DE1198459B - Leistungsgluehkathode und Schaltungsanordnung zu deren Betrieb - Google Patents

Leistungsgluehkathode und Schaltungsanordnung zu deren Betrieb

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DE1198459B
DE1198459B DEH46373A DEH0046373A DE1198459B DE 1198459 B DE1198459 B DE 1198459B DE H46373 A DEH46373 A DE H46373A DE H0046373 A DEH0046373 A DE H0046373A DE 1198459 B DE1198459 B DE 1198459B
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DE
Germany
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cathode
power
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auxiliary
heating
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DEH46373A
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Inventor
Dr Walter Reichelt
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WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
WC Heraus GmbH and Co KG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/13Solid thermionic cathodes
    • H01J1/20Cathodes heated indirectly by an electric current; Cathodes heated by electron or ion bombardment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/075Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/242Filament heating power supply or regulation circuits

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Description

  • Leistungsglühkathode und Schaltungsanordnung zu deren Betrieb Die Erfindung betrifft eine Leistungsglühkathode und eine Schaltungsanordnung zu deren Betrieb. Leistungsglühkathoden, also Glühkathoden mit hohem Emissionsstrom bzw. hoher Emissionsstromdichte, werden beispielsweise bei Elektronenstrahl-, Schweiß-, Schmelz- und Verdampfungsanlagen benutzt.
  • Es ist bekannt, Glühkathoden indirekt zu heizen. Hierbei wird eine Heizwendel, die im Innern einer Glühkathode elektrisch isoliert angeordnet ist, elektrisch aufgeheizt. Durch die von der Heizwendel ausgesandte Wärmestrahlung wird die Glühkathode auf Elektronenemissionstemperatur erhitzt. Die Heizwendel muß eine wesentlich höhere Temperatur besitzen als die durch sie aufgeheizte Kathode, da zu jeder Wärmeübertragung ein Temperaturgefälle notwendig ist. Dieses indirekte Heizverfahren ist in seiner Anwendung beispielsweise schon von der Werkstoffseite her beschränkt, denn es läßt sich unter anderem nicht zur Aufheizung von Wolframglühkathoden benutzen. Durch Wechselstromheizung des Heizdrahtes kann das hierdurch erzeugte Magnetfeld störend auf die von der Glühkathode in Richtung auf das zu behandelnde Gut emittierten Elektronen einwirken. Diese Einwirkung ist bei dünnen Heizdrähten durch bifilare Wendelung des Drahtes leicht zu beseitigen.
  • Es ist weiterhin bekannt, eine Kathode für elektrische Entladungsgefäße durch Elektronenbombardement aufzuheizen. Zwischen einem durch Stromdurchgang beheizten Heizer und der Kathode wird eine Gleich- oder Wechselspannung angelegt. Bei Verwendung von Wechselspannung werden Gleichrichteranordnungen vorgesehen, um den Heizer stets als Kathode wirksam zu machen. Das Arbeiten mit reinen Wechselspannungen wird für den Fall vorgeschlagen, wenn die betreffenden Wandungsteile der Kathode, die dem Heizer zugekehrt sind, bei Betriebstemperatur keine nennenswerte Elektronenemission aufweisen.
  • Außerdem ist es bekannt, eine Leistungsglühkathode durch Elektronenbombardement aufzuheizen. Eine in gewissem Abstand von der Leistungsglühkathode angeordnete Hilfskathode aus dickem Draht - meist verwendet man eine Wolfram-Heizwendel - wird durch direkten Stromdurchgang in der Größenordnung von einigen Ampere auf eine solche Temperatur aufgeheizt, daß sie Elektronen emittiert. Zum Absaugen dieser Elektronen wird die Leistungsglühkathode um einige hundert Volt positiv gegenüber der Hilfskathode aufgeladen. Die durch die zwischen Hilfskathode und Leistungsglühkathode angelegte Gleichspannung beschleunigten Elektronen bombardieren die Leistungsglühkathode, die dadurch auf beliebig hohe Temperatur aufgeheizt werden kann. Dieses bekannte Heizverfahren für Leistungsglühkathoden bietet die Möglichkeit, auch Leistungsglühkathoden aus Wolfram auf Emissionstemperatur aufzuheizen. Während des Betriebes der Leistungsglühkathode muß also die Heizwendel ständig an eine Stromquelle, .die einen hohen Strom bei niedriger Spannung liefert, angeschlossen sein. Das durch den verhältnismäßig hohen Heizstrom für die Heizwendel erzeugte Magnetfeld kann die von der Leistungsglühkathode emittierten Elektronen ungünstig beeinflussen. Zur Vermeidung dieser Magnetfeldeinwirkung sind besondere Vorkehrungen zu treffen. Das bifilare Wendeln des Heizdrahtes ist hier wegen der Dicke des Drahtes nur schwer möglich.
  • Um diese Mängel bei einer Leistungsglühkathode mit im Abstand davon angeordneter beheizter Hilfskathode, von der aus die Leistungskathode durch Elektronenbombardement beheizt wird, zu vermeiden, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Hilfskathode so angeordnet und daß die Leistungskathode aus so temperaturbeständigem Material hergestellt ist, daß nach anfänglichem Aufheizen durch Stromdurchgang die Hilfskathode durch Rückheizung mittels Elektronenbombardement aus der Leistungskathode weiter betrieben werden kann. Zwischen Hilfskathode und Leistungsglühkathode wird zu diesem Zweck eine hohe Wechselspannung, beispielsweise von einigen tausend Volt, angelegt, und der Heizstrom für die Hilfskathode wird nach Erreichen einer ausreichenden Emissionstemperatur der Leistungsglühkathode abgeschaltet. Hierdurch wird erreicht, daß sich von dem Augenblick an, an dem die Leistungsglühkathode eine ausreichende Emissionstemperatur erreicht hat, die Hilfskathode und die Leistungsglühkathode gegenseitig aufheizen, so daß die Stromquelle für die Hilfskathode dann abgeschaltet werden kann. Während des laufenden Betriebes der Leistungsglühkathode ist also im Gegensatz zu dem bekannten Heizverfahren durch Elektronenbombardement nur noch eine Stromquelle erforderlich, die eine hohe Wechselspannung und einen sehr niedrigen Strom liefert. Es werden auch die besonderen Vorrichtungen und Maßnahmen zur Vermeidung der Einwirkung des Magnetfeldes, das bei den bekannten Verfahren durch den hohen Heizstrom für die Heizwendel während des Betriebes der Leistungsglühkathode erzeugt wird, auf die von der Leistungsglühkathode in Richtung auf das Schweißstück, den zu schmelzenden oder zu verdampfenden Körper emittierten Elektronen überflüssig. Außerdem ermöglicht die Erfindung eine leichte Regulierbarkeit der Temperatur der Leistungsglühkathode während ihres Betriebes durch Regelung der an die Heizwendel und die Leistungsglühkathode angelegten Wechselspannung.
  • In den F i g. 1 und 2 sind zwei Schaltungsanordnungen für den Betrieb einer erfindungsgemäßen Leistungsglühkathode schematisch dargestellt.
  • In Fi g. 1 ist die Hilfskathode 1 über einen Transformator 2 an eine _ Stromquelle 3 über einen Schalter 4 im Primärkreis des Transformators 2 angeschlossen. Der Transformator 2 ist so ausgelegt, daß er auf der Sekundärseite einen hohen Strom, beispielsweise von einigen Ampere, bei niedriger Spannung liefern kann. Die im Abstand von der Hilfskathode 1 angeordnete Leistungsglühkathode 5 und die Hilfskathode 1 sind mit der Sekundärseite eines Transformators 6 elektrisch leitend verbunden. Die Primärseite des Transformators 6 ist mit einer StromqueIIe 7 verbunden (Wechselstromnetz). Der Transformator 6 ist so ausgelegt, daß er auf der Sekundärseite eine hohe Wechselspannung, beispielsweise von einigen tausend Volt, bei niedriger Stromstärke liefern kann. In bevorzugter Ausführung wird die Primärseite des Transformators 6 zur Spannungsregulierung in an sich bekannter Weise regulierbar ausgebildet. An Stelle zweier Transformatoren 2, 6, wie dies in F i g. 1 dargestellt ist, kann auch eine Schaltungsanordnung mit einem Transformator gemäß F i g. 2 benutzt werden. In F i g. 2 sind die Leistungsglühkathode 5 und das eine Ende der Hilfskathode 1 elektrisch mit der -Sekundärseite eines Transformators 8 direkt verbunden, dessen Primärseite, die vorzugsweise ebenfalls in bekannter Weise regulierbar ausgebildet sein kann, an eine Stromquelle 7 angeschlossen ist. Das andere Ende der Hilfskathode 1 ist über einen Schalter 9 mit einer Anzapfung 10 der Sekundärseite des Transformators 8 verbunden. Hierdurch wird erreicht, daß auch der Heizstrom für die Hilfskathode 1 mittels des gleichen Transformators 8, der auch die hohe Wechselspannung liefert, erzeugt werden kann.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Leistungsglühkathode mit im Abstand davon angeordneter beheizter Hilfskathode, von der aus die Leistungskathode durch Elektronenbombardement beheizt wird, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß die Hilfskathode so angeordnet und daß die Leistungskathode aus so temperaturbeständigem Material hergestellt ist, daß nach anfänglichem Aufheizen durch Stromdurchgang die Hilfskathode durch Rückheizung mittels Elektronenbombardement aus der Leistungskathode weiterbetrieben werden kann.
  2. 2. Schaltungsanordnung zum Betrieb einer Leistungsglühkathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Stromkreis für die anfängliche Aufheizung der Hilfskathode durch Stromdurchgang ein Schalter zum Unterbrechen dieses Stromkreises eingebaut ist und die Hilfskathode mit der Leistungskathode in einen Stromkreis hoher Wechselspannung bei niedriger Stromstärke eingeschaltet ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 939 276.
DEH46373A 1962-07-14 1962-07-14 Leistungsgluehkathode und Schaltungsanordnung zu deren Betrieb Pending DE1198459B (de)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE939276C (de) * 1951-06-10 1956-02-16 Siemens Ag Mittelbar geheizte Kathode fuer elektrische Entladungsgefaesse und Verfahren zur Herstellung und/oder zum Betrieb eines Entladungsgefaesses mit einer solchen Kathode

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE939276C (de) * 1951-06-10 1956-02-16 Siemens Ag Mittelbar geheizte Kathode fuer elektrische Entladungsgefaesse und Verfahren zur Herstellung und/oder zum Betrieb eines Entladungsgefaesses mit einer solchen Kathode

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