DE1597882B2 - Elektrofotografisches aufzeichnungsmaterial - Google Patents
Elektrofotografisches aufzeichnungsmaterialInfo
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- DE1597882B2 DE1597882B2 DE1967R0047039 DER0047039A DE1597882B2 DE 1597882 B2 DE1597882 B2 DE 1597882B2 DE 1967R0047039 DE1967R0047039 DE 1967R0047039 DE R0047039 A DER0047039 A DE R0047039A DE 1597882 B2 DE1597882 B2 DE 1597882B2
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Description
40
In der Xerografie werden lichtempfindliche Aufzeichnungsmaterialien
mit einer Fotoleiterschicht zunächst gleichmäßig elektrostatisch aufgeladen, um die Oberfläche
zu sensibilisieren. Anschließend wird mit aktivierender Strahlung, z. B. Licht oder Röntgenstrahlen,
bildmäßig exponiert, wodurch sich die Fotoleiterschicht selektiv an den belichteten Stellen entlädt und dabei in
den nichtbelichteten Bereichen ein latentes elektrostatisches Bild zurückläßt. Dieses latente elektrostatische
Bild kann entwickelt und sichtbar gemacht werden, indem man auf die Oberfläche der Fotoleiterschicht fein
verteilte elektroskopische Tonerteilchen aufbringt. Dieses Verfahren wurde erstmals in der US-Patentschrift
22 97 691 beschrieben.
• Der in der kommerziellen Xerografie am häufigsten
verwendete Fotoleiter ist das in der US-PS 29 70 906 vorgeschlagene glasförmige Selen, da auf diesem,
solange es nicht belichtet wird, eine elektrostatische Ladung verhältnismäßig lange erhalten bleibt und da es
im Verhältnis' zu anderen fotoleitenden Materialien eine relativ hohe Lichtempfindlichkeit aufweist. Darüber
hinaus hat glasförmiges Selen eine genügend hohe Festigkeit und Stabilität, um einige hunderte oder gar
tausende Male wiederbenutzt werden zu können. Glasförmiges Selen ist jedoch besonders anfällig für
eine unerwünschte Kristallisation an der Oberfläche, wenn die Platte während des Betriebs erwärmt wird.
Dieses Kristallwachstum beeinträchtigt die Fotoleitereigenschaften des Selens und begrenzt dadurch die
Lebensdauer einer Selenplatte. Die Spektralempfindlichkeit von Selen ist an sich befriedigend; sie ist jedoch
ausschließlich auf den blauen oder blau-grünen Bereichen des sichtbaren Spektrums beschränkt.
In den US-Patentschriften 28 03 542 und 28 22 300 werden die Eigenschaften vom glasförmigen Selen
durch Zusatz von bis zu 50 Gewichtsprozent elementarem Arsen verbessert. Durch den Zusatz von Arsen
nimmt die Stabilität von Selen bei höheren Temperaturen sehr stark zu. Außerdem bewirkt eine Arsenkonzentration
von mehr als 5 Gewichtsprozent eine erhöhte Spektralempfindlichkeit im gelbroten Bereich des
Spektrums. Bei Legierungskonzentrationen oberhalb 5% hält jedoch die Platte ein hohes positives Potential
zurück und es treten zusätzlich starke Lichtermüdungserscheinungen auf. Letztere führen zu sogenannten
Geisterbildern, die bei mehrmals wiederholten Belichtungen auftreten und zu einem sehr schwachen
zurückbleibenden Negativbild im Hintergrund führen.
Um einige der erwähnten Nachteile zu überwinden, wurden aus zwei Schichten bestehende Aufzeichnungsmaterialien entwickelt. Diese enthalten beispielsweise
Schichten aus Selen und Selen-Tellur-Legierungen. So zeigt z. B. die US-PS 28 03 541 wie durch Verwendung
einer Schicht aus glasförmigem Selen, die mit einer dünnen Schicht aus einer Selen-Tellur-Legierung
überzogen ist, die Lichtempfindlichkeit verbessert werden kann. Obwohl diese Anordnung für alle Farben
empfindlich ist, verschlechtert sich die Empfindlichkeit wegen der im Betrieb auftretenden Oberflächenkristallisation
sehr schnell. Außerdem tritt eine starke Lichtermüdung auf. Es wurden deshalb organische und
anorganische Schutzüberzüge entwickelt, um ein Kristallisieren der Deckschicht zu verhindern, aber dabei
ergibt sich das Problem, daß diese Überzüge nur unter bestimmten Umgebungsbedingungen verwendbar sind.
Z. B. werden diese Überzüge bei einer relativen Luftfeuchtigkeit oberhalb von 85% leitend und führen
zu einem verminderten Auflösungsvermögen des xerografischen Bildes. Andererseits steigt bei einer
relativen Luftfeuchtigkeit unterhalb 15% der Widerstand dieser Überzüge an, was eine dielektrische
Aufladung während des Betriebs der Xerografieanlage mit sich bringt, die zu einer unannehmbaren Verstärkung
des Hintergrundes der Kopie führt.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial zu schaffen, das
panchromatisch empfindlich und sowohl thermisch als auch gegen Feuchtigkeit stabil ist und keine zu
Geisterbildern führenden Ermüdungserscheinungen zeigt.
Zur Lösung dieser Aufgabe eignet sich nach der Erfindung ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial
mit einer Schicht aus glasförmigem Selen und einer daraufliegenden Schicht aus einer glasförmigen
Selen-Tellur-Legierung, das dadurch gekennzeichnet ist, daß es auf der Schicht aus der glasförmigen Selen-Tellur-Legierung
eine Schicht aus einer glasförmigen Arsen-Selen-Legierung enthält.
Gegebenenfalls enthält das Aufzeichnungsmaterial der Erfindung einen elektrisch leitenden Schichtträger.
In der Zeichnung ist schematisch ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterials
dargestellt.
In der Zeichnung ist mit 10 eine erfindungsgemäße Dreischichtenplatte bezeichnet. Diese Platte weist einen
elektrisch leitenden Schichtträger 11 auf, z.B. aus
Messing, Aluminium, Stahl oder ähnlichen Werkstoffen. Der Schichtträger kann jede geeignete Dicke aufweisen.
Er kann starr oder flexibel sein und jede gewünschte Form haben, z. B. die eines Blattes, eines Bandes, einer
Platte, eines Zylinders oder einer Trommel. Er kann auch andere Materialien enthalten, wie metallkaschiertes
Papier, Plastikfolien, die mit dünnen Metallschichten, beispielsweise aus Aluminium oder Kupferiodid, überzogen
sind, oder mit dünnen Schichten von Chrom- oder Zinnoxid überzogenes Glas. In einigen Fällen kann der
Schichtträger 11 auch völlig weggelassen werden.
Die Schicht 12 ist eine kompakte Schicht aus für xerografische Zwecke geeignetem Selen, wie es etwa in
der US-PS 29 70 906 beschrieben wurde, und kann jede geeignete Dicke haben, die von 10 bis 300 μΐπ und
darüber reichen kann, aber in den meisten Fällen zwischen 20 und 80 μηι liegt. Dieser Bereich zwischen 20
und 80 μΐη ist deshalb bevorzugt, da dickere Schichten
(d. h. solche um 300 μπι oder darüber) weniger gut am
Schichtträger haften. Dünnere Schichten (10 bis 20 μίτι)
hingegen zeigen, wenn sie auf hohe Potentiale aufgeladen werden, wie sie bei modernen Xerografieanlagen
zur Erzielung optimaler Kopiereigenschaften erforderlich sind, starke lokale Dunkelentladungen, die
zu Kopiefehlstellen und allgemein zu einer schlechten Kopierqualität führen.
Mit 13 ist eine dünne Schicht aus einer glasförmigen Selen-Tellur-Legierung mit einer Dicke von etwa 0,1 bis
2 μπι bezeichnet, die zur Erzielung einer panchromatischen
Lichtempfindlichkeit (d. h. einer Empfindlichkeit für Licht bis zu etwa 7000 Ä) aufgebracht ist.
Selen-Tellur-Legierungen mit einem Anteil von etwa 50 Gewichtsprozent Tellur sind im allgemeinen zufriedenstellend,
während ein Anteil von 25% Tellur ausreicht, um die gewünschte panchromatische Empfindlichkeit zu
heben. Tellurkonzentrationen oberhalb etwa 25% führen zu einer erhöhten Rotempfindlichkeit, zeigen
andererseits jedoch eine stärkere Dunkelentladung. Wenn die Selen-Tellur-Schicht dicker als etwa 2 μπι ist,
kommt es zu starken Dunkelentladungen, während eine Dicke unterhalb etwa 0,1 μπι keine nennenswerte
Rotempfindlichkeit mehr ergibt.
Die Schicht 14 ist eine etwa 0,1 bis 2 μηι dicke Schicht
aus einer Arsen-Selen-Legierung mit einem Arsengehalt bis etwa 50 Gewichtsprozent. Als besonders
geeignet hat sich eine etwa 0,15 μπι dicke Schicht mit
einem Arsengehalt von 5 bis 20% erwiesen, da sie eine besonders gute thermische Stabilität ergibt. Wenn die
Arsen-Selen-Schicht dicker als etwa 2 μηι ist, wird die
Rotempfindlichkeit der darunterliegenden Selen-Tellur-Schicht wesentlich verkleinert oder völlig eliminiert.
Wenn die Arsen-Selen-Schicht dünner als etwa 0,1 μίτι
ist, so wird die thermische Stabilität der Schicht beeinträchtigt. Arsenkonzentrationen oberhalb etwa
5% ergeben eine sehr gute Lichtempfindlichkeit. Wahlweise können die Arsen-Selen-Schichten (besonders
Schichten mit einer Arsenkonzentration über 10%) mit Halogonen, wie z. B. Jod, bis etwa 1 Gewichtsprozent
dotiert werden, um die Empfindlichkeit durch Verminderung des positiven Restpotentials weiter zu
verbessern; vgl. DT-OS 15 22 711.
In einer anderen Ausführungsform kann die Schicht 12, die im wesentlichen aus gasförmigem Selen besteht,
zur Temperaturstabilisierung bis zu etwa 0,5% Arsen enthalten. Zusätzlich können dieser Schicht um den
Hintergrund oder das Restpotential zu vermindern, Halogene bis etwa 1 Gewichtsprozent zugefügt werden.
Außer mit Halogen können die Schichten der erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterialien gegebenenfalls
auch mit geringen Mengen anderer Legierungszusätze dotiert werden.
Die Aufzeichnungsmaterialien der Erfindung können auf verschiedene Weise hergestellt werden. Geeignete
Verfahren sind z. B. Vakuumaufdampfverfahren, wobei die einzelnen fotoleitenden Schichten nacheinander im
Vakuum auf das jeweilige Substrat aufgedampft werden. Dabei werden die Selen-, die Selen-Tellur- und die
ίο Arsen-Selen-Schicht jeweils in getrennten Stufen bei
10-5 bis 10~7 Torr aufgedampft. In einer anderen
Ausführungsform dieses Verfahrens werden die drei Schichten im gleichen Vakuumbehälter ohne Unterbrechung
des Vakuums aufgedampft, indem nacheinander aus drei getrennten Quellen Selen, Selen-Tellur und
Arsen-Selen verwandt werden.
Bei einem anderen Verfahren werden geeignete Mengen der Komponenten der einzelnen Legierungsschichten in einzeln heizbare, im Vakuumbehälter
angeordnete Tiegel eingebracht, wobei die Temperatur für jede Legierungskomponente so eingestellt wird, daß
eine Legierung der gewünschten Zusammensetzung entsteht; vgl. DT-OS 15 97 872.
In einem weiteren Aufdampfverfharen wird im Vakuum eine sogenannte Flashverdampfung ähnlich der
vorstehenden Methode durchgeführt, wobei eine Pulvermischung, z. B. aus Selen und Tellur, selektiv in
einen beheizten Tiegel mit einer Temperatur von 400 bis 6000C fällt. Die dabei entstehenden Dämpfe werden auf
einen über dem Tiegel gehalterten Träger aufgedampft.
Bei allen aufgeführten Verfahren wird das Substrat,
auf das das fotoleitende Material aufgedampft wird, bei einer Temperatur von etwa 50 bis etwa 8O0C gehalten.
Gegebenenfalls können wassergekühlte Walzen oder andere geeignete Kühlvorrichtungen verwendet werden,
um das Substrat auf einer konstanten Temperatur zu halten. Im allgemeinen erhält man in ungefähr 1
Stunde eine Selengrundschicht von etwa 60 μπι Dicke,
wenn die Verdampfung in einem Vakuum von etwa 5 χ ΙΟ-5 Torr und bei einer Temperatur von etwa 2800C
erfolgt.
Im Rahmen der Erfindung geeignete Vakuumaufdampfverfahren sind beispielsweise in den US-PS
28 03 542, 28 22 300, 29 01 348, 29 63 376, 29 70 906 und 30 77 386 beschrieben. Die Tiegel bzw. Schiffchen zum
Aufdampfen der Schichten können aus beliebigen inerten Materialien hergestellt sein, wie beispielsweise
Quarz, Molybdän oder rostfreiem, im Vakuum mit Siliciummonooxid beschichtetem Stahl. Das aufzudampfende
Selen bzw. seine Legierungen, werden auf einer Temperatur gehalten, die zwischen dem Schmelz- und
dem Siedepunkt liegt.
Die Beispiele erläutern die Erfindung.
Die Beispiele erläutern die Erfindung.
Ein oxidierter Aluminiumträger in Form einer zylindrischen Trommel von 240 mm Durchmesser und
380 mm Länge ist in einer Vakuumkammer in direktem Kontakt mit einer rotierenden wassergekühlten Walze
angeordnet, die auf einer Temperatur von 60 bis 700C gehalten wird. In einem Abstand von etwa 250 mm von
der Trommeloberfläche befindet sich darunter in einem mit Siliciurnmonoxid überzogenen, aus rostfreiem Stahl
bestehendem Schiffchen Selenpellets. Daneben sind zwei weitere Schiffchen angeordnet, von denen das
erste eine pulverisierte Mischung aus etwa 25% Tellur und 75% Selen, das zweite eine pulverisierte Mischung
aus etwa 5% Arsen und 95% Selen enthält. Jedes
Schiffchen ist an eine regelbare Stromquelle angeschlossen, mit der die Temperatur eines jeden
Schiffchens eingestellt werden kann. Zusätzlich ist jedem Schiffchen ein Aluminiumdeckel zugeordnet, der
über die öffnung des Schiffchens gebracht werden kann, so daß die Aufdampfung der jeweiligen Legierung auf
dem Schichtträger unterbrochen werden kann. Anschließend wird die Kammer auf einen Druck von etwa
10-5 Torr evakuiert und die Trommel mit etwa 10 Umdrehungen/min gedreht. Das Schiffchen mit Selen
wird bei offenem Deckel 35 Minuten auf eine Temperatur von ungefähr 285° C erhitzt, um auf der
Trommel eine Schicht von glasförmigem Selen mit einer Dicke von etwa 60 μηι zu bilder.
Dann wird der Deckel über die öffnung des Schiffchens geschoben und die Energiezufuhr unterbrochen.
Ohne das Vakuum zu unterbrechen, wird die Umdrehungsgeschwindigkeit der Trommel auf etwa 30
Umdrehungen/min erhöht und das die Selen-Tellur-Mischung enthaltende Schiffchen etwa 5 Minuten auf
45O0C erhitzt, um auf der Selenschicht einen Selen-Tellur-Überzug
von etwa 0,3 μηι Dicke zu bilden. Danach wird der zugehörige Deckel aufgelegt und die
Stromzufuhr zum Schiffchen unterbrochen.
Anschließend wird bei gleichbleibender Umdrehungsgeschwindigkeit
der Trommel von 30 Umdrehungen/min der Deckel über dem Schiffchen mit Arsen/Selen-Pulver
geöffnet und dieses 15 Minuten auf eine Temperatur von etwa 3500C gebracht, so daß sich auf
der Selen-Tellur-Schicht eine 0,15 μηι dicke Schicht
einer Arsen-Selen-Legierung niederschlägt. Zum Schluß wird die Vakuumkammer auf Zimmertemperatur
abgekühlt, das Vakuum unterbrochen und die fotoleitende Dreischichttrommel aus der Kammer herausgenommen.
Die Dreischichttrommel nach Beispiel I wird dann nach dem in der US-PS 25 88 699 beschriebenen
Verfahren positiv aufgeladen. Die Anordnung für die Koronaentladung wird auf etwa 7500 Volt gehalten,
wodurch die Trommel auf etwa 1000 Volt aufgeladen wird. Die aufgeladene Trommel wird mit einer auf
gewöhnlichem Druckpapier befindlichen Strichzeichnung belichtet. Als Belichtungsquelle dient eine weiße
Leuchtstoffröhre von 15 Watt. Anschließend wird die Trommel, die das latente elektrostatische Bild trägt,
entwickelt, indem man auf die fotoleitende Oberfläche einen elektroskopischen Entwickler gießt. Das entwikkelte
Bild wird auf ein Papierblatt übertragen und bei erhöhter Temperatur fixiert. Das erhaltene Bild ist eine
ausgezeichnete Kopie des Originals.
Beispiel IIIbisVIl
Eine Gruppe von fünf Trommeln mit einem Durchmesser von 240 mm und einer Länge von 380 mm
und einer Oberfläche aus oxidiertem Aluminium wird nach dem Verfahren von Beispiel I überzogen. Die
oxidierte Aluminiumoberfläche der ersten Trommel ist mit einer 60 μιη dicken Selenschicht bedeckt und dient
im folgenden als Standard-Vergleichstrommel. Vier weitere Trommeln werden im Vakuum mit einer
Dreischichtstruktur gemäß dem Verfahren von Beispiel I überzogen. Sie enthalten auf dem Aluminiumträger
eine 60 μπι dicke Selenschicht, darüber eine etwa 0,3 μηι
dicke Schicht aus einer Legierung von 75% Selen und 25% Tellur und schließlich eine etwa 0,1 μιη dicke
Schicht aus 5% Arsen und 95% Selen. Diese vier Trommeln werden hinsichtlich ihrer Trommelgeschwindigkeit
im Vergleich zur herkömmlichen Trommel mit glasförmigem Selen geprüft, mit Röntgenstrahlen
untersucht, um den Grad der Kristallinität festzustellen, und hinsichtlich ihrer Kopierqualität geprüft. Alle fünf
Trommeln wurden für 100 000 Kopien bei einer Temperatur von 24 bis 32° C in einer etwas abgewandelten
Bürokopiermaschine betrieben, um die genannten Eigenschaften festzustellen. Die Ergebnisse für die
Standard-Vergleichstrommel und die erfindungsgemäße Dreischichttrommel sind in der Tabelle zusammengestellt.
Trommel Schicht 1 Schicht 2 Schicht 3 Trommelgeschwindigkeit1)
Selen 75% 5%
Selen Arsen
25% 95%
Tellur Selen Röntgen-Untersuchung
25% 95%
Tellur Selen Röntgen-Untersuchung
Kopierqualität2)
1 (Vergleich)
60 μπι
Blaugrün- Grünlampen lampen 1,0 1,0
60 μπι 0,3 μιη 0,1 m 2x 2x
60 μιη 0,3 μιη 0,1 μιη 2x 2x
60 μιη 0,3 μπι 0,1 μητ 2χ . 2χ
60 μπι 0,3 μιη 0,1 μιη 2χ 2χ
Weiße
Glühlampe
1,0
2,5χ
2,5χ
2,5χ
2,5χ
2,5χ
2,5χ
Kristallinität
nach 60 000
Kopien
nach 60 000
Kopien
keine sichtbare
Kristallinität
nach 100 000
Kopien
desgl.
desgl.
desgl.
bei Schwarz-Weiß-Zeilenkopien haben die Testtrommeln
eine der Selentrommeln vergleichbare QualitätBei farbigen
Vorlagen zeigen die Testtrommeln gegenüber Selen eine Verbesserung von 10—1000%, die von
von der Farbe des Hintergrundes und der verwendeten Lampe abhängt
') Die Trommelgeschwindigkeit ist definiert als das Verhältnis der gesamten Spektralenergie, die ausgehend von
einem festen, vorgegebenen Potential, eine bestimmte Entladung der Trommeln gegenüber der Standard-Vergleichstrommel
bewirkt. Jede Trommel wurde im Dunkeln auf ein positives Potential von 1000 Volt aufgeladen und einzeln
entladen, indem sie unter gleichen Bedingungen der Strahlung der drei, unter der Spalte »Trommelgeschwindigkeit« aufgeführten
Lampen ausgesetzt wurde.
Blaugrünlampe: Bei einer Blendenöffung von 6,3 mm und /=4,5 benötigte man für die erfindungsgemäßen Trommeln
22,25 Lux, während bei einer Blendenöffnung von 1,11 mm und
/= 4,5 für die Vergleichstrommel 37,6 Lux nötig waren.
Grünlampe: Bei einer Blendenöffnung von 6,3 mm und /=4,5 benötigte man für die erfindungsgemäßen Trommeln 41,4 Lux,
während bei einer Blendenöffnung von 1,6 mm und /=4,5 für die Vergleichstrommel 91,5 Lux nötig waren.
Weiße Glühlampe: Bei einer Blendenöffnung von 6,3 mm
und /=4,5 benötigte man für die erfindungsgemäßen Trommeln 24,2 Lux, während bei einer Blendenöffnung von
1,6 mm und /= 4,5 für die Selentrommel 60,8 Lux nötig waren.
2) Die Kopierqualität ist eine subjektive Bewertung der
Brauchbarkeit von (schwarz auf weißen) Kopien auf der Basis von Hintergrunddichte, Bildschärfe, Auflösungsvermögen,
Wiedergabe niedriger Dichte (schwarz auf weißem Grund) und Farbwiedergabe. Farbwiedergabe bezieht sich auf die Fähigkeit
der Trommeln, farbige Markierungen auf weißem Grund bzw. farbigem Grund zu kopieren.
Wie aus der Tabelle hervorgeht, ist eine erfindungsge-
mäße Dreischichttrommel in der Lage, bei Belichtung mit weißen Glühlampen oder einer abgewandelten
Entladungslampe 100 000 Kopien zu liefern, die den mit
einer Selen-Vergleichstrommel erhaltenen Kopien hinsichtlich ihrer Qualität und ihrer Farbempfindlichkeit
überlegen sind. Bei optimaler Belichtung zeigen die Dreischichttrommeln gegenüber der Vergleichstrommel
einen Geschwindigkeitszuwachs um etwa den Faktor 2. Röntgenbeugungs- und Röntgenfluoreszenzuntersuchungen
zeigten nach 100 000 Kopien bei Temperaturen von 24 bis 320C noch keine Kristallinität
der Dreischichttrommeln. Dem steht eine merkliche Kristallinität der Vergleichstrommel gegenüber, die bei
Temperaturen von 29 bis 320C schon nach ungefähr 60 000 Kopien auftritt und eine Regenerierung der
Selentrommel durch Polieren mit einem getränkten Stoffpolster erforderte, um die dünne Oberflächenschicht
aus grauem, kristallinem Selen zu entfernen und dadurch die ursprünglichen xerografischen Eigenschaften
wieder herzustellen.
Hieraus ergibt sich, daß das erfindungsgemäß aus drei Schichten aufgebaute Aufzeichnungsmaterial eine
panchromatische Empfindlichkeit und xerografische Eigenschaften aufweist, die denen von glasförmigem
Selen überlegen sind. Außerdem zeigt das Dreischichtmaterial größere thermische Stabilität bei längerer
Betriebsdauer als glasförmiges Selen, das schon nach einer relativ kleinen Anzahl von Kopien kristallisiert.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
609 537/324
Claims (7)
1. Elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial, gegebenenfalls mit einem elektrisch leitenden
Schichtträger, mit einer Schicht aus gasförmigem Selen und einer daraufliegenden Schicht aus einer
glasförmigen Selen-Tellur-Legierung, dadurch gekennzeichnet, daß es auf der Schicht aus
der glasförmigen Selen-Tellur-Legierung eine Schicht aus einer glasförmigen Arsen-Selen-Legierung
enthält.
2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der
glasförmigen Arsen-Selen-Legierung bis zu 50 Gewichtsprozent, vorzugsweise 5 Gewichtsprozent,
Arsen enthält.
3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der
glasförmigen Arsen-Selen-Legierung mit einem Halogen dotiert ist.
4. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der
glasförmigen Selen-Tellur-Legierung bis zu 50 Gewichtsprozent, vorzugsweise 25 Gewichtsprozent,
Tellur enthält.
5. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der
glasförmigen Arsen-Selen-Legierung und die Schicht aus der glasförmigen Selen-Tellur-Legierung
jeweils bis 2 μπι dick ist.
6. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus
gasförmigem Selen bis zu 0,5 Gewichtsprozent Arsen enthält.
7. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus
gasförmigem Selen mit einem Halogen dotiert ist.
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Legal Events
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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