DE1473355C3 - Elektrolytisches Verfahren zur Herstellung elektrischer gitterförmiger Widerstandselemente - Google Patents

Description

Eindringens veranschaulicht kt w
daß die Trennung mischen _bSaäbwe„ÄÄ der Streifen 31 überaus schnell aSühn weiden" iTu I ^nU% ^überhauPt keine 2ßteicS der metallischen Folie entfernt werden besSktXh die gesamte elektrolytische AbtragungaufSe S te en ^l™& ^der Linfcn, welche die Streifen Ii des WMe? standselementes 30 beeren7en Pc t wider-Schlitzkanten äußerst großer Exaktheit dfe pSktLt frei von Unregelmäßigkeiten und fifft? wie «e bei den bishe? bekanntgewordene^^ üblichen Verfahren zu beobachten waren °^{menen ublich}en . ^Nacl^ern die von der Maske bedeckte Metallfolie in- einem Bereich außerhalb der MaTkenSip £ einem Draht verbunden ist, wird siefkTi^

nrf ^^0S"^{ng geIegt und mit} einer
und mit einer Elektrode i d

mäßen Verfahren

^n erforderlich sind. Die gleichen

u ^{man auch bei anderen} ge°metriw?' ^beisP«Isweis_e ¹^ kreisförmigen oder T kreis ormigen Löchern, solange die Bereiche « ^Verf^rkten. elektrolytischen Abtragung im Zu^s^me_nhang mit nahe beieinanderliegenden Begrenzungshnien sich überlappen.
.^Wf-tandselemente, die nach dem Verfahren geder Erfindung hergestellt werden, sind auch frei S? ^SCh,^ad'^Ich^ f ^h.^arfen Zacken, die normalerweise bei nach den bisherigen Verfahren hergestellten EIe- Z^^ ^anS^etr°^ffen,^werden· Derartige Fehler entste· vorzugsweise durch den chemischen Angriff an Sf"? ¹^^{1 che}^ Kristallen, die sich in der Folie Ä f^{S ψ3ΐζνεΓί}.^ώ™* finden. Derarüge Zacken f Rillen zeigen eine symmetrische Anordnung in

der Folie.

: sa

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

1 2 gen der benachbarten Kanten der Maske überlappen Patentansprüche: die Bereiche des überwiegenden Angriffes der elektrolytischen Wirkung längs der Ränder der Maske

1. Elektrolytisches Verfahren zur Herstellung einander, so daß nach Durchdringung der Widerelektrischer gitterförmiger Widerstandselemente, 5 Standsschicht kein Steg zwischen den Rändern verwie Dehnungsmeßstreifen, bei dem stromleiten- bleibt und somit der elektrolytische Angriff beendet des Material in nicht durch eine Maske abge- werden kann, ehe eine Unterschneidung der Maskendeckten, schlitzförmigen Zonen elektrolytisch ab- rändbr stattfindet. . .

getragen wird, dadurch gekennzeich- Eine Weiterbildung der Erfindung besteht darin,

net, daß die Talsohlen der Zonen (54) verstärk- io daß zwecks Erzielung einer gewünschten Breite der

ter elektrolytischer Abtragung durch Einhaltung verstärkten elektrolytischen Abtragung für ein be-

einer vorgegebenen Schlitzbreite (b) zwischen stimmtes vorgegebenes Material eine ganz bestimmte

den Kanten (14) der Maske (51) nahezu ineinan- Betriebsspannung und/oder ein ganz bestimmter

der übergehen. - Elektrolyt verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 15 Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der kennzeichnet, daß zwecks Erzielung einer ge- Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher wünschten Breite der verstärkten elektrolytischen beschrieben. Es zeigt

Abtragung für ein bestimmtes vorgegebenes F i g. 1 einen Teil eines elektrischen gitterförmigen

stromleitendes Material eine ganz bestimmte Be- Dehnungsmeßstreifens,

triebsspannung und/oder ein ganz bestimmter 20 F i g. 2, 3 und 4 jeweils eine Ansicht eines breiten

Elektrolyt angewendet wird. Schlitzes, der mit Hilfe des vorbekannt elektrolytischen Verfahrens hergestellt ist, und Fig. 5, 6 und 7 jeweils eine Ansicht von Schlitzen,·

die nach dem Verfahren nach der Erfindung herge-

25 stellt sind.

In den Fig.2 bis 7 sind die verschiedenen nach-

Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrolytisches stehend zu beschreibenden Schichten übertrieben

Verfahren zur Herstellung elektrischer gitterförmiger dick dargestellt. ;

Widerstandselemente, wie Dehnungsmeßstreifen, bei Der in F i g. 1 veranschaulichte Teil eines Wider-

dem stromleitendes Material an nicht durch eine 30 Standselementes umfaßt leitende Streifen 31, die

Maske abgedeckten, schlitzförmigen Zonen elektro- durch Schlitze 32 voneinander getrennt sind,

lytisch abgetragen wird. In den F ig. 2 bis 4 ist die verstärkte elektrolyti-

Bei derartigen Verfahren ist eine genaue Einhai- sehe Abtragung längs der Ränder einer Maske für

rung der Breite der das Gitter bildenden Streifen er- das vorbekannte Verfahren veranschaulicht,

forderlich, damit Elemente vorherbestimmten Wider- 35 Eine Maske 51 wird auf die Oberfläche einer Me-

standes erhalten werden. tallfolie 52 gelegt, beispielsweise eine Konstantanfo-

Man hat versucht, die vorbekannten Verfahren lie (55 °/o Kupfer, 45 % Nickel), die von einer Unter-(z. B. »Radio und Fernsehen«, Bd. 7, 1958, Heft 15, lage 53 getragen ist. Die Maske 51 bietet einen ver-S. 469 bis 471) zu verbessern durch genaue Äusbil- hältnismäßig großen Raum für den Angriff des Elekdung der Schablonen und genaue Kontrolle der elek- 40 trolyts. Wie ersichtlich, überwiegt in einem Zwitrolytischen Vorgänge. Dies ist jedoch nicht in zu- schenstadium gemäß F i g. 2 die Wirkung des Elekfriedenstellendem Ausmaß gelungen, so daß weiterhin trolytes längs der Kanten der isolierenden Maske 51, ein unerwünscht hoher Teil der hergestellten Wider- was zur Entfernung einer größeren Materialmenge in Standselemente wegen Abweichung von den vorge- einer Zone 54 längs der Kante der Maske 51, also im schriebenen Widerstahdswerten als unbrauchbar aus- 45 Bereich 56, der nicht unmittelbar in der Nachbargeschieden werden mußten, schaft der Kanten der Maske 51 liegt, führt.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Nach weiterer Einwirkung des Elektrolytes auf die Verfahren zu schaffen, bei dem, verglichen mit den Folie 52 längs der Kanten der Maske 51 wird die Fo- -, vorbekannten Verfahren, eine bedeutend höhere lie durch die gesamte Tiefe in der Zone 54 durchge-Ausbeute an den gesetzten Normen entsprechenden 50 schnitten, wie dies F i g. 3 zeigt. und somit verwendbaren Widerstandselementen er- Selbst nach einer verhältnismäßig langen Zeitreicht wird. . spanne der Behandlung bleibt die Insel 55 zwischen

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge- den Kanten der Maske.51 erhalten. Sobald nun die

löst, daß bei einem Verfahren der eingangs angege- vollständige Insel 55 herausgebildet worden ist, be-

benen Art die Talsohlen der Zonen verstärkter elek- 55 steht in diesem Bereich kein stromleitender Pfad mit

trolytischer Abtragung durch Einhaltung einer vorge- niedrigem Widerstand, und die sich daraus ergebende

gebenen Schlitzbreite zwischen den Kanten der Einwirkung auf die Insel ist praktisch Null, aber ein

Maske nahezu ineinander übergehen. fortgesetzter Angriff hat zur Folge, daß die Maske

Hierdurch ergibt sich als technischer Fortschritt 51, wie F i g. 4 zeigt, unterschnitten wird,

die Überwindung eines Nachteils elektrolytischer 60 Die Tatsache, daß das Maß des Eindringens längs

Verfahren, der der Fachwelt unbekannt war oder für der Kanten der Maske größer ist, wird bei dem Ver-

den sie keine Lösung bereit hatte, daß der überwie- fahren nach der Erfindung in der Weise ausgenutzt,

gende Angriff der Materialentfernung längs der Rän- daß die benachbarten Kanten 14 der Maske zusam-

der der Maske erfolgt und zu einem unkontrollierten mengebracht werden, bis die Bereiche verstärkter

Wegätzen unterhalb der Ränder der Maske führt, ehe 65 elektrolytischer Abtragung sich ganz oder vollständig

der Mittelteil zwischen benachbarten Streifen des Git- überlappen, wie dies in F i g. 5 bzw. 6 für einen Ver-

ters entfernt ist. fahrenszustand des noch nicht vollständigen Eindrin-

Bei dem erfindungsgemäßen engen Zusammenle- gens und in Fig.7 für den Fall des vollständigen