DE1428264C

DE1428264C - Scheibe fur eine Turbo Molekular

Info

Publication number: DE1428264C
Application number: DE19641428264
Authority: DE
Priority date: 1963-06-05
Filing date: 1964-05-20
Publication date: 1973-07-05

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

1 2

Die gestellte Aufgabe ist bei einer Scheibe einer

Patentanspruch: Turbo-Molekularpumpe nach dem Hauptpatent dadurch gelöst, daß gemäß der Erfindung die Neigungs-Scheibe für eine Turbo-Molekularpumpe mit richtung der Bohrung analog der Neigungsrichtung einer Anzahl von innerhalb eines ringförmigen 5 der Lippen bzw. Vorsprünge gegenüber der Senk-Bereichs der Scheibe radial verlaufenden Schiit- rechten auf der Scheibe verläuft,
zen, die durch aus den entgegengesetzten Ober- Es hat sich gezeigt, daß bei dieser Orientierung

flächen der Scheibe hervortretende Lippen bzw. der Bohrung praktisch keine Verluste auftreten und Vorsprünge begrenzt sind, wobei sich die Schlitze daß die effektive Schlitzlänge durch die Anordnung bis zu einem durchgehend über den Umfang der io der Bohrungen gemäß der Erfindung vergrößert wird. Scheibe verlaufenden Kranz erstrecken, wobei Das tatsächliche Fehlen oder die beträchtliche

an den äußeren Enden der Schlitze in an sich Herabsetzung der Verluste läßt sich dadurch erkläbekannter Weise Sperren zum Verhindern des ren, daß unter Berücksichtigung der Drehgeschwin-Weiterwanderns der Schlitze vorgesehen sind und digkeit und der Gesamtgeschwindigkeit der ausgewobei diese Sperren jeweils aus einer durch ein 15 pumpten Gasmoleküle diese eine Bewegungs-Plättchen verschlossenen Bohrung oder einer komponente aufweisen, welche in Richtung der schräg zur Drehachse verlaufenden offenen Boh- Bohrungsachse liegt. Das hat einen Strom von einrung bestehen, nach Patent 1 428 238, dadurch fallenden Molekülen zur Folge, der dem Bestreben gekennzeichnet, daß die Neigungsrich- nach einem stromauf Zurückströmen entgegenwirkt, tung der Bohrung (Γ) analog der Neigungsrich- 20 welches normalerweise wegen der beiderseits der tung der Lippen bzw. Vorsprünge (L₁, L₂) gegen- Scheibe herrschenden Druckunterschiede vorhanüber der Senkrechten auf der Scheibe (D) ver- den ist.
läuft. , Die Erfindung wird an Hand des in der Zeichnung

dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.

25 Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Teilansicht einer erfin-

Das Hauptpatent bezieht sich auf eine Scheibe dungsgemäß ausgebildeten Scheibe einer Turbofür eine Turbo-Molekularpumpe mit einer Anzahl Molekularpumpe,

von innerhalb eines ringförmigen Bereichs der F i g. 2 einen Schnitt durch die Scheibe nach

Scheibe radial verlaufenden Schlitzen, die durch aus 3° Fig. 1 längs der Linie II-II, und zwar in vergrößerden entgegengesetzten Oberflächen der Scheibe her- tem Maßstab.

vortretende Lippen bzw. Vorsprünge begrenzt sind, Die Bezeichnungen in den Figuren entsprechen

wobei sich die Schlitze bis zu einem durchgehend den Bezeichnungen in dem Hauptpatent,
über den Umfang der Scheibe verlaufenden Kranz Die Scheibe D ist eine Scheibe einer Molekularerstrecken, wobei an den äußeren Enden der Schlitze 35 vakuumpumpe. In einem ringförmigen Bereich Z der in an sich bekannter Weise Sperren zum Verhindern Scheibe D sind Öffnungen. in Form von radialen des Wetterwände ms der Schlitze vorgesehen sind Schlitzen F vorgesehen, die von Lippen L₁, L₂ und wobei diese Sperren jeweils aus einer durch ein (F i g. 2) abgedeckt sind, die beiderseits der Scheibe D Plättchen verschlossenen Bohrung oder einer schräg über diese überstehen. Die Lippenserien ähneln dazur Drehachse verlaufenden offenen Bohrung be- 40 bei einer Jalousie.

stehen. Die radialen Schlitze F münden nicht am Rand

Bei Turbo-Molekularpumpen, die gegenüber Tür- der Scheibe D, sondern ein Stück davor, wodurch binen und Ventilatorenlaufrädern in ganz anderen am Rand der Scheibe ein durchlaufender Metall-Druckbereichen arbeiten, spielt das Problem der kranz C erhalten bleibt, welcher die einzelnen Lip-Undichtigkeit eine große Rolle. Es hat sich gezeigt, 45 pen miteinander verbindet. Bei der Herstellung einer daß die Moleküle des verdünnten Gases, die sich solchen Scheibe kann von einer massiven kreisauf Grund der Pumpwirkung der Scheibe über die förmigen Metallscheibe ausgegangen werden, die geSchlitze stromab bewegen, anschließend über die am schlitzt und verformt wird.

Ende der Schlitze angeordneten Bohrungen bei einer Um ein Weiterwandern bzw. Ausreißen der

aus der USA.-Patentschrift 1072 189 bekannten 50 Schlitze F in dem Werkstoff der Scheibe in Form von Konstruktion wieder stromauf zurückströmen, so daß Sprüngen oder Rissen zu verhindern, sind in den der Wirkungsgrad der Pumpe dadurch begrenzt wird. äußersten Schlitzenden Bohrungen T vorgesehen. Gegenstand des Hauptpatentes ist es, durch die Ge- Die Achsen der Bohrungen sind dabei gegenüber der staltung der Bohrungen an den Schlitzenden, das Senkrechten auf der Scheibe geneigt, und die Neistromauf Zurückströmen des verdünnten Gases zu 55 gungsrichtung ist so gelegt, daß sie analog der Neivermindern. Die Bohrungen verlaufen dabei nach gungsrichtung der Lippen L₁, L₉ gegenüber der Senkder Lehre des Hauptpatentes schräg zur Drehachse. rechten auf der Scheibe D verläuft. In dem Ausfüh-Es ist Aufgabe der Erfindung, durch eine günsti- rungsbeispiel nach F i g. 2 verläuft die Achse der gere Anordnung der Bohrungen in der Scheibe den Bohrung fast parallel zur Ebene der Lippen L₁, L₂. Wirkungsgrad der Pumpe weiter zu verbessern, indem 60 In einem anderen Ausführungsbeispiel beträgt die die Verluste nicht nur in verstärktem Maße vermin- Neigung der Bohrungsachse gegenüber der Senkdert werden, sondern durch die Bohrungen auch die rechten auf der Scheibe etwa 45 ± 10°, während effektive Länge der Schlitze und damit der wirksame diejenige der Schaufeln je nach Stufe der Maschine Öffnungsquerschnitt vergrößert wird. zwischen etwa 10 und 28° schwankt.