DE1283861B

DE1283861B - Geschlossener, evakuierbarer Ofen

Info

Publication number: DE1283861B
Application number: DEB89859A
Authority: DE
Inventors: Kraus; Schertler Roman; Dr Thaddaeus
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1965-12-31
Filing date: 1966-11-16
Publication date: 1968-11-28
Also published as: GB1117558A; NL6601290A; CH450636A; US3423513A; FR1506976A

Claims

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Öfen mit geschlossenem Ofengehäuse, Vorzugs- diese bekannte Ausbildung des Deckels wird zwar weise Vakuum- oder Schutzgasöfen, besitzen gewöhn- der die Dichtung tragende Flansch gegen Wärmelich ein feststehendes Gehäuseteil, an welches eine strahlung geschützt, wie dies bei vielen anderen bePumpe angeschlossen ist, und abnehmbare Teile, z. B. kannten Flanschkonstruktionen ebenfalls der Fall ist, einen Deckel, was entsprechende Dichtungen gegen 5 ein Vorbild für die spezielle Ausbildung des Ofendas Eindringen atmosphärischer Luft notwendig gehäuses entsprechend der vorliegenden Erfindung macht. Bei Öfen, in denen hohe Temperaturen auf- konnte daraus aber nicht entnommen werden, rechterhalten werden müssen, wie Vakuumglüh- und Die erfindungsgemäße Ausgestaltung des Ofens be-Sinteröfen, Schmelzofen, Vakuumentgasungsanlagen sitzt den Vorteil, daß der als zylindrische, das Gut im usw., stellt der hinreichende Schutz der Dichtungen io Ofen umfassende Wand ausgebildete Schirm nicht nur aus Gummi oder Kunsstoff bekanntlich ein Problem alle empfindlichen Teile (Flansche, Dichtungen, Evadar. Die Dichtungswerkstoffe dürfen nie überhitzt' kuierungsänschlußy gegen die Wärmestrahlung und werden, weil sie sonst spröde und unbrauchbar wer- auch gegen Verschmutzung und Spritzer schützt, sonden. Auch geben die Dichtungswerkstoffe bei zu dem auch als sehr wirksamer Kondensor für kondenstarker Erhitzung zu viele Gase ab, was stört, wenn 15 sierbare Dämpfe, die aus dem zu behandelnden Gut im Ofen ein hohes Vakuum aufrechterhalten werden etwa austreten, und als Treibmittelfänger für alle aus soll. der Diffusionspumpe über den Pumpenanschluß in Ein weiteres Problem ergibt sich bei Hoch- den Ofen zurückströmenden Treibmittelmoleküle (Öltemperaturöfen der beschriebenen Art durch den dämpfe) dient. Bei allen bekannten vergleichbaren Pumpenanschluß. Nicht nur sind hierfür weitere ⁹⁰ öfen war stets ein eigener Treibmittelfänger, der zwi-Dichtungen für den Pumpenstutzen und an etwaigen sehen Diffusionspumpe und Ofen geschaltet wurde, Ventilen vorhanden, die ebenfalls gegen Überhitzen notwendig, wollte man das Ofengut gegen die Treibgeschützt werden müssen, sondern die Wärme- mitteldämpfe schützen. Dieser Schutz ist meist unstrahlung des Ofens in den Pumpstutzen hinein kann erläßlich, denn die eindringenden öldämpfe zersetzen dazu führen, daß Schmier- oder Treibmittel (bei ^a5 _si_ch an der heißen Oberfläche des zu behandelnden Öldampfpumpen) von den Innenwänden des Pump- Gutes und bilden dabei einen teerartigen Niederstutzens und etwa vorhandener ölfänger verdampft schlag, der die durch die Wärmebehandlung zu erwerden und dadurch in den Ofen gelangen. Dies zielende Vergütung zunichte machen kann, bedeutet den Verlust dieser Schmier- und Treibmittel Ein anderer bemerkenswerter Vorzug der Gestalin der Pumpe und vor allem die Gefahr einer ³° tung eines Ofens gemäß Erfindung liegt darin, daß Schädigung des im Ofen zu behandelnden Gutes. In _nach dem Öffnen des Ofens das Gut unmittelbar von Gasanalysenapparaturen entsteht auf diese Weise _an_en Seiten frei zugänglich ist. Bei bekannten öfen zusätzlich eine unerwünschte Gasquelle. _mi_t Wärmeschutzblechen müssen nach dem öffnen

Bekannt ist das Vorsehen von Strahlungsschutz- erst noch die heißen Strahlenschutzbleche entfernt blechen, die in den Ofen fest eingebaut sind, doch ³⁵ werden, wenn die Beschickung des Ofens ohne Bebehindern diese die Reinigung und sind meist so hinderung durch diese und ohne Gefährdung derselangeordnet, daß sie den Pumpstutzen nicht zuver- ben erfolgen soll.

lässig gegen das Eindringen von Schmutzpartikeln Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung sei an Hand

schützen können. Zeichnung beschrieben. Darin bedeutet 1 das fest-

Die Erfindung will die erwähnten Schwierigkeiten stehende Teil eines Ofengehäuses mit Pumpbeseitigen und gelangt gleichzeitig zu einer Ofen- anschlußstutzen 2, Bodenteil 3 und haubenförmigem gestaltung, die zweckmäßiger ist und billiger ist als Deckel 4. Das zu behandelnde Gut zusammen mit bisher bekanntgewordene, dem gleichen Zweck einer entsprechenden Heizeinrichtung (in der Zeichdienende Ofenkonstruktionen. Sie betrifft einen ge- _{4g nung} mit 5 angedeutet) ruht auf Stützen 6, die gleichschlossenen, evakuierbaren Ofen mit einem fest- zeitig der Stromversorgung über Leitungen 7 dienen, stehenden, den Pumpenanschluß tragenden Gehäuse- auf dem Boden des Ofens. Die Zeichnung zeigt ferteil und mit einem haubenförmigen Deckel, welcher _ner eine Wasserkühlung für Bodenteil und Deckeleinen mit einem Gegenflansch des feststehenden haube mit entsprechenden Zu- und Ableitungen und Gehäuseteiles einen vakuumdichten Verschluß bil- ₅₀ ein Schauglas 8 zur" Beobachtung des Ofeninnern. denden Flansch und auf der Innenseite einen die Der Erfindung entsprechend ist in der Zeichnung Flansche gegen unmittelbare Wärmestrahlung schüt- gezeigt, wie die Deckelhaube so-ausgebildet werden zenden Vorsprung aufweist, und ist dadurch gekenn- kann, daß sie bei geschlossenem Ofen in das Ofenzeichnet, daß der Vorsprung des haubenförmigen - innere'so weit hineinragt, daß sie die Dichtungen Deckels 4 als eine das zu behandelnde Gut 5 imafen _g5 9,10,11 sowie die bei 2 angeschlossene Pumpe geumfassende zylindrische Wand ausgebildet ist, welche gen die Wärmestrahlung und gegen die aus dem zu bei geschlossenem Zustand des Ofens bis fast zum behandelnden Gut bei Erhitzung austretenden Boden des Ofengehäuses 3 ragt und dabei einen Dämpfe, die sonst in die Pumpe gelangen und deren Evakuierungskanal frei lassenden Abstand aufweist. Funktion stören können, schützt.

In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung 60 Die Heizeinrichtung, Stromzuführung und Ausbil-

wird vorgesehen, daß der als zylindrische Wand aus- dung der Kühlung kann in üblicher, an sich bekann- :

gebildete Vorsprung des haubenförmigen Deckels 4 ter Weise erfolgen und wird deshalb nicht näher be-

als kühlmitteldurchströmter Hohlkörper ausgebildet schrieben,
ist

Aus der deutschen Patentschrift 708 276 ist zwar 65 P-

ein wassergekühlter Deckel für Schmelzofen bekannt- 1. Geschlossener, evakuierbarer Ofen mit einem ''

geworden, welcher auf der dem Ofeninnern zu- feststehenden, den Pumpenanschluß tragenden

gewandten Seite einen Vorsprung aufweist. Durch Gehäuseteil und mit einem haubenförmigen Dek-

kel, welcher einen mit einem Gegenflansch des feststehenden Gehäuseteiles einen vakuumdichten Verschluß bildenden Flansch und auf der Innenseite einen die Flansche gegen unmittelbare Wärmestrahlung schützenden Vorsprung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung des haubenförmigen Deckels (4) als eine das zu behandelnde Gut (5) im Ofen umfassende zylindrische Wand ausgebildet ist, welche bei geschlossenem Zustand des Ofens bis fast zum Boden des Ofengehäuses (3) ragt und dabei einen Evakuierungskanal frei lassenden Abstand aufweist.

2. Ofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der als zylindrische Wand ausgebildete Vorsprung des haubenförmigen Deckels (4) als kühlmitteldurchströmter Hohlkörper ausgebildet ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen