DE1577564A1 - Vorrichtung zum Feinststrahlen von Massenteilen mittels koernigem oder pulverfoermigem Strahlgut - Google Patents

Description

• Vorrichtung zum Feinststrahlen von Messenteilen mittels körnigem oder pulverförmigem Strahlgut Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Feinststrahlen von Massenteilen mittels körnigem oder pulverförmigem Strahlgut, insbesondere zum. Zäppen und Ausschneiden von Siliziumscheiben bei der Herstellung von Siliziumgleichrichtern.
• Es ist bekannt, daß harte vorzugsweise dünne Materialien, zum Beispiel Silizium, Glas, Germanium Glimmer ü. a. mittels Feinststrahlen bearbeitet werden. Zur Durchführung dieses Verfahrens ist eine Vorrichtung bekannt, die im wesentlichen aus einem Behälter für das Strahlgut besteht dessen trichterförmige Ausbildung mit einem Vibrator in Wirkungsverbindung steht, Das Strahlgut im Behälter steht unter Druck und wird durch die erzeugten Schwingungen des Vibrators gleichmäßig in geringen Mengen einer Druckluftleitung zugeführt, die in eine Strahldüse mündet. Je nach der Fördermenge des Strahlgute s und des Luftdruckes können härte Materialien geläppt beziehungsweise bei konzentrierter Strahlung mit großer Genauigkeit ausgeschnitten werden.
• Große Bedeutung kommt diesem Veif#hren bei der Herstellung von Siliziumscheiben für Siliziumgleichrichter zu, Die Fördermenge des Strahlgutes wird mit Hilfe des Vibrators geregelt, dessen Schwingungen sich auf den ganzen Behälter übertragen, Die Schwingungen des Vibrators werden über Spannungs- Zu- oder Abnahme geregelt, Dadurch, daß der ganze Behälter in Schwingungen versetzt wird, kann dieser nur verhältnismäßig klein ausgeführt werden, Beim Einsatz großer Behälter müssen auch die Schwingungen stärker sein, Dabei ist es aber nicht mehr möglich, eine gleichmäßige geringe Menge von Strahlgut zu fördern.
• Bei kleineren Behältern entleert sich dieser selbstverständlich wesentlich schneller, so daß er des öfteren neu aufzufüllen ist.
• Beim automatischen Einsatz der Vorrichtung wird das öftere Auffüllen des Behältrs mit Strahlgut, wobei die gesamte Vorrichtung abgeschaltet werden muß, als großer Mangel empfunden. Es treten dabei Störungen im Arbeitsfluß und Zeitverlust aufs Außerdem ist dadruch eine ständige manuelle Betreuung notwendig, Zu der ständigen Betreuung kommt noch eine große Verunreinigungsgefahr hinzu, die darin besteht, daß beim Auffüllen des sehr feinkörnigen oder pulverförmigen Strahlgutes gleichzeitig Staub und Schmutz mit in den Behälter eindringt, der die Strahldüse verstopft, Zweck der Erfindung ist es, das Feinstrahlen von Massenteilen wirtschaftlich zu gestalten und die Verunreinigungsgefahr zu verringern, Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, deren Behälter ein großes Fassungsvermögen aufweist und der bei geringer Energieübertragung eines Schwingungsförderers das gesamte Strahlgut beeinflußt und dieses in geringen Mengen stetig abgibt, Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß der Behälter wenigstens im Bereich seiner trichterförmigen Ausbildung elastisch gestaltet ist. Vorzugsweise besteht das trichterförmige Teil aus einem Gummisack, der stoff-, form-und/oder kraftschlüssig mit dem zylinderischen Behälterteil verbunden ist. Durch diese erfinderische Anordnung kann der Behälter beliebig groß gestaltet werden, da die Schwingungen nicht mehr auf den gesamten Behälter übertragen werden, sondern nur noch auf seinen elastischen trichterförmigen Teile Hierzu reicht eine geringe Schwingungsenergie aus und eine gleichmäßig geringe Menge von Strahlgut kann stetig abgegeben werden.
• Die Erfindung ist an Hand eines Ausführungsbeispieles in der beiliegenden Zeichnung näher erläutert.
• Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Gesamtübersicht einer Vorrichtung zum Feinststrahlen; Fig. 2 eine Förderbahn mit Zu- und Abgang des 'trahlgutes (zum Teil im Schnitt dargestellt) ; Fig. 3 einen Schnitt A-A der Förderbahn.
• Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, besteht die Vorrichtung aus einem Schutzbehälter 1. Dieser ist mit einem abnehmbaren Deckel 29 der einen Griff 3 aufweist, verschließbar. Auf den Boden 4 des Schutzbehälters 1 ist ein Schwingförderer 5 angeordnet, dessen Förderbahn 6 aus einer Grundplatte 7 und einer Abdeckplatte 9 besteht. Die Grundplatte 7 ist mit einer Nut 9 ausgestattet. Ein Behälter 12 ist durch zwei Halterungen 13 am Schutzbehälter 1 befestigt und dient zur Aufnahme des Otrahlgutes. Der Behälter 12 weist einen trichterförmigen Teil 11 auf, der mit einem Ansatz 10 der Abdeckplatte 9 verbunden ist. Das trichterförmige Teil 11 besteht aus einem elastischen Yaterial, vorzugsweise aus Gummi, und ist mit dem Behälter 12 stoffschlüssig verb unden. Mittels einer Druckluftleitung 14 wird der Innenraum des Schutzbehälters 1 unter Druck gesetzt und somit auch das Strahlgut im Behälter 12. Eine zweite Druckluftleitung 15 ist mit der Abdeckplatte 9 der Förderbahn 6 verbunden. Der Abgang der Druckluftleitung 15 ist an einem trichterförmigen Ansatz 16 der Grundplatt 7 angeschlossen (Fig. 2) und mündet in einer Strahldüse"17. Diese ist mittels einem geeignetem Verbindungselement 18 auswechselbar an der Druckluftleitung 15 angeordnet. Durch Einschalten des Schwingförderers 5 fällt das Strahlgut stetig in kleine Mengen auf die Grundplatte 7 der Förderbahn 6 und wird in der Nut 8 der Druckluftleitung 15 und somit der Strahldüse 17 zugeführt. Wie Figo 2 erkennen läßt, erstreckt sich die Nut 8 vom Ansatz 10 bis zum trichterförmigen Ansatz 16. Die Energie des Schwingförderers 5 wird durch Spannun gs-Zu- oder Abnahme geregelt, das bedeutet, daß damit die Menge des Strahlgutes reguliert wird,

Claims (2)

1. P a t e n t a n s 9 r ü ehe 1. Vorrichtung zum Feinststrahlen von Massenteilen mittels körnigem oder pulverförmigem Strahlgutg insbesondere zum Läppen und Ausschneiden von Siliziumscheiben bei der Herstellung von Siliziumgleichrichtern! bestehend aus einem zur Aufbewahrung des unter Druck stehenden Strahlgutes dienenden verschließbaren mit einer Druckluftleitung verbundenen zylindrischen Behälter. der trichterförmig ausgebildet ist und über eine Öffnung das Strahlgut an einen mit dem Behälter in Verbindung stehenden gleichzeitig Schwingwagen auf diesen übertragenden Schwingförderer, in dessen Förderbereich sich eine zweite Druckluftleitung befindet, die in eine Strahldüse mündet, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter wenigstens im Bereich seiner-trichterförmigen Ausbildung elastisch gestaltet ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß der trichterförmige Teil (11) des Behälters (12) aus-einem Gummisack besteht, der stoff-, form-. und/ oder kraftschlüssig mit dem zylindrischen Behälterteil verbunden ist, Aufstellung über die verwendeten Bezugszeichen für die Patentanmeldung: . Vorrichtung zum Feisststrahlen von Massenteilen mittels körnigem oder pulverförmigem Strahlgut 1o Schutzbehälter 2 Deckel 3 Griff 4 Boden 5 Schwingförderer 6 Förderbahn Grundplatte 8 ' Nut 9 Ab deckglatte 10 Ansatz 11 - trichterförmiges Teil 12 Behälter 13 Halterung 14; 15 Druckluftleitung 16 trichterförmiger Ansatz 17 Strahldüse 18 Jg Verbindungselement