JP3244208B2 - ガスレート検出器 - Google Patents
ガスレート検出器Info
- Publication number
- JP3244208B2 JP3244208B2 JP01354694A JP1354694A JP3244208B2 JP 3244208 B2 JP3244208 B2 JP 3244208B2 JP 01354694 A JP01354694 A JP 01354694A JP 1354694 A JP1354694 A JP 1354694A JP 3244208 B2 JP3244208 B2 JP 3244208B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas flow
- gas
- heat
- rate detector
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は水平（ヨー）方向に作
用する角速度を検出するガスレート検出器に係り、特に
ロール方向の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加
速度に対して反応しないガスレート検出器に関する。
用する角速度を検出するガスレート検出器に係り、特に
ロール方向の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加
速度に対して反応しないガスレート検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレートセンサは、本出願人が
特開平３―２９８５８号公報に開示したように、エッチ
ングや蒸着等の半導体製造プロセスを用いて半導体基板
上にヒートワイヤ（感熱抵抗素子）、ガス通路、ノズル
孔等を形成し、圧電素子で構成した圧電ポンプからガス
流を発生させ、ヒートワイヤ（感熱抵抗素子）に当るガ
ス流の偏向によってヒートワイヤの抵抗値変化を検出
し、ガスレートセンサに作用するヨー（水平）方向の角
速度を検出するように構成されたガスレートセンサは知
られている。
特開平３―２９８５８号公報に開示したように、エッチ
ングや蒸着等の半導体製造プロセスを用いて半導体基板
上にヒートワイヤ（感熱抵抗素子）、ガス通路、ノズル
孔等を形成し、圧電素子で構成した圧電ポンプからガス
流を発生させ、ヒートワイヤ（感熱抵抗素子）に当るガ
ス流の偏向によってヒートワイヤの抵抗値変化を検出
し、ガスレートセンサに作用するヨー（水平）方向の角
速度を検出するように構成されたガスレートセンサは知
られている。
【０００３】このように従来のガスレートセンサは、半
導体製造プロセスを用いるため、小形でヒートワイヤ間
の感熱特性にばらつきが少ないものが得られ、量産に適
するとともに、角速度の検出性能に優れたものが実現で
きる。
導体製造プロセスを用いるため、小形でヒートワイヤ間
の感熱特性にばらつきが少ないものが得られ、量産に適
するとともに、角速度の検出性能に優れたものが実現で
きる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体製造プロセスを
用いて小形化を図った従来のガスレートセンサは、ヒー
トワイヤ間の間隔が狭くなって温度検出の感度低下を招
くため、ヒートワイヤ間の温度分布の勾配を大きくして
感度の改善を図るよう、加圧した重いガスをセンサ内に
封入した構成としている。
用いて小形化を図った従来のガスレートセンサは、ヒー
トワイヤ間の間隔が狭くなって温度検出の感度低下を招
くため、ヒートワイヤ間の温度分布の勾配を大きくして
感度の改善を図るよう、加圧した重いガスをセンサ内に
封入した構成としている。
【０００５】しかし、従来のガスレートセンサは、加圧
した重いガスの採用により、必要とされるヨー（水平）
方向の角速度の検出だけでなく、所望しないロール方向
の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加速度まで検
出してしまう課題がある。特に、車両に搭載して傾斜し
ながら旋回するような場合、従来のガスレートセンサの
検出出力は、旋回方向の角速度と傾斜に対応した重力加
速度（Ｇ）およびヨー（水平）方向の加速度の合成とな
り、正確な角速度の検出ができなくなり望ましくない。
した重いガスの採用により、必要とされるヨー（水平）
方向の角速度の検出だけでなく、所望しないロール方向
の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加速度まで検
出してしまう課題がある。特に、車両に搭載して傾斜し
ながら旋回するような場合、従来のガスレートセンサの
検出出力は、旋回方向の角速度と傾斜に対応した重力加
速度（Ｇ）およびヨー（水平）方向の加速度の合成とな
り、正確な角速度の検出ができなくなり望ましくない。
【０００６】この発明はこのような課題を解決するため
なされたもので、その目的は小形でヨー（水平）方向の
角速度のみを検出することができるガスレート検出器を
提供することにある。
なされたもので、その目的は小形でヨー（水平）方向の
角速度のみを検出することができるガスレート検出器を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明に係るガスレート検出器は、ガス流路内に対向
して配置した一対の発熱型感熱抵抗センサを備えたセン
サ本体と、ガス流路にガス流を発生させるポンプと、一
対の発熱型感熱抵抗センサおよびポンプを収容し、加圧
したガスで封入する容器と、角速度が作用した場合にガ
ス流の偏向により一対の発熱型感熱抵抗センサに生じる
抵抗値の変化に基づいて角速度に対応した出力信号を検
出する検出手段とを備えたガスレート検出器において、
ロール方向の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加
速度が作用した場合、検出手段から出力信号を検出しな
いような所定のガス流を発生させるポンプ制御手段を設
けたことを特徴とする。
この発明に係るガスレート検出器は、ガス流路内に対向
して配置した一対の発熱型感熱抵抗センサを備えたセン
サ本体と、ガス流路にガス流を発生させるポンプと、一
対の発熱型感熱抵抗センサおよびポンプを収容し、加圧
したガスで封入する容器と、角速度が作用した場合にガ
ス流の偏向により一対の発熱型感熱抵抗センサに生じる
抵抗値の変化に基づいて角速度に対応した出力信号を検
出する検出手段とを備えたガスレート検出器において、
ロール方向の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加
速度が作用した場合、検出手段から出力信号を検出しな
いような所定のガス流を発生させるポンプ制御手段を設
けたことを特徴とする。
【０００８】また、この発明に係るガスレート検出器
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗の各抵抗からなる抵抗ブリッジ回路を設けたこ
とを特徴とする。
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗の各抵抗からなる抵抗ブリッジ回路を設けたこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】この発明に係るガスレート検出器は、ポンプ制
御手段を備え、ロール方向の傾斜に対応した重力加速度
やヨー方向の加速度が加わった時に、ポンプから発生す
るガス流を所定の値に調整し、検出手段からの検出出力
が０となるようポンプ電圧を設定することができる。
御手段を備え、ロール方向の傾斜に対応した重力加速度
やヨー方向の加速度が加わった時に、ポンプから発生す
るガス流を所定の値に調整し、検出手段からの検出出力
が０となるようポンプ電圧を設定することができる。
【００１０】また、この発明に係るガスレート検出器
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗の各抵抗からなる抵抗ブリッジ回路を備え、ヨ
ー方向の角速度を一対の発熱型感熱抵抗センサの各抵抗
値変化の和に対応した量で検出するので、角速度を高感
度に検出することができる。
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗の各抵抗からなる抵抗ブリッジ回路を備え、ヨ
ー方向の角速度を一対の発熱型感熱抵抗センサの各抵抗
値変化の和に対応した量で検出するので、角速度を高感
度に検出することができる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図１はこの発明に係るガスレート検出器の
要部構成図であり、図２はこの発明に係るガスレート検
出器の要部ブロック構成図である。
て説明する。図１はこの発明に係るガスレート検出器の
要部構成図であり、図２はこの発明に係るガスレート検
出器の要部ブロック構成図である。
【００１２】ガスレート検出器１は、図１に示す基板ブ
リッジ３Ｄ上に一対の発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂ
を形成した下側半導体基板３、下側半導体基板３に密着
させ半導体のケースを形成する図示しない上側半導体基
板、圧電素子５Ｃで形成する圧電ポンプ５を備えたセン
サ本体２と、センサ本体２を収容し、窒素ガス等の気体
を封入する容器６と、図２に示す検出手段７およびポン
プ制御手段８とから構成する。
リッジ３Ｄ上に一対の発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂ
を形成した下側半導体基板３、下側半導体基板３に密着
させ半導体のケースを形成する図示しない上側半導体基
板、圧電素子５Ｃで形成する圧電ポンプ５を備えたセン
サ本体２と、センサ本体２を収容し、窒素ガス等の気体
を封入する容器６と、図２に示す検出手段７およびポン
プ制御手段８とから構成する。
【００１３】図１において、下側半導体基板３には、例
えばシリコンウェハにエッチング処理を施して流入口３
Ａ、ノズル孔３Ｂ、ガス流路３Ｃ、基板ブリッジ３Ｄお
よび排出口３Ｅを形成し、図示しない上側半導体基板に
も基板ブリッジ３Ｄに対応する部分を除き、流入口３
Ａ、ノズル孔３Ｂ、ガス流路３Ｃおよび排出口３Ｅに対
応する位置に同様な空間部をエッチング処理で形成す
る。
えばシリコンウェハにエッチング処理を施して流入口３
Ａ、ノズル孔３Ｂ、ガス流路３Ｃ、基板ブリッジ３Ｄお
よび排出口３Ｅを形成し、図示しない上側半導体基板に
も基板ブリッジ３Ｄに対応する部分を除き、流入口３
Ａ、ノズル孔３Ｂ、ガス流路３Ｃおよび排出口３Ｅに対
応する位置に同様な空間部をエッチング処理で形成す
る。
【００１４】また、下側半導体基板３の基板ブリッジ３
Ｄには白金やタングステン等を蒸着し、エッチング処理
でパターン化した発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂを形
成する。発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂのそれぞれ両
端には、外部回路接続用のパッドａ〜ｄを設ける。
Ｄには白金やタングステン等を蒸着し、エッチング処理
でパターン化した発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂを形
成する。発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂのそれぞれ両
端には、外部回路接続用のパッドａ〜ｄを設ける。
【００１５】一対の発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂ
は、基板ブリッジ３Ｄの同一面上に対向して配置し、図
示しない上側半導体を接着したセンサ本体２を構成した
場合、上下半導体基板で形成されるガス流路３Ｃの高さ
方向の中心に位置するよう構成する。
は、基板ブリッジ３Ｄの同一面上に対向して配置し、図
示しない上側半導体を接着したセンサ本体２を構成した
場合、上下半導体基板で形成されるガス流路３Ｃの高さ
方向の中心に位置するよう構成する。
【００１６】ノズル孔３Ｂは、下側半導体基板３および
上側半導体基板の表面に細い溝をエッチング処理で形成
し、圧電ポンプ５から発生するガス流を絞って細いガス
流Ｐｆに変換し、ガス流Ｐｆが基板ブリッジ３Ｄに上に
対向して配置された発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの
中心を通過するよう構成する。
上側半導体基板の表面に細い溝をエッチング処理で形成
し、圧電ポンプ５から発生するガス流を絞って細いガス
流Ｐｆに変換し、ガス流Ｐｆが基板ブリッジ３Ｄに上に
対向して配置された発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの
中心を通過するよう構成する。
【００１７】圧電ポンプ５は、ポンプケース５Ａ内にダ
イヤフラム５Ｂの上下両端を支持し、ダイヤフラム５Ｂ
の両側面に圧電素子５Ｃを貼付けて構成する。圧電素子
５Ｃに電圧を印加すると、電圧に対応した振動が発生さ
れ、この振動をダイヤフラム５Ｂを介して窒素等のガス
に伝播することにより、ガス流を発生する。圧電ポンプ
５から発生したガス流は流入口３Ａから上下半導体基板
で構成したケース内に供給され、ノズル孔３Ｂを介して
細い筒状のガス流Ｐｆとなって発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ、４Ｂの中心に沿って供給される。
イヤフラム５Ｂの上下両端を支持し、ダイヤフラム５Ｂ
の両側面に圧電素子５Ｃを貼付けて構成する。圧電素子
５Ｃに電圧を印加すると、電圧に対応した振動が発生さ
れ、この振動をダイヤフラム５Ｂを介して窒素等のガス
に伝播することにより、ガス流を発生する。圧電ポンプ
５から発生したガス流は流入口３Ａから上下半導体基板
で構成したケース内に供給され、ノズル孔３Ｂを介して
細い筒状のガス流Ｐｆとなって発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ、４Ｂの中心に沿って供給される。
【００１８】センサ本体２の排出口３Ｅと圧電ポンプ５
のポンプケース５Ａは図示しない導管で接続されてお
り、排出口３Ｅに到達したガス流Ｐｆは導管を経由して
ポンプケース５Ａに還流する。なお、圧電ポンプ５の代
りに軸流ファンを用いてポンプを構成してもよい。
のポンプケース５Ａは図示しない導管で接続されてお
り、排出口３Ｅに到達したガス流Ｐｆは導管を経由して
ポンプケース５Ａに還流する。なお、圧電ポンプ５の代
りに軸流ファンを用いてポンプを構成してもよい。
【００１９】図２において、検出手段７はＲＯＭ等のメ
モリを備え、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの抵抗Ｒ
１、Ｒ２を電源部９（例えば、電流源ＩO）で駆動し、
ヨー（水平）方向の角速度に対応した検出電圧Ｖ１（＝
Ｒ１＊ＩO）、Ｖ２（＝Ｒ２＊ＩO）を取込み、出力偏差
（Ｖ１−Ｖ２）に対応して予め記憶してある角速度信号
ωｏを出力する。
モリを備え、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの抵抗Ｒ
１、Ｒ２を電源部９（例えば、電流源ＩO）で駆動し、
ヨー（水平）方向の角速度に対応した検出電圧Ｖ１（＝
Ｒ１＊ＩO）、Ｖ２（＝Ｒ２＊ＩO）を取込み、出力偏差
（Ｖ１−Ｖ２）に対応して予め記憶してある角速度信号
ωｏを出力する。
【００２０】ホンプ制御手段８は、ロール（上下方向の
傾斜）方向の加速度（Ｇ）の検出を０に設定するための
もので、比較部、ポンプ電圧出力部、ポンプ電圧設定部
およびシーケンス部等で構成し、圧電ポンプ５が発生す
るガス流Ｐｆの偏向により、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ，４Ｂからの放熱が等しくなり、検出手段７の加速度
信号Ｇｏが０となるようなポンプ電圧Ｖｐの供給を制御
する。また、ホンプ制御手段８の起動は、ガスレート検
出器１の初期設定時または再設定時に、ガスレート検出
器１のセンサ本体２が垂直になるようセッテングし、例
えば外部設定スイッチ等からのスイッチ情報ＳＷにより
行なうよう構成する。なお、本発明のガスレート検出器
１はヨー（水平）方向の角速度ωｏのみを検出するの
で、ホンプ制御手段８は、ポンプ駆動電圧Ｖｐの初期設
定、または再設定を除き調整を必要としない。
傾斜）方向の加速度（Ｇ）の検出を０に設定するための
もので、比較部、ポンプ電圧出力部、ポンプ電圧設定部
およびシーケンス部等で構成し、圧電ポンプ５が発生す
るガス流Ｐｆの偏向により、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ，４Ｂからの放熱が等しくなり、検出手段７の加速度
信号Ｇｏが０となるようなポンプ電圧Ｖｐの供給を制御
する。また、ホンプ制御手段８の起動は、ガスレート検
出器１の初期設定時または再設定時に、ガスレート検出
器１のセンサ本体２が垂直になるようセッテングし、例
えば外部設定スイッチ等からのスイッチ情報ＳＷにより
行なうよう構成する。なお、本発明のガスレート検出器
１はヨー（水平）方向の角速度ωｏのみを検出するの
で、ホンプ制御手段８は、ポンプ駆動電圧Ｖｐの初期設
定、または再設定を除き調整を必要としない。
【００２１】次に、ガスレート検出器１の動作について
説明する。ガスレート検出器１のセンサ本体２が水平で
静止状態にある場合、ポンプ制御手段８からポンプ電圧
Ｖｐを供給して圧電ポンプ５を駆動すると、圧電ポンプ
５から発生する窒素ガス等のガス流Ｐｆはノズル孔３Ｂ
からガス流路３Ｃを通って、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ、４Ｂの中心を流れ、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４
Ｂに均等に当る。
説明する。ガスレート検出器１のセンサ本体２が水平で
静止状態にある場合、ポンプ制御手段８からポンプ電圧
Ｖｐを供給して圧電ポンプ５を駆動すると、圧電ポンプ
５から発生する窒素ガス等のガス流Ｐｆはノズル孔３Ｂ
からガス流路３Ｃを通って、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ、４Ｂの中心を流れ、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４
Ｂに均等に当る。
【００２２】発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂは、電源
部９から電流Ｉｏの供給を受けて高温で発熱しており、
発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂが同じ特性に形成され
ていると、発熱量およびガス流Ｐｆによる放熱量が等し
く、抵抗値Ｒ１、Ｒ２共に等しくなる。従って、検出電
圧Ｖ１、Ｖ２が等しく（Ｖ１＝Ｖ２）、検出手段７に入
力される出力偏差（Ｖ１−Ｖ２）は０となり、検出手段
７からの角速度信号ωｏも０となって角速度は検出され
ない。
部９から電流Ｉｏの供給を受けて高温で発熱しており、
発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂが同じ特性に形成され
ていると、発熱量およびガス流Ｐｆによる放熱量が等し
く、抵抗値Ｒ１、Ｒ２共に等しくなる。従って、検出電
圧Ｖ１、Ｖ２が等しく（Ｖ１＝Ｖ２）、検出手段７に入
力される出力偏差（Ｖ１−Ｖ２）は０となり、検出手段
７からの角速度信号ωｏも０となって角速度は検出され
ない。
【００２３】この状態から、圧電ポンプ５の後方を支点
にして水平方向（例えば、ガス流Ｐｆに対して右側）に
所定の角速度で旋回すると、ガス流Ｐｆは角速度の作用
により、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの中心から発
熱型感熱抵抗センサ４Ｂ側に偏向し、ガス流Ｐｆが強く
なる発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの放熱が大きく、ガス流
Ｐｆが小さくなる発熱型感熱抵抗センサ４Ａの放熱は小
さくなるため、抵抗値Ｒ２は減少し、抵抗値Ｒ１が増加
する。従って、検出電圧Ｖ１は増加し、検出電圧Ｖ２が
減少し（Ｖ１＞Ｖ２）、検出手段７に入力される出力偏
差（Ｖ１−Ｖ２）は正の値となり、検出手段７からは出
力偏差（Ｖ１−Ｖ２）に対応した角速度信号ωｏが検出
される。
にして水平方向（例えば、ガス流Ｐｆに対して右側）に
所定の角速度で旋回すると、ガス流Ｐｆは角速度の作用
により、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂの中心から発
熱型感熱抵抗センサ４Ｂ側に偏向し、ガス流Ｐｆが強く
なる発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの放熱が大きく、ガス流
Ｐｆが小さくなる発熱型感熱抵抗センサ４Ａの放熱は小
さくなるため、抵抗値Ｒ２は減少し、抵抗値Ｒ１が増加
する。従って、検出電圧Ｖ１は増加し、検出電圧Ｖ２が
減少し（Ｖ１＞Ｖ２）、検出手段７に入力される出力偏
差（Ｖ１−Ｖ２）は正の値となり、検出手段７からは出
力偏差（Ｖ１−Ｖ２）に対応した角速度信号ωｏが検出
される。
【００２４】反対に、センサ本体２が左側に所定の角速
度で旋回すると、ガス流Ｐｆは発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ側に偏向し、抵抗Ｒ１が減少、抵抗Ｒ２が増加し（Ｖ
１＜Ｖ２）、検出手段７に入力される出力偏差（Ｖ１−
Ｖ２）は負の値となり、検出手段７からは出力偏差（Ｖ
１−Ｖ２）に対応した角速度信号ωｏが検出される。
度で旋回すると、ガス流Ｐｆは発熱型感熱抵抗センサ４
Ａ側に偏向し、抵抗Ｒ１が減少、抵抗Ｒ２が増加し（Ｖ
１＜Ｖ２）、検出手段７に入力される出力偏差（Ｖ１−
Ｖ２）は負の値となり、検出手段７からは出力偏差（Ｖ
１−Ｖ２）に対応した角速度信号ωｏが検出される。
【００２５】このように、出力偏差（Ｖ１−Ｖ２）の符
号から旋回の方向（角速度の発生方向）、出力偏差（Ｖ
１−Ｖ２）の絶対値から角速度の大きさをそれぞれ検出
できる。
号から旋回の方向（角速度の発生方向）、出力偏差（Ｖ
１−Ｖ２）の絶対値から角速度の大きさをそれぞれ検出
できる。
【００２６】続いて、ガスレート検出器１のセンサ本体
２が垂直（例えば、発熱型感熱抵抗センサ４Ａが上方
向）で静止状態にある場合のガス流Ｐｆに対する検出出
力Ｖｏについて説明する。図３はこの発明に係るガスレ
ート検出器のガス流Ｐｆと検出出力Ｖｏの関係図であ
る。
２が垂直（例えば、発熱型感熱抵抗センサ４Ａが上方
向）で静止状態にある場合のガス流Ｐｆに対する検出出
力Ｖｏについて説明する。図３はこの発明に係るガスレ
ート検出器のガス流Ｐｆと検出出力Ｖｏの関係図であ
る。
【００２７】（ａ）図はガス流Ｐｆが小の場合の対流の
説明図であり、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂから発
熱した熱は重力加速度（Ｇ）作用方向（矢印）と反対の
方向（上側）に対流するため、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａの温度が発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの温度よりも上昇
し、抵抗値Ｒ１は増加し、抵抗値Ｒ２は減少（Ｒ１＞Ｒ
２）する。
説明図であり、発熱型感熱抵抗センサ４Ａ、４Ｂから発
熱した熱は重力加速度（Ｇ）作用方向（矢印）と反対の
方向（上側）に対流するため、発熱型感熱抵抗センサ４
Ａの温度が発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの温度よりも上昇
し、抵抗値Ｒ１は増加し、抵抗値Ｒ２は減少（Ｒ１＞Ｒ
２）する。
【００２８】（ｂ）図はガス流Ｐｆが大の場合の対流と
ガス流Ｐｆの偏向の説明図であり、発熱型感熱抵抗セン
サ４Ａ、４Ｂからの対流は（ａ）図と同じであるが、ガ
ス流Ｐｆの偏向はガス流Ｐｆが増加するにつれて発熱型
感熱抵抗センサ４Ａ側（上側）に移行する傾向があり、
発熱型感熱抵抗センサ４Ａからの放熱が次第に大きくな
る。
ガス流Ｐｆの偏向の説明図であり、発熱型感熱抵抗セン
サ４Ａ、４Ｂからの対流は（ａ）図と同じであるが、ガ
ス流Ｐｆの偏向はガス流Ｐｆが増加するにつれて発熱型
感熱抵抗センサ４Ａ側（上側）に移行する傾向があり、
発熱型感熱抵抗センサ４Ａからの放熱が次第に大きくな
る。
【００２９】ガス流Ｐｆを所定のガス流Ｐｆｏに設定
（Ｐｆ＝Ｐｆｏ）すると、発熱型感熱抵抗センサ４Ａお
よび４Ｂからの放熱量が等しくなり、発熱型感熱抵抗セ
ンサ４Ａおよび４Ｂの抵抗値Ｒ１、Ｒ２が等しく（Ｒ１
＝Ｒ２）なる。さらに、ガス流Ｐｆを増加する（Ｐｆ＞
Ｐｆｏ）と、発熱型感熱抵抗センサ４Ａからの放熱が発
熱型感熱抵抗センサ４Ｂからの放熱よりも大きくなり、
抵抗値Ｒ１は抵抗値Ｒ２よりも小さな値（Ｒ１＜Ｒ２）
となる。
（Ｐｆ＝Ｐｆｏ）すると、発熱型感熱抵抗センサ４Ａお
よび４Ｂからの放熱量が等しくなり、発熱型感熱抵抗セ
ンサ４Ａおよび４Ｂの抵抗値Ｒ１、Ｒ２が等しく（Ｒ１
＝Ｒ２）なる。さらに、ガス流Ｐｆを増加する（Ｐｆ＞
Ｐｆｏ）と、発熱型感熱抵抗センサ４Ａからの放熱が発
熱型感熱抵抗センサ４Ｂからの放熱よりも大きくなり、
抵抗値Ｒ１は抵抗値Ｒ２よりも小さな値（Ｒ１＜Ｒ２）
となる。
【００３０】（ｃ）図は、（ａ）図および（ｂ）図のガ
ス流Ｐｆと発熱型感熱抵抗センサ４、４Ｂの放熱の関係
を、ガス流Ｐｆと図４に示す抵抗ブリッジ回路１１の検
出出力Ｖｏで表わした関係図である。ガス流Ｐｆが小さ
い範囲では、発熱型感熱抵抗センサ４Ａの抵抗値Ｒ１が
発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの抵抗値Ｒ２より大きく（Ｒ
１＞Ｒ２）、標準抵抗１０Ａ、１０Ｂの抵抗値ｒ１、ｒ
２および抵抗値Ｒ１、Ｒ２で構成した抵抗ブリッジ回路
１１の検出出力Ｖｏは負の値（−）を出力する。
ス流Ｐｆと発熱型感熱抵抗センサ４、４Ｂの放熱の関係
を、ガス流Ｐｆと図４に示す抵抗ブリッジ回路１１の検
出出力Ｖｏで表わした関係図である。ガス流Ｐｆが小さ
い範囲では、発熱型感熱抵抗センサ４Ａの抵抗値Ｒ１が
発熱型感熱抵抗センサ４Ｂの抵抗値Ｒ２より大きく（Ｒ
１＞Ｒ２）、標準抵抗１０Ａ、１０Ｂの抵抗値ｒ１、ｒ
２および抵抗値Ｒ１、Ｒ２で構成した抵抗ブリッジ回路
１１の検出出力Ｖｏは負の値（−）を出力する。
【００３１】ガス流Ｐｆを増加するにつれて検出出力Ｖ
ｏも増加し、ガス流Ｐｆが所定のガス流Ｐｆｏで（Ｐｆ
＝Ｐｆｏ）、抵抗値Ｒ１とＲ２が等しくなり、検出出力
Ｖｏは０となる。さらに、ガス流Ｐｆを増加する（Ｐｆ
＞Ｐｆｏ）と、検出出力Ｖｏは正の値（＋）を出力す
る。
ｏも増加し、ガス流Ｐｆが所定のガス流Ｐｆｏで（Ｐｆ
＝Ｐｆｏ）、抵抗値Ｒ１とＲ２が等しくなり、検出出力
Ｖｏは０となる。さらに、ガス流Ｐｆを増加する（Ｐｆ
＞Ｐｆｏ）と、検出出力Ｖｏは正の値（＋）を出力す
る。
【００３２】従って、ガス流Ｐｆを所定のガス流Ｐｆｏ
に設定することにより、ガスレート検出器１は垂直に傾
けた状態の加速度（Ｇ）を検出せず、水平方向の角速度
のみを検出するよう構成できる。なお、（ｃ）図にはガ
スレート検出器１を垂直（傾斜角９０°）にした場合の
ガス流Ｐｆｏと検出出力Ｖｏの関係を示したが、傾斜角
を任意に設定してもガス流Ｐｆｏと検出出力Ｖｏの関係
は変らないことは実験的に確認している。
に設定することにより、ガスレート検出器１は垂直に傾
けた状態の加速度（Ｇ）を検出せず、水平方向の角速度
のみを検出するよう構成できる。なお、（ｃ）図にはガ
スレート検出器１を垂直（傾斜角９０°）にした場合の
ガス流Ｐｆｏと検出出力Ｖｏの関係を示したが、傾斜角
を任意に設定してもガス流Ｐｆｏと検出出力Ｖｏの関係
は変らないことは実験的に確認している。
【００３３】図４はこの発明に係るガスレート検出器の
検出手段およびポンプ制御手段の要部ブロック構成図で
ある。図４において、検出手段７は水平方向の角速度ω
を検出するため、抵抗ブリッジ回路１１、角速度変換部
１２、角速度記憶部１３を備え、抵抗ブリッジ回路１１
は外部の電流源９Ａで駆動される。ポンプ制御手段８は
ロール方向の加速度（Ｇ）を検出しないガス流Ｐｆｏを
発生するよう、圧電ポンプ５に最適なポンプ電圧Ｖｐを
供給するため、比較部１４、ポンプ電圧出力部１５、ポ
ンプ電圧設定部１６、シーケンス部１７を備え、外部の
設定スイッチ１８により起動する。
検出手段およびポンプ制御手段の要部ブロック構成図で
ある。図４において、検出手段７は水平方向の角速度ω
を検出するため、抵抗ブリッジ回路１１、角速度変換部
１２、角速度記憶部１３を備え、抵抗ブリッジ回路１１
は外部の電流源９Ａで駆動される。ポンプ制御手段８は
ロール方向の加速度（Ｇ）を検出しないガス流Ｐｆｏを
発生するよう、圧電ポンプ５に最適なポンプ電圧Ｖｐを
供給するため、比較部１４、ポンプ電圧出力部１５、ポ
ンプ電圧設定部１６、シーケンス部１７を備え、外部の
設定スイッチ１８により起動する。
【００３４】抵抗ブリッジ回路１１は、発熱型感熱抵抗
センサ４Ａ、４Ｂの抵抗Ｒ１、Ｒ２を直列に接続し、標
準抵抗ｒ１、ｒ２の直列回路と並列接続して構成する。
また、抵抗ブリッジ回路１１は、抵抗Ｒ１―Ｒ２間に電
流源９Ａを接続し、抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の接続部（電圧
ＶX）、抵抗ｒ１と抵抗ｒ２の接続部（電圧ＶY）を取り
出して検出出力Ｖｏ（＝ＶX−ＶY）とする。
センサ４Ａ、４Ｂの抵抗Ｒ１、Ｒ２を直列に接続し、標
準抵抗ｒ１、ｒ２の直列回路と並列接続して構成する。
また、抵抗ブリッジ回路１１は、抵抗Ｒ１―Ｒ２間に電
流源９Ａを接続し、抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の接続部（電圧
ＶX）、抵抗ｒ１と抵抗ｒ２の接続部（電圧ＶY）を取り
出して検出出力Ｖｏ（＝ＶX−ＶY）とする。
【００３５】角速度変換部１２は、角速度記憶部１３か
ら角速度ωｏを読み出し、検出出力Ｖｏに対応した角速
度信号ωｏを出力する。角速度記憶部１３はＲＯＭ等の
メモリで構成し、予め実験または理論的に求めた検出出
力Ｖｏと角速度ωｏの関連データを設定する。
ら角速度ωｏを読み出し、検出出力Ｖｏに対応した角速
度信号ωｏを出力する。角速度記憶部１３はＲＯＭ等の
メモリで構成し、予め実験または理論的に求めた検出出
力Ｖｏと角速度ωｏの関連データを設定する。
【００３６】このように、ガスレート検出器１は検出手
段７を備え、検出出力Ｖｏに対応した角速度信号ωｏを
出力するので、ヨー（水平）方向に旋回する物体に搭載
して角速度を検出することができる。
段７を備え、検出出力Ｖｏに対応した角速度信号ωｏを
出力するので、ヨー（水平）方向に旋回する物体に搭載
して角速度を検出することができる。
【００３７】ポンプ制御手段８は、ガスレート検出器１
の初期設定または再設定の際に起動し、例えばガスレー
ト検出器１を図１に示すセンサ本体２の発熱型感熱抵抗
センサ４Ａが上側になるよう垂直に配置する。比較部１
４はコンパレータ等の比較回路で構成し、検出手段７か
ら出力される加速度信号Ｇｏと基準加速度Ｇｋを比較し
て偏差信号ΔＧｏ（＝Ｇｏ−Ｇｋ）をポンプ電圧出力部
１５およびシーケンス部１７に提供する。
の初期設定または再設定の際に起動し、例えばガスレー
ト検出器１を図１に示すセンサ本体２の発熱型感熱抵抗
センサ４Ａが上側になるよう垂直に配置する。比較部１
４はコンパレータ等の比較回路で構成し、検出手段７か
ら出力される加速度信号Ｇｏと基準加速度Ｇｋを比較し
て偏差信号ΔＧｏ（＝Ｇｏ−Ｇｋ）をポンプ電圧出力部
１５およびシーケンス部１７に提供する。
【００３８】ポンプ電圧出力部１５は、偏差信号ΔＧｏ
に基づいてポンプ電圧設定部１６から偏差信号ΔＧｏに
対応した所定の補正電圧値ΔＶｐを呼出し、ポンプ電圧
Ｖｐに加算したポンプ電圧Ｖｐ（＝Ｖｐ＋ΔＶｐ）を出
力し、圧電ポンプ５を駆動する。ポンプ電圧設定部１６
はＲＯＭ等のメモリで構成し、偏差信号ΔＧｏに対応し
た所定の補正電圧値ΔＶｐを予め設定しておく。
に基づいてポンプ電圧設定部１６から偏差信号ΔＧｏに
対応した所定の補正電圧値ΔＶｐを呼出し、ポンプ電圧
Ｖｐに加算したポンプ電圧Ｖｐ（＝Ｖｐ＋ΔＶｐ）を出
力し、圧電ポンプ５を駆動する。ポンプ電圧設定部１６
はＲＯＭ等のメモリで構成し、偏差信号ΔＧｏに対応し
た所定の補正電圧値ΔＶｐを予め設定しておく。
【００３９】シーケンス部１７は順序回路、タイマ回
路、セット／リセット回路等で構成し、外部の設定スイ
ッチ１８のオン操作によるスイッチ情報ＳＷで起動さ
れ、セット信号を比較部１４およびポンプ電圧出力部１
５に提供してポンプ制御手段８全体を起動する。続い
て、シーケンス信号Ｓｒを出力し、比較部１４の加速度
信号Ｇｏの取込みや偏差信号ΔＧｏの演算、ポンプ電圧
出力部１５の補正電圧値ΔＶｐの読み出しやポンプ電圧
Ｖｐとの加算、出力を制御したり、繰返し実行される一
連の動作の順序やタイミングを管理する。また、シーケ
ンス部１７は、比較部１４からの偏差信号ΔＧｏを取込
み、偏差信号ΔＧｏ＝０の場合にリセット信号Ｓｔを比
較部１４およびポンプ電圧出力部１５に出力し、ポンプ
電圧出力部１５のポンプ電圧Ｖｐを固定した後、ポンプ
制御手段８の動作を停止するよう制御する。
路、セット／リセット回路等で構成し、外部の設定スイ
ッチ１８のオン操作によるスイッチ情報ＳＷで起動さ
れ、セット信号を比較部１４およびポンプ電圧出力部１
５に提供してポンプ制御手段８全体を起動する。続い
て、シーケンス信号Ｓｒを出力し、比較部１４の加速度
信号Ｇｏの取込みや偏差信号ΔＧｏの演算、ポンプ電圧
出力部１５の補正電圧値ΔＶｐの読み出しやポンプ電圧
Ｖｐとの加算、出力を制御したり、繰返し実行される一
連の動作の順序やタイミングを管理する。また、シーケ
ンス部１７は、比較部１４からの偏差信号ΔＧｏを取込
み、偏差信号ΔＧｏ＝０の場合にリセット信号Ｓｔを比
較部１４およびポンプ電圧出力部１５に出力し、ポンプ
電圧出力部１５のポンプ電圧Ｖｐを固定した後、ポンプ
制御手段８の動作を停止するよう制御する。
【００４０】なお、ポンプ制御手段８は、ガスレート検
出器１の初期設定時および再設定時の加速度検出禁止の
調整を自動的に実行する実施例であり、ポンプ制御手段
８を可変抵抗器等のポンプ電圧可変手段で構成し、検出
手段７からの加速度信号Ｇｏを監視しながら手動でポン
プ電圧Ｖｐを調整するよう構成することもできる。ま
た、ポンプ電圧Ｖｐは初期設定時に加速度信号Ｇｏが０
となるよう、予め電圧Ｖｐを設定しておいてもよい。
出器１の初期設定時および再設定時の加速度検出禁止の
調整を自動的に実行する実施例であり、ポンプ制御手段
８を可変抵抗器等のポンプ電圧可変手段で構成し、検出
手段７からの加速度信号Ｇｏを監視しながら手動でポン
プ電圧Ｖｐを調整するよう構成することもできる。ま
た、ポンプ電圧Ｖｐは初期設定時に加速度信号Ｇｏが０
となるよう、予め電圧Ｖｐを設定しておいてもよい。
【００４１】図５はこの発明に係るガスレート検出器の
ポンプ制御手段を適用した一実施例の特性図である。封
入するガスは５気圧の窒素ガス、ガスレート検出器１の
傾斜角は９０°、周囲温度２５℃の条件において、圧電
ポンプ５のポンプ電圧Ｖｐを変化してガス流Ｐｆを変え
た場合のガス流Ｐｆに対応する抵抗ブリッジ回路１１の
検出出力Ｖｏを示す。
ポンプ制御手段を適用した一実施例の特性図である。封
入するガスは５気圧の窒素ガス、ガスレート検出器１の
傾斜角は９０°、周囲温度２５℃の条件において、圧電
ポンプ５のポンプ電圧Ｖｐを変化してガス流Ｐｆを変え
た場合のガス流Ｐｆに対応する抵抗ブリッジ回路１１の
検出出力Ｖｏを示す。
【００４２】ガス流Ｐｆを所定の値Ｐｆｏ（＝８０ｃｍ
3／ｍｉｎ）にすると、検出出力Ｖｏ＝０となり、加速
度（Ｇ）が検出されないように設定することができる。
また、ガス流Ｐｆｏ（＝８０ｃｍ3／ｍｉｎ）を発生さ
せる圧電ポンプ５のポンプ電圧Ｖｐ（＝Ｖｐｓ）は３Ｖ
である。なお、この特性は周囲温度を変更しても変化が
少なく、ガスレート検出器１の傾斜角を任意に設定して
も変化が少ないことを実験的に確認している。
3／ｍｉｎ）にすると、検出出力Ｖｏ＝０となり、加速
度（Ｇ）が検出されないように設定することができる。
また、ガス流Ｐｆｏ（＝８０ｃｍ3／ｍｉｎ）を発生さ
せる圧電ポンプ５のポンプ電圧Ｖｐ（＝Ｖｐｓ）は３Ｖ
である。なお、この特性は周囲温度を変更しても変化が
少なく、ガスレート検出器１の傾斜角を任意に設定して
も変化が少ないことを実験的に確認している。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明に係るガス
レート検出器は、ロール方向の傾斜に対応した加速度や
ヨー（水平）方向の加速度を検出しないようなガス流を
発生する圧電ポンプのポンプ電圧に設定するために、ヨ
ー（水平）方向の角速度のみを検出することができる。
レート検出器は、ロール方向の傾斜に対応した加速度や
ヨー（水平）方向の加速度を検出しないようなガス流を
発生する圧電ポンプのポンプ電圧に設定するために、ヨ
ー（水平）方向の角速度のみを検出することができる。
【００４４】また、この発明に係るガスレート検出器
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗で抵抗ブリッジ回路を設け、角速度を一対の発
熱型感熱抵抗センサの互いに反対方向に増減する抵抗値
変化量の和に対応した検出出力として得るので、検出出
力の絶対値から角速度を高感度で検出することができる
とともに、検出出力の符号から角速度の作用方向を検出
することができる。
は、検出手段に、一対の発熱型感熱抵抗センサと一対の
標準抵抗で抵抗ブリッジ回路を設け、角速度を一対の発
熱型感熱抵抗センサの互いに反対方向に増減する抵抗値
変化量の和に対応した検出出力として得るので、検出出
力の絶対値から角速度を高感度で検出することができる
とともに、検出出力の符号から角速度の作用方向を検出
することができる。
【００４５】よって、角速度を精度よく検出でき、利便
性の高いガスレート検出器を提供することができる。
性の高いガスレート検出器を提供することができる。
【図１】この発明に係るガスレート検出器の要部構成図
【図２】この発明に係るガスレート検出器の要部ブロッ
ク構成図
ク構成図
【図３】この発明に係るガスレート検出器のガス流Ｐｆ
と検出出力Ｖｏの関係図
と検出出力Ｖｏの関係図
【図４】この発明に係るガスレート検出器の検出手段お
よびポンプ制御手段の要部ブロック構成図
よびポンプ制御手段の要部ブロック構成図
【図５】この発明に係るガスレート検出器のポンプ制御
手段を適用した一実施例の特性図
手段を適用した一実施例の特性図
１…ガスレート検出器、２…センサ本体、３…下側半導
体基板、３Ａ…流入口、３Ｂ…ノズル孔、３Ｃ…ガス流
路、３Ｄ…基板ブリッジ、３Ｅ…排出口、４Ａ，４Ｂ…
発熱型感熱抵抗センサ（Ｒ１，Ｒ２）、５…圧電ポン
プ、５Ａ…ポンプケース、５Ｂ…ダイヤフラム、５Ｃ…
圧電素子、６…容器、７…検出手段、８…ポンプ制御手
段、９…電源部、９Ａ…電流源（Ｉｏ）、１０Ａ，１０
Ｂ…標準抵抗（ｒ１，ｒ２）、１１…抵抗ブリッジ回
路、１２…角速度変換部、１３…角速度記憶部、１４…
比較部、１５…ポンプ電圧出力部、１６…ポンプ電圧設
定部、１７…シーケンス部、１８…設定スイッチ、ａ〜
ｄ…パッド、Ｇｏ…加速度信号、Ｇｋ…基準加速度、Δ
Ｇｏ（Ｇｏ−Ｇｋ）…偏差信号、Ｐｆ…ガス流、ＳＷ…
スイッチ情報、Ｖｏ…検出出力、Ｖｐ…ポンプ電圧、Δ
Ｖｐ…補正電圧値、ωｏ…角速度信号。
体基板、３Ａ…流入口、３Ｂ…ノズル孔、３Ｃ…ガス流
路、３Ｄ…基板ブリッジ、３Ｅ…排出口、４Ａ，４Ｂ…
発熱型感熱抵抗センサ（Ｒ１，Ｒ２）、５…圧電ポン
プ、５Ａ…ポンプケース、５Ｂ…ダイヤフラム、５Ｃ…
圧電素子、６…容器、７…検出手段、８…ポンプ制御手
段、９…電源部、９Ａ…電流源（Ｉｏ）、１０Ａ，１０
Ｂ…標準抵抗（ｒ１，ｒ２）、１１…抵抗ブリッジ回
路、１２…角速度変換部、１３…角速度記憶部、１４…
比較部、１５…ポンプ電圧出力部、１６…ポンプ電圧設
定部、１７…シーケンス部、１８…設定スイッチ、ａ〜
ｄ…パッド、Ｇｏ…加速度信号、Ｇｋ…基準加速度、Δ
Ｇｏ（Ｇｏ−Ｇｋ）…偏差信号、Ｐｆ…ガス流、ＳＷ…
スイッチ情報、Ｖｏ…検出出力、Ｖｐ…ポンプ電圧、Δ
Ｖｐ…補正電圧値、ωｏ…角速度信号。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−223675（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−2026（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−52862（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−370766（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 9/00 G01C 19/00
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス流路内に対向して配置した一対の発
熱型感熱抵抗センサを備えたセンサ本体と、前記ガス流
路にガス流を発生させるポンプと、前記一対の発熱型感
熱抵抗センサおよび前記ポンプを収容し、加圧したガス
で封入する容器と、角速度が作用した場合に前記ガス流
の偏向により前記一対の発熱型感熱抵抗センサに生じる
抵抗値の変化に基づいて前記角速度に対応した出力信号
を検出する検出手段とを備えたガスレート検出器におい
て、 ロール方向の傾斜に対応した重力加速度やヨー方向の加
速度が作用した場合、前記検出手段から出力信号を検出
しないような所定の前記ガス流を発生させるポンプ制御
手段を設けたことを特徴とするガスレート検出器。 - 【請求項２】 前記検出手段に、前記一対の発熱型感熱
抵抗センサと一対の標準抵抗の各抵抗からなる抵抗ブリ
ッジ回路を設けたことを特徴とする請求項１記載のガス
レート検出器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01354694A JP3244208B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | ガスレート検出器 |
| DE69523962T DE69523962T2 (de) | 1994-02-07 | 1995-02-07 | Winkelgeschwindigkeitsmessaufnehmer |
| US08/384,910 US5641903A (en) | 1994-02-07 | 1995-02-07 | Gas rate sensor for detecting horizontal angular velocity |
| EP95300733A EP0667531B1 (en) | 1994-02-07 | 1995-02-07 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01354694A JP3244208B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | ガスレート検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218528A JPH07218528A (ja) | 1995-08-18 |
| JP3244208B2 true JP3244208B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=11836162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01354694A Expired - Fee Related JP3244208B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | ガスレート検出器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5641903A (ja) |
| EP (1) | EP0667531B1 (ja) |
| JP (1) | JP3244208B2 (ja) |
| DE (1) | DE69523962T2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6589433B2 (en) | 1996-06-26 | 2003-07-08 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| US6182509B1 (en) | 1996-06-26 | 2001-02-06 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| WO1997049998A1 (en) | 1996-06-26 | 1997-12-31 | Simon Fraser University | Accelerometer without proof mass |
| US20040017357A1 (en) * | 2000-08-29 | 2004-01-29 | Masahiro Kinoshita | Pointing device |
| JP4512864B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2010-07-28 | 本田技研工業株式会社 | ガス式レートセンサ |
| CN100453972C (zh) * | 2007-06-01 | 2009-01-21 | 北京沃尔康科技有限责任公司 | 气体摆式惯性传感器 |
| JP4450070B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2010-04-14 | ソニー株式会社 | 電子機器 |
| JP4591521B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2010-12-01 | ソニー株式会社 | 圧電ポンプを有する電子機器 |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3631729A (en) * | 1969-06-05 | 1972-01-04 | Hercules Inc | Fluid jet deflection-type instrument with jet buoyancy control |
| US3635075A (en) * | 1970-06-29 | 1972-01-18 | Beckman Instruments Inc | Osmometer |
| US4026159A (en) * | 1976-02-23 | 1977-05-31 | United Technologies Corporation | Fluidic angular rate sensor null error compensation |
| US4156364A (en) * | 1977-07-28 | 1979-05-29 | The Johns Hopkins University | Ionic conduction angular rate sensor |
| US4147063A (en) * | 1977-09-23 | 1979-04-03 | Systron-Donner Corporation | Two axis gas damped angular velocity sensor |
| US4254659A (en) * | 1979-01-12 | 1981-03-10 | Kbg Corporation | Fluid dynamic angular rate sensor |
| JPS55177655U (ja) * | 1979-06-08 | 1980-12-19 | ||
| JPS5945944B2 (ja) * | 1980-03-27 | 1984-11-09 | 本田技研工業株式会社 | ガスレ−トセンサ |
| US4445377A (en) * | 1980-11-12 | 1984-05-01 | The Garrett Corporation | Pressure-to-electric output system for an angular rate sensor or the like |
| US4407161A (en) * | 1982-02-11 | 1983-10-04 | United Technologies Corporation | Fluid jet displacement detector |
| US4542650A (en) * | 1983-08-26 | 1985-09-24 | Innovus | Thermal mass flow meter |
| US4592232A (en) * | 1984-05-07 | 1986-06-03 | United Technologies Corporation | Angular velocity sensor |
| US4594894A (en) * | 1984-09-04 | 1986-06-17 | United Technologies Corporation | Angular velocity sensor |
| US4584878A (en) * | 1984-09-24 | 1986-04-29 | Tamagawa Seigi Kabushiki Kaisha | Gas-rate sensor |
| JPH07120946B2 (ja) * | 1985-06-25 | 1995-12-20 | キヤノン株式会社 | 位相同期回路 |
| US4756670A (en) * | 1986-10-17 | 1988-07-12 | Andros Analyzers Incorporated | Detecting method and apparatus using heat sensitive devices |
| US4930349A (en) * | 1987-05-29 | 1990-06-05 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha & Stanley Electric Co. | Gas rate sensor |
| JPS63298068A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Honda Motor Co Ltd | ガスレ−トセンサ |
| JPH0614063B2 (ja) * | 1988-01-13 | 1994-02-23 | 本田技研工業株式会社 | ガスレートセンサ |
| JPH01180458A (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-18 | Honda Motor Co Ltd | ガスレートセンサ |
| JP2721840B2 (ja) * | 1989-06-28 | 1998-03-04 | 本田技研工業株式会社 | ガス式角速度検出器 |
| JPH0830710B2 (ja) * | 1990-03-08 | 1996-03-27 | 本田技研工業株式会社 | 角速度検出器 |
| JP2992660B2 (ja) * | 1991-06-19 | 1999-12-20 | 本田技研工業株式会社 | ガスレートセンサ |
| JP2599323B2 (ja) * | 1991-08-21 | 1997-04-09 | 本田技研工業株式会社 | ガスレートセンサ |
| US5385046A (en) * | 1992-04-10 | 1995-01-31 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Gas flow type angular velocity sensor |
| JP3247533B2 (ja) * | 1994-02-04 | 2002-01-15 | 本田技研工業株式会社 | 半導体ガスレートセンサの製造方法 |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP01354694A patent/JP3244208B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-02-07 US US08/384,910 patent/US5641903A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-02-07 DE DE69523962T patent/DE69523962T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-02-07 EP EP95300733A patent/EP0667531B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5641903A (en) | 1997-06-24 |
| EP0667531B1 (en) | 2001-11-21 |
| JPH07218528A (ja) | 1995-08-18 |
| EP0667531A3 (en) | 1996-10-02 |
| DE69523962D1 (de) | 2002-01-03 |
| EP0667531A2 (en) | 1995-08-16 |
| DE69523962T2 (de) | 2002-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5557972A (en) | Miniature silicon based thermal vacuum sensor and method of measuring vacuum pressures | |
| JP3244208B2 (ja) | ガスレート検出器 | |
| US6901794B2 (en) | Multiple technology flow sensor | |
| US7565255B2 (en) | Thermal flow meter and control system | |
| JPH0755748A (ja) | 雰囲気計 | |
| US5205170A (en) | Mass flow sensor | |
| CN1035892A (zh) | 热电式红外探测仪及其制造方法 | |
| JP3312227B2 (ja) | ガス式角速度センサ | |
| JP2946400B2 (ja) | 発熱抵抗体の温度制御回路 | |
| JP2889910B2 (ja) | 雰囲気検出装置 | |
| JP3386250B2 (ja) | 熱依存性検出装置 | |
| JP3433767B2 (ja) | 傾斜検出器 | |
| JP3345695B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JP3358684B2 (ja) | 熱依存性検出装置 | |
| JP3363983B2 (ja) | ヒートワイヤ型加速度検出器 | |
| JP3281169B2 (ja) | 多軸型ガスレートセンサ | |
| JPH04348280A (ja) | ヒータ内蔵ハイブリッドｉｃ | |
| JP2686878B2 (ja) | 複合センサ装置 | |
| JP3294707B2 (ja) | 加速度センサ内蔵ガスレートセンサ | |
| JP3177803B2 (ja) | ガス式角速度検出器 | |
| JP2786668B2 (ja) | 自動車のエンジン制御用センサ | |
| JP3332280B2 (ja) | ヒートワイヤ型加速度検出器 | |
| JP2004077428A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH09184746A (ja) | 流量センサ | |
| JP2715146B2 (ja) | ガス式角速度検出器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011011 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071026 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |