DE1572805B1 - Verfahren zur Bildvervielfachung - Google Patents
Verfahren zur BildvervielfachungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abbildung eines beleuchteten bzw. selbstleuchtenden Gegenstandes,
dessen Bild gleichzeitig an beliebig vielen, in ihrer Lage vorgegebenen Stellen des Raumes erzeugt
wird.
Es sind verschiedene Verfahren der Bildvervielfachung bekannt. Sie haben in jüngster Zeit im Zusammenhang
mit der Herstellung von Masken für integrierte Schaltkreise in der Halbleitertechnologie
eine große Bedeutung gewonnen. Bei dem zur Zeit am häufigsten angewandten Verfahren wird das Bild
der einzelnen Schaltkreismaske mit einem hochauflösenden Objektiv verkleinert auf die photographische
Schicht abgebildet. Nach dem Belichten wird diese zeilenweise um eine Bildbreite verschoben und erneut
belichtet. So wird in vielen hundert Einzelschritten das Bild der Maske für entsprechend viele Schaltkreise
aufgebaut. Da zur Herstellung eines integrierten Schaltkreises mehrere Masken benötigt werden,
muß die Position der Einzelbilder auf jeder Maske bis auf die Bruchteile eines μία reproduzierbar sein.
Um die hieraus sich ergebenden sehr hohen Anforderungen an die mechanische Präzision zu umgehen
und um das zeitraubende Herstellungsverfahren abzukürzen, sind verschiedene optische Veriahren
bekannt, die direkt eine Bildvervielfachung ermöglichen. Wie von J. J. Murray, R. E. Maurer
in »Arrays of Microphotographs for Microelectronic !Components«, Semiconductor Products, 5, S. 30
(1962), und Ph. Newman, V. E. Ribble in »Pinhole Array Camera for integrated Circuits«,
Appl. Optics, 5, S. 1225 (1966), beschrieben, hat man versucht, Schaltkreismasken mit Hilfe einer
Lochkamera herzustellen, die eine Vielzahl von Lochblenden enthält, deren periodische Anordnung
der der Bilder auf der späteren Maske entspricht. Jede Lochblende erzeugt dabei in bekannter Weise
ein Bild des einzelnen Schaltkreises. Der Nachteil dieses Verfahrens ist, daß man selbst bei optimaler
Wahl des Lochdurchmessers kein hinreichendes Auflösungsverfahren erreicht.
Nach E. E. Rudge, W. E. Harding, W. E. Mutter: »Fly's Eye Lens Technique for Generating
Semiconductor Device Fabrication Maske«, IBM Journal, 2, S. 146 (1963), wurde eine Verbesserung
des Auflösungsvermögens mit einer Fliegenaugenlinse erzielt, bei der viele Linsen nebeneinander
angeordnet sind. Da sich diese nicht überlappen dürfen, ist mit dem seitlichen Abstand der Bilder
auch der Abstand der optischen Achsen der Einzellinsen und damit deren Öffnung vorgegeben. Das
beugungsbegrenzte Auflösungsvermögen ist also ebenfalls sehr gering.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine vom Auflösungsvermögen weitgehend unabhängige
Vervielfachung eines Gegenstandsbildes an vorbestimmten Stellen im Raum zu bewirken, und diese
Aufgabe wird mit einem Verfahren gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, daß ein Hologramm eines
der gewünschten räumlichen Verteilung entsprechenden Punktrasters erzeugt und in der Austrittspupille
eines Abbildungssystems als Abbildungsmittel verwendet und bei der Rekonstruktion eine — auch im
Unendlichen Hegende — punktförmige Referenzquelle durch einen optisch zu vervielfachenden
Gegenstand oder dessen reelles Bild ersetzt wird.
Bei dem neuen Abbildungsverfahren können sich die einzelnen abbildenden Elemente beliebig weit
überlappen. Auf diese Weise kann das beugungsbegrenzte Auflösungsvermögen unabhängig vom Abstand
der einzelnen Bilder sehr wesentlich vergrößert werden.
Im Gegensatz zu allen bisher bekannten Verfahren zur Bildvervielfachung trägt bei der Bilderzeugung
mit dem Hologramm einer Punktstruktur die gesamte Fläche des Hologramms zur Abbildung bei,
wenn zur Aufnahme Kugelwellen mit hinreichend großer Öffnung verwendet wurden, da sich die Hologramme
der einzelnen Punkte (Fresnelsche Zonen) im Gegensatz zu klassischen Linsen durchdringen
können, ohne sich zu stören. Das beugungsbegrenzte Auflösungsvermögen eines solchen Hologramms ist
also um Größenordnungen höher als ein vergleichbares Verfahren, wo die maximale Öffnung etwa
gleich dem Bildabstand ist. Gegenüber der Bildvervielfachung durch schrittweises Verschieben und
wiederholtes Belichten bietet das erfindungsgemäße Verfahren den Vorteil, mit wesentlich geringerem
Aufwand an Material und Zeit auszukommen. Außerdem ist ohne zusätzliche Maßnahmen sichergestellt,
daß die Position der Einzelbilder bei aufeinanderfolgenden Abbildungen exakt übereinstimmt.
Auf Grund dieser starken Vereinfachung und Verbilligung bei nahezu gleichbleibender Qualität der
vervielfachten Bilder, ist es möglich, bei der Herstellung von Halbleiterschaltkreisen den Umweg
über das problematische Kopieren von Masken zu sparen. Vielmehr kann man in einem einzigen Schritt
mit Hilfe des beschriebenen Hologramms das Maskenbild verkleinert und vervielfacht auf die z. B.
mit Photolack versehene Halbleiterscheibe abbilden.
Wie im folgenden erläutert werden wird, dient in der vorliegenden Erfindung das Hologramm eines
Punktrasters als Abbildungssystem. Dabei bestimmt die Lage und die Anzahl der Punkte im Raum die
Position und die Zahl der bei der Abbildung erzeugten Bilder.
In der Zeichnung ist die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Das Hologramm der Punktstruktur kann als Amplituden- oder Phasenhologramm unter Anwendung
an sich bekannter Verfahren, z. B. entsprechend Fig. 1, aufgenommen werden, indem Kugelwellen,
die von einer vorgegebenen Lochblenden-Anordnung 1, z. B. Punktraster, ausgehen, kohärent mit
einer Referenzwelle überlagert werden, die aus einer Lochblende 2 austritt und deren punktförmige Quelle
seitlich gegenüber dem Punktraster verschoben im Endlichen oder Unendlichen hegt. Obwohl prinzipiell
nicht erforderlich, empfiehlt es sich, mit einem Referenzstrahl zu arbeiten, der zu den Lochblendenstellen
etwas geneigt ist, da auf diese Weise die vom Hologramm 3 bei der späteren Abbildung gleichzeitig
erzeugten Bilder anderer Ordnung räumlich von den gewünschten reellen Bildern getrennt sind und
damit deren Kontrast verbessert wird. Bei Beleuchtung der Lochblenden 1 und 2 mit kohärentem Licht,
das z. B. mit Hilfe eines Strahlenteilers 4 und eines Umlenkspiegels 5 aus einem Laserstrahl 6 abgeleitet
werden kann, entstehen in bekannter Weise Interferenzmuster, die auf einer photographischen Schicht
3' registriert werden. Die Einzelheiten der Aufnahme des Hologramms sind dabei für die Erfindung ohne
Bedeutung. Es ist ohne weiteres möglich zu entscheiden, wie in einem speziellen Fall die Lochblenden 1
und 2 mit Hilfe zusätzlicher Linsen 6 bzw. 7, 8, 9
optimal angeleuchtet oder ob zweckmäßig die Lochblenden durch ein System von Lichtleitern ersetzt
werden, die an der Eintrittsstelle des Lichtes dicht gebündelt sind und an der Austrittsstelle entsprechend
der Punktstruktur aufgefiedert sind. Bei einer solchen Beleuchtungsart nutzt man die Intensität des Lasers
in optimaler Weise bei der Aufnahme aus. Schließlich kann man an Stelle der Lochblendenstruktur
1 mit einer einzelnen Lochblende oder einem Lichtleiter arbeiten und das Hologramm
quasi aufbauen, indem man diese schrittweise bewegt und die photographische Schicht 3' mehrfach belichtet.
Das so gewonnene Amplitudenhologramm kann zweckmäßig z. B. durch Ausbleichen des Silberkorns
in ein Phasenhologramm umgewandelt werden, um später einen höheren Wirkungsgrad der Abbildung
zu erreichen. Selbstverständlich kann das Phasenhologramm der Punktstruktur auch auf andere Weise,
z. B. durch Kopieren oder direkte Aufnahme, z. B. auf Photolack, hergestellt werden. Außerdem bietet
es sich bei diesem sehr einfachen Objekt an, das Hologramm in an sich bekannter Weise zu berechnen
und synthetisch herzustellen, d. h. strukturell aufzubauen.
Ein bezüglich seiner Abbildungseigenschaft besonders lichtstarkes Hologramm erhält man, wenn
man es in bekannter Weise in einem dreidimensionalen Medium aufnimmt, so daß bei der Rekonstruktion
die durch die Bragg-Bedingung gegebene Ausbreitungsrichtung mit der Richtung zusammenfällt,
in der die reellen Bilder liegen.
Beleuchtet man ein so direkt oder synthetisch hergesteltes Hologramm 3 mit der konjugierten Referenzwelle,
so erhält man bekanntlich das reelle Bild des vorgegebenen Punktrasters 1. Die vorliegende Erfindung
nutzt nun die Eigenschaft aus, daß die Lage des Bildpunktes mit der der Quelle der Referenzwelle
durch eine Abbildungsgleichung verknüpft ist, die der klassischen Linsenformel entspricht. Erzeugt man
also entsprechend F i g. 2 mittels einer monochromatischen Lichtquelle 10 am Ort der Quelle der konjugierten
Referenzwelle das reelle Bild 13 eines Objektes 14, z. B. eines Halbleiterschaltkreises, indem
man dieses mit Hilfe eines beliebigen optischen Abbildungssystems 11, 12 durch das Hologramm 3 hindurch
abbildet, so erhält man ein Raster 15, bei dem jeder Punkt durch das reelle Bild 13 des Objektes 14
ersetzt ist. Das Hologramm wird in der Austrittspupille eines Abbildungssystems als Abbildungsmittel
verwendet. Objekt 14 und Abbildungssystemil, 12 können dabei auch durch ein passend gewähltes
Hologramm des Objektes ersetzt werden. Insbesondere kann die Quelle 10 der konjugierten Referenzwelle
auch im Unendlichen liegen. Die maximale Bildgröße ist durch den Bildabstand begrenzt. Die
Abbildungsfehler sind für die unmittelbare Umgebung der ursprünglichen Referenzquelle verschwindend
klein, wenn bei der Abbildung Licht der gleichen Wellenlänge wie bei der Aufnahme des Hologramms
verwendet wird. Anderenfalls muß das Hologramm im Verhältnis der Wellenlängen maßstäblich
vergrößert oder verkleinert werden. Nimmt man größere Abbildungsfehler in Kauf, so kann man
unter geeigneten Bedingungen bei hinreichend großem Abstand der Referenzquelle auch ohne zusatzliches
Abbildungssystem das quasi selbstleuchtende Objekt direkt mit Hilfe des Hologramms der Lochblendenstruktur
abbilden oder vervielfachen.
Die Erfindung umfaßt den Fall, daß durch geeignete Aufnahmeverfahren, bei denen z. B. die Lochblendenstruktur
oder deren Bild und die Referenzquelle oder deren Bild auf entgegengesetzten Seiten
der Photoplatte liegen, Hologramme hergestellt werden, die bei Beleuchtung mit der Referenzwelle direkt
das reelle Bild der Punktstruktur erzeugen. Bei solchen Hologrammen kann man dann ohne Einschränkungen
auf das zusätzliche Abbildungssystem verzichten.
Claims (9)
1. Verfahren zur Abbildung eines beleuchteten bzw. selbstleuchtenden Gegenstandes, dessen
Bild gleichzeitig an beliebig vielen, in ihrer Lage vorgegebenen Stellen des Raumes erzeugt
wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Hologramm eines der gewünschten räumlichen
Verteilung entsprechenden Punktrasters erzeugt und in der Austrittspupille eines Abbildungssystems als Abbildungsmittel verwendet und bei
der Rekonstruktion eine — auch im Unendlichen liegende — punktförmige Referenzquelle durch
einen optisch zu vervielfachenden Gegenstand oder dessen reelles Bild ersetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Herstellung des Hologramms
des Punktrasters Kugelwellen verwendet werden, deren minimales Öffnungsverhältnis
durch das gewünschte beugungsbedingte Auflösungsvermögen bei der späteren Abbildung gegeben
ist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verringerung der Abbildungsfehler
der abzubildende Gegenstand oder dessen reelles Bild in der IJmgebung der Quelle
der Referenzwelle oder der konjugierten Referenzwelle angeordnet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verringerung
der Abbildungsfehler Licht gleicher Wellenlänge für die Erzeugung des Hologramms
und für die Abbildung verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung
von Licht ungleicher Wellenlänge das Hologramm im Verhältnis der beiden Wellenlängen
vergrößert bzw. verkleinert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß bei der
Herstellung des Hologramms eine schräg einfallende Referenzwelle benutzt wird, so daß sich
bei der Abbildung die Bilder anderer Ordnungen nicht mit den gewünschten Bildern überlagern.
7. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung
der Lichtstärke ein Phasenhologramm verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß ein
Hologramm verwendet wird, bei dem bei der Aufnahme des Hologramms die Punktstruktur
oder deren Bild und die Referenzwelle oder deren Bild auf entgegengesetzten Seiten der Photoplatte
liegen.
9. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der
folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Herstellung von Maskenbildern von integrierten
Schaltungen verwendet wird, die in einem Schritt vervielfacht und auf eine geeignet präparierte
Halbleiterscheibe abgebildet werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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Cited By (1)
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3194155B2 (ja) * | 1992-01-31 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | 半導体デバイスの製造方法及びそれを用いた投影露光装置 |
JP3210123B2 (ja) * | 1992-03-27 | 2001-09-17 | キヤノン株式会社 | 結像方法及び該方法を用いたデバイス製造方法 |
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1967
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1968
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- 1968-08-05 BE BE719091D patent/BE719091A/xx unknown
- 1968-08-05 FR FR1579159D patent/FR1579159A/fr not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
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None * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0266120A2 (de) * | 1986-10-31 | 1988-05-04 | AT&T Corp. | Erzeugung einer Anordnung von Lichtpunkten gleicher Intensität |
EP0266120A3 (de) * | 1986-10-31 | 1990-07-11 | AT&T Corp. | Erzeugung einer Anordnung von Lichtpunkten gleicher Intensität |
Also Published As
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CH509609A (de) | 1971-06-30 |
FR1579159A (de) | 1969-08-22 |
GB1227151A (de) | 1971-04-07 |
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