DE137687T1 - Thermischer massendurchflussmesser. - Google Patents

Thermischer massendurchflussmesser.

Info

Publication number
DE137687T1
DE137687T1 DE198484305843T DE84305843T DE137687T1 DE 137687 T1 DE137687 T1 DE 137687T1 DE 198484305843 T DE198484305843 T DE 198484305843T DE 84305843 T DE84305843 T DE 84305843T DE 137687 T1 DE137687 T1 DE 137687T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier
channel
components
boehmert
flow path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE198484305843T
Other languages
English (en)
Inventor
Dan B. Palos Verdes Estates Ca 90274 Lemay
Wayne G. San Jose Ca 95120 Renken
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Innovus
Original Assignee
Innovus
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Innovus filed Critical Innovus
Publication of DE137687T1 publication Critical patent/DE137687T1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/6965—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Claims (10)

BOEHMERT & BOEHMERT IX 503 Ansprüche
1. Fühler-und Heizanordnung eines thermischen Massendurchsatz-Meßgerätes für Fluida, die einen Träger, eine durch besagten Träger festgelegte, verlängerte Rinne zum Transportieren eines Fluids, wobei der besagte Träger mindestens zwei voneinander entfernte, integrale Bauteile aufweist, die sich jedes über mindestens einen Teil der besagten Rinne erstrecken, und Einheiten, die auf jedem der besagten Bauteile einen Temperaturfühler bilden, aufweist, wobei in besagter Rinne Einheiten zum Erhitzen des besagten Fluids vorhanden sind, um während des Fluid-Durchflusses eine Temperaturdifferenz zwischen den besagten Fühlern zu erzeugen.
2. Anordnung nach Artspruch 1, wobei der besagte Träger ein erstes Element mit einem offenen Rinnenteil und besagten integralen Bauteilen und ein zweites Element mit einem verlängerten offenen Rinnenteil entsprechend den besagten offenen Rinnenteil des besagten ersten Elementes aufweist, wobei die besagten Elemente
1318/24
BOEHMERT & BOEHMERT
zusammengeklebt sind, wodurch die besagten integralen Bestandteile sich über einen Durchflußweg erstrecken, der von der Rinne gebildet wird, die durch die entsprechenden Rinnenteile festgelegt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die besagten Fühlereinheiten auf die besagten Bauteile übertragene, elektrische Widerstandsmuster sind.
4. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Rinne zwei integrale Bauteile, von denen jedes einen der besagten Temperaturfühler trägt, und ein drittes entsprechendes Bauteil aufweist, das zwischen den besagten ersten zwei Bauteilen liegt und die besagte Einheit zum Erhitzen des besagten Fluids trägt.
5. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Bereich jedes der besagten Bauteile zwischen dem Temperaturfühler oder der Heizeinheit darauf und dem Träger, der das Bauteil trägt,
eine verminderte Querschnittsfläche aufweist.
6. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, die mehrere der besagten Rinnen in dem besagten Träger mit mehreren entsprechenden besagten integralen Bauteilen, die geeignete Fühler tragen und sich über die besagten mehreren Rinnen erstrecken, aufweist.
7. Anordnung nach Anspruch 6, wobei der Träger mehrere parallel verlaufende Trägerbauteile aufweist, von denen jedes mehrere der besagten Rinnen, die
BOEHMFRT & BOEKMERT
besagte Durchfluß-Temperaturfühler enthalten, aufweist.
8. Thermisches Massendurchsatz-Meßgerät, das eine Leitungsröhre, einen Aufbau nach einem der vorangehenden Ansprüche, der sich über einen Teil der Leitungsröhre erstreckt, und eine Einrichtung, die einen passiven Fluid-Durchflußweg in besagter Leitungsröhre außerhalb der besagten Anordnung festlegt, aufweist.
9. Massendurchsatz-Meßgerät nach Anspruch 8, welches eine Einrichtung zum Aufrechterhalten eines ^- -Verhältnisses von 1,0 oder darüber aufweist, wobei L/D das Nutzlängen/Durchmesser-Verhältnis der Rinne oder der Rinnen in besagter Anordnung und des passiven Fluid-Durchflußweges und Re die Reynolds-Zahl des Durchflusses in der Rinne oder in den Rinnen und im passiven Fluid-Durchflußweg ist.
10. Verfahren zur Herstellung einer Fühler- und Heizanordnung eines thermischen Massendurchsatz-Meßgerätes mit folgenden Teilschritten:
a) Abscheiden einer elektrisch nicht leitenden Auflageschicht auf einem Träger mit niedriger thermischer Leitfähigkeit;
b) Abscheiden eines elektrischen Widerstandsmaterials auf besagter Schicht;
c) Ätzen besagten elektrischen Widerstandsmaterials, um in diskreten Bereichen Muster zu bilden, die auf besagter Auflageschicht Widerstandswege bilden;
d) Ätzen der besagten elektrisch nicht leitenden Auf-
BOEHMERT & BOEHMERT
lageschicht, um die Abmessungen auf diskret voneinander entfernten, axial ausgerichteten Teilen des besagten Trägers zu begrenzen;
e) Ätzen einer Längsrinne im besagten Träger, wobei sich die Rinne über den besagten Träger und unter der besagten Schicht und den besagten Mustern in jedem diskreten Teil erstreckt; und
f) Versiegeln der offenen Seite der Rinne in besagtem Träger, um einen Fluid-Durchflußweg mit den besagten Widerstandswegen und den verbleibenden Teilen der besagten Schicht, die sich an aufeinanderfolgenden, voneinander entfernten Stellen über den besagten Durchflußweg erstrecken, zu bilden.
DE198484305843T 1983-08-26 1984-08-24 Thermischer massendurchflussmesser. Pending DE137687T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/526,860 US4542650A (en) 1983-08-26 1983-08-26 Thermal mass flow meter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE137687T1 true DE137687T1 (de) 1986-02-27

Family

ID=24099109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE198484305843T Pending DE137687T1 (de) 1983-08-26 1984-08-24 Thermischer massendurchflussmesser.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4542650A (de)
EP (1) EP0137687A1 (de)
JP (1) JPS6050419A (de)
DE (1) DE137687T1 (de)

Families Citing this family (114)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4790181A (en) * 1983-12-01 1988-12-13 Aine Harry E Thermal mass flow meter and method of making same
US4691566A (en) * 1984-12-07 1987-09-08 Aine Harry E Immersed thermal fluid flow sensor
US4648270A (en) * 1984-02-22 1987-03-10 Sirris Flow Technology, Inc. Mass flowmeter
JPS60236024A (ja) * 1984-05-09 1985-11-22 Nippon Soken Inc 直熱型空気流量センサ
JPS61178614A (ja) * 1985-02-02 1986-08-11 Nippon Soken Inc 直熱型流量センサ
US4685331A (en) * 1985-04-10 1987-08-11 Innovus Thermal mass flowmeter and controller
JPS61274222A (ja) * 1985-05-30 1986-12-04 Sharp Corp 流量センサ
FR2586105B1 (fr) * 1985-08-06 1990-08-31 Veglia Circuit conducteur et procede de fabrication de ce circuit
JPS62123318A (ja) * 1985-08-13 1987-06-04 Nippon Soken Inc 直熱型流量センサ
GB2179748B (en) * 1985-08-20 1989-09-06 Sharp Kk Thermal flow sensor
AT396998B (de) * 1985-12-09 1994-01-25 Ottosensors Corp Messeinrichtungen und rohranschluss sowie verfahren zur herstellung einer messeinrichtung und verfahren zur verbindung von rohren mit einer messeinrichtung bzw. zur herstellung von rohranschlüssen
US4682503A (en) * 1986-05-16 1987-07-28 Honeywell Inc. Microscopic size, thermal conductivity type, air or gas absolute pressure sensor
DE3724966C3 (de) * 1986-07-29 1996-03-21 Sharp Kk Sensor
US4966646A (en) * 1986-09-24 1990-10-30 Board Of Trustees Of Leland Stanford University Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve
US4821997A (en) * 1986-09-24 1989-04-18 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Integrated, microminiature electric-to-fluidic valve and pressure/flow regulator
US4943032A (en) * 1986-09-24 1990-07-24 Stanford University Integrated, microminiature electric to fluidic valve and pressure/flow regulator
US4794947A (en) * 1986-11-29 1989-01-03 Kabushiki Kaisha Nippon IC (also trading as Nippon IC, Inc.) Mass flow controller
JPH06103287B2 (ja) * 1987-10-07 1994-12-14 シャープ株式会社 センサ素子
US4909078A (en) * 1987-10-14 1990-03-20 Rosemount Inc. Fluid flow detector
US4870745A (en) * 1987-12-23 1989-10-03 Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. Methods of making silicon-based sensors
US4888988A (en) * 1987-12-23 1989-12-26 Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method
US5074629A (en) * 1988-10-26 1991-12-24 Stanford University Integrated variable focal length lens and its applications
DE3842399C2 (de) * 1988-12-16 1997-07-31 Fisher Rosemount Gmbh & Co Ges Mikroströmungsfühler für Gase
JPH06100568B2 (ja) * 1989-09-05 1994-12-12 シャープ株式会社 雰囲気センサ
DE3907209C1 (de) * 1989-01-18 1990-03-01 Danfoss A/S, Nordborg, Dk
GB2240627A (en) * 1990-02-05 1991-08-07 Yamatake Honeywell Co Ltd Microbridge flow sensor
US5050429A (en) * 1990-02-22 1991-09-24 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Microbridge flow sensor
US5291781A (en) * 1991-04-12 1994-03-08 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Diaphragm-type sensor
US5193400A (en) * 1991-05-10 1993-03-16 Lew Hyok S Universal rotameter
JP2992848B2 (ja) * 1991-08-21 1999-12-20 株式会社山武 熱伝導率検出器
US5406841A (en) * 1992-03-17 1995-04-18 Ricoh Seiki Company, Ltd. Flow sensor
US5349322A (en) * 1992-03-27 1994-09-20 Ngk Insulators, Ltd. Resistors for thermal flowmeters
US5423212A (en) * 1993-06-18 1995-06-13 Ricoh Seiki Company, Ltd. Flow sensor
WO1995002164A1 (en) * 1993-07-07 1995-01-19 Ic Sensors, Inc. Pulsed thermal flow sensor system
US5511416A (en) * 1993-09-15 1996-04-30 Alicat Scientific, Inc. Wide range laminar flow element
DE4344101C2 (de) * 1993-12-20 1996-02-22 Birnbaum Jacek Vorrichtung zur Luftmassenmessung im Lufteinlaßkanal einer Brennkraftmaschine
DE69510569T2 (de) * 1994-01-20 1999-10-28 Honda Motor Co Ltd Beschleunigungsmessaufnehmer
US5520969A (en) * 1994-02-04 1996-05-28 Applied Materials, Inc. Method for in-situ liquid flow rate estimation and verification
JP3244208B2 (ja) * 1994-02-07 2002-01-07 本田技研工業株式会社 ガスレート検出器
JP3312227B2 (ja) * 1994-02-23 2002-08-05 本田技研工業株式会社 ガス式角速度センサ
JP3281169B2 (ja) * 1994-03-24 2002-05-13 本田技研工業株式会社 多軸型ガスレートセンサ
US5786744A (en) * 1994-03-24 1998-07-28 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Hybrid sensor
US5461910A (en) * 1994-06-16 1995-10-31 Alnor Instrument Company Fluid flow direction and velocity monitor
JP3282773B2 (ja) * 1994-12-12 2002-05-20 東京瓦斯株式会社 熱式流量計
DE19534906C2 (de) * 1995-09-20 1998-03-19 Deutsche Automobilgesellsch Sensoranordnung zum Messen der Masse eines strömenden Mediums nach dem Prinzip des Heißfilm-Anemometers
NO304328B1 (no) * 1996-02-27 1998-11-30 Nyfotek As TrykkmÕler
US6182509B1 (en) 1996-06-26 2001-02-06 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
US6589433B2 (en) 1996-06-26 2003-07-08 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
WO1997049998A1 (en) 1996-06-26 1997-12-31 Simon Fraser University Accelerometer without proof mass
US5868159A (en) * 1996-07-12 1999-02-09 Mks Instruments, Inc. Pressure-based mass flow controller
DE19744228C1 (de) * 1997-10-07 1998-11-26 Bosch Gmbh Robert Sensor mit einer Membran
DE19803186C1 (de) * 1998-01-28 1999-06-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung strukturierter Wafer
US6794981B2 (en) * 1998-12-07 2004-09-21 Honeywell International Inc. Integratable-fluid flow and property microsensor assembly
DE19906100C2 (de) * 1999-02-13 2003-07-31 Sls Micro Technology Gmbh Thermischer Durchflußsensor in Mikrosystemtechnik
WO2000070312A1 (fr) * 1999-05-17 2000-11-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Debitmetre
US6367970B1 (en) * 1999-06-07 2002-04-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Rapid response h-q-T sensor
JP3461469B2 (ja) * 1999-07-27 2003-10-27 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置
DE19952055A1 (de) * 1999-10-28 2001-05-17 Bosch Gmbh Robert Massenflußsensor mit verbesserter Membranstabilität
US6526823B2 (en) 1999-11-30 2003-03-04 California Institute Of Technology Microelectromechanical system sensor assembly
WO2001088486A1 (fr) * 2000-05-19 2001-11-22 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Element de detection de debit de type thermosensible et dispositif de retenue correspondant
JP3825242B2 (ja) * 2000-10-17 2006-09-27 株式会社山武 フローセンサ
US6795752B1 (en) * 2000-11-03 2004-09-21 Memsic, Inc. Thermal convection accelerometer with closed-loop heater control
US6631638B2 (en) 2001-01-30 2003-10-14 Rosemount Aerospace Inc. Fluid flow sensor
GB2375401A (en) * 2001-05-03 2002-11-13 Endress & Hauser Ltd A flow meter incorporating thermal loss sensors and an installation adapter to provide known flow conditions upstream of the flow meter
JP2003035580A (ja) * 2001-07-19 2003-02-07 Denso Corp フローセンサ
US20030130624A1 (en) * 2002-01-07 2003-07-10 Kowalik Francis C. Medical infusion system with integrated power supply and pump therefor
EP1365216B1 (de) * 2002-05-10 2018-01-17 Azbil Corporation Durchflusssensor und Verfahren zu dessen Herstellung
US6796172B2 (en) * 2002-07-31 2004-09-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Flow sensor
US6684695B1 (en) * 2002-10-08 2004-02-03 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Mass flow sensor utilizing a resistance bridge
TW559460U (en) * 2002-12-12 2003-10-21 Ind Tech Res Inst Enhanced heat conductance structure configured with electrodes
US6799456B2 (en) * 2003-02-26 2004-10-05 Ckd Corporation Thermal flow sensor
GB0307616D0 (en) 2003-04-02 2003-05-07 Melexis Nv Calorimetric flow meter
JP3597527B2 (ja) * 2003-05-19 2004-12-08 シーケーディ株式会社 熱式流量計
US7131766B2 (en) * 2003-07-16 2006-11-07 Delphi Technologies, Inc. Temperature sensor apparatus and method
US20050120805A1 (en) * 2003-12-04 2005-06-09 John Lane Method and apparatus for substrate temperature control
US7481213B2 (en) * 2004-02-11 2009-01-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Medicament dispenser
US7467630B2 (en) * 2004-02-11 2008-12-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Medicament dispenser
US20060000272A1 (en) * 2004-06-30 2006-01-05 Beat Neuenschwander Thermal flow sensor having an asymmetric design
US7181963B2 (en) * 2004-06-30 2007-02-27 Codman & Shurtleff, Inc Thermal flow sensor having streamlined packaging
US7036369B2 (en) * 2004-06-30 2006-05-02 Codman & Shurtleff, Inc. Thermal flow sensor having recesses in a substrate
US20060108003A1 (en) * 2004-11-15 2006-05-25 Bradford Steven K Fluid flow and leak detection system
GB0504379D0 (en) * 2005-03-03 2005-04-06 Melexis Nv Low profile overmoulded semiconductor package with transparent lid
CN100468029C (zh) * 2005-03-03 2009-03-11 清华大学 标准漏孔及其制作方法
TWI272374B (en) * 2005-11-29 2007-02-01 Ind Tech Res Inst Flow measurement device and manufacture method thereof
WO2007063407A2 (en) 2005-12-02 2007-06-07 Melexis Nv Thermal mass flow meter
US7755466B2 (en) 2006-04-26 2010-07-13 Honeywell International Inc. Flip-chip flow sensor
US20080013291A1 (en) * 2006-07-17 2008-01-17 Toralf Bork Thermal flow sensor having streamlined packaging
US7480577B1 (en) * 2007-02-21 2009-01-20 Murray F Feller Multiple sensor flow meter
DE202007003027U1 (de) * 2007-03-01 2007-06-21 Sensirion Ag Vorrichtung zur Handhabung von Fluiden mit einem Flußsensor
JPWO2008132956A1 (ja) * 2007-04-24 2010-07-22 コニカミノルタエムジー株式会社 流量センサ
TW200918899A (en) * 2007-10-24 2009-05-01 Univ Yuan Ze Fluid reactor with thin chip of two-dimensionally distributed micro-resistance units
US20110252882A1 (en) * 2010-04-19 2011-10-20 Honeywell International Inc. Robust sensor with top cap
DE102010043686A1 (de) 2010-11-10 2012-05-10 Agilent Technologies Inc. Bestimmen einer Flüssigkeitszusammensetzung aus unterschiedlich gewonnenen Flusssignalen
DE102010055115B4 (de) * 2010-11-16 2018-07-19 Diehl Metering Gmbh Durchflusssensor zum Einsetzen in eine Messstrecke
DE102011054225B4 (de) 2011-10-06 2018-08-23 Hjs Emission Technology Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Bestimmen des bei einer mehrflutigen Abgasreinigungsanlage durch jeden Teilstrang strömenden Abgasvolumens sowie Abgasreinigungsanlage
DE102011120899B4 (de) 2011-12-12 2015-08-20 Karlsruher Institut für Technologie Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur Bestimmung des Massenstroms eines Fluids
US9752906B2 (en) 2012-05-21 2017-09-05 Aichi Tokei Denki Co., Ltd. Flow volume detector
JP5945782B2 (ja) * 2012-06-28 2016-07-05 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 流体計測装置
DE102013101403B4 (de) * 2012-12-21 2024-05-08 Innovative Sensor Technology Ist Ag Sensor zur Ermittlung einer Prozessgröße eines Mediums und Verfahren zur Herstellung des Sensors
JP6401717B2 (ja) 2013-02-08 2018-10-10 プロフタガレン アクチエボラグＰｒｏｖｔａｇａｒｅｎ Ａｂ 改良型示差熱式質量流量計アセンブリおよび当該質量流量計アセンブリを用いる質量流量の測定方法
ITTO20130502A1 (it) 2013-06-18 2014-12-19 St Microelectronics Asia Dispositivo elettronico con sensore di temperatura integrato e relativo metodo di fabbricazione
WO2015159193A1 (en) * 2014-04-14 2015-10-22 National Research Council Of Canada Air sensor with downstream facing ingress to prevent condensation
US10107662B2 (en) 2015-01-30 2018-10-23 Honeywell International Inc. Sensor assembly
US20160370809A1 (en) * 2015-06-19 2016-12-22 Hni Technologies Inc. Fluid flow system
WO2017074312A1 (en) * 2015-10-27 2017-05-04 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Sensor detection architecture
US11402253B2 (en) * 2018-06-26 2022-08-02 Minebea Mitsumi Inc. Fluid sensing apparatus and method for detecting failure of fluid sensor
JP2021532375A (ja) 2018-07-06 2021-11-25 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーBecton, Dickinson And Company 流量センサおよび流体流測定を調整するための方法
DE102019103674A1 (de) * 2019-02-13 2020-08-13 Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf E. V. Durchflussmessanordnung und strömungstechnische Anordnung
US11268839B2 (en) * 2019-03-05 2022-03-08 Measurement Specialties, Inc. Resistive flow sensor
CA3051376C (en) 2019-08-06 2020-04-28 Surface Solutions Inc. Methane monitoring and conversion apparatus and methods
US20210178507A1 (en) 2019-12-13 2021-06-17 Norsk Titanium As Volumetric plasma gas flow measurement and control system for metal-based wire-plasma arc additive manufacturing applications
US10739175B1 (en) * 2020-02-07 2020-08-11 King Faisal University Microflow sensor and flow sensor package
WO2023043474A1 (en) * 2021-09-14 2023-03-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid flow meters
DE102022214108B3 (de) 2022-12-21 2024-02-08 Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf E. V. Anordnung zur Volumenstrommessung einer Fluidströmung und Messanordnung zur Charakterisierung einer Fluidströmung sowie Verfahren zur Charakterisierung einer Fluidströmung

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS502967A (de) * 1973-05-09 1975-01-13
JPS569657B2 (de) * 1974-06-17 1981-03-03
US3931736A (en) * 1974-06-28 1976-01-13 Rca Corporation Improved fluid flow sensor configuration
JPS51126863A (en) * 1975-04-28 1976-11-05 Yokogawa Hokushin Electric Corp Mass flow meter
US3996799A (en) * 1975-09-29 1976-12-14 Putten Antonius Ferdinandus Pe Device for measuring the flow velocity of a medium
GB1540899A (en) * 1976-06-23 1979-02-21 Rodder J Fluid parameter measuring apparatus
JPS55119381A (en) * 1979-03-08 1980-09-13 Mitsuteru Kimura Electric heater
DE2919433A1 (de) * 1979-05-15 1980-12-04 Bosch Gmbh Robert Messonde zur messung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums und verfahren zu ihrer herstellung
JPS5618751A (en) * 1979-07-25 1981-02-21 Ricoh Co Ltd Gas detector
JPS5618382A (en) * 1979-07-25 1981-02-21 Ricoh Kk Method of manufacturing electric heater
JPS5618750A (en) * 1979-07-25 1981-02-21 Ricoh Co Ltd Gas detector
JPS5684542A (en) * 1979-12-13 1981-07-09 Ricoh Co Ltd Electric heater
US4332157A (en) * 1980-08-29 1982-06-01 Trustees Of The University Of Pennsylvania Pyroelectric anemometer
JPS5794641A (en) * 1980-12-04 1982-06-12 Ricoh Co Ltd Manufacture of electric heater
JPS57120816A (en) * 1981-01-19 1982-07-28 Anima Kk Heat ray pulse flowmeter
JPS57178149A (en) * 1981-04-28 1982-11-02 Ricoh Co Ltd Manufacture of electric heater
JPS5872059A (ja) * 1981-10-09 1983-04-28 ハネウエル・インコ−ポレ−テツド 半導体装置、流量計及びその製造方法
US4478076A (en) * 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4478077A (en) * 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4471674A (en) * 1982-09-30 1984-09-18 Judy Doss Spinning tool for pipe, rod and cylinder rotation

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0342616B2 (de) 1991-06-27
US4542650A (en) 1985-09-24
EP0137687A1 (de) 1985-04-17
JPS6050419A (ja) 1985-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE137687T1 (de) Thermischer massendurchflussmesser.
DE10111840C2 (de) Verfahren zur Vermeidung von Verschmutzungen auf einem Sensorchip und Verwendung eines Zusatzheizers auf einem Sensorchip
EP0042038A1 (de) Einrichtung zum elektrischen Überwachen des Niveaus einer in einem Behälter enthaltenen Flüssigkeit
CH678579A5 (de)
DE3504498A1 (de) Gassensor mit mehreren sensorelementen
DE4408270C2 (de) Zweirichtungsluftstromdetektor
DE3231345C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Sonden zur Messung der Masse und/oder Temperatur eines strömenden Mediums
DE3708697A1 (de) Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes
CH626995A5 (de)
DE19957991C2 (de) Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
DE3529257C2 (de) Verfahren und Anordnung zur Ermittlung der Wärmeabgabe von Heizflächen einer Heizungsanlage
DE1953247B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Silicium- oder Germaniumschichten
DE3381801D1 (de) Halbleiteranordnung mit einer zwischenschicht aus einem uebergangselement und verfahren zur herstellung derselben.
EP1281048A1 (de) Sensorchip mit potentialflächen bzw. verwendung von potentialflächen auf einem sensorchip bzw. verfahren zur vermeidung von verschmutzungen auf einem sensorchip
DE1807643B2 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektrisch beheizbaren Glasscheibe, insbesondere für Kraftfahrzeuge
DE20119296U1 (de) Lichtemittierende Vorrichtung am Auspuffendrohr, dem Schalldämpfer o.dgl. eines Kraftfahrzeuges
DE3341630C2 (de)
DE1646795B2 (de) Traegerkoerper fuer einen halbleiterkoerper einer halbleiteranordnung und verfahren zu seiner herstellung
DE3513033C2 (de)
EP0028387B1 (de) Temperatursensor
DE3809540A1 (de) Verfahren zur temperaturregelung von widerstandsheizleitern
CH659133A5 (de) Verfahren zur messung der oberflaechentemperatur von bewegten gegenstaenden.
DE3329923C2 (de)
EP0999562A3 (de) Trägersubstrat mit einer Widerstandsbahn
DE936330C (de) Verfahren zur gleichmaessigen Erhitzung katalytisch wirksamer Belaege