DE1253991B - Abscheidung von Metallen der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems auf Traegerkoerpern durch Reduktion der entsprechenden Halogenide mit Metalldaempfen - Google Patents

Abscheidung von Metallen der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems auf Traegerkoerpern durch Reduktion der entsprechenden Halogenide mit Metalldaempfen

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DE1253991B
DE1253991B DE1965V0028607 DEV0028607A DE1253991B DE 1253991 B DE1253991 B DE 1253991B DE 1965V0028607 DE1965V0028607 DE 1965V0028607 DE V0028607 A DEV0028607 A DE V0028607A DE 1253991 B DE1253991 B DE 1253991B
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Hans Venker
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HANS VENKER
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C23C16/08Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metal halides

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Description

  • Abscheidung von Metallen der IV. bis VL Nebengruppe des Periodensystems auf Trägerkörpern durch Reduktion der entsprechenden Halogenide mit Metalldämpfen Die Erfindung betrifft die Reduktion von Metallhalogeniden der Metalle der IV. bis Vl. Nebengruppe in der Dampfphase und insbesondere die Aufbringung dieser Metalle in dünner Schicht auf metallische oder keramische Werkstoffe.
  • Es ist bereits bekannt, daß man Metalle auf Unterlagen wie Glas oder anderen Metallen im Vakuum aufdampfen kann. Das Verfahren eignet sich jedoch nur bei Metallen mit verhältnismäßig niedrigem Schmelz- und Siedepunkt. Hochschmelzende Metalle wie Niob oder Tantal erfordern Temperaturen in der Größenordnung von etwa 3000'K. Der Einfluß -von derartig hohen Temperaturen bewirkt eine starke Erhitzung der Umgebung, und das Gasen von Teilen der Apparatur führt zur Bildung von Oxyden.
  • Die Elektroplattierung ist nur mit solchen Metallen möglich, deren Salze in wäßriger Lösung zum Metall reduziert werden können und die nicht zur Dendritenbildung neigen.
  • Die thermische Zersetzung oder Reduktion von Metallhalogeniden in Wasserstoffatmosphäre am erhitzten Werkstoff nach Van A r k e 1 d e B o e r ist wegen der erforderlichen hohen Arbeitstemperaturen von oberhalb 800'C nicht ohne weiteres anwendbar und nicht allzu betriebssicher. Bei Materialien, die ein Erhitzen auf diese Temperaturen nicht vertragen, z. B. wegen eines Phasensprunges unterhalb 800'C oder wegen ihres niedrigen Schmelzpunktes, ist das Verfahren überhaupt nicht durchführbar. Darüber hinaus löst sich Wasserstoff in einer großen Zahl von Metallen und bewirkt eine erhebliche Qualitätsminderung.
  • Weiterhin ist aus der französischen Patentschrift 1042 104 ein Verfahren zur Herstellung der Metalle der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems und ihrer Legierungen bekannt, wobei die Halogenide dieser Metalle mit Na, K oder Mg in der Dampfphase reduziert werden. Die bei diesem Verfahren verwendeten Temperaturen liegen bei etwa 1500'C, und die dabei gewonnenen Metalle fallen »schwammig« oder als Pulver an.
  • Es ist klar, daß dieses Verfahren nicht dazu geeignet ist, dünne, homogene und festhaftende Schichten der Metalle der IV. bis VI. Nebengruppe oder ihren Legierungen auf Metall- oder Keramikkörpern niederzuschlagen.
  • Erfindungsgemäß lassen sich diese Schwierigkeiten dadurch überwinden, daß man Zn oder Cd als Reduktionsmittel verwendet.
  • Gegenstand der Erfindung ist somit die Verwendung von Zink oder Cadmium in dampfförmiger Form als Reduktionsmittel zum Herstellen der Metalle der IV. bis Vl. Nebengruppe des Periodensystems und Aufbringen in dünner Schicht durch Reduktion der entsprechenden Halogenide in der Dampfphase.
  • Durch die Verwendung der beiden erfindungsgemäßen Reduktionsmittel werden folgende Vorteile erzielt: Erstens ist es möglich, die hochschmelzenden Übergangselemente der IV. bis Vl. Nebengruppe des Periodensystems auf verhältnismäßig einfachem, sicherem und wirtschaftlich vorteilhaftem Wege aus ihren leicht zugänglichen Halogeniden herzustellen und sie in einem Arbeitsgang auf Werkstücken aus Metall oder Keramik in Form einer fest haftenden, homogenen, dünnen Schicht abzuscheiden, wie sie elektrolytisch überhaupt nicht, durch Aufdampfen nur sehr schwer zu erhalten ist.
  • Zweitens kann die Reaktion bereits bei Temperaturen durchgeführt werden, bei denen die zu plattierenden Werkstücke meist noch keine gravierenden Materialveränderungen durch Schmelzen, Erweichen oder Kristallstrukturveränderung (Phasensprung) erleiden.
  • Vorzugsweise wird unter vermindertem Druck in der Größenordnung von etwa 1 bis 15 Torr bei Temperaturen zwischen etwa 450 und 650'C gearbeitet. Das bei der Umsetzung entstehende Zink- oder Cadmiumhalogenid ist bei den Arbeitstemperaturen flüchtig. Die Dämpfe des Übergangsmetallhalogenides und des Zinks oder Cadmiums werden in einer Reaktionszone zusammengebracht, die auf der Arbeitstemperatur von oberhalb 350'C gehalten wird. Das Übergangselement scheidet sich in metallischer Form ab, während das gebildete Zink- oder Cadmiumhalogenid aus der Reaktionszone abgetrennt, vorzugsweise abgesaugt wird. Wenn in die Reaktionszone ein zu plattierendes Werkstück eingebracht wird, so scheidet sich auf diesem das Metall als festhaftender, homogener, dünner Überzug ab. Als zu plattierende Werkstücke kommen Metalle mit einem Schmelzpunkt oberhalb der Arbeitstemperatur, wie Aluminium und seine Legierungen, Kupfer, Nickel, Uran, Eisen und seine Legierungen, sowie keramische Werkstoffe der verschiedensten Art in Frage, wie sie z. B. für Raketentriebwerke, Raumfahrzeuge, Reaktions- und Transportgefäße der chemischen Industrie, chirurgische Instrumente, Ventile usw. verwendet werden, vor allem dort-, wo ein Korrosionsschutz bei hohen Temperaturen angestrebt wird.
  • Vorzugsweise wird die Umsetzung des Metallhalogeniddampfes mit dem Zink- bzw. Cadmitimdampf in Gegenwart eines unter den Reaktionsbedingungen inerten Gases durchgeführt, das gleichzeitig als Trägergas für den Metallhalogeniddampf, den Zink- oder Cadmiumdampf und das entstehende dampfförmige Zink- oder Cadmiumhalogenid dient. Als inerte Gase werden vorzugsweise die Edelgase, wie Helium oder Argon, verwendet.
  • Beispiele für die zu reduzierenden Metallhalogenide sind: Niobpentachlorid, Niobpentafluorid, Niobpentabromid, Wolframhexachlorid, Wolframhexabromid, Wolframpentachlorid und -bromid, Urantetrachlorid, Tantalpentachlorid, Tantaltetrachlorid und Tantaltrichlorid, Tantalpentafluorid, Vanadintetrachlorid, Vanadinjodid, Thoriumtetrachlorid, Zirkon-und Hafniumtetrachlorid, -bromid und -jodid, Titantetrabromid, -chlorid und -jodid, Molybdänpentachlorid und Molybdänhexafluorid.
  • Zur Herstellung der Metalle der IV. bis Vl. Nebengruppe können die in den Zeichnungen schematisch wiedergegebenen Vorrichtungen benutzt werden. In der in F i g. 1 dargestellten Apparatur können die, z. B. Argon als Trägergas, in den Reaktionsraum 1 gelangenden Mengen an Metallhalogenid und Zink-oder Cadmiumdampf mit Hilfe von zwei Dosierventilen T, und T, und durch die Temperaturen der beiden kleinen Öfen 2 und 3 unabhängig voneinander eingestellt werden.
  • Bei der in F i g. 2 dargestellten Apparatur wird aus einem Vorratsbehälter 6 ein Pulvergemisch mittels eines Vibrators 7 über ein gekrümmtes Einspeisrohr 8 in ein Reaktionsgefäß 9 eingespeist. Das Reaktionsgefäß 9 kann evakuiert und durch einen Ofen 10 beheizt werden. Mittels eines Regelventils 11 kann über das Einspeisrohr 8 ein geregelter Inertgasstrom in die Apparatur geleitet werden.
  • Die Erfindung wird durch die nachstehenden Beispiele erläutert: Beispiel 1 Um einen Uranstab, z. B. ein Brennelement eines Reaktors, mit einer Niobschicht zu überziehen, wird der Uranstab in einen Reaktionsraum gebracht und auf eine Temperatur von etwa 500 bis 550'C erhitzt.
  • Niobpentachlorid wird in einem Ofen auf 100'C erhitzt, wobei es einen Dampfdruck von etwa 0,6 Torr aufweist. In einem anderen Ofen wird Zink auf 500'C erhitzt, wobei es einen Dampfdruck von etwa 2 Torr aufweist. Durch ein inertes Trägergas, wie Argon, werden Niobpentachlorid und Zink dampfförmig in den Reaktionsraum befördert, wobei die Strömungsgeschwindigkeiten der Komponenten mit Hilfe von Dosierventilen eingestellt werden. Das Mengenverhältnis von Niobpentachlorid zu Zink kann auch durchVariation derOfentemperaturderVerdampfungsgefäße reguliert werden. Im Reaktionsraum reagiert der Zinkdampf mit Niobpentachlorid nach folgender Gleichung: 2 NbC1, - 5 Zn -> 2 Nb + 5 ZnC12 wobei sich Niob auf dem Uranstab in dünner Schicht abscheidet. Das entstehende Zinkchlorid hat bei einer Ofentemperatur von 500'C einen Dampfdruck von 8 Torr und wird abgesaugt.
  • In gleicher Weise kann Niob auf Aluminium- oder Stahlblech abgeschieden werden. Die Schichten sind gut haftend und haben eine spiegelnde Oberfläche.
  • Bei Verwendung von Cadmium als reduzierendes Metall werden vorzugsweise die entsprechenden Metallbromide und -jodide verwendet, da Cadmiumfluorid und Cadmiumehlorid bei den Arbeitstemperaturen nur einen geringen Dampfdruck (0,2 Torr bei 500'C) haben. Beispiel 2 Um ein Blech mit einer dünnen Ta-Nb-W-Legierung zu überziehen, wird das Blech in ein Reaktionsgefäß (vgl. F i g. 2) eingehängt und ein Pulvergemisch aus 10 g WC]" 10 g NbCI" 10 g TaC1, und 50 g Zinkkörner von etwa 1 mm Durchmesser in ein Vorratsgefäß eingefüllt.
  • Die Apparatur wird dann auf etwa 1 Torr evakuiert und das Reaktionsgefäß auf 600'C erhitzt. Mittels eines Vibrators werden durch ein gekrümmtes Einspeisrohr 2 bis 5 g/Min. des Pulvergemisches aus dem Vorratsbehälter in das Reaktionsgefäß eingespeist. Dabei verdampfen die Metallhologenide bereits in dem gekrümmten Einspeisrohr, während das Zink wegen seiner geringeren Feuchtigkeit auf den Boden des Reaktionsgefäßes fällt.
  • Die von dort aufsteigenden Zinkdämpfe reduzieren die Metallhalogenide, wobei sich eine dünne, festhaftende und homogene Schicht einer Ta-Nb-W-Legierung auf dem Blech niederschlägt.
  • Um eine Kondensation der Metallhalogenide im kalten Teil des Einspeisrohrs zu verhindern, wird ein geringer Argonstrom durch das Einspeisrohr und das Reaktionsgefäß gesaugt.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Die Verwendung von Zink oder Cadmium in dampfförmiger Form zum Reduzieren von Halogeniden der Metalle der IV. bis Vl. Nebengruppe des Periodischen Systems und zum gleichzeitigen Abscheiden der reduzierten freien Metalle als festhaftender Belag auf metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen entsprechender Temperaturbeständigkeit. In Betracht gezogene Druckschriften: Französische Patentschrift Nr. 1042 104; USA.-Patentschrift Nr. 3 061462.
DE1965V0028607 1965-06-02 1965-06-02 Abscheidung von Metallen der IV. bis VI. Nebengruppe des Periodensystems auf Traegerkoerpern durch Reduktion der entsprechenden Halogenide mit Metalldaempfen Pending DE1253991B (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2391288A1 (fr) * 1977-05-18 1978-12-15 Siemens Ag Procede de realisation de minces couches de metaux resistants a de hautes temperatures tels que tungstene, molybdene, rhenium ou osmium

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1042104A (fr) * 1950-09-13 1953-10-29 Nat Smelting Co Ltd Perfectionnements apportés à la préparation de métaux par réduction de leurs halogénures métalliques
US3061462A (en) * 1959-03-26 1962-10-30 Chromalloy Corp Metallic diffusion processes

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