DE137687T1 - Thermischer massendurchflussmesser. - Google Patents
Thermischer massendurchflussmesser.Info
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Claims (10)
1. Fühler-und Heizanordnung eines thermischen Massendurchsatz-Meßgerätes
für Fluida, die einen Träger, eine durch besagten Träger festgelegte, verlängerte
Rinne zum Transportieren eines Fluids, wobei der besagte Träger mindestens zwei voneinander entfernte,
integrale Bauteile aufweist, die sich jedes über mindestens einen Teil der besagten Rinne erstrecken,
und Einheiten, die auf jedem der besagten Bauteile einen Temperaturfühler bilden, aufweist, wobei in
besagter Rinne Einheiten zum Erhitzen des besagten Fluids vorhanden sind, um während des Fluid-Durchflusses
eine Temperaturdifferenz zwischen den besagten Fühlern zu erzeugen.
2. Anordnung nach Artspruch 1, wobei der besagte Träger ein erstes Element mit einem offenen Rinnenteil
und besagten integralen Bauteilen und ein zweites Element mit einem verlängerten offenen Rinnenteil entsprechend
den besagten offenen Rinnenteil des besagten ersten Elementes aufweist, wobei die besagten Elemente
1318/24
BOEHMERT & BOEHMERT
zusammengeklebt sind, wodurch die besagten integralen Bestandteile sich über einen Durchflußweg erstrecken,
der von der Rinne gebildet wird, die durch die entsprechenden Rinnenteile festgelegt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die besagten Fühlereinheiten auf die besagten Bauteile übertragene,
elektrische Widerstandsmuster sind.
4. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Rinne zwei integrale Bauteile, von denen
jedes einen der besagten Temperaturfühler trägt, und ein drittes entsprechendes Bauteil aufweist, das zwischen
den besagten ersten zwei Bauteilen liegt und die besagte Einheit zum Erhitzen des besagten Fluids trägt.
5. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Bereich jedes der besagten Bauteile
zwischen dem Temperaturfühler oder der Heizeinheit darauf und dem Träger, der das Bauteil trägt,
eine verminderte Querschnittsfläche aufweist.
6. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, die mehrere der besagten Rinnen in dem besagten Träger
mit mehreren entsprechenden besagten integralen Bauteilen, die geeignete Fühler tragen und sich über die
besagten mehreren Rinnen erstrecken, aufweist.
7. Anordnung nach Anspruch 6, wobei der Träger mehrere parallel verlaufende Trägerbauteile aufweist, von denen
jedes mehrere der besagten Rinnen, die
BOEHMFRT & BOEKMERT
besagte Durchfluß-Temperaturfühler enthalten, aufweist.
8. Thermisches Massendurchsatz-Meßgerät, das eine Leitungsröhre, einen Aufbau nach einem der vorangehenden
Ansprüche, der sich über einen Teil der Leitungsröhre erstreckt, und eine Einrichtung, die
einen passiven Fluid-Durchflußweg in besagter Leitungsröhre
außerhalb der besagten Anordnung festlegt, aufweist.
9. Massendurchsatz-Meßgerät nach Anspruch 8, welches eine Einrichtung zum Aufrechterhalten eines ^- -Verhältnisses
von 1,0 oder darüber aufweist, wobei L/D das Nutzlängen/Durchmesser-Verhältnis der Rinne oder
der Rinnen in besagter Anordnung und des passiven Fluid-Durchflußweges und Re die Reynolds-Zahl des Durchflusses
in der Rinne oder in den Rinnen und im passiven Fluid-Durchflußweg ist.
10. Verfahren zur Herstellung einer Fühler- und Heizanordnung eines thermischen Massendurchsatz-Meßgerätes
mit folgenden Teilschritten:
a) Abscheiden einer elektrisch nicht leitenden Auflageschicht auf einem Träger mit niedriger thermischer
Leitfähigkeit;
b) Abscheiden eines elektrischen Widerstandsmaterials auf besagter Schicht;
c) Ätzen besagten elektrischen Widerstandsmaterials, um in diskreten Bereichen Muster zu bilden, die auf
besagter Auflageschicht Widerstandswege bilden;
d) Ätzen der besagten elektrisch nicht leitenden Auf-
BOEHMERT & BOEHMERT
lageschicht, um die Abmessungen auf diskret voneinander
entfernten, axial ausgerichteten Teilen des besagten Trägers zu begrenzen;
e) Ätzen einer Längsrinne im besagten Träger, wobei sich die Rinne über den besagten Träger und unter
der besagten Schicht und den besagten Mustern in jedem diskreten Teil erstreckt; und
f) Versiegeln der offenen Seite der Rinne in besagtem Träger, um einen Fluid-Durchflußweg mit den besagten
Widerstandswegen und den verbleibenden Teilen der besagten Schicht, die sich an aufeinanderfolgenden,
voneinander entfernten Stellen über den besagten Durchflußweg erstrecken, zu bilden.
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