DE112016005980T5

DE112016005980T5 - Vorrichtung für elastische Wellen

Info

Publication number: DE112016005980T5
Application number: DE112016005980.9T
Authority: DE
Inventors: Katsuya Daimon; Daisuke TAMASAKI
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2015-12-25
Filing date: 2016-12-13
Publication date: 2018-09-20
Also published as: JP6424958B2; CN108292913B; CN108292913A; US11374550B2; KR20180075584A; US20180269852A1; KR102011468B1; JPWO2017110586A1; WO2017110586A1

Abstract

Es wird eine Vorrichtung für elastische Wellen bereitgestellt, die in der Lage ist, den Einfluss durch Schwankungen der Filmdicke in einer Überschneidungsregion einer IDT-Elektrode zu verringern und eine Transversalmoden-Störantwort hinreichend zu unterdrücken.Eine Vorrichtung für elastische Wellen 1 enthält erste Massehinzufügungsfilme 5a, die auf einem ersten dielektrischen Film 4 so angeordnet sind, dass sie mehrere erste und zweite Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 einer IDT-Elektrode 3 in einer Draufsicht überlappen, sich in einer Richtung erstrecken, in der die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 sich erstrecken, und in einem mittleren Region A1 angeordnet sind, sowie zweite und dritte Massehinzufügungsfilme 5b und 5c, die auf dem ersten dielektrischen Film 4 angeordnet sind und in ersten und zweiten Randregionen A2a bzw. A2b angeordnet sind, und wovon ein Teil mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 in einer Draufsicht überlappt. Abmessungen der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c entlang einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen sind größer als eine Abmessung der ersten Massehinzufügungsfilme 5a entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung für elastische Wellen, die mit einer Kolbenmode arbeitet.
STAND DER TECHNIK
Im Stand der Technik ist eine Vorrichtung für elastische Wellen vorgeschlagen worden, die mit einer Kolbenmode arbeitet, um eine Transversalmoden-Störantwort zu unterdrücken.
Zum Beispiel beschreibt das folgende Patentdokument 1 ein Beispiel der Vorrichtung für elastische Wellen, die mit einer Kolbenmode arbeitet. Die Vorrichtung für elastische Wellen hat eine Überschneidungsregion, in der mehrere erste Elektrodenfinger und mehrere zweite Elektrodenfinger einer Interdigitaltransducer (IDT)-Elektrode, beim Blick in einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen, einander überlappen. Die Überschneidungsregion hat, in einer Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, eine mittlere Region und erste und zweite Randregionen, die auswärts von der mittleren Region in der Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, angeordnet sind.
Außerdem ist ein dielektrischer Film so auf ein piezoelektrisches Substrat laminiert, dass er die IDT-Elektrode bedeckt. Titanschichten sind in Abschnitte des dielektrischen Films eingebettet, die in den ersten und zweiten Randregionen angeordnet sind. Dadurch sind Schallgeschwindigkeiten in den ersten und zweiten Randregionen niedriger als Schallgeschwindigkeiten in der mittleren Region und den außenseitigen Regionen der ersten und zweiten Randregionen, wodurch die Transversalmoden-Störantwort verhindert werden.
Zitierungsliste
Patentdokument
Patentdokument 1: Japanische ungeprüfte Patentanmeldungspublikation Nr. 2012-186808
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Technisches Problem
In einem Herstellungsprozess zum Bereitstellen der in Patentdokument 1 offenbarten Vorrichtung für elastische Wellen müssen die Titanschichten in den ersten und zweiten Randregionen ausgebildet werden. Darum können ein Abschnitt in der mittleren Region und Abschnitte in den ersten und zweiten Randregionen nicht durch denselben Prozess ausgebildet werden. Dadurch entstehen möglicherweise große Schwankungen der Filmdicke der Überschneidungsregion. Dementsprechend besteht das Risiko, dass die Transversalmoden-Störantwort nicht hinreichend unterdrückt werden kann.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Bereitstellen einer Vorrichtung für elastische Wellen, die in der Lage ist, den Einfluss durch Schwankungen der Filmdicke in einer Überschneidungsregion einer IDT-Elektrode zu verringern und eine Transversalmoden-Störantwort ausreichend zu verhindern.
Lösung des Problems
Eine Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer Ausführung der vorliegenden Erfindung enthält ein piezoelektrisches Substrat und eine IDT-Elektrode, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, wobei die IDT-Elektrode aufweist: erste und zweite Sammelschienen, die einander gegenüber liegen, mehrere erste Elektrodenfinger, von denen jeweils ein Ende mit der ersten Sammelschiene verbunden ist, und mehrere zweite Elektrodenfinger, von denen jeweils ein Ende mit der zweiten Sammelschiene verbunden ist, und wobei die mehreren ersten und zweiten Elektrodenfinger miteinander verzahnt sind, wobei, wenn ein Abschnitt, in dem die ersten Elektrodenfinger und die zweiten Elektrodenfinger einander in einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen überlappen, als eine Überschneidungsregion definiert ist, die Überschneidungsregion in einer Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, eine mittlere Region, die sich auf einer mittigen Seite befindet, und erste und zweite Randregionen, die auf beiden Seiten der mittleren Region angeordnet sind, aufweist, wobei die Vorrichtung für elastische Wellen ferner enthält: einen ersten dielektrischen Film, der so auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, dass er die IDT-Elektrode bedeckt, einen ersten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist, sich entlang der Richtung erstreckt, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, und in der mittleren Region angeordnet ist, und in einer Draufsicht die mehreren ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, einen zweiten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist und in der ersten Randregion angeordnet ist, und von dem ein Teil in einer Draufsicht mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, und einen dritten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist und in der zweiten Randregion angeordnet ist, und von dem ein Teil in einer Draufsicht mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, wobei Abmessungen der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen größer sind als eine Abmessung des ersten Massehinzufügungsfilms entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen.
Bei einer speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung ist, wenn eine Schallgeschwindigkeit von elastischen Wellen in der mittleren Region V1 ist, Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in den ersten und zweiten Randregionen V2 sind und Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in Regionen, die sich zwischen der ersten Randregion und der ersten Sammelschiene und zwischen der zweiten Randregion und der zweiten Sammelschiene befinden, V3 sind, V3 > V1 > V2 erfüllt. In diesem Fall kann die Transversalmoden-Störantwort noch besser unterdrückt werden.
Bei einer anderen speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung sind Dichten von Materialien der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme höher als eine Dichte eines Materials der IDT-Elektrode. In diesem Fall kann die Erregungseffizienz der IDT-Elektrode wirkungsvoll erhöht werden.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung sind die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme jeweils über gesamte Längen der ersten und zweiten Randregionen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen ausgebildet. In diesem Fall können die Schallgeschwindigkeiten in den ersten und zweiten Randregionen wirkungsvoll verringert werden. Dementsprechend kann die Transversalmoden-Störantwort noch besser unterdrückt werden.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung sind mehrere zweite Massehinzufügungsfilme mit Lücken zwischen den mehreren zweiten Massehinzufügungsfilmen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen bereitgestellt und angeordnet, und die jeweiligen zweiten Massehinzufügungsfilme überlappen die jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger über gesamte Längen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht, und mehrere dritte Massehinzufügungsfilme sind mit Lücken zwischen den mehreren dritten Massehinzufügungsfilmen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen bereitgestellt und angeordnet, und die jeweiligen dritten Massehinzufügungsfilme überlappen die jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger über die gesamten Längen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht. In diesem Fall lassen sich in einem Herstellungsprozess zum Bereitstellen der Vorrichtung für elastische Wellen die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf einfache Weise unter Verwendung eines Abhebeverfahren ausbilden. Darum kann die Produktivität gesteigert werden.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung sind der erste Massehinzufügungsfilm und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme kontinuierlich zueinander.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung sind der erste Massehinzufügungsfilm und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme in einer Draufsicht mit Lücken zwischen dem ersten Massehinzufügungsfilm und den zweiten und dritten Massehinzufügungsfilmen in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen versehen.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Abmessung des ersten Massehinzufügungsfilms entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen kleiner als Abmessungen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen. In diesem Fall lässt sich die Schallgeschwindigkeit in der mittleren Region nur schwer verringern. Dementsprechend kann die Transversalmoden-Störantwort noch besser unterdrückt werden.
Bei einer weiteren speziellen Ausführung der Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung ist ferner ein zweiter dielektrischer Film enthalten, der zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der IDT-Elektrode laminiert ist. In diesem Fall kann ein elektromechanischer Kopplungskoeffizient justiert werden.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Eine Vorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung kann den Einfluss durch Schwankungen der Filmdicke in einer Überschneidungsregion einer IDT-Elektrode verringern und eine Transversalmoden-Störantwort hinreichend unterdrücken.
Figurenliste

1 ist eine Draufsicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie I-I in 1.
3 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen einer Breite von zweiten und dritten Massehinzufügungsfilmen und primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn Filmdicken von ersten bis dritten Massehinzufügungsfilmen auf 95 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
4 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 70 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
5 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 120 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
6 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 6 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in einem Vergleichsbeispiel veranschaulicht.
7 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 4,5 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht.
8 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 7,5 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht.
9 ist eine Draufsicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer ersten Variation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
10 ist eine Draufsicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer zweiten Variation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
11 ist eine vergrößerte vorderseitige Querschnittsansicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer dritten Variation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
12 ist eine Draufsicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer vierten Variation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN
Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung anhand konkreter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen erklärt.
Es ist anzumerken, dass die jeweiligen Ausführungsformen, die in der Spezifikation beschrieben sind, Beispiele sind und dass teilweise Ersetzungen oder Kombinationen von Komponenten zwischen verschiedenen Ausführungsformen vorgenommen werden können.
1 ist eine Draufsicht einer Vorrichtung für elastische Wellen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie I-I in 1. In 1 ist ein dielektrischer Film auf ersten bis dritten Massehinzufügungsfilmen, die später noch beschrieben werden, weggelassen.
Die Vorrichtung 1 für elastische Wellen enthält ein piezoelektrisches Substrat 2. Das piezoelektrische Substrat 2 besteht aus piezoelektrischem Einkristall wie zum Beispiel LiNbO₃ und LiTaO₃ oder zweckmäßiger piezoelektrischer Keramik.
Eine IDT-Elektrode 3 ist auf dem piezoelektrischen Substrat 2 angeordnet. Die IDT-Elektrode 3 hat erste und zweite Sammelschienen 3a1 und 3b1, die einander gegenüber liegen. Die IDT-Elektrode 3 hat mehrere erste Elektrodenfinger 3a2, von denen jeweils ein Ende mit der ersten Sammelschiene 3a1 verbunden ist. Darüber hinaus hat die IDT-Elektrode 3 mehrere zweite Elektrodenfinger 3b2, von denen jeweils ein Ende mit der zweiten Sammelschiene 3b1 verbunden ist.
Die mehreren ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 sind miteinander verzahnt. Ein Abschnitt, in dem die ersten Elektrodenfinger 3a2 und die zweiten Elektrodenfinger 3b2 einander in einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen überlappen, ist als eine Überschneidungsregion A definiert. In diesem Fall hat die Überschneidungsregion A eine mittleren Region A1, die sich auf der mittigen Seite in der Richtung befindet, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 erstrecken. Die Überschneidungsregion A hat ebenfalls erste und zweite Randregionen A2a und A2b, die auf beiden Seiten der mittleren Region A1 in der Richtung angeordnet sind, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 erstrecken. Die erste Randregion A2a befindet sich auf der Seite der ersten Sammelschiene 3a1, und die zweite Randregion A2b befindet sich auf der Seite der zweiten Sammelschiene 3b1.
Die IDT-Elektrode 3 hat erste und zweite außenseitige Regionen Ba und Bb als Regionen auf der gegenüberliegenden Seite der mittleren Region A1 mit Bezug auf die ersten und zweiten Randregionen A2a bzw. A2b. Die erste außenseitige Region Ba befindet sich zwischen der ersten Randregion A2a und der ersten Sammelschiene 3a1. Die zweite außenseitige Region Bb befindet sich zwischen der zweiten Randregion A2b und der zweiten Sammelschiene 3b1.
Bei dieser Ausführungsform besteht die IDT-Elektrode 3 aus Al. Es ist anzumerken, dass die IDT-Elektrode 3 auch aus einem anderen zweckdienlichen Metall als Al bestehen kann. Die IDT-Elektrode 3 kann durch einen einschichtigen Metallfilm oder einen mehrschichtigen Metallfilm gebildet werden.
Die Vorrichtung 1 für elastische Wellen ist eine Vorrichtung für elastische Wellen, die mit einer Kolbenmode arbeitet. Es wird angenommen, dass eine Schallgeschwindigkeit von elastischen Wellen in der mittleren Region A1 V1 ist, Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b V2 sind, und Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in den ersten und zweiten außenseitigen Regionen Ba und Bb V3 sind. In diesem Fall es ist bevorzugt, dass V3 > V1 > V2 erfüllt ist. Dadurch kann eine Transversalmoden-Störantwort wirkungsvoll unterdrückt werden. Linien in 1 veranschaulichen grafisch die oben beschriebene Beziehung zwischen den Schallgeschwindigkeiten V1, V2 und V3, wobei man beachte, dass die Schallgeschwindigkeit in Richtung der linken Seite in Fig. 1 höher ist.
Wie in 1 veranschaulicht, ist ein erster dielektrischer Film 4 auf dem piezoelektrischen Substrat 2 so angeordnet, dass er die IDT-Elektrode 3 bedeckt. Der erste dielektrische Film 4 besteht aus SiO₂, obgleich diesbezüglich keine besonderen Einschränkungen bestehen.
Erste bis dritte Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c sind so auf dem ersten dielektrischen Film 4 angeordnet, dass sie die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 in einer Draufsicht überlappen. Genauer gesagt, sind die mehreren ersten Massehinzufügungsfilme 5a in der mittleren Region A1 angeordnet. Die mehreren ersten Massehinzufügungsfilme 5a erstrecken sich entlang der Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 erstrecken, über eine gesamte Länge der mittleren Region A1 in dieser Richtung. Zwischen den mehreren ersten Massehinzufügungsfilmen 5a befindet sich Lücken in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen. Die mehreren ersten Massehinzufügungsfilme 5a enthalten die ersten Massehinzufügungsfilme 5a, die die ersten Elektrodenfinger 3a2 überlappen, und die ersten Massehinzufügungsfilme 5a, die die zweiten Elektrodenfinger 3b2 in einer Draufsicht überlappen. Die Abmessungen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 und die jeweiligen ersten Massehinzufügungsfilme 5a entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen sind als Breiten definiert. In diesem Fall ist in der Ausführungsform die Breite eines jeden der ersten Massehinzufügungsfilme 5a kleiner als die Breite eines jeden der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2.
Der zweite Massehinzufügungsfilm 5b ist in der ersten Randregion A2a angeordnet. Der zweite Massehinzufügungsfilm 5b wird über der gesamten Länge der ersten Randregion A2a in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen gebildet.
Der dritte Massehinzufügungsfilm 5c ist in der zweiten Randregion A2b angeordnet. Der dritte Massehinzufügungsfilm 5c wird über der gesamten Länge der zweiten Randregion A2b in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen gebildet. Somit sind die Abmessungen des zweiten Massehinzufügungsfilms 5b und des dritten Massehinzufügungsfilms 5c entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen größer als die Abmessung der ersten Massehinzufügungsfilme 5a entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen.
In der Ausführungsform sind die mehreren ersten Massehinzufügungsfilme 5a und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c kontinuierlich zueinander.
Die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c bestehen bei der Ausführungsform aus Pt. Es ist anzumerken, dass die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c auch aus einem anderen zweckdienlichen Metall als Pt bestehen können. Es ist bevorzugt, dass eine Dichte eines Materials der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c höher ist als eine Dichte eines Materials der IDT-Elektrode 3. Dadurch kann die Erregungseffizienz der IDT-Elektrode 3 wirkungsvoll erhöht werden. Die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c können durch einschichtige Metallfilme oder mehrschichtige Metallfilme gebildet werden.
Wie in 2 veranschaulicht, ist eine dielektrische Schicht 6 auf dem ersten dielektrischen Film 4 angeordnet. Die dielektrische Schicht 6 bedeckt die in 1 veranschaulichten ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c. Die dielektrische Schicht 6 hat eine erste Schicht 6a, die sich auf der Seite des ersten dielektrischen Films 4 befindet, und eine zweite Schicht 6b, die auf die erste Schicht 6a laminiert ist. In diesem Fall kann zum Beispiel die erste Schicht 6a aus SiO₂ oder dergleichen bestehen, und die zweite Schicht 6b kann aus SiN oder dergleichen bestehen. Die dielektrische Schicht 6 kann durch eine einzelne Schicht gebildet werden.
Wieder Bezug nehmend auf 1 sind Eigenschaften der Ausführungsform, dass die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c so angeordnet sind, dass sie die Überschneidungsregion A der IDT-Elektrode 3 in einer Draufsicht überlappen. Dadurch kann der Einfluss durch Schwankungen der Filmdicke in der Überschneidungsregion A der IDT-Elektrode 3 verringert werden. Darüber hinaus kann die Transversalmoden-Störantwort hinreichend unterdrückt werden. Dies wird unten beschrieben.
Wie in 1 veranschaulicht, entspricht ein Abschnitt der IDT-Elektrode 3, der sich in der ersten außenseitigen Region Ba befindet, nur den ersten Elektrodenfingern 3a2. Ein Abschnitt der IDT-Elektrode 3, der sich in der zweiten außenseitigen Region Bb befindet, entspricht nur den zweiten Elektrodenfingern 3b2. Außerdem wird die Schallgeschwindigkeit in der Überschneidungsregion A verringert, weil die ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 5a bis 5c angeordnet darin sind. Dementsprechend sind in der Vorrichtung für elastische Wellen 1 V3 > V1 und V3 > V2 erfüllt.
In der mittleren Region A1 sind zwischen den mehreren ersten Massehinzufügungsfilmen 5a Lücken in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen ausgebildet. Im Gegensatz dazu sind in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c über der gesamten Länge der Überschneidungsregion A in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen angeordnet. Dadurch können die Bereiche der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c in den jeweiligen ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b vergrößert werden. Darum können Massen, die der IDT-Elektrode 3 hinzugefügt werden, in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b vergrößert werden. Diese Vergrößerung ermöglicht es, die Schallgeschwindigkeit V2 in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b wirkungsvoll zu senken. Dadurch kann V1 > V2 erfüllt werden, und eine Differenz zwischen der Schallgeschwindigkeit V1 und der Schallgeschwindigkeit V2 kann vergrößert werden. Dementsprechend kann die Transversalmoden-Störantwort wirkungsvoll unterdrückt werden.
Effekte der ersten Ausführungsform werden unter Bezug auf 3 bis Fig. 5 näher beschrieben. Abmessungen der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c in der Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen sind als Breiten der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c definiert. Bei der ersten Ausführungsform sind die Breiten der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c einander gleich.
3 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 95 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform veranschaulicht. 4 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 70 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform veranschaulicht. 5 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 120 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform veranschaulicht. Es ist anzumerken, dass eine Filmdicke der IDT-Elektrode auf 20 nm eingestellt wird, wenn die in 3 bis 5 veranschaulichten Beziehungen erhalten werden.
Eine durchgezogene Linie mit Rhomben in jeder der 3 bis 5 bezeichnet den primären effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizient. Eine Strichlinie mit Vierecken bezeichnet einen effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten dritter Ordnung. Eine Strichlinie mit Dreiecken bezeichnet einen effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten fünfter Ordnung. Eine Strichlinie mit Kreuzen bezeichnet einen effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten siebenter Ordnung. Eine Strichlinie mit Is bezeichnet einen effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten neunter Ordnung. Eine Strichlinie mit Kreisen bezeichnet einen effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten elfter Ordnung. Die in Längsrichtung verlaufende Achse auf der rechten Seite bezeichnet Werte des primären effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, und eine in Längsrichtung verlaufende Achse auf der linken Seite bezeichnet Werte der effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung. Die oben beschriebenen Beziehungen zwischen den Kurvenformen und Linienarten und den jeweiligen Ordnungen sind die gleichen wie die in jeder der 6 bis 8, was unten noch beschrieben wird.
In einem in 3 veranschaulichten Resultat sind die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der der primäre effektive elektromechanische Kopplungskoeffizient ein Maximumwert ist, und die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der die effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung Minimumwerte, im Wesentlichen die gleichen Breiten. Dementsprechend kann die Energieeffizienz wirkungsvoll erhöht werden, und die Transversalmoden-Störantwort kann wirkungsvoll unterdrückt werden.
Ein in 4 veranschaulichtes Resultat wird erhalten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme, aus denen die in 3 veranschaulichten Beziehungen hervorgehen, um 25 nm reduziert werden. Außerdem weichen in diesem Fall die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der der primäre effektive elektromechanische Kopplungskoeffizient ein Maximumwert ist, und die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der die effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung Minimumwerte sind, nur geringfügig voneinander ab.
Ein in 5 veranschaulichtes Resultat wird erhalten, wenn die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme, aus denen die in 3 veranschaulichten Beziehungen hervorgehen, um 25 nm erhöht werden. Außerdem weichen in diesem Fall die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der der primäre effektive elektromechanische Kopplungskoeffizient ein Maximumwert ist, und die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der die effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung Minimumwerte sind, nur geringfügig voneinander ab.
Wie oben beschrieben, kann die Transversalmoden-Störantwort in einem breiten Bereich, in dem die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme 95 ± 25 nm betragen, wirkungsvoll unterdrückt werden. Dementsprechend kann der Einfluss durch Schwankungen der Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme verringert werden, um den Einfluss durch die Schwankungen der Filmdicke in der Überschneidungsregion A der IDT-Elektrode zu verringern.
Als Nächstes werden Effekte der ersten Ausführungsform durch Vergleichen der ersten Ausführungsform und eines Vergleichsbeispiels beschrieben. Eine Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel unterscheidet sich von der in der ersten Ausführungsform dadurch, dass die IDT-Elektrode aus Pt besteht und der erste Massehinzufügungsfilm nicht enthalten ist.
6 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 6 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht. 7 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 4,5 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht. 8 ist ein Kurvendiagramm, das Beziehungen zwischen der Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme und den primären und einer hohen Ordnung angehörenden effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme auf 7,5 nm eingestellt werden, in der Vorrichtung für elastische Wellen in dem Vergleichsbeispiel veranschaulicht. Es ist anzumerken, dass die Filmdicke der IDT-Elektrode auf 20 nm eingestellt wird, wenn die in 6 bis 8 veranschaulichten Beziehungen erhalten werden.
In einem Resultat des Vergleichsbeispiels, das in 6 veranschaulicht ist, weichen die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der der primäre effektive elektromechanische Kopplungskoeffizient ein Maximumwert ist, und die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der die effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung Minimumwerte sind, nur geringfügig voneinander ab. Jedoch weichen in den in 7 und 8 veranschaulichten Resultaten die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der der primäre effektive elektromechanische Kopplungskoeffizient ein Maximumwert ist, und die Breite der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, mit der die effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der dritten Ordnung Minimumwerte sind, erheblich voneinander ab. Darüber hinaus werden in einem Resultat, das in 7 veranschaulicht ist, Veränderungen der effektiven elektromechanischen Kopplungskoeffizienten von mindestens der neunten Ordnung reduziert.
Das in 7 veranschaulichte Resultat wird erhalten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, aus denen die in 6 veranschaulichten Beziehungen hervorgehen, um 1,5 nm reduziert werden. Das in 8 veranschaulichte Resultat wird erhalten, wenn die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme, aus denen die in 6 veranschaulichten Beziehungen hervorgehen, um 1,5 nm vergrößert werden. Wie oben beschrieben, ist in dem Vergleichsbeispiel selbst in einem schmalen Bereich, in dem die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 6 ± 1,5 nm betragen, der Einfluss durch die Schwankungen der Filmdicken groß.
Wie in 3 bis 5 veranschaulicht, kann die Vorrichtung für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform den Einfluss durch die Schwankungen der Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme wirkungsvoller in einem mehr als 10-mal breiteren Bereich der Filmdicken verringern als die Vorrichtung in dem Vergleichsbeispiel.

Die folgende Tabelle 1 gibt eine Beziehung zwischen V2/V1 und der Filmdicke der IDT-Elektrode in der ersten Ausführungsform an. V2/V1 ist ein Verhältnis der Schallgeschwindigkeit V2 in den ersten und zweiten Randregionen mit Bezug auf die Schallgeschwindigkeit V1 in der mittleren Region. Es ist anzumerken, dass die Filmdicken der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme auf 80 nm eingestellt werden. In der gleichen Weise gibt Tabelle 1 eine Beziehung zwischen V2/V1 und der Filmdicke der IDT-Elektrode in dem Vergleichsbeispiel an. Es ist anzumerken, dass die Filmdicken der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme in dem Vergleichsbeispiel auf 10 nm eingestellt werden. Tabelle 1

Filmdicke der IDT-Elektrode (nm)	V2/V1
Filmdicke der IDT-Elektrode (nm)	erste Ausführungsform	Vergleichsbeispiel
10	0,967	0,967
20	0,967	0,969
30	0,967	0,971
40	0,967	0,973
50	0,967	0,974
60	0,967	0,976
70	0,967	0,977

Wie in Tabelle 1 angegeben, variiert V2/V1 in dem Vergleichsbeispiel, weil die Filmdicke der IDT-Elektrode variiert. Andererseits ist es bekannt, dass in der ersten Ausführungsform die Schwankungen der Filmdicke der lDT-Elektrode nur wenig Einfluss auf V2/V1 ausüben. Dementsprechend kann die erste Ausführungsform den Einfluss durch die Schwankungen der Filmdicke in der Überschneidungsregion der IDT-Elektrode weiter verringern.
Wieder Bezug nehmend auf 1 werden bei der ersten Ausführungsform die mehreren ersten Massehinzufügungsfilme 5a, die den mehreren ersten und zweiten Elektrodenfingern 3a2 und 3b2 gegenüber liegen, während der erste dielektrische Film 4 dazwischen angeordnet ist, bereitgestellt, wodurch die Erregungseffizienz der IDT-Elektrode 3 wirkungsvoll vergrößert wird. Außerdem ist in der ersten Ausführungsform, wie in 1 veranschaulicht, die Breite eines jeden der ersten Massehinzufügungsfilme 5a kleiner als die Breite eines jeden der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2. Dadurch lässt sich die Schallgeschwindigkeit V1 in der mittleren Region A1 nur schwer verringern. Dementsprechend kann die Differenz zwischen der Schallgeschwindigkeit V1 und der Schallgeschwindigkeit V2 weiter vergrößert werden, wodurch die Transversalmoden-Störantwort noch besser unterdrückt wird.
Wie oben beschrieben, werden die Schallgeschwindigkeiten in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b verringert, weil die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c darin angeordnet sind. Darum brauchen die Breiten der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 der IDT-Elektrode 3 in den ersten und zweiten Randregionen A2a und A2b nicht vergrößert zu werden. Dementsprechend kann die Festigkeit gegen elektrostatisches Durchschlagen, wenn eine Spannung daran angelegt wird und so weiter, ebenfalls erhöht werden.
Wie oben beschrieben, enthält die Vorrichtung 1 für elastische Wellen in der ersten Ausführungsform den ersten dielektrischen Film 4, der aus SiO₂ besteht. Der erste dielektrische Film 4 kann einen absoluten Wert eines Frequenz-Temperaturkoeffizienten (TCF) verringern. Darum können die Temperatureigenschaften der Vorrichtung 1 für elastische Wellen verbessert werden. Es ist anzumerken, dass der erste dielektrische Film 4 aus einem zweckdienlichen Material wie zum Beispiel SiN, SiON und Tantalpentoxid hergestellt werden kann.
Die in 2 veranschaulichte dielektrische Schicht 6 enthält bevorzugt SiN. Dadurch kann eine Frequenz der elastischen Wellen, die die Vorrichtung für elastische Wellen 1 verwendet, justiert werden. Es ist anzumerken, dass die dielektrische Schicht 6 nicht unbedingt vorhanden zu sein braucht.
Außerdem kann in den folgenden ersten bis vierten Variationen der ersten Ausführungsform, die in 9 bis 12 veranschaulicht sind, der Einfluss durch die Schwankungen der Filmdicke in der Überschneidungsregion der IDT-Elektrode verringert werden. Darüber hinaus kann die Transversalmoden-Störantwort hinreichend unterdrückt werden.
Wie in der ersten Variation der ersten Ausführungsform, die in 9 veranschaulicht ist, können mehrere zweite und dritte Massehinzufügungsfilme 15b und 15c enthalten sein. Zwischen den mehreren zweiten Massehinzufügungsfilmen 15b sind Lücken in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen angeordnet. Die mehreren dritten Massehinzufügungsfilme 15c sind ebenfalls mit Lücken dazwischen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen angeordnet. In diesem Fall lassen sich in einem Herstellungsprozess zum Bereitstellen einer Vorrichtung 11 für elastische Wellen die ersten Massehinzufügungsfilme 5a und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 15b und 15c auf einfache Weise unter Verwendung eines Abhebeverfahrens ausbilden. Darum kann die Produktivität gesteigert werden.
Genauer gesagt, wird in dem Herstellungsprozess zum Bereitstellen der Vorrichtung 11 für elastische Wellen eine Resistschicht zum Bilden der ersten Massehinzufügungsfilme 5a und der mehreren zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 15b und 15c auf dem ersten dielektrischen Film 4 gebildet. Danach wird die Resistschicht strukturiert.
In diesem Fall wird die Resistschicht auch in Abschnitten ausgebildet, die den Lücken zwischen den jeweiligen zweiten und dritten Massehinzufügungsfilmen 15b und 15c in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen entspricht. Dadurch werden ein Abschnitt der Resistschicht, der die mittlere Region A1 der IDT-Elektrode 3 in einer Draufsicht überlappt, und ein Abschnitt der Resistschicht, der die ersten und zweiten außenseitigen Regionen Ba und Bb in einer Draufsicht überlappt, miteinander verbunden.
Anschließend wird ein Metallfilm, der die ersten Massehinzufügungsfilme 5a und die mehreren zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 15b und 15c bildet, auf dem ersten dielektrischen Film 4 gebildet. Dann wird die Resistschicht entfernt. In diesem Fall kann die Resistschicht leicht entfernt werden, weil die Resistschicht die oben beschriebene Verbindungsstruktur hat.
Es genügt, dass ein Teil der zweiten oder dritten Massehinzufügungsfilme 15b und 15c mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 in einer Draufsicht überlappt.
Wie bei der zweiten Variation der ersten Ausführungsform, die in 10 veranschaulicht ist, können die ersten Massehinzufügungsfilme 25a und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme 5b und 5c mit Lücken dazwischen in der Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht versehen werden.
Wie bei der dritten Variation der ersten Ausführungsform, die in 11 veranschaulicht ist, kann ein zweiter dielektrischer Film 37 zwischen dem piezoelektrischen Substrat 2 und der IDT-Elektrode 3 laminiert werden. Der zweite dielektrische Film 37 besteht aus SiO₂, SiN oder dergleichen, obgleich diesbezüglich keine besonderen Einschränkungen bestehen.
In der Vorrichtung für elastische Wellen in der dritten Variation kann der elektromechanische Kopplungskoeffizient durch Bereitstellen des zweiten dielektrischen Films 37 justiert werden.
Wie bei der vierten Variation der ersten Ausführungsform, die in 12 veranschaulicht ist, können die ersten Massehinzufügungsfilme 45a die gleiche Breite haben wie die Breiten der ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 der IDT-Elektrode 3. Darüber hinaus kann ein vierter Massehinzufügungsfilm 45d auf dem ersten dielektrischen Film 4 so bereitgestellt werden, dass er mindestens einen Teil der ersten Sammelschiene 3a1 in einer Draufsicht überlappt. Ein fünfter Massehinzufügungsfilm 45e kann auf dem ersten dielektrischen Film 4 so bereitgestellt werden, dass er mindestens einen Teil der zweiten Sammelschiene 3b1 in einer Draufsicht überlappt. Zum Beispiel können die vierten und fünften Massehinzufügungsfilme 45d und 45e so bereitgestellt werden, dass sie die gesamte Länge der Überschneidungsregion A in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen, beim Blick aus der Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger 3a2 und 3b2 erstrecken, überlappen.
Die vorliegende Erfindung kann bevorzugt auf einer Resonator für elastische Wellen, ein Bandpassfilter und dergleichen angewendet werden.
Bezugszeichenliste

1: Vorrichtung für elastische Wellen
2: piezoelektrisches Substrat
3: IDT-Elektrode
3a1, 3b1: erste und zweite Sammelschienen
3a2, 3b2: erste und zweite Elektrodenfinger
4: erster dielektrischer Film
5a bis 5c: erste bis dritte Massehinzufügungsfilme
6: dielektrische Schicht
6a, 6b: erste und zweite Schichten
11: Vorrichtung für elastische Wellen
15b, 15c: zweite und dritte Massehinzufügungsfilme
25a: erster Massehinzufügungsfilm
37: zweiter dielektrischer Film
45a, 45d, 45e: erste, vierte und fünfte Massehinzufügungsfilme

Claims

Vorrichtung für elastische Wellen, umfassend: ein piezoelektrisches Substrat, und eine IDT-Elektrode, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, wobei die IDT-Elektrode erste und zweite Sammelschienen hat, die einander gegenüber liegen, mehrere erste Elektrodenfinger, von denen jeweils ein Ende mit der ersten Sammelschiene verbunden ist, und mehrere zweite Elektrodenfinger, von denen jeweils ein Ende mit der zweiten Sammelschiene verbunden ist, und wobei die mehreren ersten und zweiten Elektrodenfinger miteinander verzahnt sind, und wenn ein Abschnitt, in dem die ersten Elektrodenfinger und die zweiten Elektrodenfinger einander in einer Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen überlappen, als eine Überschneidungsregion definiert ist, so hat die Überschneidungsregion in einer Richtung, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, eine mittlere Region, die sich auf einer mittigen Seite befindet, und erste und zweite Randregionen, die auf beiden Seiten der mittleren Region angeordnet sind, wobei die Vorrichtung für elastische Wellen ferner enthält: einen ersten dielektrischen Film, der so auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, dass er die IDT-Elektrode bedeckt, einen ersten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist, sich entlang der Richtung erstreckt, in der sich die ersten und zweiten Elektrodenfinger erstrecken, und in der mittleren Region angeordnet ist, und in einer Draufsicht die mehreren ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, einen zweiten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist und in der ersten Randregion angeordnet ist, und von dem ein Teil in einer Draufsicht mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, und einen dritten Massehinzufügungsfilm, der auf dem ersten dielektrischen Film angeordnet ist und in der zweiten Randregion angeordnet ist, und von dem ein Teil in einer Draufsicht mindestens einen der ersten und zweiten Elektrodenfinger überlappt, wobei Abmessungen der zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen größer sind als eine Abmessung des ersten Massehinzufügungsfilms entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen.
Vorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 1, wobei, wenn eine Schallgeschwindigkeit von elastischen Wellen in der mittleren Region V1 ist, Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in den ersten und zweiten Randregionen V2 sind und Schallgeschwindigkeiten der elastischen Wellen in Regionen, die sich zwischen der ersten Randregion und der ersten Sammelschiene und zwischen der zweiten Randregion und der zweiten Sammelschiene befinden, V3 sind, V3 > V1 > V2 erfüllt ist.
Vorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 1 oder 2, wobei Dichten von Materialien der ersten bis dritten Massehinzufügungsfilme höher sind als eine Dichte eines Materials der IDT-Elektrode.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme jeweils über gesamte Längen der ersten und zweiten Randregionen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen ausgebildet sind.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die mehreren zweiten Massehinzufügungsfilme mit Lücken zwischen den mehreren zweiten Massehinzufügungsfilmen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen bereitgestellt und angeordnet sind und die jeweiligen zweiten Massehinzufügungsfilme die jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger über gesamte Längen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht überlappen und die mehreren dritten Massehinzufügungsfilme mit Lücken zwischen den mehreren dritten Massehinzufügungsfilmen in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen bereitgestellt und angeordnet sind und die jeweiligen dritten Massehinzufügungsfilme die jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger über die gesamten Längen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht überlappen.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der erste Massehinzufügungsfilm und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme kontinuierlich zueinander sind.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der erste Massehinzufügungsfilm und die zweiten und dritten Massehinzufügungsfilme mit Lücken zwischen dem ersten Massehinzufügungsfilm und den zweiten und dritten Massehinzufügungsfilmen in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen in einer Draufsicht ausgebildet sind.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Abmessung des ersten Massehinzufügungsfilms entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen kleiner ist als Abmessungen der jeweiligen ersten und zweiten Elektrodenfinger entlang der Ausbreitungsrichtung elastischer Wellen.
Vorrichtung für elastische Wellen nach einem der Ansprüche 1 bis 8, die ferner einen zweiten dielektrischen Film enthält, der zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der IDT-Elektrode laminiert ist.