CN118251838A - 弹性波装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制IMD的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体层，具有晶轴；以及IDT电极(3)，设置在压电体层上。在将弹性波传播方向设为第1方向(x)，并将与第1方向(x)正交的方向设为第2方向(y)时，压电体层的晶轴相对于厚度方向向第2方向(y)倾斜。IDT电极(3)具有相互对置的第1汇流条(4)、第2汇流条(5)和一端与第1汇流条(4)、第2汇流条(5)中的任一者连接的多个第1电极指(6)、第2电极指(7)。多个第1电极指(6)、第2电极指(7)中的连接于第1汇流条(4)的多个第1电极指(6)和连接于第2汇流条(5)的多个第2电极指(7)彼此相互交错对插。相邻的电极指在第1方向(x)上相互重叠的区域为交叉区域(B)。交叉区域(B)具有位于第2方向(y)上的中央侧的中央区域(D)和在第2方向(y)上夹着中央区域(D)相互对置的第1边缘区域(Ea)、第2边缘区域(Eb)。在将电极指的沿着第1方向(x)的尺寸设为宽度时，多个第1电极指(6)、第2电极指(7)分别包含位于第1边缘区域(Ea)、第2边缘区域(Eb)的宽宽度部(6a、6b、7a、7b)。IDT电极(3)还具有位于交叉区域(B)与第1汇流条(4)、第2汇流条(5)之间的第1间隙区域(Ga)、第2间隙区域(Gb)。在第1汇流条(4)、第2汇流条(5)分别设置有沿着第1方向(x)配置的多个开口部(4d、5d)。第1汇流条(4)、第2汇流条(5)分别包含：外侧汇流条部(4c、5c)以及内侧汇流条部(4a、5a)，在第2方向(y)上夹着开口部(4d、5d)相互对置；以及多个连接部(4b、5b)，将外侧汇流条部(4c、5c)和内侧汇流条部(4a、5a)连接。内侧汇流条部(4a、5a)位于比外侧汇流条部(4c、5c)靠交叉区域(B)侧。在将由设置有第1汇流条(4)的区域、第1间隙区域(Ga)以及第1边缘区域(Ea)构成的区域设为第1区域(Aa)的结构，并将由设置有第2汇流条(5)的区域、第2间隙区域(Gb)以及第2边缘区域(Eb)构成的区域设为第2区域(Ab)时，第1区域(Aa)的结构和第2区域(Ab)的结构不对称。

Description

弹性波装置

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在压电膜上设置有IDT电极(InterdigitalTransducer，叉指换能器)。IDT电极具有一对汇流条和多个电极指。汇流条分别包含内侧汇流条部、中间汇流条部以及外侧汇流条部。在中间汇流条部中，沿着弹性波传播方向设置有多个开口部。另一方面，在多个电极指的前端侧设置有粗宽度部。通过它们来构成声速不同的多个区域，由此可谋求横模纹波的抑制。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/084526号

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1的弹性波装置中，IMD(Inter Modulation Distortion，交调失真)的抑制并不充分。在使用弹性波装置的滤波器的接收频带产生了IMD的情况下，难以将IMD和本来要接收的信号分离。这将导致便携式电话等的接收灵敏度变差。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制IMD的弹性波装置。

用于解决问题的技术方案

在本发明涉及的弹性波装置的某个宽泛的方面中，具备：压电体层，具有晶轴；以及IDT电极，设置在所述压电体层上，在将弹性波传播方向设为第1方向，并将与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条和一端与所述一对汇流条中的任一者连接的多个电极指，所述多个电极指中的连接于一个所述汇流条的多个电极指和连接于另一个所述汇流条的多个电极指彼此相互交错对插，相邻的所述电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，在将所述电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，所述第1区域的结构和所述第2区域的结构不对称。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个宽泛的方面中，具备：压电体层，具有晶轴；以及IDT电极，设置在所述压电体层上，在将弹性波传播方向设为第1方向，并将与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条、一端与一个所述汇流条分别连接的多个第1电极指、以及一端与另一个所述汇流条分别连接的多个第2电极指，所述多个第1电极指和所述多个第2电极指彼此相互交错对插，相邻的所述第1电极指和所述第2电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，在将所述第1电极指以及所述第2电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，所述第1区域内的所述连接部、所述内侧汇流条部以及所述多个第1电极指中的至少一部分和所述多个第2电极指的宽宽度部形成的静电电容与所述第2区域内的所述连接部、所述内侧汇流条部以及所述多个第2电极指中的至少一部分和所述多个第1电极指的所述宽宽度部形成的静电电容不同。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个宽泛的方面中，具备：压电体层，具有晶轴；以及IDT电极，设置在所述压电体层上，所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条和一端与所述一对汇流条中的任一者连接的多个电极指，所述多个电极指中的连接于一个所述汇流条的多个电极指和连接于另一个所述汇流条的多个电极指彼此相互交错对插，作为相互正交的方向而定义第1方向和第2方向，在将所述第2方向设为所述多个电极指延伸的方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，相邻的所述电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，在将所述电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，所述弹性波装置还具备：电介质膜，设置在所述压电体层上，使得覆盖所述IDT电极，在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，在所述第1区域与所述第2区域之间，下述1)～8)中的至少一者的关系不同。

1)：一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸；

2)：一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸；

3)：一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距；

4)：一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸；

5)：一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸；

6)：在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度；

7)：在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度；以及

8)：所述电介质膜中的位于一个所述边缘区域的部分的厚度和所述电介质膜中的位于另一个所述边缘区域的部分的厚度。

发明效果

根据本发明涉及的弹性波装置，能够抑制IMD。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图2是示出本发明的第1实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图3是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的沿着第2方向的示意性剖视图。

图4是示出本发明的第1实施方式以及比较例中的2HD的强度的图。

图5是示出本发明的第1实施方式以及比较例中的3HD的强度的图。

图6是示出本发明的第2实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图7是示出本发明的第2实施方式以及比较例中的3HD的强度的图。

图8是示出本发明的第3实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图9是示出本发明的第4实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图10是示出本发明的第5实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图11是示出本发明的第6实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图12是本发明的第7实施方式涉及的弹性波装置的沿着第2方向的示意性剖视图。

图13是本发明的第8实施方式涉及的弹性波装置的沿着第2方向的示意性剖视图。

图14是示出本发明的第9实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

图15是示出本发明的第9实施方式的变形例中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。

另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。另外，在图1中，省略了后述的电介质膜。在其它的示意性俯视图中也是同样的。

弹性波装置1具有压电性基板。在本实施方式中，压电性基板是仅包含压电体层8的基板。具体地，压电体层8包含铌酸锂。更详细地，压电体层8包含Y切割120°的LiNbO₃。在本说明书中，所谓某个构件包含某种材料，包括如下情况，即，包含弹性波装置的电特性不变差的程度的微量的杂质。不过，压电体层8的切割角以及材料并不限定于上述切割角以及材料。作为压电体层8的材料，例如，还能够使用LiTaO₃等钽酸锂。另外，压电性基板也可以是包含压电体层8的层叠基板。

在压电体层8上设置有IDT电极3。通过在IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。以下，将弹性波传播方向设为第1方向x，将与第1方向x正交的方向设为第2方向y。在压电体层8上的IDT电极3的第1方向x两侧，设置有一对反射器9A以及反射器9B。本实施方式的弹性波装置1是声表面波谐振器。不过，本发明的弹性波装置例如也可以是具有多个弹性波谐振器的滤波器装置、多工器等。

另外，压电体层8具有晶轴。压电体层8的晶轴相对于压电体层8的厚度方向向第2方向y倾斜。

IDT电极3具有作为一对汇流条的第1汇流条4以及第2汇流条5和多个第1电极指6以及多个第2电极指7。第1汇流条4和第2汇流条5相互对置。多个第1电极指6的一端分别与第1汇流条4连接。多个第2电极指7的一端分别与第2汇流条5连接。多个第1电极指6和多个第2电极指7彼此相互交错对插。以下，有时也将第1电极指6和第2电极指7仅记载为电极指。在本实施方式中，第2方向y与多个电极指延伸的方向平行。

IDT电极3、反射器9A以及反射器9B具有Pt层以及AlCu层。具体地，在压电体层8上设置有Pt层。在Pt层上设置有AlCu层。另外，IDT电极3、反射器9A以及反射器9B的材料并不限定于上述材料。或者，IDT电极3、反射器9A以及反射器9B也可以包含单层的金属膜。

在从第1方向x观察IDT电极3时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域B。交叉区域B具有中央区域D和作为一对边缘区域的第1边缘区域Ea以及第2边缘区域Eb。中央区域D在第2方向y上位于交叉区域B中的中央侧。第1边缘区域Ea和第2边缘区域Eb在第2方向y上夹着中央区域D相互对置。

图2是示出第1实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

在第1边缘区域Ea中，多个第1电极指6具有宽宽度部6a，多个第2电极指7具有宽宽度部7a。在第2边缘区域Eb中，多个第1电极指6具有宽宽度部6b，多个第2电极指7具有宽宽度部7b。另外，所谓电极指的宽度，是电极指的沿着第1方向x的尺寸。各宽宽度部中的电极指的宽度比该电极指的中央区域D中的宽度宽。

IDT电极3具有作为一对间隙区域的第1间隙区域Ga以及第2间隙区域Gb。第1间隙区域Ga位于交叉区域B与第1汇流条4之间。第2间隙区域Gb位于交叉区域B与第2汇流条5之间。

在IDT电极3的第1汇流条4，沿着第1方向x设置有多个开口部4d。更具体地，第1汇流条4具有内侧汇流条部4a、多个连接部4b、以及外侧汇流条部4c。内侧汇流条部4a和外侧汇流条部4c在第2方向y上夹着开口部4d相互对置。内侧汇流条部4a位于比外侧汇流条部4c靠交叉区域B侧。内侧汇流条部4a和外侧汇流条部4c通过多个连接部4b连接。多个连接部4b与第2方向y平行地延伸。多个开口部4d是被内侧汇流条部4a、多个连接部4b以及外侧汇流条部4c包围的开口部。另外，各连接部4b设置在各第1电极指6的延长线上，并且未设置在各第2电极指7的延长线上。不过，多个连接部4b的配置并不限定于上述配置。

第2汇流条5也与第1汇流条4同样地构成。在第2汇流条5，沿着第1方向x设置有多个开口部5d。第2汇流条5具有内侧汇流条部5a、多个连接部5b、以及外侧汇流条部5c。

图3是第1实施方式涉及的弹性波装置的沿着第2方向的示意性剖视图。另外，图3中的虚线示出第2汇流条5中的各部分的边界。在其它的示意性剖视图中也是同样的。

在压电体层8上设置有电介质膜2，使得覆盖IDT电极3。在本实施方式中，电介质膜2是氧化硅层2A和氮化硅层2B的层叠膜。更具体地，在压电体层8上设置有氧化硅层2A。在氧化硅层2A上设置有氮化硅层2B。通过设置有电介质膜2，从而IDT电极3不易破损。进而，通过电介质膜2具有氧化硅层2A，从而能够减小弹性波装置1的频率温度系数(TCF)的绝对值，能够改善频率温度特性。除此之外，通过在氧化硅层2A上设置有氮化硅层2B，从而能够提高耐湿性。不过，电介质膜2的材料并不限定于上述材料。电介质膜2也可以是单层的电介质膜。另外，未必一定要设置电介质膜2。

以下，将由设置有第1汇流条4的区域、第1间隙区域Ga以及第1边缘区域Ea构成的区域设为第1区域Aa。将由设置有第2汇流条5的区域、第2间隙区域Gb以及第2边缘区域Eb构成的区域设为第2区域Ab。

本实施方式的特征在于，压电体层8的晶轴相对于压电体层8的厚度方向向第2方向y倾斜，并且第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。这里所说的所谓结构不对称，是指在第1区域Aa和第2区域Ab中，IDT电极3中的部分的厚度、尺寸、间隔或电介质膜2的厚度不同等。所谓IDT电极3中的部分的厚度、尺寸，例如是第1汇流条4以及第2汇流条5的厚度、尺寸或第1电极指6的宽宽度部6a以及宽宽度部6b和第2电极指7的宽宽度部7a以及宽宽度部7b的厚度、尺寸等。所谓IDT电极3中的部分的间隔，是汇流条的连接部间的间距或电极指的前端和汇流条的间隔等。

在本实施方式中，如图2所示，第1汇流条4中的多个连接部4b各自的沿着第1方向x的尺寸和第2汇流条5中的多个连接部5b各自的沿着第1方向x的尺寸不同。由此，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。由此，能够抑制IMD。以下，通过对第1实施方式和比较例进行比较，从而详细地说明该效果。

比较例与第1实施方式的不同点在于，第1区域的结构和第2区域的结构对称。在具有第1实施方式的结构的弹性波装置以及比较例的弹性波装置中，测定了IMD。具体地，在各弹性波装置中的第1汇流条侧施加了28dBm的721～758MHz的LTE电信号。此时，测定了在第2汇流条侧产生的IMD的强度。更具体地，测定了在1430～1520MHz中产生的2次谐波失真(2HD)以及在2140～2320MHz中产生的3次谐波失真(3HD)的强度。

具有第1实施方式的结构的弹性波装置的设计参数如下。另外，将由IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ。所谓电极指间距，是相邻的电极指的第1方向x上的中心间距离。将交叉区域B的沿着第2方向y的尺寸设为交叉宽度。将宽宽度部的沿着第2方向y的尺寸设为宽宽度部的长度。将内侧汇流条部的沿着第2方向y的尺寸设为内侧汇流条部的宽度。将间隙区域的沿着第2方向y的尺寸设为间隙区域的宽度。将连接部的沿着第2方向y的尺寸设为连接部的长度。将连接部的沿着第1方向x的尺寸设为连接部的宽度。

压电体层：材料…Y切割120°的LiNbO₃

电介质膜：层结构…从压电体层侧起为SiO₂层/SiN层，厚度…从压电体层侧起为1200nm/40nm

IDT电极：层结构…从压电体层侧起为Pt层/AlCu层，AlCu层中的Cu的重量比为10重量％，厚度…从压电体层侧起为345nm/275nm

波长λ：4μm

交叉宽度：80μm

电极指的根数：121根

第1区域：宽宽度部的长度…2.119μm，宽宽度部的宽度…1.38μm，内侧汇流条部的宽度…0.7μm，第1间隙区域的宽度…0.61μm，连接部的长度…5μm，连接部的宽度…0.98μm

第2区域：宽宽度部的长度…2.119μm，宽宽度部的宽度…1.38μm，内侧汇流条部的宽度…0.7μm，第2间隙区域的宽度…0.61μm，连接部的长度…5μm，连接部的宽度…1.96μm

关于比较例的弹性波装置的设计参数，除了第2区域中的连接部的宽度为0.98μm这一点以外，与第1实施方式的弹性波装置的设计参数相同。

图4是示出第1实施方式以及比较例中的2HD的强度的图。图5是示出第1实施方式以及比较例中的3HD的强度的图。

如图4所示，在比较例中，2HD中的强度的绝对值的最小值为-56.7dBm。相对于此，在第1实施方式中，2HD中的强度的绝对值的最小值为-60.3dBm。因而，在第1实施方式中，与比较例相比，2HD的强度改善了3.6dBm。如图5所示，在比较例中，3HD中的强度的绝对值的最小值为-52.4dBm。相对于此，在第1实施方式中，3HD中的强度的绝对值的最小值为-56.4dBm。因而，在第1实施方式中，与比较例相比，3HD的强度改善了4dBm。像这样，在第1实施方式中，抑制了IMD。

IMD是由于第1区域中的电场的强度和第2区域中的电场的强度不相同而产生的。在比较例中，第1区域和第2区域的结构对称。然而，在比较例中，与第1实施方式同样地，压电体层的晶轴相对于压电体层的厚度方向向第2方向倾斜。在该情况下，压电体层的极化轴的第2方向上的分量在第1区域和第2区域中不对称。因此，在对弹性波装置施加了一定的电信号时，第1区域中的电场的强度和第2区域中的电场的强度变得不相同，产生IMD。

相对于此，在图2所示的第1实施方式中，第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。第1区域Aa中的电场被第1区域Aa中的静电电容以及压电体层8的极化轴的第2方向y上的成分影响。第2区域Ab中的电场被第2区域Ab中的静电电容以及压电体层8的极化轴的第2方向y上的成分影响。在第1实施方式中，第1区域Aa中的静电电容主要是多个第2电极指7的多个宽宽度部7a与第1汇流条4的内侧汇流条部4a以及连接部4b和多个第1电极指6的宽宽度部6a之间的静电电容。另一方面，第2区域Ab中的静电电容主要是多个第1电极指6的宽宽度部6b与第2汇流条5的内侧汇流条部5a以及多个连接部5b和多个第2电极指7的宽宽度部7b之间的静电电容。

另外，在第1汇流条4的连接部4b与第2电极指7的宽宽度部7a之间，配置有内侧汇流条部4a。不过，在示出电场、静电电容时使用的电力线不仅包含直线，还包含延伸为划出弧线的线，据此可明确，在连接部4b与宽宽度部7a之间也产生静电电容。在第2汇流条5的连接部5b与第1电极指6的宽宽度部6b之间也是同样的。连接部4b与宽宽度部7a之间的静电电容和连接部5b与宽宽度部6b之间的静电电容严格来讲成为复杂的内容，但是，以下简化为具有相关关系的程度而进行叙述。

在将静电电容设为C，将介电常数设为ε，将电极板的面积设为S，将电极板间的间隔设为d时，电容器的静电电容可通过C＝εS/d来表示。不过，上述连接部4b以及上述宽宽度部6a等第1区域Aa中的结构并不是单纯的电极板彼此相互对置的结构。在第1区域Aa中，相当于一对电极板的部分的面积相互不同。在该情况下，在将相当于一个电极板的部分的面积设为S1，并将相当于另一个电极板的部分的面积设为S2时，能够通过C∝(S1×S2)/d来表示静电电容C。在第2区域Ab中也是同样的。

例如，将面积S1设为第1汇流条4的连接部4b的沿着第2方向y的截面的面积，将面积S2设为第2电极指7的宽宽度部7a中的前端的端面的面积。而且，例如，将距离d设为连接部4b中的面向开口部4d的部分的中央与宽宽度部7a中的前端的端面的中央之间的距离。在该情况下，面积S1与面积S2之积越大，连接部4b与宽宽度部7a之间的静电电容C越大，距离d越短，连接部4b与宽宽度部7a之间的静电电容C越大。另外，连接部4b的宽度越宽，距离d越短。因此，连接部4b的宽度越宽，上述静电电容C越大，作为第1区域Aa整体的静电电容也越大。在第2区域Ab中也是同样的。

在第1实施方式中，第1汇流条4中的多个连接部4b的宽度和第2汇流条5中的多个连接部5b的宽度不同。因而，第1区域Aa中的静电电容和第2区域Ab中的静电电容不同。除此之外，压电体层8的晶轴相对于压电体层8的厚度方向向第2方向y倾斜。由此，能够使第1区域Aa中的电场和第2区域Ab中的电场的强度相互接近。因此，能够抑制IMD。

在将弹性波装置用于便携式电话等时，2HD、3HD等IMD成为干扰波。难以将这些干扰波和要接收的信号进行分离。相对于此，在将本发明涉及的弹性波装置用于便携式电话等的情况下，可抑制IMD。因而，能够提高便携式电话等的接收灵敏度。

另外，在第1实施方式中，在一对边缘区域中，在多个电极指设置有宽宽度部，由此构成了一对低声速区域。第1实施方式中的一对低声速区域中的一个低声速区域是跨越第1边缘区域Ea、第1间隙区域Ga以及第1汇流条4中的设置有内侧汇流条部4a的区域的区域。另一个低声速区域是跨越第2边缘区域Eb、第2间隙区域Gb以及第2汇流条5中的设置有内侧汇流条部5a的区域的区域。另外，所谓低声速区域，是声速或平均声速比中央区域D中的声速低的区域。更详细地，由于设置有第1电极指6的宽宽度部6a以及第2电极指7的宽宽度部7a，从而在第1边缘区域Ea中声速变低。由此，第1边缘区域Ea、第1间隙区域Ga以及第1汇流条4中的设置有内侧汇流条部4a的区域的平均声速变低。同样地，由于设置有第1电极指6的宽宽度部6b以及第2电极指7的宽宽度部7b，从而第2边缘区域Eb、第2间隙区域Gb以及第2汇流条5中的设置有内侧汇流条部5a的区域的平均声速变低。由此，构成了一对低声速区域。

另一方面，在第1汇流条4中的设置有多个开口部4d的区域中，各连接部4b设置在各第1电极指6的延长线上，并且未设置在各第2电极指7的延长线上。由此，在该区域中构成了高声速区域。所谓高声速区域，是声速比中央区域D中的声速高的区域。同样地，在第2汇流条5中的设置有多个开口部5d的区域中，构成了高声速区域。在第1实施方式中，在第2方向y上依次配置有中央区域D、一对低声速区域以及一对高声速区域。由此，活塞模式成立，能够抑制横模。

在第1实施方式中，第1汇流条4中的全部的连接部4b的宽度和第2汇流条5中的全部的连接部5b的宽度相互不同。不过，例如，只要第1汇流条4中的至少一个连接部4b的宽度和第2汇流条5中的至少一个连接部5b的宽度相互不同即可。在该情况下，也能够使第1区域Aa中的静电电容和第2区域Ab中的静电电容相互不同。因而，能够使第1区域Aa中的电场和第2区域Ab中的电场的强度相互接近，能够抑制IMD。

另外，作为第1实施方式的变形例，例如，也可以是，第1汇流条4中的多个连接部4b的厚度和第2汇流条5中的多个连接部5b的厚度相互不同。也可以由此使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。在该情况下，也与第1实施方式同样地，能够抑制IMD。

图6是示出第2实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

本实施方式与第1实施方式的不同点在于，第1间隙区域Ga的沿着第2方向y的尺寸和第2间隙区域Gb的沿着第2方向y的尺寸相互不同。即，第1间隙区域Ga的宽度和第2间隙区域Gb的宽度相互不同。本实施方式与第1实施方式的不同点还在于，第1汇流条4中的多个连接部4b的宽度和第2汇流条5中的多个连接部5b的宽度相同。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置11具有与第1实施方式的弹性波装置1同样的结构。

在弹性波装置11中，第1间隙区域Ga的宽度和第2间隙区域Gb的宽度相互不同，由此使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。由此，能够抑制IMD。以下，通过对第2实施方式和比较例进行比较，从而详细示出该效果。

比较例和在图4以及图5中与第1实施方式进行比较的比较例相同。即，比较例与第2实施方式的不同点在于，第1区域的结构和第2区域的结构对称。在具有第2实施方式的结构的弹性波装置以及比较例的弹性波装置中，测定了IMD。更具体地，测定了3HD的强度。

关于具有第2实施方式的结构的弹性波装置的设计参数，除了第2汇流条的连接部以及第2间隙区域的宽度以外，与图4以及图5的比较所涉及的第1实施方式的弹性波装置的设计参数相同。更详细地，第2汇流条的连接部的宽度与第1汇流条的连接部的宽度相同，为0.98μm。第2间隙区域的宽度为0.7μm。另一方面，第1间隙区域的宽度为0.61μm。另一方面，在比较例中，第1间隙区域的宽度以及第2间隙区域的宽度为0.61μm。

图7是示出第2实施方式以及比较例中的3HD的强度的图。

如图7所示，可知在第2实施方式中，与比较例相比，抑制了3HD。在图6所示的第2实施方式中，第1间隙区域Ga的宽度和第2间隙区域Gb的宽度相互不同，由此第1区域Aa的静电电容和第2区域Ab的静电电容相互不同。进而，压电体层8的晶轴相对于压电体层8的厚度方向向第2方向y倾斜，因此能够使第1区域Aa中的电场的强度和第2区域Ab中的电场的强度相互接近。因此，能够抑制IMD。

以下，示出第3实施方式～第8实施方式。在第3实施方式～第8实施方式中，也是压电体层8的晶轴相对于厚度方向向第2方向y倾斜，并且第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。由此，在第3实施方式～第8实施方式中，也与第1实施方式以及第2实施方式同样地，能够抑制IMD。

另外，在第3实施方式～第8实施方式中的任一方式中，与第1实施方式的不同点均在于，第1汇流条4中的多个连接部4b的宽度和第2汇流条5中的多个连接部5b的宽度相同。除此之外，在第3实施方式～第8实施方式中的任一方式中，均通过与第1实施方式不同的结构使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。除了上述的方面以外，第3实施方式～第8实施方式的弹性波装置具有与第1实施方式的弹性波装置1同样的结构。

在图8所示的第3实施方式中，第1汇流条4中的多个连接部4b的沿着第2方向y的尺寸和第2汇流条5中的多个连接部5b的沿着第2方向y的尺寸相互不同。即，多个连接部4b的长度L1和多个连接部5b的长度L2相互不同。由此，在弹性波装置21中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。

在图9所示的第4实施方式中，第1汇流条4中的多个连接部4b的间距p1和第2汇流条5中的多个连接部5b的间距p2相互不同。所谓连接部的间距，是相邻的连接部的第1方向x上的中心间距离。由此，在弹性波装置31中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。

在图10所示的第5实施方式中，第1汇流条4中的内侧汇流条部4a的沿着第2方向y的尺寸和第2汇流条5中的内侧汇流条部5a的沿着第2方向y的尺寸相互不同。即，内侧汇流条部4a的宽度W1和内侧汇流条部5a的宽度W2相互不同。由此，在弹性波装置41中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。

在图11所示的第6实施方式中，第1边缘区域Ea中的多个电极指的宽宽度部的宽度w1和第2边缘区域Eb中的多个电极指的宽宽度部的宽度w2相互不同。由此，在弹性波装置51中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。在本实施方式中，第1边缘区域Ea中的全部的电极指的宽宽度部的宽度w1和第2边缘区域Eb中的全部的电极指的宽宽度部的宽度w2相互不同。不过，只要第1边缘区域Ea中的至少一根电极指的宽宽度部的宽度w1和第2边缘区域Eb中的至少一根电极指的宽宽度部的宽度w2相互不同即可。

在图12所示的第7实施方式中，第1边缘区域Ea中的多个电极指的宽宽度部的厚度和第2边缘区域Eb中的多个电极指的宽宽度部的厚度相互不同。由此，在弹性波装置61中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。在本实施方式中，第1边缘区域Ea中的全部的电极指的宽宽度部的厚度和第2边缘区域Eb中的全部的电极指的宽宽度部的厚度相互不同。不过，只要第1边缘区域Ea中的至少一根电极指的宽宽度部的厚度和第2边缘区域Eb中的至少一根电极指的宽宽度部的厚度相互不同即可。

另外，在本发明中，第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。在第1实施方式～第7实施方式以及第1实施方式的变形例中所说的第1区域Aa的结构，是第1区域Aa内的连接部4b、内侧汇流条部4a以及多个第1电极指6的部分、和多个第2电极指7的宽宽度部7a的结构的至少一部分。所谓第2区域Ab的结构的至少一部分，是第2区域Ab内的连接部5b、内侧汇流条部5a以及多个第2电极指7的部分、和多个第1电极指6的宽宽度部6b的结构的至少一部分。

在这样的情况下，作为本发明，具有以下的静电电容相互不同这样的特征。一方的静电电容是第1区域Aa内的连接部4b、内侧汇流条部4a以及多个第1电极指6中的至少一部分和多个第2电极指7的宽宽度部7a所形成的静电电容。另一方的静电电容是第2区域Ab内的连接部5b、内侧汇流条部5a以及多个第2电极指7中的至少一部分和多个第1电极指6的宽宽度部6b所形成的静电电容。

不过，不对称的第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构并不限于上述结构。作为第7实施方式的变形例，例如，也可以是，在一个边缘区域中的至少一根电极指的宽宽度部设置有质量附加膜，在另一个边缘区域中的电极指的宽宽度部不设置质量附加膜。也可以由此使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。不过，也可以是，在双方的边缘区域中的至少一根电极指的宽宽度部设置有质量附加膜，并且双方的边缘区域中的质量附加膜的厚度相互不同。也可以由此使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。质量附加膜可以设置在电极指中的压电体层8侧的主面，也可以设置在与该主面对置的主面。对于质量附加膜，能够使用适当的金属或电介质。

在图13所示的第8实施方式中，电介质膜72中的位于第1边缘区域Ea的第1部分72a的厚度ta和电介质膜72中的位于第2边缘区域Eb的第2部分72b的厚度tb不同。由此，在弹性波装置71中，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。另外，所谓电介质膜72的厚度，是指电介质膜72中的与相接于压电体层8的面对置的面和压电体层8中的相接于电介质膜72的主面之间的距离。

如上所述，电场中的多条电力线包含划出弧线的电力线。因此，第1区域Aa以及第2区域Ab的电场依赖于电介质膜72的厚度。在本实施方式中，通过具有上述结构，从而能够使不考虑压电体层8的晶轴的倾斜的情况下的第1区域Aa中的电场的强度和第2区域Ab中的电场的强度相互不同。而且，在像本实施方式这样压电体层8的晶轴倾斜的情况下，能够使第1区域Aa中的电场的强度和第2区域Ab中的电场的强度相互接近。因此，能够抑制IMD。

另外，在弹性波装置71中，在第1部分72a和第2部分72b中，氧化硅层72A的厚度不同。不过，也可以是，在第1部分72a和第2部分72b中，氮化硅层72B的厚度不同。只要在第1部分72a和第2部分72b中，电介质膜72中的至少一层的厚度不同即可。

图14是示出第9实施方式中的IDT电极的第1汇流条附近以及第2汇流条附近和一个反射器附近的电极构造的示意性俯视图。

本实施方式与第1实施方式的不同点在于，IDT电极83的第1汇流条84的内侧汇流条部84a在多个部分被切断，是不连续的。本实施方式与第1实施方式的不同点还在于，第2汇流条85的内侧汇流条部85a在多个部分被切断，是不连续的。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置81具有与第1实施方式的弹性波装置1同样的结构。

更具体地，第1汇流条84的内侧汇流条部84a具有多个条部分84e。各条部分84e仅与相邻的连接部4b中的一者连接。因此，在从第2方向y侧观察时，内侧汇流条部84a具有在连接部4b间被切断的结构。因而，各开口部84d未被内侧汇流条部84a、外侧汇流条部4c以及多个连接部4b完全包围。各开口部84d与第1间隙区域Ga连通。

在本实施方式中，第1汇流条84的条部分84e从连接部4b的端部仅向第1方向x上的一侧延伸。不过，条部分84e也可以从连接部4b的端部向第1方向x上的双方延伸。

第2汇流条85也同样地，内侧汇流条部85a具有多个条部分85e。各条部分85e仅与相邻的连接部5b中的一者连接。各开口部85d与第2间隙区域Gb连通。条部分85e从连接部5b的端部仅向第1方向x上的一侧延伸。不过，条部分85e也可以从连接部5b的端部向第1方向x上的双方延伸。

在本实施方式中，也与第1实施方式同样地，第1汇流条4中的多个连接部4b各自的沿着第1方向x的尺寸和第2汇流条5中的多个连接部5b各自的沿着第1方向x的尺寸不同。由此，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。除此之外，压电体层8的晶轴相对于压电体层8的厚度方向向第2方向y倾斜。由此，能够使第1区域Aa中的电场的强度和第2区域Ab中的电场的强度相互接近。因此，能够抑制IMD。

在此，将从第1汇流条84中的连接部4b的第1方向x上的中央到与该连接部4b连接的条部分84e的前端的尺寸设为连接部4b和条部分84e的中央-前端距离。同样地，将从第2汇流条85中的连接部5b的第1方向x上的中央到与该连接部5b连接的条部分85e的前端的尺寸设为连接部5b和条部分85e的中央-前端距离。在弹性波装置81中，第1汇流条84中的多个连接部4b和多个条部分84e的中央-前端距离与第2汇流条85中的多个连接部5b和多个条部分85e的中央-前端距离相同。

不过，也可以是，第1汇流条84中的多个连接部4b和多个条部分84e的中央-前端距离与第2汇流条85中的多个连接部5b和多个条部分85e的中央-前端距离相互不同。例如，在图15所示的第9实施方式的变形例中，在第1汇流条84和第2汇流条85中，连接部的宽度相同，并且上述中央-前端距离相互不同。由此，使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。在该情况下，也能够抑制IMD。

在上述第1实施方式～第9实施方式、各变形例中，分别通过一种结构使第1区域Aa的结构和第2区域Ab的结构不对称。不过，如上所述，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。即，还能够对第1实施方式和第2实施方式～第9实施方式或各变形例中的至少一种结构进行组合。在第2实施方式～第9实施方式、各变形例中也是同样的。通过这些结构，也能够抑制IMD。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2：电介质膜；

2A：氧化硅层；

2B：氮化硅层；

3：IDT电极；

4、5：第1汇流条、第2汇流条；

4a、5a：内侧汇流条部；

4b、5b：连接部；

4c、5c：外侧汇流条部；

4d、5d：开口部；

6、7：第1电极指、第2电极指；

6a、6b、7a、7b：宽宽度部；

8：压电体层；

9A、9B：反射器；

11、21、31、41、51、61、71：弹性波装置；

72：电介质膜；

72A：氧化硅层；

72B：氮化硅层；

72a、72b：第1部分、第2部分；

81：弹性波装置；

83：IDT电极；

84、85：第1汇流条、第2汇流条；

84a、85a：内侧汇流条部；

84d、85d：开口部；

84e、85e：条部分；

Aa、Ab：第1区域、第2区域；

B：交叉区域；

D：中央区域；

Ea、Eb：第1边缘区域、第2边缘区域；

Ga、Gb：第1间隙区域、第2间隙区域。

Claims (11)

1.一种弹性波装置，具备：

压电体层，具有晶轴；以及

IDT电极，设置在所述压电体层上，

在将弹性波传播方向设为第1方向，并将与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，

所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条和一端与所述一对汇流条中的任一者连接的多个电极指，所述多个电极指中的连接于一个所述汇流条的多个电极指和连接于另一个所述汇流条的多个电极指彼此相互交错对插，

相邻的所述电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，

在将所述电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，

所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，

在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，

所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，

所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，

在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，所述第1区域的结构和所述第2区域的结构不对称。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸不同。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸不同。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距不同。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸不同。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸不同。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度不同。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度不同。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

还具备：电介质膜，设置在所述压电体层上，使得覆盖所述IDT电极，

所述电介质膜中的位于一个所述边缘区域的部分的厚度和所述电介质膜中的位于另一个所述边缘区域的部分的厚度不同。

10.一种弹性波装置，具备：

压电体层，具有晶轴；以及

IDT电极，设置在所述压电体层上，

在将弹性波传播方向设为第1方向，并将与所述第1方向正交的方向设为第2方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，

所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条、一端与一个所述汇流条分别连接的多个第1电极指、以及一端与另一个所述汇流条分别连接的多个第2电极指，所述多个第1电极指和所述多个第2电极指彼此相互交错对插，

相邻的所述第1电极指和所述第2电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，

在将所述第1电极指以及所述第2电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，

所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，

在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，

所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，

所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，

在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，所述第1区域内的所述连接部、所述内侧汇流条部以及所述多个第1电极指中的至少一部分和所述多个第2电极指的宽宽度部形成的静电电容与所述第2区域内的所述连接部、所述内侧汇流条部以及所述多个第2电极指中的至少一部分和所述多个第1电极指的所述宽宽度部形成的静电电容不同。

11.一种弹性波装置，具备：

压电体层，具有晶轴；以及

IDT电极，设置在所述压电体层上，

所述IDT电极具有相互对置的一对汇流条和一端与所述一对汇流条中的任一者连接的多个电极指，所述多个电极指中的连接于一个所述汇流条的多个电极指和连接于另一个所述汇流条的多个电极指彼此相互交错对插，

作为相互正交的方向而定义第1方向和第2方向，在将所述第2方向设为所述多个电极指延伸的方向时，所述压电体层的所述晶轴相对于所述压电体层的厚度方向向所述第2方向倾斜，

相邻的所述电极指在所述第1方向上相互重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第2方向上的中央侧的中央区域和在所述第2方向上夹着所述中央区域相互对置的一对边缘区域，

在将所述电极指的沿着所述第1方向的尺寸设为宽度时，所述多个电极指分别包含位于所述一对边缘区域的宽宽度部，

所述IDT电极还具有：一对间隙区域，位于所述交叉区域与所述一对汇流条之间，

在所述一对汇流条分别设置有沿着所述第1方向配置的多个开口部，

所述一对汇流条分别包含：外侧汇流条部和内侧汇流条部，在所述第2方向上夹着所述开口部相互对置；以及多个连接部，将所述外侧汇流条部和所述内侧汇流条部连接，

所述内侧汇流条部位于比所述外侧汇流条部靠所述交叉区域侧，

所述弹性波装置还具备：电介质膜，设置在所述压电体层上，使得覆盖所述IDT电极，

在将由设置有一个所述汇流条的区域、一个所述间隙区域以及一个所述边缘区域构成的区域设为第1区域，并将由设置有另一个所述汇流条的区域、另一个所述间隙区域以及另一个所述边缘区域构成的区域设为第2区域时，在所述第1区域与所述第2区域之间，下述1)～8)中的至少一者的关系不同：

1)：一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部各自的沿着所述第1方向的尺寸；

2)：一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的沿着所述第2方向的尺寸；

3)：一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距和另一个所述汇流条中的所述多个连接部的间距；

4)：一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述汇流条中的所述内侧汇流条部的沿着所述第2方向的尺寸；

5)：一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸和另一个所述间隙区域的沿着所述第2方向的尺寸；

6)：在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的宽度；

7)：在所述多个电极指中，一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度和另一个所述边缘区域中的所述宽宽度部的厚度；以及

8)：所述电介质膜中的位于一个所述边缘区域的部分的厚度和所述电介质膜中的位于另一个所述边缘区域的部分的厚度。