CN115668768A - 弹性波装置 - Google Patents

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CN115668768A CN202180037473.7A CN202180037473A CN115668768A CN 115668768 A CN115668768 A CN 115668768A CN 202180037473 A CN202180037473 A CN 202180037473A CN 115668768 A CN115668768 A CN 115668768A
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Abstract

提供一种弹性波装置，能够有效地抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(3A～3C)。IDT电极(3A～3C)包括电极指间距相对宽的第一间距部(E)和相对窄的第二间距部(F)。中央区域(B)位于多个电极指延伸的方向上的中央侧，第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)位于中央区域(B)的两侧。在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)设置有多个质量附加膜。多个质量附加膜包括配置于第一间距部(E)的多个第一质量附加膜(9a)和配置于第二间距部(F)的多个第二质量附加膜(9b)。第一质量附加膜(9a)的沿着弹性波传播方向的长度比第二质量附加膜(9b)的沿着弹性波传播方向的长度长。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。
在下述的专利文献1中，记载了声表面波谐振器的一例。在该声表面波谐振器中，在压电基板上设置有多个IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。多个IDT电极沿着弹性波传播方向配置。各IDT电极的一部分的电极指间距与其他部分的电极指间距不同。
在下述的专利文献2所记载的弹性波装置中，IDT电极具有中央区域和一对边缘区域。一对边缘区域配置为在电极指延伸的方向上夹着中央区域。在边缘区域，在IDT电极上设置有质量附加膜。质量附加膜沿着弹性波传播方向延伸。由此，实现利用了活塞模式的横模的抑制。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-333171号公报
专利文献2：国际公开第2017/110586号
发明内容
发明要解决的问题
在如专利文献1中的IDT电极那样具有电极指间距相对窄的部分及相对宽的部分的情况下，即便与专利文献2同样地设置了质量附加膜，也无法充分地抑制横模。
本发明的目的在于，提供一种能够有效地抑制横模的弹性波装置。
用于解决问题的手段
在本发明的弹性波装置的某一广泛方面中，具备：压电性基板；多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，所述多个质量附加膜包括配置于所述第一间距部的多个第一质量附加膜和配置于所述第二间距部的多个第二质量附加膜，所述第一质量附加膜设置为在俯视下与至少一个所述电极指重叠，各个所述第二质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重叠，所述第一质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度，比所述第二质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度长。
在本发明的弹性波装置的另一广泛方面中，具备：压电性基板；多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，所述第一间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度比所述中央区域中的宽度宽，所述第二间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度为所述中央区域中的宽度以下，所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述第一间距部及所述第二间距部中的所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，各个所述质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指及位于所述多个电极指之间的部分重叠。
发明效果
根据本发明的弹性波装置，能够有效地抑制横模。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
图2是示出本发明的第一实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。
图3是示出本发明的第一实施方式的第一变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
图4是示出本发明的第一实施方式的第二变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
图5是示出本发明的第一实施方式的第三变形例的弹性波装置的一部分的俯视图。
图6是本发明的第一实施方式的第四变形例的弹性波装置的俯视图。
图7是示出本发明的第二实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
图8是本发明的第三实施方式的弹性波装置的俯视图。
图9是示出本发明的第三实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
图10是示出本发明的第三实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。
图11是示出本发明的第四实施方式的弹性波装置的沿着第二方向的剖面的一部分的剖视图。
图12是示出本发明的第五实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此使本发明变得清楚。
需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的实施方式，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。
本实施方式的弹性波装置1是纵耦合谐振器型弹性波滤波器。弹性波装置1具有压电性基板2。
在压电性基板2上设置有多个IDT电极。更具体而言，在压电性基板2上设置有IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C。这样，弹性波装置1具有三个IDT电极。不过，IDT电极的个数不限于上述。
IDT电极3A具有一对汇流条及多个电极指。更具体而言，IDT电极3A具有第一汇流条4、第二汇流条5、多个第一电极指6及多个第二电极指7。第一汇流条4及第二汇流条5相对置。多个第一电极指6的一端分别与第一汇流条4连接。多个第二电极指7的一端分别与第二汇流条5连接。多个第一电极指6与多个第二电极指7相互交替插入。需要说明的是，在本说明书中，有时将第一电极指6或第二电极指7仅记载为电极指。IDT电极3B及IDT电极3C也分别具有一对汇流条及多个电极指。
通过向IDT电极3A施加交流电压来激励弹性波。在IDT电极3B及IDT电极3C中也相同。多个IDT电极在弹性波传播方向上排列。更具体而言，IDT电极3B配置在IDT电极3A与IDT电极3C之间。
这里，将弹性波传播方向设为第一方向x，将多个电极指延伸的方向设为第二方向y。第一方向x与第二方向y正交。在压电性基板2上的多个IDT电极的第一方向x上的两侧设置有一对反射器8A及反射器8B。更具体而言，反射器8A及反射器8B配置为夹着IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C。反射器8A与IDT电极3A相邻，反射器8B与IDT电极3C相邻。IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C以及反射器8A及反射器8B可以包括单层的金属膜，也可以包括层叠金属膜。
如图1所示，IDT电极3B包括第一间距部E和第二间距部F。在第一间距部E中，电极指间距相对宽。在第二间距部F中，电极指间距相对窄。电极指间距是指相邻的电极指的中心间的距离。在IDT电极3B中配置有一处第一间距部E和两处第二间距部F。更具体而言，第一间距部E位于IDT电极3B的第一方向x上的中央。一对第二间距部F位于第一间距部E的第一方向x上的两侧。
另一方面，在IDT电极3A中，第二间距部F位于IDT电极3B侧。IDT电极3A中的其他部分构成为第一间距部E。同样地，在IDT电极3C中，第二间距部F位于IDT电极3B侧。IDT电极3C中的其他部分构成为第一间距部E。通过各IDT电极具有第一间距部E及第二间距部F，能够提高滤波器特性中的陡度。需要说明的是，在本说明书中，陡度高是指，在通过频带的端部附近，频率的变化量相对于某个固定的衰减量的变化量而较小。
各IDT电极中的第一间距部E及第二间距部F的配置不限于上述。多个IDT电极中的至少一个IDT电极具有第一间距部E及第二间距部F即可。
在本实施方式中，第一间距部E中的电极指的宽度及第二间距部F中的电极指的宽度相同。电极指的宽度是指电极指的沿着第一方向x的尺寸。各电极指的宽度在第二方向y上是固定的。需要说明的是，例如，第二间距部F中的电极指的宽度也可以比第一间距部E中的电极指的宽度窄。
这里，在各IDT电极中，相邻的电极指在第一方向x上重合的部分是交叉区域A。交叉区域A包括中央区域B和一对边缘区域。中央区域B位于第二方向y上的中央侧。具体而言，一对边缘区域是第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb。在中央区域B的第二方向y上的两侧配置有第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb。第一边缘区域Ca位于第一汇流条4侧。第二边缘区域Cb位于第二汇流条5侧。在本实施方式中，在从第一方向x观察时，全部的IDT电极的中央区域B重叠。在从第一方向x观察时，全部的IDT电极的第一边缘区域Ca重叠。此外，在从第一方向x观察时，全部的IDT电极的第二边缘区域Cb重叠。
多个质量附加膜被设置为，在俯视下与多个电极指的位于第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb的部分重叠。更具体而言，在IDT电极3A上、IDT电极3B上及IDT电极3C上分别设置有多个质量附加膜。多个质量附加膜包括分别设置于第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb的第一质量附加膜9a、以及分别设置于第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb的第二质量附加膜9b。换言之，多个质量附加膜包括多个第一质量附加膜9a和多个第二质量附加膜9b。
第一质量附加膜9a为带状，配置于第一间距部E。各个第一质量附加膜9a遍及多个电极指上而设置。更具体而言，第一质量附加膜9a不仅设置在多个电极指上，还设置在压电性基板2上的位于多个电极指之间的部分。
另一方面，第二质量附加膜9b配置于第二间距部F。各个第二质量附加膜9b设置在一个电极指上。第二质量附加膜9b未配置在电极指之间。这里，将质量附加膜的沿着第一方向x的尺寸设为质量附加膜的长度。第一质量附加膜9a的长度比第二质量附加膜9b的长度长。第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b可以是金属膜，也可以是电介质膜。
本实施方式的特征在于，具有以下的结构。1)至少一个IDT电极具有第一间距部E及第二间距部F。2)在第一间距部E配置有带状的第一质量附加膜9a。3)在第二间距部F配置有第二质量附加膜9b。4)第一质量附加膜9a的长度比第二质量附加膜9b的长度长。5)第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b在俯视下与电极指的位于第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb的部分重叠。由此，能够有效地抑制横模。以下说明该详细内容。
在第一边缘区域Ca设置有第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b。因此，第一边缘区域Ca中的声速变低。由此，在第一边缘区域Ca构成低声速区域。低声速区域是指该区域中的声速比中央区域B中的声速低的区域。同样地，在第二边缘区域Cb也构成低声速区域。在将中央区域B中的声速设为V1、将低声速区域中的声速设为V2时，V2＜V1。
如图1所示，在中央区域B的第二方向y上的外侧配置有第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb。即，在中央区域B的第二方向y上的外侧配置有低声速区域。由此，能够抑制横模。
这里，本发明人发现了用于抑制横模的条件在第一间距部和第二间距部中不同。例如，IDT电极的各电极指的宽度在第二方向上固定，在第一间距部及第二间距部中设置有相同的质量附加膜。在该情况下，在第一间距部及第二间距部的双方，难以充分地满足用于抑制横模的条件。因此，难以充分地抑制横模。
与此相对，在本实施方式中，在第一间距部E配置有带状的第一质量附加膜9a，在第二间距部F配置有第二质量附加膜9b。由此，在第一间距部E及第二间距部F的双方，能够正好满足用于抑制横模的条件。因此，作为弹性波装置1整体，能够有效地抑制横模。
此外，IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C分别具有一对间隙区域。一对间隙区域在各IDT电极中配置在交叉区域A与一对汇流条之间。具体而言，一对间隙区域是第一间隙区域Da及第二间隙区域Db。第一间隙区域Da位于第一汇流条4与多个第二电极指7之间。在第一间隙区域Da中，仅配置有第一电极指6及第二电极指7中的第一电极指6。由此，在第一间隙区域Da中构成高声速区域。高声速区域是指该区域中的声速比中央区域B中的声速高的区域。
另一方面，第二间隙区域Db位于第二汇流条5与多个第一电极指6之间。在第二间隙区域Db中，仅配置有第一电极指6及第二电极指7中的第二电极指7。由此，在第二间隙区域Db中构成高声速区域。在将高声速区域中的声速设为V3时，V1＜V3。低声速区域、中央区域B及高声速区域中的声速的关系成为V2＜V1＜V3。图1示出上述那样的各声速的关系。需要说明的是，在图1中的表示声速的关系的部分，如箭头V所示，示出表示各声速的高度的线越是位于左侧则声速越高。
在IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C中，在第二方向y上，在中央区域B的外侧配置有低声速区域，在低声速区域的外侧配置有高声速区域。由此，能够有效且更加可靠地抑制横模。
这里，将质量附加膜的沿着第二方向y的尺寸设为质量附加膜的宽度。将低声速区域的沿着第二方向y的尺寸设为低声速区域的宽度。如图1所示，第一质量附加膜9a的宽度与第二质量附加膜9b的宽度相同。由此，低声速区域的宽度未产生不连续性。因此，能够抑制插入损耗的劣化。需要说明的是，第一质量附加膜9a的宽度与第二质量附加膜9b的宽度也可以不同。
在本实施方式中，按照每一处的第一间距部E，在第一边缘区域Ca设置有一个第一质量附加膜9a。不过，也可以按照每一处的第一间距部E，在第一边缘区域Ca设置多个第一质量附加膜9a。具体而言，例如，各第一质量附加膜9a分别也可以设置为到达两根电极指上。在该情况下，在每两根电极指上配置有不同的第一质量附加膜9a。
同样地，在本实施方式中，按照每一处的第一间距部E，在第二边缘区域Cb设置有一个第一质量附加膜9a。不过，也可以按照每一处的第一间距部E，在第二边缘区域Cb设置多个第一质量附加膜9a。
各个第二质量附加膜9b未设置在电极指之间。不过，第二质量附加膜9b也可以到达压电性基板2上的电极指之间的部分。各个第二质量附加膜9b设置为在俯视下与一个电极指重叠，且不与和该电极指相邻的电极指重叠即可。
以下，对本实施方式的其他结构详细进行说明。
图2是示出第一实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。需要说明的是，图2示出设置有IDT电极3B的部分的中央区域B中的剖面。
压电性基板2是包括压电体层16的层叠基板。更具体而言，在压电性基板2中，依次层叠有支承基板13、作为高声速材料层的高声速膜14、低声速膜15、以及压电体层16。在压电体层16上，设置有上述IDT电极3A、IDT电极3B、IDT电极3C、反射器8A及反射器8B。
压电体层16是钽酸锂层。需要说明的是，压电体层16的材料不限于上述，例如也能够使用铌酸锂等。这里，将由IDT电极的电极指间距的平均值规定的波长设为λ。在本实施方式中，压电体层16的厚度为1λ以下。不过，压电体层16的厚度不限于上述。
低声速膜15是声速相对低的膜。更具体而言，在低声速膜15传播的体波的声速比在压电体层16传播的体波的声速低。低声速膜15是氧化硅膜。氧化硅能够由SiOx表示。在本实施方式中，低声速膜15是SiO2膜。需要说明的是，低声速膜15的材料不限于上述，例如也能够使用以玻璃、氮氧化硅、氧化钽、或者向氧化硅添加了氟、碳或硼而得到的化合物为主成分的材料。
高声速材料层是声速相对高的层。更具体而言，在高声速材料层传播的体波的声速比在压电体层16传播的弹性波的声速高。作为高声速材料层的高声速膜14是氮化硅膜。需要说明的是，高声速膜14的材料不限于上述，例如也能够使用硅、氧化铝、碳化硅、氮氧化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、DLC(类金刚石碳)膜或者金刚石等、以上述材料为主成分的介质。
在本实施方式中，支承基板13是硅基板。需要说明的是，支承基板13的材料不限于上述，例如也能够使用氧化铝、钽酸锂、铌酸锂、石英等的压电体、矾土、氧化镁、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等的各种陶瓷、蓝宝石、金刚石、玻璃等的电介质、氮化镓等的半导体或树脂等。
在压电性基板2中，依次层叠有高声速膜14、低声速膜15及压电体层16。通过压电性基板2具有这样的层叠构造，能够提高Q值，能够将弹性波的能量有效地封闭在压电体层16侧。
不过，压电性基板2的层叠构造不限于上述。例如，压电性基板2也可以不具有低声速膜15。在该情况下，压电性基板2也可以是三层的层叠基板。具体而言，在压电性基板2中，也可以依次层叠支承基板13、高声速膜14及压电体层16。
高声速材料层也可以是高声速支承基板。在该情况下，压电性基板2也可以是三层的层叠基板。具体而言，在压电性基板2中，也可以依次层叠高声速支承基板、低声速膜15及压电体层16。或者，压电性基板2也可以是两层的层叠基板。具体而言，在压电性基板2中，也可以依次层叠高声速支承基板及压电体层16。在这些情况下，也能够提高Q值。需要说明的是，压电性基板2也可以是仅包括压电体层16的压电基板。
作为高声速支承基板的材料，例如能够使用硅、氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮氧化硅、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石、氧化镁、DLC(类金刚石碳)膜或者金刚石等、以上述材料为主成分的介质。
如图1所示，在反射器8A上及反射器8B上分别设置有质量附加膜9c。质量附加膜9c与第一质量附加膜9a同样为带状。不过，也可以在反射器8A上及反射器8B上不设置质量附加膜9c。
在本实施方式中，弹性波装置1是纵耦合谐振器型弹性波滤波器。不过，不限于此，弹性波装置1也可以是横向型滤波器装置等。在该情况下，也可以不设置反射器8A及反射器8B。
以下，示出第一实施方式的第一变形例及第二变形例。在第一变形例及第二变形例中，IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C的第一间距部E或第二间距部F中的电极指的形状与第一实施方式不同。在第一变形例及第二变形例中，也与第一实施方式同样地能够有效地抑制横模。
在图3所示的第一变形例中，第二间距部F中的电极指的形状与第一实施方式不同。第二间距部F中的多个电极指的第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb中的宽度为中央区域B中的宽度以下。更具体而言，第二间距部F中的包括多个电极指的前端部的部分的宽度是中央区域B中的宽度以下。这里，第二电极指27的前端部包含在第一边缘区域Ca中。在第一边缘区域Ca中，第二电极指27的宽度从中央区域B侧朝向前端侧变窄。因此，第二电极指27的前端的宽度比中央区域B中的第二电极指27的宽度窄。这样，第一边缘区域Ca中的第二电极指27的宽度为中央区域B中的第二电极指27的宽度以下。需要说明的是，第一边缘区域Ca中的第一电极指26的宽度与中央区域B中的第一电极指26的宽度相同。需要说明的是，如上所述，电极指的宽度是指电极指的沿着第一方向x的尺寸。
另一方面，第一电极指26的前端部包含在第二边缘区域Cb中。在第二边缘区域Cb中，第一电极指26的宽度从中央区域B侧朝向前端侧变窄。因此，第一电极指26的前端的宽度比中央区域B中的第一电极指26的宽度窄。这样，第二边缘区域Cb中的第一电极指26的宽度为中央区域B中的电极指的宽度以下。需要说明的是，第二边缘区域Cb中的第二电极指27的宽度与中央区域B中的第二电极指27的宽度相同。
这里，在图3中，第一间距部E中的多个电极指的第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb中的宽度与中央区域B中的宽度相同。不过，第一间距部E中的多个电极指的第一边缘区域Ca或第二边缘区域Cb中的一部分宽度也可以比中央区域B中的宽度窄。具体而言，在第一间距部E中，第一边缘区域Ca中的第二电极指7的宽度也可以为中央区域B中的第二电极指7的宽度以下。例如，第一间距部E中的第二电极指7的宽度也可以在第一边缘区域Ca中从中央区域B侧朝向前端侧变窄。另外，在第一间距部E中，第二边缘区域Cb中的第一电极指6的宽度也可以为中央区域B中的第一电极指6的宽度以下。例如，第一间距部E中的第一电极指6的宽度也可以在第二边缘区域Cb中从中央区域B侧朝向前端侧变窄。
此外，在本变形例中，第二质量附加膜29b的形状与第一实施方式不同。更具体而言，在第一实施方式中，第二质量附加膜9b的形状为矩形状。另一方面，在本变形例中，第二质量附加膜29b的形状为大致椭圆状。在第二间距部F中，在第一边缘区域Ca中的第二电极指27的宽度为中央区域B中的第二电极指27的宽度以下的情况下，设置于第二电极指27的第二质量附加膜29b也有时如本变形例那样成为带圆度的形状。
在图4所示的第二变形例中，第一间距部E中的第一电极指36具有宽幅部36a及宽幅部36b。宽幅部36a及宽幅部36b是电极指的宽度比其他部分宽的部分。宽幅部36a位于第一边缘区域Ca。宽幅部36b位于第二边缘区域Cb。同样地，第一间距部E中的第二电极指37具有宽幅部37a及宽幅部37b。宽幅部37a位于第一边缘区域Ca。宽幅部37b位于第二边缘区域Cb。
在本变形例中，第一间距部E中的全部的第一电极指36具有宽幅部36a及宽幅部36b。第一间距部E中的全部的第二电极指37具有宽幅部37a及宽幅部37b。需要说明的是，在第一间距部E中，也可以包括不具有宽幅部36a或宽幅部36b的第一电极指26。在第一间距部E中，也可以包括不具有宽幅部37a或宽幅部37b的第二电极指27。
这里，在第二间距部F中，电极指间距窄。因此，在第二间距部F中的多个电极指具有宽幅部的情况下，耐浪涌性有可能劣化。与此相对，在本变形例中，第二间距部F中的多个电极指不具有宽幅部。因此，耐浪涌性难以劣化。
在本变形例的第一间距部E中，通过各宽幅部及各第一质量附加膜9a的双方，第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb中的声速变低。这里，在本变形例的情况下，第一质量附加膜9a的厚度优选比第二质量附加膜9b的厚度厚。在该情况下，在第一间距部E和第二间距部F中，容易更进一步调整为用于抑制横模的最优条件。因此，能够更进一步可靠地抑制横模。
如图1所示，第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b设置在IDT电极3A上、IDT电极3B上及IDT电极3C上。更具体而言，在多个电极指的与压电性基板2侧相反的一侧，设置有第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b。不过，各个第二质量附加膜9b在俯视下与一个电极指重叠即可。在该情况下，各个第二质量附加膜9b的端缘也可以如图4所示的第二变形例那样设置于在俯视下比电极指的端缘靠内侧的位置。或者，各个第二质量附加膜9b的端缘也可以如图5所示的第三变形例那样设置为在俯视下到达电极指的端缘。各个第一质量附加膜9a在俯视下与多个电极指重叠即可。在图6所示的第一实施方式的第四变形例中，第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b设置在各IDT电极与压电性基板2之间。更具体而言，在多个电极指与压电性基板2之间设置有第一质量附加膜9a及第二质量附加膜9b。在反射器8A及反射器8B与压电性基板2之间也设置有带状的质量附加膜。需要说明的是，在图6中，各质量附加膜由虚线示出。
在第一实施方式及其变形例中，第一质量附加膜9a为带状。不过，第一质量附加膜9a的长度比第二质量附加膜9b的长度长即可，第一质量附加膜9a也可以不为带状。
图7是示出第二实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
本实施方式在第一质量附加膜49a为单片状这一方面与第一实施方式不同。各个第一质量附加膜49a设置为在俯视下与一个电极指重叠。第一质量附加膜49a未配置在电极指之间。在上述以外的方面，第二实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。
在本实施方式中，在第一间距部E及第二间距部F的双方，也能够设为用于抑制横模的合适条件。因此，能够有效地抑制横模。
需要说明的是，第一质量附加膜49a也可以到达压电性基板2上的电极指之间的部分。在该情况下，例如，两个第一质量附加膜49a也可以到达压电性基板2上的相同的电极指之间的部分。
在第一实施方式及其变形例以及第二实施方式中，示出了在第一间距部配置有第一质量附加膜且在第二间距部配置有第二质量附加膜的例子。以下，示出在第一间距部及第二间距部配置有相同的质量附加膜的例子。
图8是第三实施方式的弹性波装置的俯视图。图9是示出第三实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
如图8所示，在本实施方式中，一个质量附加膜59被设置为在俯视下与多个电极指的位于第一边缘区域Ca的部分重叠。质量附加膜59为带状。更具体而言，质量附加膜59设置于多个电极指和位于多个电极指之间的部分的双方。质量附加膜59设置在IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C与压电性基板2之间。这样，在俯视下，一个质量附加膜59与弹性波装置51中的全部的IDT电极重叠。因此，质量附加膜59在俯视下与第一间距部E中的电极指及第二间距部F中的电极指的双方重叠。同样地，一个质量附加膜59被设置为在俯视下与多个电极指的位于第二边缘区域Cb的部分重叠。
如图9所示，在本实施方式中，第一间距部E中的多个电极指具有与图4所示的第一实施方式的第二变形例同样的结构。更具体而言，第一间距部E中的全部的第一电极指36具有宽幅部36a及宽幅部36b。第一间距部E中的全部的第二电极指37具有宽幅部37a及宽幅部37b。需要说明的是，在第一间距部E中，也可以包括不具有宽幅部36a或宽幅部36b的第一电极指26。在第一间距部E中，也可以包括不具有宽幅部37a或宽幅部37b的第二电极指27。
在本实施方式中，质量附加膜59设置在IDT电极3A、IDT电极3B及IDT电极3C与压电性基板52之间。不过，质量附加膜59也可以设置在IDT电极3A上、IDT电极3B上及IDT电极3C上。
图10是示出第三实施方式的弹性波装置的一部分的正面剖视图。
弹性波装置51的压电性基板52是仅包括压电体层的压电基板。更具体而言，压电性基板52是铌酸锂基板。不过，压电性基板52的材料及层结构不限于上述。例如，也可以是上述的两层或三层的层结构，也可以是与第一实施方式同样的层结构。或者，压电性基板52也可以是钽酸锂基板等。
本实施方式的特征具有以下的结构。1)至少一个IDT电极具有第一间距部E及第二间距部F。2)第一间距部E中的多个电极指的第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb中的宽度比中央区域B中的宽度宽。3)在第一间距部E及第二间距部F配置有带状的质量附加膜59。4)质量附加膜59在俯视下与多个电极指的位于第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb的部分重叠。
在弹性波装置51中，在第一间距部E及第二间距部F中，第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb中的电极指的形状不同。更具体而言，第二间距部F中的多个电极指不具有宽幅部，第一间距部E中的多个电极指具有宽幅部。另一方面，在第一间距部E及第二间距部F中，配置有相同的质量附加膜59。由此，在第一间距部E及第二间距部F的双方，能够设为用于抑制横模的合适条件。因此，作为弹性波装置51整体，能够有效地抑制横模。
此外，质量附加膜59的宽度是固定的，低声速区域的宽度也是固定的。因此，能够抑制插入损耗的劣化。
需要说明的是，在本实施方式中，质量附加膜59从反射器8A与压电性基板2之间延伸至反射器8B与压电性基板2之间。不过，质量附加膜59也可以在俯视下不与反射器8A及反射器8B重叠。
在本实施方式中，在第一边缘区域Ca及第二边缘区域Cb分别设置有一个质量附加膜59。各个质量附加膜59在俯视下与全部的IDT电极重叠。需要说明的是，质量附加膜59也可以不设置在IDT电极之间。在该情况下，多个质量附加膜59在俯视下与多个IDT电极的位于第一边缘区域Ca的部分重叠。例如，在俯视下与IDT电极3A的位于第一边缘区域Ca的部分重叠的质量附加膜59和在俯视下与IDT电极3B的位于第一边缘区域Ca的部分重叠的质量附加膜59不为一体。不过，优选如本实施方式那样，一个质量附加膜59在俯视下与多个IDT电极重叠。在该情况下，能够容易地形成质量附加膜59，能够提高生产性。
第二间距部F中的电极指也可以与第一实施方式的第一变形例同样地构成。更具体而言，第二间距部F中的多个电极指中的在第一边缘区域Ca或第二边缘区域Cb包含前端部的电极指的、该边缘区域中的包含前端部的部分的宽度也可以为中央区域B中的宽度以下。
图11是示出第四实施方式的弹性波装置的沿着第二方向的剖面的一部分的剖视图。更具体而言，图11示出第一电极指6等的中央区域B及第二边缘区域Cb的边界附近的一部分。
本实施方式在压电性基板2上设置有保护膜64这一方面与第一实施方式不同。在上述方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。
保护膜64覆盖IDT电极3B及多个第一质量附加膜9a。此外，保护膜64也覆盖援引图1而示出的IDT电极3A、IDT电极3C及多个第二质量附加膜9b。各IDT电极具有被保护膜64直接覆盖的部分和被保护膜64经由各质量附加膜而间接覆盖的部分。通过设置保护膜64，各IDT电极难以破损。
如图11所示，第一质量附加膜9a具有第一主面19d、第二主面19e及侧面19f。第一主面19d与IDT电极3B接触。第二主面19e与第一主面19d对置。侧面19f与第一主面19d及第二主面19e连接。侧面19f相对于第一质量附加膜9a的厚度方向倾斜。需要说明的是，第一质量附加膜9a的厚度方向是指第一主面19d及第二主面19e对置的方向。援引图1而示出的第二质量附加膜9b也与第一质量附加膜9a同样地具有第一主面、第二主面及侧面。第二质量附加膜9b的侧面也相对于第二质量附加膜9b的厚度方向倾斜。不过，各质量附加膜的侧面也可以不必倾斜。
在本实施方式中，在保护膜64中，覆盖各第一质量附加膜9a的侧面19f的部分的厚度比覆盖各第一质量附加膜9a的第二主面19e的部分的厚度及直接覆盖各IDT电极的部分的厚度薄。此外，在保护膜64中，覆盖各第二质量附加膜9b的侧面的部分的厚度比覆盖各第二质量附加膜9b的第二主面的部分的厚度及直接覆盖各IDT电极的部分的厚度薄。由此，即便在各第一质量附加膜9a及各第二质量附加膜9b的侧面倾斜的情况下，也能够使中央区域B及第二边缘区域Cb的边界附近的声速的变化变得急剧。更具体而言，在上述边界附近，能够增大声速的变化相对于第二方向y上的距离的倾斜度。同样地，也能够使中央区域B及第一边缘区域Ca的边界附近的声速的变化变得急剧。因此，能够有效地抑制横模。
图12是示出第五实施方式的弹性波装置的一部分的俯视图。
本实施方式在各IDT电极的第一汇流条74及第二汇流条75分别沿着第一方向x设置有多个开口部，这一方面与第一实施方式不同。在上述方面以外，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式同样的结构。
第一汇流条74具有第一开口部形成区域Ga。在第一开口部形成区域Ga形成有多个开口部74d。此外，第一汇流条74具有内侧汇流条部74a及外侧汇流条部74c、以及多个连接电极74b。第一开口部形成区域Ga在第二方向y上位于内侧汇流条部74a与外侧汇流条部74c之间。需要说明的是，内侧汇流条部74a及外侧汇流条部74c中的内侧汇流条部74a位于交叉区域A侧。内侧汇流条部74a及外侧汇流条部74c通过多个连接电极74b而连接。多个开口部74d是由内侧汇流条部74a、外侧汇流条部74c及多个连接电极74b包围的开口部。
同样地，第二汇流条75具有第二开口部形成区域Gb。在第二开口部形成区域Gb设置有多个开口部75d。此外，第二汇流条75具有内侧汇流条部75a及外侧汇流条部75c、以及多个连接电极75b。多个开口部75d是由内侧汇流条部75a、外侧汇流条部75c及多个连接电极75b包围的开口部。在本实施方式中，在第一开口部形成区域Ga及第二开口部形成区域Gb中构成高声速区域。
在本实施方式中也与第一实施方式同样地，在第一间距部E配置有第一质量附加膜9a，在第二间距部F配置有第二质量附加膜9b。因此，能够有效地抑制横模。
附图标记说明
1…弹性波装置；
2…压电性基板；
3A、3B、3C…IDT电极；
4…第一汇流条；
5…第二汇流条；
6、7…第一电极指、第二电极指；
8A、8B…反射器；
9a、9b…第一质量附加膜、第二质量附加膜；
9c…质量附加膜；
13…支承基板；
14…高声速膜；
15…低声速膜；
16…压电体层；
19d、19e…第一主面、第二主面；
19f…侧面；
26、27…第一电极指、第二电极指；
29b…第二质量附加膜；
36、37…第一电极指、第二电极指；
36a、36b、37a、37b…宽幅部；
49a…第一质量附加膜；
51…弹性波装置；
52…压电性基板；
59…质量附加膜；
64…保护膜；
74、75…第一汇流条、第二汇流条；
74a、75a…内侧汇流条部；
74b、75b…连接电极；
74c、75c…外侧汇流条部；
74d、75d…开口部；
A…交叉区域；
B…中央区域；
Ca、Cb…第一边缘区域、第二边缘区域；
Da、Db…第一间隙区域、第二间隙区域；
E、F…第一间距部、第二间距部；
Ga、Gb…第一开口部形成区域、第二开口部形成区域。

Claims (13)

1.一种弹性波装置，具备：
压电性基板；以及
多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，
至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，
相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，
在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，
所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，
所述多个质量附加膜包括配置于所述第一间距部的多个第一质量附加膜和配置于所述第二间距部的多个第二质量附加膜，
所述第一质量附加膜设置为在俯视下与至少一个所述电极指重叠，
各个所述第二质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重叠，
所述第一质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度，比所述第二质量附加膜的沿着弹性波传播方向的长度长。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述第二间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度为所述中央区域中的宽度以下。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
各个所述第一质量附加膜设置为在俯视下与所述第一间距部中的所述多个电极指及位于所述多个电极指之间的部分重叠。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
各个所述第一质量附加膜设置为在俯视下与一个所述电极指重叠，不与和该电极指相邻的电极指重叠。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述第一质量附加膜的沿着所述多个电极指延伸的方向的长度，与所述第二质量附加膜的沿着所述多个电极指延伸的方向的长度相同。
6.一种弹性波装置，具备：
压电性基板；以及
多个IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在弹性波传播方向上排列，并且分别具有一对汇流条和多个电极指，
至少一个所述IDT电极包括电极指间距相对宽的第一间距部和电极指间距相对窄的第二间距部，
相邻的所述电极指在弹性波传播方向上重合的部分是交叉区域，所述交叉区域包括中央区域和一对边缘区域，该中央区域位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧，该一对边缘区域配置在所述中央区域的所述多个电极指延伸的方向上的两侧，并且分别包括所述多个电极指的前端部，
在各所述IDT电极中，在所述交叉区域与所述一对汇流条之间，配置有一对间隙区域，
所述第一间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度比所述中央区域中的宽度宽，
所述第二间距部中的所述多个电极指的所述一对边缘区域中的宽度为所述中央区域中的宽度以下，
所述弹性波装置还具备多个质量附加膜，该多个质量附加膜设置为在俯视下与所述第一间距部及所述第二间距部中的所述多个电极指的位于所述一对边缘区域的部分重叠，
各个所述质量附加膜设置为在俯视下与所述多个电极指及位于所述多个电极指之间的部分重叠。
7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，
各个所述质量附加膜在俯视下与全部的所述IDT电极重叠。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述多个电极指的与所述压电性基板侧相反的一侧设置有所述多个质量附加膜。
9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，
所述多个质量附加膜分别具有与所述IDT电极接触的第一主面、与所述第一主面对置的第二主面以及与所述第一主面及所述第二主面连接的侧面，所述侧面相对于所述质量附加膜的厚度方向倾斜，
所述弹性波装置还具备保护膜，该保护膜在所述压电性基板上设置为覆盖所述IDT电极及所述多个质量附加膜，
在所述保护膜中，覆盖所述质量附加膜的所述侧面的部分的厚度，比覆盖所述质量附加膜的所述第二主面的部分的厚度及直接覆盖所述IDT电极的部分的厚度薄。
10.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述多个电极指与所述压电性基板之间设置有所述多个质量附加膜。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述IDT电极的所述一对汇流条分别沿着弹性波传播方向设置有多个开口部。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电性基板是依次层叠有支承基板、高声速膜、低声速膜以及压电体层的层叠基板，
在所述低声速膜传播的体波的声速，比在所述压电体层传播的体波的声速低，
在所述高声速膜传播的体波的声速，比在所述压电体层传播的弹性波的声速高。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置是还具备设置在所述压电性基板上的所述多个IDT电极的弹性波传播方向两侧的反射器的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。
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