DE1663162C - Gleichstrom Hochspannungserzeuger, insbesondere fur Korpuskularstrahlgerate - Google Patents

Description

Die räumliche Anordnung der beiden Teile des

Bekannte Gleichstrom-Hochspanr.ungserzeuger 55 Gleichstrom-Hochspannungserzeugers zueinander erbestehen im wesentlichen aus einem Wechselspan- weist sich insbesondere dann als nützlich, wenn dem nungsteil und einem Gleichspannungsteil. Der Wech- Speisetransformator, wie aus der Zeitschrift für Inselspannungsteil enthält einen Speisetransformator, strumentenkunde, Bd. 67 (1959), Heft 10, S. 261, an eine Vervielfacherstufe und Gleichrichter, während sich bekannt, eine Spannung zugeführt wird, deren der Gleichspannungsteil ein zweckmäßigerwei&i; ge- 60 Frequenz oberhalb der Netzfrequenz liegt,
schirmtes Hochspannungskabel nebst Einführung so- Zur Erleichterung der Zugänglichkeit der einzel-

wie gegebenenfalls auf Hochspannungspotential liv*- nen Bauelemente des Hochspannungserzeugers nach gende Zusatzeinrichtungen, wie Meßspannungsteiler der Erfindung ist es vorteilhaft, den Wechselspanfür den Anschluß von Regelgliedern, Widerstände nungs- und den Gleichspannungsteil übereinander in zur Erzeugung der Wehnelt-Spannung bei Korpusku- 65 einem gestellartigen Einsatz anzuordnen und mit dielarstrah!geräten od. dgl. enthält. Diese beiden Teile sem in einen geerdeten, topfförmigen Behälter einzusind über eine geeignete Anzahl von Schutzwiderstän- setzen,
den elektrisch miteinander verbunden. Dabei kann es Der Einsatz enthält zwischen Wechsclspannungs-

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und Gleicbspannungstei! einen zumindest ungefähr Spannungen mit einer Frequenz zwischen 2(1 und

horizontal liegenden Schirm mit öffnungen zur 50 kHz.

Durchführung der Schutzwiderstände. Der Einsatz Ein besonderer Vorteil hinsichtlich geringer raumkann dabei an einem Deckel des topfförmigen Behäl- lieber Abmessungen des Hochspannungserzeugers ters hängen. ₅ k_{ann s}i_cn ergebend wenn der Wechsclspannungs- und

In den Fig. 1 und 2 ist ein Ausführungsbeispiel der Gleichspannungsteil übereinander in einem ge-

der Erfindun« schematisch dargestellt. stellartigen Einsatz angeordnet und mit diesem in

Der in Fig. 1 gezeigte Gleichstrom-Hochspan- einen geerdeten topfförmigen Behälter eingesetzt

nungserzeuger ist im wesentlichen aus dem Wechsel- wird. Der Behälter kann dabei mit Öl oder einem

spannungsteil 1 und dem Gleiehspannun»steil 2 ge- ίο Gas, z. B. Luft oder Schutzgas, gefüllt sein, um die

bildet. Die Teile 1, 2 liegen übereinander und sind Unabhängigkeit der Arbeitsweise des Hochspan-

durch den statischen, geerdeten Schirm 3 voneinan- nungserzeugers von atmosphärischen Einflüssen /u

der entkoppelt. Der Gleichstrom-Hochspannungscr- gewährleisten.

/-euger ist in einen topfförmigen Behälter 4 eingesetzt. Der gestellartige Einsatz kann z. B. Streben in

5m dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Wech- 15 Richtung seiner Achse aufweisen; er eignet sich dazu,

selspannungsteil 1 mit dem Gleichspaunun«steil 2 in einfacher Weise die erforderlichen Schirme zwi-

i.ber einen einzigen Schutzwiderstands elektrisch sehen dem Wechsclspannungs-und dem Gleichspan

crbunden. Zur Durchführung des Schutzwiderstan- nungsteil anzuordnen und zu befestigen. Der t.insat/

des 5 besitzt der Schirm 3 eine Ausnehmung 3«. wie zwischen WcchseKpannungs- und Gleichspannung

»'ich Fig. 2 in einem horizontalen Schnitt aus Fig. 1 20 teil kann bevorzugt einen zumindest ungefähr hon

erkennen läßt. zontal liegenden Schirm mit Öffnungen zur Durchfall

Der Wechselspannungsteil 1 setzt sich im wesentli- rung der Schutzwiderstände enthalten, cncn aus einem Speisetransformator 6. einer sowohl Die Streben des gestellartigen Einsatzes können an u!s Vervielfacher als auch als Gleichrichterschaltung einem Deckel hängend befestigt sein, der im wesentliwirkenden Kaskade7 zusammen, die aus Gleichrich- 25 chen dem Deckel 14 in Fig. 1 entspricht und Teile !ein und Kondensatoren in der aus Fii>. 1 ersichtli- des Hochspannungserzeugers trägt. Dieser Deckel .nun Weise aufgebaut ist. Der Gleichspannungsteil 2 kann zugleich mit einer Vorrichtung, beispielsweise enthält in diesem Ausführungsbeispiel einen Meß- einer öse, zum Herausheben der aktiven Teile de-, spannungsteiler 8 und ein mit einer Abschirmung 9 Hochspannungserzeugers aus dem topfförmigen Beversehenes Hochspannungskabel 10 sowie dessen 30 halter dienen.

Einführung 11. Ferner sind Zusatzeinrichtungen 12 Die Erfindung ist nicht auf das in den Figuren darvorgesehen, die ebenfalls auf Hochspannungspoten- gestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Sie umfaßt iial liegen und zur Erzeugung der Kathodenheizspan- vielmehr alle Gleichstrom-Hochspannungserzeuger, !Hing und der Wehnelt-Vorspannung für ein Korpus- bei denen auf Grund der gewählten räumlichen Ankularstrahlgerät dienen. Der Schutzwiderstand S bil- 35 Ordnung der Teile des Erzeugers zueinander und reladet zusammen mit der gestrichelt eingezeichneten tiv zur Erde eine Entkoppelung des Wechselspan-Erdkapazität 13 des Hochspannungskabels 10 die zur nungs- und des Gleichspannungsteilcs voneinander Glättung der Gleichspannung erforderlichen Siebmit- vorgenommen ist und bei denen der Schutzwiderlel. stand bzw. die Schutzwiderstände im Zusammenwir-

Um die Welligkeit der Gleichspannung gering zu 40 ken mit der Erdkapazität des Hochspannungskabels halten, wird dem Speisetransformator 6 eine Span- als Siebmittel für die Gleichspannung wirkt bzw. wirnung zugeführt, deren Frequenz bevorzugt höher als ken. Es kann beispielsweise der Schirm 3 auch in der die übliche Netzfrequenz ist. Man verwendet im all- in Fig. 1 bei 16 gestrichelt gezeichneten Weise aufgemeinen mittelfrequente Speisespannungen, d. h. gebaut und angeordnet sein.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

sich sowohl um einen einzelnen Widerstand als auch Patentansprüche: um mehrere Widerstände handeln. Einen wesentlichen Bestandteil der bekannten

1. Gleichstrom-Hochspannuhgserzeuger, insbe- Gleichstrom-Hochspannungserzeuger bilden ferner sondere für Korpuskularstrahlgeräte, wie Elektro- 5 die Siebmittel zur Verminderung der Welligkeit der nenmikroskope, der aus einem einen Speisetrans- Gleichspannung. Da diese Siebmittel auf der Gleichformator. eine Vervielfacherstufe und Gleichrich- spannungsseite des Erzeugers liegen, müssen sie für ter enthaltenden Wechselspannungsteil einerseits das Hochspannungspotential ausgelegt werden. Diese und einem mit diesem Teil über eine geeignete Siebmittel sind demgemäß kostspielig und beanspru-Anzahl von Schulzwiderständen elektrisch ver- io chen relativ viel Platz.

bundenen, ein zweckmäßigerweise geschirmtes · Zur Vermeidung einer Diniensionierung der Sieb-

Hochsparinungskabei nebst Einführung sowie ge- glieder für die volle Hochspannung wird bei der aus

gebenenfalls "auf Hochspannungspotential He- der deutschen Auslegeschrift 1 065 528 bekannten

gende Zusatzeinrichtungen enthaltenden Glekh- Gleichspannungs-Hochspannungs-Prüfanlage in Ver-

spannungsteil andererseits besteht und Siebmittel 15 Vielfacherschaltung das ausgangsseitig vorhandene

zur Verminderung der Welligkeit der Gleichspan- Siebglied in mehrere mit Teilspannungen gespeiste,

nung enthält, gekennzeichnet durch eine aus Kondensatoren und Widerständen bestehende

solche räumliche Anordnung der Teile zueinan- Siebglieder aufgeteilt. Auch bei dieser bekannten

der, daß der Gleichspannungsteil (2) unter Ver- Ausführungsform sind die Kosten und der Raumbe-

wendung mindestens eines geerdeten Schirmes (3) 20 darf für die Siebglieder beträchtlich,

von dem Wechselspannungsteil (1) entkoppelt ist Die Erfindung bezieht sich auf einen Gleichstrom-

und die Schutzwiderstände (5) zusammen mit der Hochspannungserzeuger, insbesondere für Korpusku-

Erdkapazität (13) des Hochspannungskabels (10) larstrahlgeräte, wie Elektronenmikroskope, der aus

die Siebmittel bilden. einem einen Speisetransformator, eine Vervielfacher-

2. Gleichstrom-Hochspannungserzeuger nach 25 stufe und Gleichrichter enthaltenden Wechselspan-Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die nungsteil einerseits und einem mit diesem Teil über Frequenz der dem Speisetransformator (6) züge- eine geeignete Anzahl von Schutzwiderständen elekführten Spannung oberhalb der Netzfrequenz trisch verbundenen, ein zweckmäßigerweise geliegt, schirmtes Hochspannungskabel nebst Einführung so-

3. Gleichslrom-Hochspannungserzeuger nach 30 wie gegebenenfalls auf Hochspannungspotential He-Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gende Zusatzeinrichtungen enthaltenden Gleichspan-Wechselspannungsteil (1) und der Gleichspan- nungsteil andererseits besteht und Siebmittel zur Vernungsteil (2) übereinander in einem gestellartigen minderung der Welligkeit der Gleichspannung entEinsatz angeordnet und mit diesem in einen geer- hält.

deten, topfförmigen Behälter (4) einsetzbar 35 Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei

sind. einem Hochspannungserzeuger dieser Art die Kosten

4. Gleichstrom-Hochspannungserzeuger nach und den Raumbedarf für die Siebglieder herabzuset-Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der zen. Nach der Erfindung wird diese Aufgabe durch Einsatz zwischen Wechselspannungsteil (1) und eine solche räumliche Anordnung deT Teile zueinan-Gleichspannungsteil (2) einen zumindest ungefähr 40 der gelöst, daß der Gleichspannungsteil unter Verhorizontal liegenden Schirm (3) mit öffnungen wendung mindestens eines geerdeten Schirmes von (3 σ) zur Durchführung der Schutzwidcistände (5) dem Wechselspannungsteil entkoppelt ist und die enthält. Sch'Uzwiderstände zusammen mit der Erdkapazität

5. Gleichstrom-Hochspannungserzeuger nach des Hochspannungskabels die Siebmittel bilden.
Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß 45 Beim Gleichstrom-Hochspannungserzeuger nach der Einsatz an einem Deckel (14) des topfförmi- der Erfindung übernehmen also die Schutzwidergen Behälters (4) hängt. stände zusammen mit der Erdkapazität des Hochspannungskabels, d. h. ohnehin zur Lösung anderer Aufgaben vorhandene Bauelemente, die Aufgabe der

50 Glättung der Gleichspannung, zu deren Lösung bis-

her zusätzliche, einen erheblichen Kosten- und Platzaufwand erfordernde Bauelemente erforderlich waren.