DE1121338B - Verfahren zur Herstellung von Legierungspillen kleiner Abmessungen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Legierungspillen kleiner Abmessungen

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DE1121338B
DE1121338B DEI17390A DEI0017390A DE1121338B DE 1121338 B DE1121338 B DE 1121338B DE I17390 A DEI17390 A DE I17390A DE I0017390 A DEI0017390 A DE I0017390A DE 1121338 B DE1121338 B DE 1121338B
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Germany
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pills
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DEI17390A
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Dr Reinhard Dahlberg
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TDK Micronas GmbH
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TDK Micronas GmbH
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0005—Separation of the coating from the substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE675731C (de) * 1935-10-06 1939-05-17 Bernhard Berghaus Verfahren zur Herstellung von homogenen Schichten oder Koerpern aus Metallen auf einem Grundkoerper durch Kathodenzerstaeubung, thermische Verdampfung oder thermische Zersetzung von Metallverbindungen
DE1032998B (de) 1954-04-03 1958-06-26 Standard Elektrik Ag Vorrichtung zur Herstellung von duennen Schichten aus mehreren Komponenten

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE675731C (de) * 1935-10-06 1939-05-17 Bernhard Berghaus Verfahren zur Herstellung von homogenen Schichten oder Koerpern aus Metallen auf einem Grundkoerper durch Kathodenzerstaeubung, thermische Verdampfung oder thermische Zersetzung von Metallverbindungen
DE1032998B (de) 1954-04-03 1958-06-26 Standard Elektrik Ag Vorrichtung zur Herstellung von duennen Schichten aus mehreren Komponenten

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