DE1150366B - Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von ReinstsiliciumInfo
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
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Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
S 60881 IVa/12 i
BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UNDAUSGABEDER
AUSLEGESCHRIFT: 20. JUNI 1963
DER ANMELDUNG
UNDAUSGABEDER
AUSLEGESCHRIFT: 20. JUNI 1963
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium, das als Grundmaterial für
elektrische Halbleitergeräte geeignet ist, bei dem das Silicium durch chemische Umsetzung aus einer gasförmigen
Verbindung mit Hilfe eines als Reduktionsmittel wirkenden Trägergases innerhalb eines mindestens
teilweise durchsichtigen Reaktionsgefäßes aus Glas oder Quarz auf aus Silicium bestehenden Trägerstäben
abgeschieden und die Temperatur des Reaktionsgefäßes während der Abscheidung zwischen
etwa 300 und 8000C gehalten wird, nach Patent
1105 396. Es hat sich erwiesen, daß besonders bei größerem Gasdurchsatz unter Umständen die Zylinderwand
bis unter die Mindesttemperatur abgekühlt werden kann. Dieser Nachteil wird erfindungsgemäß
dadurch vermieden, daß das Reaktionsgasgemisch vor dem Eintritt in das Reaktionsgefäß vorgeheizt
wird.
Natürlich darf die Vorheizung nicht so stark sein, daß etwa die obere Grenze des erwähnten Temperaturbereiches
überschritten wird.
Die aus dem Reaktionsgefäß austretenden heißen Restgase können mittels eines Wärmeaustauschers zur
Vorheizung des zugeführten Reaktionsgasgemisches verwendet werden. Die Vorheizung kann in einfacher
Weise dadurch ausgeführt werden, daß das Zuleitungsrohr für das Reaktionsgemisch über eine ausreichende
Länge durch das Austrittsrohr der heißen Restgase dem Reaktionsgefäß zugeführt wird. Zu diesem
Zweck wird das Gaszuleitungsrohr zur besseren Wärmeübertragung vorteilhaft aus einem gut wärmeleitenden
Material, beispielsweise Silber oder Kupfer, hergestellt. Das Gasaustrittsrohr wird gegen Wärmeabstrahlung
nach außen isoliert.
Das Gasgemisch kann ferner dadurch vorgeheizt werden, daß das Gaszuleitungsrohr vor dem Reaktionsgefäß
über eine ausreichende Länge elektrisch geheizt oder durch einen Ofen geführt wird.
Eine Anordnung, mit der das erfindungsgemäße Verfahren in einfacher Weise durchgeführt werden
kann, ist in der Figur veranschaulicht. Der erforderliche Wasserstoff wird einer Gasflasche 1 über ein
Absperrventil 2 und ein mehrstufiges Reduzierventil 3 sowie einem Gasdurchflußmesser 4 entnommen und
der Gasverdampferanlage 5 zugeführt. Dort mischt er sich mit dem verdampften Reaktionsgas und wird
dann durch das Gaszuleitungsrohr 6 über eine Düse 7, die eine trubulente Strömung erzeugt, zu den mit
Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium
Zusatz zum Patent 1105 396
Anmelder:
Siemens-Schuckertwerke Aktiengesellschaft,
Siemens-Schuckertwerke Aktiengesellschaft,
Berlin und Erlangen,
Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50
Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50
Arno Kersting, Erlangen,
und Dr. phil. nat. Konrad Reuschel, Pretzfeld (OFr.),
sind als Erfinder genannt worden
ao Hilfe einer Wechselspannungsquelle 8 beheizten Trägerstäben
9 geführt. Die Trägerstäbe sind in einem luftdicht abgeschlossenen Quarzzylinder 10 auf einer
Graphithalterung 11 frei stehend angeordnet und an ihren oberen Enden durch eine Siliziumbrücke 12
stromleitend miteinander verbunden. Die verbrauchten Restgase treten durch das wärmeisolierte Austrittsrohr
13 aus und strömen in entgegengesetzter Richtung zum zugeführten Reaktionsgasgemisch am
Gaszuleitungsrohr 6 entlang.
Claims (2)
- Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von Reinstsilicium, bei dem das Silicium durch chemische Umsetzung aus einer gasförmigen Verbindung mit Hilfe eines als Reduktionsmittel wirkenden Trägergases innerhalb eines mindestens teilweise durchsichtigen Reaktionsgefäßes aus Glas oder Quarz auf aus Silicium bestehenden Trägerstäben abgeschieden und die Temperatur des Reaktionsgefäßes während der Abscheidung zwischen etwa 300 und 8000C gehalten wird, nach Patent 1105 396, dadurch gekennzeichnet, daß das Reaktionsgemisch vor dem Eintritt in das Reaktionsgefäß vorgeheizt wird. - 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Reaktionsgemisch mit den aus dem Reaktionsgefäß austretenden verbrauchten Restgasen vorgewärmt wird.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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