DE1572353A1 - Verfahren zur Herstellung von Teilungen und sonstigen Bildmustern - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Teilungen und sonstigen Bildmustern

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DE1572353A1
DE1572353A1 DE19671572353 DE1572353A DE1572353A1 DE 1572353 A1 DE1572353 A1 DE 1572353A1 DE 19671572353 DE19671572353 DE 19671572353 DE 1572353 A DE1572353 A DE 1572353A DE 1572353 A1 DE1572353 A1 DE 1572353A1
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Heinz Kraus
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/201Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask

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Description

  • Verfahren zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern im Wege des photomechanischen Kontaktkopierens. Es ist bekannt, die beim Kontaktkopieren erforderliche Vorlage zur Ausübung einzelner Verfahrensschritte an einem Mechanismus anzubringen, der die Vorlage zur Belichtung unmittelbar auf die Kontaktebene der herzustellenden Kopie aufsetzt und nach Beendigung des Belichtungsvorganges wieder von dieser abhebt.
  • Nachteilig hierbei ist, daß hervorgerufen z.B. durch Spiel in Führungsteilen bzw. Gelenken der genannten Absenk-/ Anhebemechanik und/oder Staubpartikelchen zwischen Vorlage und lichtempfindlicher Schicht, die Teilungsebene der Vorlage beim Aufsetzen auf die lichtempfindliche Schicht nicht immer exakt parallel zur Kontaktebene der herzustellenden Kopie zu liegen kommt. Die Vorlage setzt dabei vorerst über eine ihrer Kanten auf der lichtempfindlichen Schicht der herzustellenden Kopie auf, was eine die Ebenheit beeinträchtigende störende Beschädigung der lichtempfindlichen Schicht zur Folge hat. Voraussetzung für eine saubere und maf;haltige Kopie ist neben einer ebenen Vorlage auch eine einwandfrei ebene Kontaktfläche an der lichtempfindlichen Schicht der herzustellenden Kopie. Aufgabe der Erfindung ist es daher, die oben genannte Nachteile zu 'beheben-und zu erreichen, daß bei einem 'äerfahre: zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern durch photomechanisches Kontaktkopieren die Vorlage stets parallel d.h. flächig auf die lichtempfindliche Schicht der herzustellenden Kopie aufsetzt.
  • Darüber hinaus ist es Aufgabe der Erfindung, bei einer Vorrichtung vorzugsweise zum schrittweisen herstellen von Teilungen durch photomechanisches Kontaktkopieren zu erreichen, daß beim Absenken und Anhebencbr Vorlage die in der Absenk-/ Anhebemechanik vorherrschenden Momente nur unmerkliche Anderungen erfahren, während es ferner auch Aufgabe der Erfij Jung ist, eine genaue, schnelle und bequeme Justiermöglichkeit der Lagebeziehung von Vorlage und dem die lichtempfindliche Schicht tragenden Körper zu schaffen, bei der die lichtempfindliche Schicht völlig unbeschädigt bleibt.
  • Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß sic1 vorerst die zu übertragende Vorlage über ein hydrostatisches Luftlager beliebiger bekannter Art auf der lichtempfindlichen Schicht der herzustellenden Kopie abstützt und schließlich durch Abbau des vom hydrostatischen Luftlager erzeugten Luftpolsters mit der lichtempfindlichen Schicht der herzustellenden Kopie in direktem Kontakt gebracht wird.
  • Die Erfindung ist in der Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen veranschaulicht. Es zeigt Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel der Erfindung rein schematisch,' Fig. 2 eine Ansicht "x" der Fig. 1, Fig. 3 eine Ansicht "y" der Fig. 1, Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie IV - IV der Fig. 1, Fig. 5 einen Schnitt nach der Linie V - V der Fig. 2, Fig. 6 einen Schnitt nach der Linie VI - VI der Fig. 5, Fig. 7 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, Fig. 8 eine Ansicht "m" der Fig. 7, Fig. 9 eine Ansicht "n" der Fig. 7, Fig.10 einen Schnitt nach der Linie X - X der Fig. 7, Fig.11 einen Schnitt nach der Linie XI - XI der Fig. B.
  • Die Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur Ausübung des erfindungsgemäßen Verfahrens z.8. zum schrittweisen Herstellen von Teilungen im Wege des photomechanischen Kontaktkopierens.
  • Die Vorlage 15, deren Strichmarken 14 (Fig. z) in ihrer nnza:.l nur einen Bruchteil der Strichmarken 14' der herzustellenden Kopie darstellen, ist in einem Halter 16 eingesetzt, der erfindungsgemäß als hydrostatisches Luftlager bekannter Art ausgebildet ist. Die ringförmig verlaufenden Spalte 17 u. 18 des hydrostatischen Luftlagers sind in Fig. 1 zweckmäßig durch Einpassen einer die Vorlage 15 aufnehmenden Fassung 19 in einen diese berührungslos umschließenden Rahmen 20 gebildet. Die Fassung 19 und der Rahmen 20 sind auf einer Trägerplatte 21 unverrückbar befestigt. Die Trägerplatte 21 weist im Flächenbereich der Vorlage 15 eine Bohrung 22 auf. Der die Vorlage 15 tragende ::alter 16 ist über zwei diametral einander gegenüberliegende Blattfedergelenke 23 in einem Ring 24 gelagert, der seinerseits über ein Blattfedergelenkpaar 25 (Fig. 2) federnd in einem gi;belförmig gestalteten Hebel 26 aufgehängt ist. Der Hebel 25 wiederum ist um ein ortsfest angebrachtes Blattfedergelenk 27 schwenkbar. Ein auf dem Hebel 26 verschiebbares Gewicht 23 dient zur Regulierung des Anpressdruckes der Vorlage 15 auf der lichtempfindlichen Schicht 29 der herzustellenden Kopie. Der mit der lichtempfindlichen Schicht 29 versehene Träger 30 ist mittels nicht gezeigter üblicher Spannelemente auf dem u.eßbar verschiebbaren Tisch 31 einer Teilmaschine 32 befestigt. , Die Verschieberichtung des Tisches 31 verläuft in Fig. 1 c senkrecht zur Zeichenebene. Die Teilmaschine 32 und der das t Blattfedergelenk 27 für den Hebel 26 tragende Ständer 33 sind un, verrückbar auf einer Grundplatte 34 angebracht.
  • Die $eleuchtung der Vorlage 15 erfolgt über eine Lampe 35, einen Hohlspiegel 36, einen gondensor 37 und einen Spiegel 38. Um die herzustellende Teilung weitgehend vor Wärmeentwicklungen der Lampe 35 zu schützen, wird zweckmäßig die Lampe z5, der Hohlspiegel 36 und der Kondensor 37 außerhalb des Teilungsraumes hinter einer im Flächenbereich des Lichtbündels durchbrochenen Trennwand 40 angebracht. Weitere sich auf die h.erzustel.lende Teilung störend auswirkende Wärmestrahlen werden weitgehend auch noch dadurch reduziert, daß als Spiegel 38 ein sogenannter Kaltlichtspiegel Verwendung findet, der die Wärmestrahlen nicht auf das zu beleuchtende Objekt lenkt, sondern im Strahlengang-passieren läßt. Die den Spiegel 38 durchsetzenden Wärmestrahlen werden in Fig. 1 von einer schwarzen Wand 41 absorbiert, die zweckmäßig wassergekühlt ist.
  • Dem im Halter 16 eingebrachten ringförmigen Spalt 18 des hydrostatischen Luftlagers wird über eine Leitung 42 sowie eine Schraubverbindung 43 und eine Luftberuhigungskammer 17 unter Druck stehende Luft zugeführt, die zwischen die Teilungsebene von Vorlage 15 und lichtempfindlicher Schicht 29 gedrückt wird, wo sich ein Tragpolster bildet, der die beiden einander gegenüberliegenden Flächen vor gegenseitiger Berührung bewahrt.
  • Der Druck der dem hydrostatischen Luftlager 17/18 zugeführten' Speiseluft ist zweckmäßig durch ein in die Leitung 42 eingefügtes nicht gezeigtes Regulierventil bekannter Art einstellbar. Die biegsame Druckluftleitung 42 ist am Hebel 26 mittels eines Halters 44 befestigt.
  • Mit 45 ist in Fig. 1 eine am Hebel 26 angreifende pneumatisch wirkende Absenk-/ Anhebevorrichtung bezeichnet, die zum Uberbrücken von im Verhältnis zum Lagerspalt des hydrostatischen Luftlagers 17/18 großen Verschwenkbeträgen der Vorlage 15 vorgesehen ist. Der Zylinder 46 der pneumatischen Absenk-/ Anhebevorrichtung ist in einem Lagerbock 47 höhenverstellbar gelagert und darin mittels einer Schraube 48 feststellbar. Im Lagerbock 47 ist außerdem eine Ausnehmung 50 für die am Zylinder 46 angeschlossene Druckluftleitung 51 vorgesehen. Eine Gummikappe 52 an der Kolbenstange 53 gewährleistet ein weiches Aufsetzen derselben am Hebel 26. Eine Schraube 54 dient zur Begrenzung der Verschwenkbewegung des Hebels 26. Die Schraube 54 ist in einem am Ständer 33 angebrachten winkligen Halter 55 verstellbar und mittels einer Gegenmutter 56 feststellbar.
  • Die Arbeitsweise mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß Fig. 1 geht wie folgt vor sich: Die Vorlage 15 ist vor dem eigentlichen Kopiervorgang von der lichtempfindlichen Schicht 29 der herzustellenden Kopie abgehoben, die Kolbenstange 53 des pneumatischen Absenk-/ Anhebemechanismus 45 befindet sich dabei im ausgefahrenen Zustand.
  • Soll mit dem Kopiervorgang begonnen werden, dann wird dem hydrostatischen Luftlager 17/18 über die Leitung 42 Druckluft zugeführt, während zugleich die Luftzufuhr in der Leitung 51 der pneumatischen Absenk-/ Anhebevorrichtung 45 gedrosselt und schließlich völlig abgestellt wird. Nachdem die Kolbenstange 53 der pneumatischen Absenk-/ Anhebevorrichtung 45 eingefahren ist, stützt sich die Vorlage 15 erfindungsgemäß über das hydrostatische Luftlager 17/18 auf der lichtempfindlichen Schicht 29 der herzustellenden Kopie ab. Anschließend werden unter Verwendung des hydrostatischen luftlagers 17/18 für die Vorlage 15 in aneinander anschließenden sich wiederholenden Zyklen folgende Verfahrensschritte ausgeführt: a) Abbau des die Vorlage 15 und die lichtempfindliche Schicht 29 voneinander trennenden Luftpolsters und zugleich Aufsetzen der Vorlage 15 auf die lichtempfindliche Schicht 29 der herzustellenden Kopie, b) Belichten der Vorlage 15 mittels des optischen Systems 3;/'6/37/38, das einen Lichtfleck in ' etwa der Größe der Vorlage 15 erzeugt, c) Aufbau eines die Vorlage 15 und die lichtempfindliche Schicht 29 wieder voneinander trennenden Luftpolsters, d) Verschieben der Vorlage 15 relativ zur lichtempfindlichen Schicht 29 mittels der Teilmaschine 32 um ein bestimmtes Längen- oder z.B. auch ' Winkelmaß.
  • Die vorstehend angeführten Einzeloperationen werden zvieckme'ßig über einen Programmgeber beliebiger bekannter Art gesteuert. Nach Beendigung des Kopiervorganges wird die Kolbenstange 53 des pneumatischen Absenk-/ Anhebemechanismus 45 wieder ausgefahren, wobei die Vorlage 15 in einem solchen Abstand von der Oberfläche des Tisches 31 der Teilmaschine 32 gebracht wird, daß der fertig kopierte Teilungsträger 30 und bei Bedarf auch die Vorlage 15 ausgetauscht werden können. Die bei hydrostatischen Luftlagern bekannter Art üblichen Lagerspalte, die sich bekanntlich in der Größenordnung von tauseiftel Millimeter bewegen können, gestatten ein paralleles d. h. flächiges Aufsetzen der Vorlage 15 auf der lichtempfindlichen Schicht 29 der herzustellenden Kopie.
  • Darüber hinaus treten bei den genannten sich zyklisch wiederholenden Verfahrensschritten a) bis d) durch den geringen Lagerspalt zwischen Vorlage 1s und lichtempfindlicher Schicht 29 im gesamten Kopiergehänge nur unmerkliche Momentänderungen auf, die auf die Genauigkeit der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Teilungen praktisch keinen Einfluß ausüben. Von Vorteil bei der der Erfindung ist ferner, daß vom hydrostatischen Luftlager 17/18 die zwischen der Vorla;e 15 und der lichtempfindlichen Schicht 29 sich befindlichen Staub-oder Schmutpartikelchen weggeblasen werden, so daß auch diesbezüglich keine die Ebenheit beeinträchtigende Beschädigungen der lichtempfindlichen Schicht 29 der herzustellenden Kopie auftreten können.
  • i Die Fig. 7 bis 11 zeigt eine Vorrichtung zur Ausübung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern durch photomechanisches Kontaktkopieren, bei der abweichend vom Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 die Vorlage 60 keine Relativbewegung zur lichtempfindlichen Schicht 61 der herzustellenden Kopie ausführt.
  • Der mit der lichtempfindlichen Schicht 61 versehene Träger 62 ist mittels nicht gezeigter üblicher Spannelemente auf einem Tisch 63 unverrückbar befestigt. Die Vorlage 60, deren Bildmuster z.B. gemäß Fig. 9 eine Testplatte darstellt, ist in einem Halter 64 eingesetzt, der erfindungsgemäß als hydrostatisches Luftlager ausgebildet ist. Die ringförmig verlaufenden Spalte 65 u. 66 des hydrostatischen Luftlagers sind auch in Fig. 7 zweckmäßig durch Einpassen einer die Vorlaje 60 aufnehmenden Fassung 67 in einen diese berührungslos umschließenden Rahmen 68 gebildet..Die Fassung 67 und der Rahmen 68 sind unverrückbar auf einer Trägerplatte 69 befestigt, die im Flächenbereich der Vorlage 60 eine Bohrung 70 aufweist. Der die Vorlage 60 tragende Halter 64 ist über zwei einander gegenüberliegende Blattfedergelenke 71 schwenkbar in e:V nem Rahmen 72 gelagert, während der Rahmen 72 seinerseits über . ein Blattfedergelenkpaar 73 (Fig. 8) federnd an einem Babel= förmig gestalteten Hebel 74 aufgehängt ist. Der Hebel 74 ist um ein am Ständer 77 angebrachtes Blattfedergelenk 75 schwenkbar gelagert. Ein auf deal Hebel 74 verschiebbares Gewicht 76 dient zum Einstellen des Anpressdruckes der Vorlage 60 auf der lichtempfindlichen Schicht 61 der herzustellenden Kopie. Die Belichtung der Vorlage 60 erfolgt wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 über eine Lampe, einen Hohlspiegel, einen Kondensor und einen Spiegel 80, wobei im Hinblick auf die Wärmeentwicklungen der Lichtquelle auch in Fig. 7 zweckmäßig die gesamte Beleuchtungseinrichtung außerhalb des Kopierraumes angebracht ist. Weitere sich auf die herzustellende Kopie störend auswirkende Wärmestrahlen werden weitgehend auch noch dadurch reduziert, daß als Spiegel 80 ein sogenannter Kaltlichtspiegel Verwendung findet, der die Wärmestrahlen nicht auf das zu beleuchtende Objekt lenkt, sondern im Strahlengang passieren läßt. Die den Spiegel 80 durchsetzenden Wärmestrahlen werden von einer schwarzen ,'J:nd 31 absorbiert; die zweckmäßig wassergekühlt ist.
  • Dem im Halter 64 eingebrachten ringförmigen Spalt 66 des hydrostatischen Luftlagers wird über eine Leitung 82 sowie eine Schraubverbindung 83 und eine Luftberuhigungskammer 65 Druckluft zugeführt, die zwischen die Teilungsebene von Vorlage 60 und lichtempfindlicher Schicht 61 gedrückt wird, wo sich ein Tragpolster bildet, dEr die beiden einander gegenüberliegenden Flächen vor gegenseitiger Berührung bewahrt. Der Druck der dem hydrostatischen Luftlager65/66 zugeführten Speiseluft ist zweckmäßig durch ein in die Leitung 82 eingefügtes nicht gezeigtes Regulierventil einEtellbar. Die biegsame Druckluftleitung 82 wird in Fig. 7 in nicht gezeigter Weise am vorderen Teil des Hebels 74 unverrückbar festgehalten. Mit 90 ist in Fig. 7 eine am Hebel 74 angreifende Absenk-/ Anhebevorrichtung bezeichnet, die zum Uberbrücken von im Verhältnis zum Lagerspalt des hydrostatischen Luftlagers 65/66 großen Verschwenkbeträgen der Vorlage 60 vorgesehen ist. Die Absenk-/ Anhebevorrichtung 90 besteht aus einem Schrittmotor 91, auf dessen Welle 92 eine Noeke 93 befestigt ist, die am Hebel 74 angreift. Der Motor 91 ist auf einer Konsole 94 und diese auf einer Grundplatte 95 befestigt. Die Arbeitsweise mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß Fig. 7 geht wie folgt vor sich: Die Vorlage 60 ist vor dem eigentlichen Kopiervorgang von der lichtempfindlichen Schicht 61 der herzustellenden Kopie abgehoben. Soll mit dem Kopiervorgang begonnen werden, dann wird . dem hydrostatischen Luftlager 65/66 über die Leitung 82 Druckluft zugeführt, während zugleich die auf der 'llelle 92 des h:otors 91 angebrachte Nocke 93 um 180o in die in Fig. 1 gezeigte Stellung gedreht wird. Die Vorlage 60 stützt sich dabei erfindungsgemäß über das hydrostatische Luftlager 65/66 auf der lichtempfindlichen Schicht 61 der herzustellenden Kopie ab. Anschließend wird durch Abschaltendes hydrostatischen Luftlagers 65/66 die Vorlage 60 mit der lichtempfindlichen Schicht 61 in unmittelbarem Kontakt gebracht und der Belichtungsvorgang eingeleitet. Nach erfolgter Belichtung wird die Vorlage 60 durch Betätigen der Absenk-/ Anhebevorrichtung 90 wieder von der lichtempfindlichen Schicht 61 der herzustellenden Kopie übgehoben und in einem solchen Abstand von der Oberfläche des Tisches 63 gebracht, daß der fertig kopierte Träger 62 und/oder die Vorlage 60 ausgewechselt werden können. Beim Auswechseln der Vorlage 60 wird in Fig. 7 zweckmäßig das gesamte in der gabelförmigen Ausnehmung des Hebels 74 angebrachte Gehänge ausgebaut und durch ein anderes ersetzt. -Werden zum Herstellen einer einzigen Kopie mehrere Vorlagen mit verschiedenen Bildinformationen benötigt, dann wird die be-' jedem Austausch der Vorlage erforderlicL werdende Justierung von Vorlage und dem mit der lichtempfindlichen Schicht versehenen Träger unter Benutzung des hydrostatischen Luftlagers durchgeführt. Der geringe Abstand zwischen Vorlage und lichtempfindlicher Schicht ermöglicht' eine hohe Justiergenauigkeit, ohne daß dabei die lichtenpw i ndliche Schicht beschädigt wird.

Claims (1)

  1. Ansprüche 1 j) ,erfahren zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern im wiege des photomechanischen Kontaktkopierens, dadurch gekennzeichnet, daß sich vorerst die zu übertragende Vorlage (15 bzw. 60) über ein hydrostatisches Luftlager (17/18 bzw. 65/66) beliebiger bekannter Art auf der lichtempfindlichen Schicht (20; bzw. 61) der herzustellenden Kopie abstützt und schließ-. lich durch Abbau des vom hydrostatischen Luftlager (17/18 bzw. 65/66) erzeugten Luftpolsters mit der lichtempfindlichen Schicht (29 bzw. 61) der herzustellenden Kopie in direktem Kontakt gebracht wird. 2.) Verfahren zum Herstellen von Teilungen und sonstigen Bildmustern mit einer Vorlage, die nacheinander mit verschiedenen Stellen der lichtempfindlichen Schicht der herzustellenden Kopie in Kontakt gebracht wird, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, da!? unter Verwendung des hydrostatischen Luftlagers (17/18) für die Vorlage (15) in aneinander anschließenden sich wiederholenden Zyklen folgende Schritte ausgeführt werden: a) Abbau des die Vorlage (15) und die lichtempfindliche Schicht (29) voneinander trennender. Luftpolsters und zugleich Aufsetzen der ;Torlage (15) auf die lichtempfindliche Schicht (29) der herzustellenden Kopie, b) Belichten der Vorlage (15) mittels eines optischen Systems (35/36/37/38), das einen Lichtfleck in etwa der Größe der Vorlage (15) erzeugt, c),Aufbau eines die Vorlage (15) und die lichtempfindliche Schicht (29) wieder voneinander trennden ` Luftpolsters, d) Verschieben der Vorlage (15) relativ zur lichtempfindlichen Schicht (29) der herzustellenden Kopie um ein bestimmtes Längen- oder Ylinkelmaß. 3.) Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch .1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorlage (15 bzw. ö0) in einem Halter (16 bzw. 64) eingesetzt ist, der als hydrostatisches Luftlager (17/18 bzw. 65/66) ausgebildet ist. 4.) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem die Vorlage (15 bzw. 60) aufnehmenden Halter (16 bzw. 64) ringförmig verlaufende Spalte (17/18 bzw. 65/66) des hydrostatischen Luftlagers vorgesehen sind. 5.) Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die ringförmig verlaufenden Spalte (17/18 bzw. 65/66) des hydrostatischen Luftlagers durch Einpassen einer die Vorlage (15 bzw. 60) aufnehmenden Fassung (19 bzw. 67) in einen diese berührungslos umschließenden Rahmen (20 bzw. 68) gebildet sind, und daß dabei sowohl die die Vorlage (15 bzw. 60) tragende Fassung (19 bzw. 67) als auch der Rahmen (20 bzw. 68) auf einer im Flächenbereich fie:@- Jorla.= c- (15 bzw. 60) durchbrochenen Trägerplatte (2l bzw. E@`;) unverrückbar befestigt sind. E@.) Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der die Vorlage (15 bzw. 60) aufnehmende F?alter (16 bzw. 64) über reibungsarme spielfreie Gelenke (23/2; bzw. 71/73) kardanisch an einem Hebel (26 bzw. 74) ge- lagert ist, der seinerseits mittels des hydrostatischen ' Luftlagers (17/13 bzw. 65/56) um ein ortsfestes spiel- freies Gelenk (27 bzw. 75) anhebbar und absenkbar ist. 7.) Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 6, dadurch ekennzeicreu daß außer dem hydrostatischen Luftlager (17ii3 bzw. '5/#--#) für die Vorlage (15 bzw. 60) noch ein gesonderter vorzugs- weise an dem die Vorlage (15 bzw. 60) tragenden Uebel (26 bzw. 74) angreifender Absenk-/ Anhebemechanismuä 745 bzw. 90) zum Uberbrücken vom im Verhältnis zum Lagersp-a-U.', des hydrostatischen Luftlagers (17/18 bzw. e5/66) gro2en Verschwenkbeträgen der Vorlage (15 bzw. CO) vorgesehen ist. 8.) Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, d#33 sowohl der Mittelpunkt des Gelenkes (75) für dep die Vor- lage (60) tragenden Hebel (74) als auch die t@:ittelpunkte der- Gelenke (71 u. 73) für die am Hebel (74) kardanisch @,uf-e- hängte Vorlage (60) in Höhe der Kontaktebene der herzu- - stellenden Kopie angebracht sind.
    `?.' 'Torrichtung noch Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, d<32 der «npresedruck der Vorlage (15 bzw. e0) iuf er lichtempfindlichen Schicht (29 bzw. 61) der herzustel- lenden Kopie mittels eines am Hebel (26 bzw. 74) verschiebbaren Gewichtes (28 bzw. 70) einstellbar ist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0147169A2 (de) * 1983-12-21 1985-07-03 Hewlett-Packard Company Flexionsvorrichtung für die Ausrichtung eines Trägers
DE3401856A1 (de) * 1984-01-20 1985-07-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Kontaktkopiereinrichtung

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