DE112021004793T5 - Vorrichtung für dreidimensionale Messungen - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023015886A (ja) * 2021-07-20 2023-02-01 株式会社キーエンス 形状検査装置、処理装置、高さ画像処理方法および高さ画像処理プログラム
JP7741393B2 (ja) * 2022-03-14 2025-09-18 株式会社デンソーウェーブ 三次元計測装置
DE112022006794T5 (de) 2022-06-30 2025-02-13 Fanuc Corporation Gerät zur Abstandsmessung
JP2025525974A (ja) * 2022-08-04 2025-08-07 上海図漾信息科技有限公司 深度データ測定装置及びその応用方法
WO2024125892A1 (en) * 2022-12-16 2024-06-20 Sony Semiconductor Solutions Corporation Depth sensor device and method for operating a depth sensor device
JP7839409B2 (ja) * 2023-02-24 2026-04-02 株式会社デンソーウェーブ 三次元計測装置
WO2024162409A1 (ja) * 2023-02-01 2024-08-08 株式会社デンソーウェーブ 三次元計測装置
CN118298550B (zh) * 2024-04-16 2024-10-25 杭州百富电子技术有限公司 基于三维模型的插电式预付费电表体积测量系统

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260444A (ja) 1994-03-24 1995-10-13 Nippon Avionics Co Ltd 光切断法による対象物の三次元計測方法およびその装置
JPH1133275A (ja) 1997-07-18 1999-02-09 Hitachi Ltd 脱水洗濯機の防振装置
JP2000088539A (ja) 1998-09-11 2000-03-31 Minolta Co Ltd ３次元入力方法及び３次元入力装置
JP2001227923A (ja) 1999-12-06 2001-08-24 Kobe Steel Ltd 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置
JP2003329419A (ja) 2002-05-16 2003-11-19 Mitsubishi Electric Corp 形状測定装置
JP2006333493A (ja) 2001-09-20 2006-12-07 Sony Corp 固体撮像装置及びその制御方法
JP2012141964A (ja) 2010-12-15 2012-07-26 Canon Inc 画像処理装置、画像処理装置の制御方法、距離計測装置、およびプログラム
JP2013148353A (ja) 2012-01-17 2013-08-01 Panasonic Corp 検査装置および３次元画像認識装置ならびに３次元画像認識方法
JP2014002744A (ja) 2012-06-19 2014-01-09 Samsung Electronics Co Ltd イベントベースイメージ処理装置及びその装置を用いた方法
JP2018516395A (ja) 2015-03-16 2018-06-21 ユニヴェルシテ・ピエール・エ・マリ・キュリ・（パリ・６） シーンを３ｄ再構成するための方法
JP2020136958A (ja) 2019-02-21 2020-08-31 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 イベント信号検出センサ及び制御方法
JP2021032763A (ja) 2019-08-27 2021-03-01 ソニー株式会社 測距システム及び電子機器

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63149507A (ja) 1986-12-13 1988-06-22 Kobe Steel Ltd 作業線自動検出方法
JPH06229732A (ja) 1993-01-29 1994-08-19 Fanuc Ltd スポット光ビーム走査型３次元視覚センサ
JP3022420B2 (ja) 1997-07-10 2000-03-21 川崎重工業株式会社 隅肉溶接位置センシング装置および方法
JPH11271030A (ja) * 1998-03-25 1999-10-05 Minolta Co Ltd ３次元計測装置
JP3695169B2 (ja) 1998-09-11 2005-09-14 コニカミノルタセンシング株式会社 ３次元入力方法及び３次元入力装置
JP2000275024A (ja) * 1999-03-25 2000-10-06 Minolta Co Ltd ３次元入力装置
JP2000105108A (ja) * 1998-09-29 2000-04-11 Minolta Co Ltd ３次元入力装置
JP4532694B2 (ja) * 1999-08-10 2010-08-25 富士機械製造株式会社 ３次元データ取得方法，装置、およびマスク印刷方法、装置
JP2001337166A (ja) 2000-05-26 2001-12-07 Minolta Co Ltd ３次元入力方法および３次元入力装置
JP2002221408A (ja) 2001-01-26 2002-08-09 Minolta Co Ltd 光学測定装置
JP4803568B2 (ja) 2001-03-30 2011-10-26 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体集積回路の検査装置および検査方法
JP2005043084A (ja) * 2003-07-23 2005-02-17 Dainippon Printing Co Ltd 撮影画像合成システム、撮影画像合成方法、プログラム、及び記録媒体
JP4608293B2 (ja) * 2003-12-25 2011-01-12 株式会社プレックス 手の立体計測装置及び方法
JP4192851B2 (ja) * 2004-06-22 2008-12-10 トヨタ自動車株式会社 車両用駆動装置の制御装置
JP4900683B2 (ja) * 2006-09-13 2012-03-21 アイシン精機株式会社 油圧供給装置
JP3944525B1 (ja) 2006-12-11 2007-07-11 住友金属工業株式会社 鋼管の突合せ溶接方法および溶接鋼管の製造方法
KR20120000234A (ko) 2010-06-25 2012-01-02 이숙윤 조도 센서를 이용한 백색광 3차원 스캐너의 자동 노출 제어 방법
JP4821934B1 (ja) * 2011-04-14 2011-11-24 株式会社安川電機 ３次元形状計測装置およびロボットシステム
JP5922458B2 (ja) * 2012-03-26 2016-05-24 アンリツインフィビス株式会社 変位測定装置
JP6177754B2 (ja) * 2014-11-18 2017-08-09 株式会社神戸製鋼所 打抜き性と結晶粒粗大化防止特性に優れた浸炭用鋼板および機械構造部品
US10250833B2 (en) * 2015-04-20 2019-04-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Timestamp calibration of the 3D camera with epipolar line laser point scanning
US9967539B2 (en) 2016-06-03 2018-05-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Timestamp error correction with double readout for the 3D camera with epipolar line laser point scanning
CN107607040B (zh) * 2017-08-11 2020-01-14 天津大学 一种适用于强反射表面的三维扫描测量装置及方法
CN109458928B (zh) * 2018-10-29 2020-12-25 西安知微传感技术有限公司 基于扫描振镜和事件相机激光线扫描3d检测方法及系统

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260444A (ja) 1994-03-24 1995-10-13 Nippon Avionics Co Ltd 光切断法による対象物の三次元計測方法およびその装置
JPH1133275A (ja) 1997-07-18 1999-02-09 Hitachi Ltd 脱水洗濯機の防振装置
JP2000088539A (ja) 1998-09-11 2000-03-31 Minolta Co Ltd ３次元入力方法及び３次元入力装置
JP2001227923A (ja) 1999-12-06 2001-08-24 Kobe Steel Ltd 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置
JP2006333493A (ja) 2001-09-20 2006-12-07 Sony Corp 固体撮像装置及びその制御方法
JP2003329419A (ja) 2002-05-16 2003-11-19 Mitsubishi Electric Corp 形状測定装置
JP2012141964A (ja) 2010-12-15 2012-07-26 Canon Inc 画像処理装置、画像処理装置の制御方法、距離計測装置、およびプログラム
JP2013148353A (ja) 2012-01-17 2013-08-01 Panasonic Corp 検査装置および３次元画像認識装置ならびに３次元画像認識方法
JP2014002744A (ja) 2012-06-19 2014-01-09 Samsung Electronics Co Ltd イベントベースイメージ処理装置及びその装置を用いた方法
JP2018516395A (ja) 2015-03-16 2018-06-21 ユニヴェルシテ・ピエール・エ・マリ・キュリ・（パリ・６） シーンを３ｄ再構成するための方法
JP2020136958A (ja) 2019-02-21 2020-08-31 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 イベント信号検出センサ及び制御方法
JP2021032763A (ja) 2019-08-27 2021-03-01 ソニー株式会社 測距システム及び電子機器

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US20230296373A1 (en) 2023-09-21
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