DE1428238C - Scheibe für eine Turbo-Molekularpumpe - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Scheibe für eine Turbo-Molekularpumpe mit einer Anzahl von innerhalb eines ringförmigen Bereichs der Scheibe radial verlaufenden Schlitzen, die durch aus den entgegengesetzten Oberflächen der Scheibe hervortretende Lippen bzw. Vorsprünge begrenzt sind, wobei sich die Schlitze bis zu einem durchgehend über den Umfang der Scheibe verlaufenden Kranz erstrecken.

Es ist bekannt, die rotierenden Scheiben von Molekularpumpen mit Schlitzen zu versehen, deren geneigte Seitenflächen dazu dienen, die Rückströmung der Moleküle zwischen benachbarten Stufen der Pumpe zu verhindern (deutsche Auslegeschrift 1015 583). Weiterhin sind Leitschaufeln und Laufräder für Turbinen, Ventilatoren u. dgl. aus der deutschen Patentschrift 236 608 bekannt, bei denen die Schaufeln durch Schlitzen einer ebenen Scheibe und Aufbiegen der beim Schlitzen entstandenen Metallappen gebildet sind. Darüber hinaus ist es aus der USA.-Patentschrift 1 072 189 bekannt, bei derartig gebildeten Schaufeln die Enden der Schlitze mit Löchern abzuschließen, damit die Schlitze nicht weiter aufreißen können.

Bei Turbo-Molekularpumpen, die gegenüber Türbinen und Ventilatorenlaufrädern in ganz anderen Druckbereichen arbeiten, spielt das Problem der Undichtigkeit eine große Rolle. Es hat sich gezeigt, daß die Moleküle des verdünnten Gases, die sich auf Grund der Pumpwirkung der Scheibe über die Schlitze stromab bewegen, anschließend über die am Ende der Schlitze angeordneten Öffnungen wieder stromauf zurückströmen, so daß der Wirkungsgrad der Pumpe dadurch begrenzt wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Löcher oder Ausnehmungen an den Schlitzenden so· zu gestalten, daß der Wirkungsgrad der Pumpe durch die Löcher oder Ausnehmungen an den Schlitzenden nicht beeinträchtigt wird.

Die gestellte Aufgabe ist bei einer Turbo-Molekularpumpe der eingangs erwähnten Art dadurch gelöst, daß gemäß der Erfindung an den äußeren Enden der Schlitze in an sich bekannter Weise Sperren zum Verhindern des Weiterwanderns der Schlitze vorgesehen sind und daß diese Sperren jeweils aus einer durch ein Plättchen verschlossenen Bohrung oder einer schräg zur Drehachse verlaufenden offenen Bohrung bestehen. ,

Die Ausbildungen der Schlitzenden führen dazu, daß durch eine einfache und in jeder Beziehung befriedigende Lösung die Leckverluste beseitigt sind und der Wirkungsgrad der Pumpe damit nicht beeinträchtigt wird.

Die Erfindung wird an Hand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Pumpenscheibe nach der Erfindung,

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig. 1,

F i g. 3 einen Schnitt in vergrößertem Maßstab aus Fig. 1,

Fig. 4 einen Teilschnitt in vergrößertem Maßstab entlang der Linie IV-IV nach Fig. 1,

Fig. 5 einen entsprechenden Schnitt durch eine andere Ausführungsform,

Fig. 6 und 7 Schnitte entlang der Linie VI-VI nach Fig. 1.

In der Zeichnung ist eine Scheibe D der Turbo-Molekularvakuumpumpe dargestellt. In einem ringförmigen Bereich Z der Scheibe D sind Öffnungen in Form von radialen Schlitzen F angeordnet, die von den Lippen Ll, L2 nach Fig. 4 und.5 eingefaßt sind, die beiderseits der Scheibe D über diese überstehen.

Die radialen Schlitze F münden nicht am Rand der Scheibe D, sondern ein Stück davor, wodurch am Rand der Scheibe ein durchlaufender Metallkranz C erhalten bleibt, welcher die Schaufeln miteinander verbindet. Um ein Weiterwandern bzw. Ausreißen der Schlitze F in dem Werkstoff der Scheibe in Form von Sprüngen oder Rissen zu verhindern, sind in den Schlitzenden Öffnungen vorgesehen. Wie Fig. 2 und 6 zeigen, sind in die Öffnungen Plättchen P eingesetzt, die einen Durchtritt von Gasmolekülen verhindern. Bei der Ausführungsform nach Fi g. 3 und 7 sind die Löcher T besonders geformt, und zwar so, daß sie in einem Schnitt senkrecht zu dem in F i g. 3 gezeigten Schnitt tief erscheinen oder, anders ausgedrückt, schräg zur Drehachse verlaufen.

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Scheibe für eine Turbo-Molekularpumpe mit einer Anzahl von innerhalb eines ringförmigen Bereichs der Scheibe radial verlaufenden Schlitzen, die durch aus den entgegengesetzten Oberflächen der Scheibe hervortretende Lippen bzw. Vorspriinge begrenzt sind, wobei sich die Schlitze bis zu einem durchgehend über den Umfang der Scheibe verlaufenden Kranz erstrecken, dadurch gekennzeichnet, daß an den äußeren Enden der Schlitze (F) in an sich bekannter Weise Sperren (F; T) zum Verhindern des Weiterwanderns der Schlitze vorgesehen sind, und daß diese Sperren jeweils aus einer durch ein Plättchen (P in Fi g. 6) verschlossenen Bohrung oder einer schräg zur Drehachse verlaufenden offenen Bohrung (T in Fig. 7) bestehen.