DE1265138B - Vorrichtung zum vakuumdichten Verschliessen eines Gefaesses, z. B. einer Vakuumglocke - Google Patents

Vorrichtung zum vakuumdichten Verschliessen eines Gefaesses, z. B. einer Vakuumglocke

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DE1265138B
DE1265138B DEN26119A DEN0026119A DE1265138B DE 1265138 B DE1265138 B DE 1265138B DE N26119 A DEN26119 A DE N26119A DE N0026119 A DEN0026119 A DE N0026119A DE 1265138 B DE1265138 B DE 1265138B
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vessel
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tight closing
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DEN26119A
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Anton Martin Klopfer
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND DEUTSCHES 4ffltW> PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. Cl.:
BOIj
Deutsche KL: 12 g-2/01
Nummer:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
1265 138
N 26119IV a/12 g
27. Januar 1965
4. April 1968
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen eines Gefäßes, wie z. B. einer Vakuumglocke, auf einer Gegenfläche, z. B. einer Grundplatte, bei der ein Dichtungsmaterial zwischen den abzudichtenden Teilen angebracht ist.
Die für Höchstvakuumanlagen benutzten Flanschdichtungen erfordern bei großen Flanschen eine beträchtliche Anzahl von Schraubverbindungen, deren öffnen und Schließen zeitraubend sind. Besonders bei großen zylindrischen Vakuumgefäßen, wie z. B. Aufdampfanlagen, ist dieser Nachteil stark merkbar.
Zweck der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen eines Gefäßes, wie z. B. einer Vakuumglocke, auf einer Gegenfläche, die besonders für große zylindrische Vakuumgefäße geeignet ist und bei der für das Schließen und öffnen nur ein solcher Zeitaufwand benötigt wird, wie er für übliche Hochvakuum-Aufdampfanlagen notwendig ist, und bei der sich trotzdem eine sehr zuverlässige Dichtung erreichen läßt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann schnell ohne Schraubenverbindung verschlossen werden. Zu diesem Zweck geht die Erfindung aus von einer an sich bekannten Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen eines Gefäßes auf einer Gegenfläche, bei der ein Dichtungsmaterial zwischen den abzudichtenden Teilen angebracht ist, das bei den zum Entgasen benötigten Temperaturen, z. B. Ausheizung um 300° C, flüssig wird und einen niedrigen Dampfdruck aufweist, wobei das Gefäß mittels eines schneidenartigen Randes mit dem in einer Nut der Gegenfläche angeordneten Werkstoff zusammenarbeitet.
Zum vakuumdichten Verbinden von Gefäßteilen, insbesondere elektrischen Entladungsröhren, durch Kaltpreßschweißen unter Zwischenfügen eines weichen Metalls, ist es z. B. bekannt, für die Zwischenschicht Indium zu verwenden und die Verbindung nach Durchführung des Preßvorganges einem Erwärmungsprozeß zu unterwerfen.
Erfindungsgemäß ist zwischen der Dichtung mit dem flüssig werdenden Werkstoff und der Atmosphäre in an sich bei doppelwandigen Aufdampfglocken bekannter Weise ein zusätzlicher Vakuumraum vorgesehen, und der zusätzliche Vakuumraum wird von einem Teil der Gefäßwand, einem Ring und einem Teil der Gegenfläche gebildet, wobei zwischen dem Ring und der Gegenfläche ein Dichtungsring, z. B. aus Gummi, angeordnet ist und der Ring federnd mit dem Gefäß verbunden ist.
Durch die federnde Verbindung wird gewährleistet, daß der Ring und das Gefäß unabhängig auf die
Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen
eines Gefäßes, z. B. einer Vakuumglocke
Anmelder:
N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)
Vertreter:
Dr.-Ing. H. D. Zeller, Patentanwalt,
2000 Hamburg 1, Mönckebergstr. 7
Als Erfinder benannt:
Anton Martin Klopfer, 5100 Aachen
Grundplatte gedrückt werden können. Bei Anwendung der Erfindung werden in an sich bekannter Weise Heizelemente zum Entgasen des Vakuumgefäßes vorgesehen. Es empfiehlt sich dann, Kühlmittel für den extra Dichtungsring, der z. B. aus Gummi besteht, vorzusehen, damit dieser Ring geschützt wird. Als beim Ausheizen flüssig werdendes Dichtungsmaterial kann Indium, Blei, Zinn, Wismuth bzw. Thallium verwendet werden. Bei jedem Ausheizen wird das Material regeneriert. An Hand des gezeichneten Ausführungsbeispieles wird die Erfindung näher erörtert.
Die Zeichnung zeigt schematisch eine Ansicht bzw. einen Längsschnitt der für die Erfindung wichtigen Teile der Vakuumanlage.
Die Vakuumglocke 1 soll schnell vakuumdicht mit der Grundplatte 2 verschlossen werden, wobei die Dichtung bis zu Temperaturen von ungefähr 300° C beständig sein muß. Die Glocke 1 weist unten einen scharfen Rand la auf, der beim Evakuieren infolge des Atmosphärendrucks auf das Dichtungsmaterial 5 gedrückt wird, welches in einer Nut der Grundplatte 2 angeordnet ist. Als Dichtungsmaterial ist in diesem Beispiel Indium gewählt, das einen niedrigen Dampfdruck hat und bei den Temperaturen, die zum Entgasen der Glocke 1 benötigt werden, flüssig wird. Der Schmelzpunkt des Indiums liegt bei 156° C.
Die Glocke 1 ist mit dem Flansch 1 b versehen, der über ein federndes Element 7 mit einem Ring 6 verbunden ist. Dieser Ring 6 dichtet auf einen Gummiring 8 in einer Nut der Grundplatte 2 ab. In
809 537/537
dieser Weise wird ein zusätzlicher Vakuumraum 4 gebildet, der verhindert, daß der Dichtungswerkstoff 5, wenn er flüssig ist, durch den äußeren Atmosphärendruck in den Vakuumraum 3 gedrückt wird.
Der Vorgang beim Schließen der Vakuumglocke läuft nun folgendermaßen ab: Nach dem Aufsetzen der Glocke auf die Grundplatte wird der Flansch 6 auf den Ring 8, der z. B. aus Gummi bestehen kann, gedrückt, zunächst durch das eigene Gewicht und dann während des Vakuumholens durch den äußeren Atmosphärendruck zusätzlich. Ebenso wird die Schneide am Ende der Glockenwandung auf den Indiumring 5 gedrückt. Der Indiumring liegt in einer Rille der Grundplatte 2. Das Federungselement 7 gewährleistet, daß der Flansche und die Glocke 1 unabhängig voneinander auf die Grundplatte gedrückt werden können. Wenn nun durch die Anschlußröhre 9 und 10 Hochvakuum (etwa 10 ~5 Torr) erreicht ist, wird die Glocke und ein Teil der Grundplatte zum Entgasen auf Temperaturen zwischen 200 und 3000C hochgeheizt. Dazu dienen die Heizwicklungen 11 und 12. Das Indium 5 wird flüssig und die Höchstvakuumdichtung ist hergestellt. Zum Schutz der Gummidichtung 8 sind die Wasserkühlungen 13 und 14 angebracht. Nach dem Entgasungsprozeß kommt die ganze Anlage wieder auf Zimmertemperatur und das Indium erstarrt.
Das Öffnen der Verbindung geschieht etwa in umgekehrter Reihenfolge. Die Vakuumräume 3 und 4 werden belüftet. Dann wird mit Hilfe der Heizwicklung 15 Indium geschmolzen und die Glocke kann abgehoben werden.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Vorrichtung zum vakuumdichten Verschließen eines Gefäßes auf einer Gegenfläche, bei der ein Dichtungsmaterial zwischen den abzudichtenden Teilen angebracht ist, das bei den zum Entgasen benötigten Temperaturen flüssig wird und einen niedrigen Dampfdruck aufweist, wobei das Gefäß mittels eines schneidenartigen Randes mit dem in einer Nut der Gegenfläche angeordneten Werkstoff zusammenarbeitet, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Dichtung (5) mit dem flüssig werdenden Werkstoff und der Atmosphäre in an sich bei doppelwandigen Aufdampfglocken bekannter Weise ein zusätzlicher Vakuumraum (4) vorgesehen ist und der zusätzliche Vakuumraum von einem Teil der Gefäßwand, einem Ring (6) und einem Teil der Gegenfläche (2) gebildet ist, wobei zwischen dem Ring (6) und der Gegenfläche (2) ein Dichtungsring (8) angeordnet ist und der Ring (6) federnd mit dem Gefäß (1) verbunden ist.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
    809 537/537 3.68 © Bundesdruckerei Berlin
DEN26119A 1965-01-27 1965-01-27 Vorrichtung zum vakuumdichten Verschliessen eines Gefaesses, z. B. einer Vakuumglocke Pending DE1265138B (de)

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