11 und 1Γ aus vergoldetem Kupfer von 0,3 mm Dicke eingeschoben werden, die durch ihre P.ntfernung voneinander den feinen Spall von 0,2 nun Breite bestimmen, wobei diese Breite so cinjusticrt wird, daß sie der Breite der Masscnlinic ίο für die Ionen ²³⁸UIV oder ²³⁵UF₄' entspricht;

4. ein mit dem Glimmerplättchen 9 identisches Glimmerplättchen 12;

5. eine mit Erde verbundene Platte 13 aus vergoldetem Kupfer von 0,3 mm Dicke.

Diese gesamte Plättchenfolge wird durch zwei eingeschobene metallische Hohlösen zusammengehalten. Die öffnungen dieser ösen dienen gleichzeitig der Befestigung der Plättchenfolge auf einem kleinen Wagen 15, der eine genaue Einstellung der Lage des Steuerauffängers 5 ermöglicht, mit Hilfe von Schrauben 14. Der kleine Wagen 15 ist auf zwei Gleitschienen 16 mit Stahlkugeln in der Weise montiert, daß jegliche Verklemmung unter Vakuumeinfluß vermieden bleibt. Der Wagen 15 wird durch eine Stange 17 geführt, die ohne Spiel in eine Gabel 18 eingreift, die an einer Seite des Wagens 15 angeordnet ist. Die Steuerung der Stange 17 erfolgt unter Abdichtung gegenüber deir Außenraunt, beispielsweise mit Hilfe eines metallischen Faltenbalges.

Die Gleitschienen 16 selbst mit den Kugeln sind auf der Frontplatte 19 der Auffängeranordnung befestigt.

Die Einregelung der Lage des Steuerauffängers besteht darin, daß man zunächst auf die Beschleunigungsspannung V oder die Feldstärke B des Magnetfeldes in der Weise einwirkt, daß die Ionenstrahlen ²³⁸UF₅ und ²¹¹⁸UF₅* von den Meßauffängern 3 bzw. 4 aufgenommen werden und anschließend den Steuerauffänger 5 mittels seiner abgedichteten Steuerung so lange verschiebt, bis die den Ionen ²³⁸UF₁' oder ²³⁸UF₄ ⁺ entsprechende Massenlinie genau auf den durch die beiden Kupfcrplätlchen 11 und 11' gebildeten feinen Spalt zu liegen kommt. Der elektrische Anschluß der isolierten Aufl'ängerplättchen 11 und 1Γ erfolgt, um ihre Bewegungsfreiheit nicht zu beeinträchtigten, mittels nachgiebiger Bänder 20, welche die Frontplatte 19 in isolierenden Durchführungen 21 durchqueren.
Die erfindungsgemäße Nachführeinrichtung arbeitet in folgender Weise: Wenn die IonenstraiJen ²³⁶UF₅ ⁺ und ²³⁸UF₅* auf ihre Auffängerspalte zentriert sind, ist auch der Ionenstrahl ²³⁸UF₄ ⁺ oder ²³⁶UF₄ ⁺ genau auf den feinen Spalt des Stemeraufl'ängers 5 zentriert. Die von den Auffängerplättchen 11 bzw. 1Γ ausgehenden Ionenströme fließen jeweils über einen Hochohmwiderstand 22 bzw. 22' mit einem Widerstandswert in der Größenordnung von 10^B Ω. Die an den Widerständen abfallende Spannung liegt entsprechend dem Schaltschema der F i g. 4 an den Eingängen eines Differentialverstärkers 23.

Bezeichnet man mit IZ₁ bzw. mit U_x die an den Hochohmwiderständen 22 bzw. 22' auftretenden Spannungen, so erhält man am Ausgang des Differentialverstärkers 23 eine Spannung E, die entsprechend dem Ausdruck

E = G(Uj-UJ,
in dem C die Differentialverstärkung des Verstärkers

23 K₁ die «röter oder gleich I sein kau... ein Ma» tür durch die Widerslämle 32 und 33 in fceignelci Weise TÄJifSE£Ä '"BAL » 1*. in d.. Μ«» »

''''niosr Spannung/; wird der I loehspannungsqueltc liegen kommt. -,,I₁

Kid?c BeKcintgungsspanninm Γ in der Weise als Der Transistor .10 verhalt sieh dann w.c cm durch

! chlersignaf"ugSrU daß d.esc einen solchen Wert die Spannung ιϊ' steuerbarer regelbarer W.der-

annimmt daß ^.^™^^ ^" ^ » ^„entsprechend häng, die Spannung an dem

^dleFÄ Re"aisienmfciArtigen Steuerung für Punkt., von der Spannung /; ab. und die Spannung

die ^hleinigunisspannung V _ßibt es /ahlreiche an dem Punkt 0 steuert ihrerseits den Regclvcrstarkcr

ÄtSche Schaltungen Eine bequeme Möglich- 34 für die Hochspannungsversorgung 35.

ketbes eht darin! transistorisierte Rechenverstärker Der Verstärker 34 bildet normalerweise c.nen Tel

zu benutzen die den Vorteil bieten, daß sie sich 15 einer stabilisierten Hochspannungsversorgung,

zu benutzen, α ic ut Leistung bei Es st selbstverständlich, daß sich den beschriebenen

r^tUrSi^enb he denen Ρ™* .uteteÜ In" der Transistorschaltungen äquivalente Röhrcnscha.tungen

hl biilhlbr einsetzen lassen wobei lediglich die einzelnen Span-

remrSivb he denen Ρ* .uteteÜ In der Transistorschaltungen äquivalente Rg

fT_e 5" eine verwendbare Schaltung beispielshalber einsetzen lassen, wobei lediglich die einzelnen Span-

Fig. 5isteine vcrwenuoai ₆ γ nungen unterschiedlich sind und dementsprechend

^Vern! hlßk fü d Väk 34 iht mehr

nungen unterschiedlich sind und demp

Figur sind mit 24 und 25 zwei Differential- ao die Anschlußpunkte für den Verstärker 34 nicht mehr

^^-^Ä^ntc^: ^EfiiÜS·.«, an Stelle der Verstärker 24

Se reKlba« Gegenkopplung herzustellen, und 25 zwei Elektrometerröhren mit einer nach-

sich die Verstärkungen derart ins Gleichge- geschalteten DifTerentialstufe mit einer Röhre ver-

• π? LSen lassen daß die differentiale Ausgangs- ,5 wenden. Die Differentialausgänge dieser Rohren

wicht setzen lassen ™™ _{für dje magne}ti_sche dienen für den differentiellen Anschluß der ersten

Ss¹Se B ind dta" SeuniBungapannung V Stufe des seinerseits als DifTerentialschaltung ausge-

mi· I führten Regelverstärkcrs 34.

^ZUFin lyTeßgerät 26 gestaltet die Ablesung dieser Zu bemerken bleibt, daß man in gleicher Weise

<: ,11 F und ihre Einre_ßelung auf den Wert Null 3° wie auf die Hochspannungsversorgung fur die Strahl-

Si ÄbwesiheU Ses sjnals "an den Auffänger- ionen auch auf die Feldstärke für das magnetische

toi ADwesenneii cmt _b Ablenkfeld einwirken kann, um eine Nachfuhrung

^Pl D?e sSannung £ wird in der Weise über die Schal- der Lage der Ionenstrahl» zu erzielen jedoch ist

1 77 .TnH M auf die Eingänge eines unsymmetrischen diese Lösung wegen der Sätt.gungsersche.nungen in

Verstärkers" ^ gegeben daß man eine Spannung f 35 den Magnetkreisen des Ablenkelektromagneten meist

versidrKcis β β ' schwieriger auszuführen.

^gCDie Spannung £' wird auf die Basis eines Tran- Schließlich läßt sich die Erfindung auch zur Iso-

sistors 30 gegeben, der in Serie in die Regelkette 31 topentrennung auf elektromagnet.schem Wege heranfür die Hochspannungsversorgung eingeschaltet und ziehen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Nachiegeln der Lage der lonenstrahlen in einem Massenspektrometer mit mehreren Auffängern, dadurch gekennzeichnet, daß die Lageabweichungen eines hei der Analyse ungenutzten lonenstrahls erfaßt und in ein Fehlersignal umgewandelt werden und daß mit Hilfe dieses Fehlersignals eine der den Bahnradius der lonenstrahlen bestimmenden Größen so gesteuert wird, daß die Lageabweichungen zu Null werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als zu steuernde Bestimmungsgröße die Beschleunigungsspannung (V) für die Ionen gewählt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als zu steuernde Bestimmungsgröße die Feldstärke (B) des die Ionen ablenkenden Magnetfeldes gewählt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei der massenspektrometrischen Isotopenanalyse von in der Form seines Hexafluorides UF₆ vorliegendem Uran als ungenutzter Ionenstrahl der ²³⁸UF₁ ^- oder ²³⁵UF₄ ⁺ entsprechende Ionenstrahl an einem Spalt eines Steuerauffängers (5) aufgefangen wird.

5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens na-'h Anspruch 1, mit einem Doppelauffänger, einem Regelverstärker in der Hochspannungsversorgung fl^:r die Beschleunigung der Ionen und mit einer elektronischen Schaltung, dadurch gekennzeichnet, da.3 ein weiterer Auffänger als Steuerauffänger (5) einen Spalt aufweist, der durch zwei gegeneinander und gegen Erde isolierte Metallplättchen (11, 11') begrenzt ist, deren gegenseitiger Abstand höchstens gleich der Breite der dem aufgefangenen und bei der Analyse ungenutzten Ionenstrahl entsprechenden Massenlinie ist, und daß die elektronische Scha'tung eine ein Ungleichgewicht zwischen den von dem Ionenstrahl an den beiden Metallplättchen erzeugten Ionenströmen anzeigende Spannung ableitet und diese Spannung dem Regelverstärker als Fehlersignal zuführt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerauffänger (5) aus einer metallischen Blende (8), einem ersten Glimmerplättchen (9) mit einer rechteckigen öffnung, einem zweiten gleichen Glimmerplättchen (10) mit zwei eingelagerten, die Kanten des Steuerauffängerspaltes begrenzenden Kupferplättchen (11 und 11'), einem dritten gleichen Glimmerplättchen (12) und einer mit Erde verbundenen Kupferplatte (13) besteht, welche Bauteile in Ausbreitungsrichtung der lonenstrahlen gesehen in dieser Reihenfolge aufeinanderfolgen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerauffänger (5) auf einem Wagen (15) angeordnet ist, der sich von außen her zwecks genauer Einstellung seiner Lage in bezug auf den Meßauffänger (3, 4) handhaben läßt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Metallplättchen (11, IV) des Steuerauffängcrs (5) mit dem Eingang der elektronischen Nachführschaltung verbunden sind.

9, Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4 in einem Massenspektrometer für die !sotopenanalyse mit Doppelauffänger.