DE112009001315T5 - Vollbrückenmodul mit vier MOSFETs - Google Patents
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Abstract
Ein eingossenes, anschlussdrahtloses, gehäustes Halbleiter-Multichipmodul umfassend:
erste und zweite MOSFET-Paare;
elektrisch isolierende Gießmasse, die die MOSFETs ummantelt;
ein erstes Array von Source-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse freiliegen, für das Ableiten von Wärme an die Umgebung des Moduls, und ein zweites Array von Drain-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse für das Ableiten von Wärme von den Drain-Anschlüssen an die Umgebung freiliegen; und
eine Vielzahl von aus der ummantelnden Gießmasse freiliegenden anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten, die in einer gemeinsamen Ebene einer Seite des Moduls angeordnet sind, um elektrischen Kontakt mit den Source-, Gate- und Drain-Anschlüssen der MOSFETs herzustellen.
erste und zweite MOSFET-Paare;
elektrisch isolierende Gießmasse, die die MOSFETs ummantelt;
ein erstes Array von Source-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse freiliegen, für das Ableiten von Wärme an die Umgebung des Moduls, und ein zweites Array von Drain-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse für das Ableiten von Wärme von den Drain-Anschlüssen an die Umgebung freiliegen; und
eine Vielzahl von aus der ummantelnden Gießmasse freiliegenden anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten, die in einer gemeinsamen Ebene einer Seite des Moduls angeordnet sind, um elektrischen Kontakt mit den Source-, Gate- und Drain-Anschlüssen der MOSFETs herzustellen.
Description
- Querverweis auf verbundene Anmeldungen
- Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der U. S. Patentanmeldung Nr. 12/128,130, angemeldet am 28. Mai 2008.
- Hintergrund der Erfindung
- Viele Vorrichtungen, wie Motoren, Verstärker und Hintergrundbeleuchtungen für Flüssigkristalldisplays werden über eine Anordnung von vier MOSFETs mit Strom versorgt. Die Anordnung ist allgemein bekannt als Vollbrücke oder H-Brücke. Eine Steuerschaltung für die Vollbrücke weist einen Oszillator und einen Pulsbreitenmodulator für die Erzeugung von Gate-Steuersignalen auf. Die Ausgänge der Steuerschaltung sind zur Erhöhung der Spannung des Gate-Steuersignals auf einen für die MOSFETs geeigneten Wert mit Gatetreibern verbunden. Die Gatetreiber können auch eine Trennung der MOSFETs vom durch den Oszillator der Steuerschaltung erzeugten Rauschen bewirken.
- Die Steuerschaltung und die Gatetreiber können selbst zu einer einzigen Schaltung vereinigt und in ein oder mehrere kleine Gehäuse eingebaut sein, wie zum Beispiel vergossene, anschlussdrahtlose Gehäuse. Solche Gehäuse erfordern eine kleine Grundfläche und ein kleines Volumen. Jedoch sind die Abmessungen jedes MOSFETs ebenso groß wie oder größer als die Steuerschaltung. Die MOSFETs können einzeln gehäust (in ein Gehäuse eingebracht) und mit der Steuerschaltung auf der Schaltungsleiterplatine des gesteuerten Systems verschaltet werden. Vier einzelne MOSFETs verbrauchen jedoch viel Platz und Raum für die Steuerschaltung. Da die Systeme jedoch schrumpfen, wird die Größe der Grundfläche und des Volumens für die Steuerschaltung und werden die Gehäuse der MOSFETs ebenfalls verkleinert.
- Um das Problem, immer mehr Bauteile in immer kleiner werdenden Raum packen und die thermische und elektrische Performance von gehäusten Bauelementen verbessern zu wollen, anzugehen, haben die auf diesem Gebiet tätigen Fachleute vier MOSFETs gemeinsam in einem einzigen Gehäuse untergebracht. Ein typisches Gehäuse für eine Vollbrücke aus MOSFETs hat zwei MOSFETs auf der hohen Seite und zwei MOSFETs auf der niederen Seite. Die vier MOSFETs sind in einem linearen Array angeordnet, einer neben dem anderen. Ein typisches Gehäuse für vier MOSFETs ist 29 × 13 × 3,15 mm groß und hat 20 Anschlusspins, davon 10 Pins auf jeder Längsseite von 29 mm Länge, siehe
2 . Die Gehäusebauart ist als thin shrink small outline package (TSSOP) oder als small outline integrated circuit (SOIC) bekannt. Das Gehäuse hat verschiedene Nachteile. Es ist nicht nur groß sondern hat auch eine schlechte thermische und elektrische Performance. Außerdem sind seinen Materialien einschließlich des Anschlussrahmens (leadframe) und des Ummantelungs- bzw. Einkapselungsmaterials teuer. - Kurze Zusammenfassung der Erfindung
- Ein eingegossenes, anschlussdrahtloses (leadless), gehäustes Halbleiter-Multichipmodul umfasst vier MOSFETs für einen Vollbrücken-Schaltkreis. Die MOSFETs können zwei n-Kanal und zwei p-Kanal-MOSFETs oder vier MOSFETs der gleichen Bauart sein, dennoch werden dann vier n-Kanal-MOSFETs bevorzugt. Wenigstens sechs Beispiele von Brücken-Modulen sind hier umfasst. Die Gehäuse der Module haben eine kleinere Grundfläche als die TSSOP Gehäuse des Standes der Technik und ein geringeres Volumen.
- In einigen Beispielen haben die Gehäuse zwei Anschlussrahmen für den Zusammenbau der MOSFETs. Vor allem Bauelemente mit zwei n-Kanal- und zwei p-Kanal MOSFETs sind zwischen zwei Anschlussrahmen bzw. Leadframes (auch Chipträger genannt) angeordnet und mit einer elektrisch isolierenden Gießmasse eingehäust bzw. ummantelt. Das resultierende Gehäuse bzw. Package hat vier obere aus der Gießmasse freiliegende Kühlkörper bzw. Wärmesenken zur Ableitung der Wärme von den MOSFETs an die Umgebung. Keinerlei Drahtverbindungen sind erforderlich. Dies kann den On-Widerstandswert RDSon signifikant verringern. Der obere Anschlussrahmen bzw. derjenige für die Source- und Drain-Anschlüsse kann an die Source-Anschlüsse und die Drain-Anschlüsse der Brücken-MOSFETs angelötet sein. Eine alternative Verbindungstechnik verwendet leitfähiges Band bei den Source-Anschlüssen zum Verbinden des Anschlussrahmens mit den Source-Anschlüssen und Drahtverbindungen zum Verbinden der Gate-Anschlüsse mit den anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten.
- Ausführungsbeispiele mit vier MOSFETs gleicher Bauart enthalten zwei Anschlussrahmen mit zwei Ebenen, die durch einen einstückigen Körperabschnitt zum Verbinden eines Source-Anschlusses des einen MOSFET mit dem Drain-Anschluss eines anderen MOSFET miteinander verbunden sind. Zwei derartige Verbände sind in dem Vollbrücken-Modul enthalten. Bandverbindungen, Drahtverbindungen und Klammerverbindungen verbinden die Source Anschlüsse und die Gate-Anschlüsse mit anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten (pads).
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
1 einen Schaltkreis eines ersten Ausführungsbeispiels eines Schaltkreises mit vier MOSFETs. -
2 zeigt ein TSSOP Gehäuse des Standes der Technik. -
3 und4 sind Ansichten von oben und unten eines Drain-Anschlussrahmens des ersten Ausführungsbeispiels. -
5 und6 sind Ansichten von oben und unten des zweiten oder Source- und Gate-Anschlussrahmens des Gehäuses des ersten Ausführungsbeispiels. -
7 ist eine vergrößerte Draufsicht auf den Anschlussrahmen für die Source- und Gate-Anschlüsse des ersten Ausführungsbeispiels. -
8 ist eine Ansicht des Anschlussrahmens für die Source- und Gate-Anschlüsse des ersten Ausführungsbeispiels. -
9 ist ein Beispiel einer Matrix für eine Vielzahl von Anschlussrahmen für die Drain-Anschlüsse des ersten Ausführungsbeispiels. -
10 ist eine Matrix einer Vielzahl von Anschlussrahmen für die Source- und Gate-Anschlüsse des ersten Ausführungsbeispiels. -
11 ist eine Seitenansicht von10 . -
12 zeigt eine Draufsicht auf einen zusammengesetzten Satz von vier MOSFETs mit Anschlussrahmen für Drain- und Source-Anschlüsse. -
13 ist eine letzte Ansicht der Gruppe in Schritt76 der15 . -
14 ist eine andere letzte Ansicht der Gruppe in Schritt76 der15 . -
15 zeigt eine Folge von Schritten für den Zusammenbau und das Einhäusen bzw. die Ummantelung eines Gehäuses für vier MOSFETs des ersten Ausführungsbeispiels. -
16 bis18 stellen Außenansichten einer Ausführungsform des Moduls des ersten Ausführungsbeispiels dar. -
19 bis22 zeigen Außenansichten eines zweiten Ausführungsbeispiels. -
23 und24 zeigen Ansichten von oben und unten des Anschlussrahmens für Source- und Gate-Anschlüsse des zweiten Ausführungsbeispiels. -
25 zeigt eine Baugruppe der MOSFETs und die Anschlussrahmen für das zweite Ausführungsbeispiel. -
26 zeigt ein Verfahren zum Herstellen und Einhäusen bzw. Ummanteln einer Gruppe von vier MOSFETs in ein Gehäuse (Package) bei dem zweiten Ausführungsbeispiel. -
27 bis30 zeigt eine dritte Ausführungsform eines Gehäuses für vier MOSFETs. -
31 bis34 zeigt eine alternative Ausführungsform eines in den28 bis30 dargestellten Gehäuses für vier MOSFETs. -
35 zeigt einen Schaltkreis für ein MOSFET-Gehäuse mit vier n-Kanal-MOSFETs. -
36 zeigt einen Schaltkreis für ein MOSFET-Gehäuse mit vier n-Kanal-MOSFETs mit intern verbundenen gemeinsamen Drain-Anschlüssen. - Fig. sieht
37 und38 zeigen perspektivische Ansichten eines zweiseitigen (bi-level) Anschlussrahmens für vier MOSFETs und ein zusammengebautes Gehäuse für vier MOSFETs. -
39 und40 zeigen Außenansichten des Gehäuses für vier n-Kanal-MOSFETs der -
37 und38 . -
41 bis43 zeigen weitere Details eines Gehäuses für vier n-Kanal-MOSFETs. -
44 zeigt die Schritte für den Zusammenbau des 5. Ausführungsbeispiels eines Gehäuses für vier n-Kanal-MOSFETs. -
45 und46 zeigen perspektivische Ansicht eines sechsten Ausführungsbeispiels eines Gehäuses für vier n-Kanal-MOSFETs. -
47 bis50 zeigen perspektivische Ansichten von innen und außen eines 7. Ausführungsbeispiels eines Gehäuses für vier n-Kanal-MOSFETs. - Ausführliche Beschreibung der Erfindung
- In
1 ist ein elektrischer Schaltkreis für eine 2×2 Anordnung von MOSFETs10 ,12 ,14 und16 , die innerhalb des Moduls100 vorgesehen sind, gezeigt. Das in1 dargestellte Ausführungsbeispiel hat zwei p-Kanal-MOSFETs10 ,12 und zwei n-Kanal-MOSFETs14 ,16 . Auf dem vorliegenden Fachgebiet tätige Fachleute verstehen, dass eine Vollbrücke auch mit vier n-Kanal MOSFETs und vier p-Kanal MOSFETs aufgebaut werden kann. Beispiele solcher Brücken sind weiter unten einbezogen. Der p-Kanal MOSFET10 und der n-Kanal MOSFET14 bilden die niedere Seite der Brücke. Der p-Kanal MOSFET12 und der n-Kanal MOSFET16 bilden die hohe Seite der Brücke. Die Drain-Anschlüsse der niederen Seite der MOSFETs sind in üblicher Weise ausgebildet so wie es auch die Drain-Anschlüsse der hohen Seite der MOSFETs sind. Eingangssignale21 bis24 von nicht dargestellten Gatetreibern werden an die anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte angeschlossen. Die Source-Anschlüsse der p-Kanal MOSFETs10 ,12 sind an anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte angeschlossen, die ihrerseits mit einer Spannungsquelle verbunden werden, Vin. Die Source-Anschlüsse der n-Kanal MOSFETs14 ,15 sind an Masse angeschlossen. Ausgangsleitungen26 und28 sind an anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte zur Stromversorgung der Hintergrundbeleuchtung eines nicht dargestellten Bildschirms angeschlossen. Die Betriebsweise des Brückenschaltkreises ist die übliche. - Die MOSFETs
10 ,12 14 ,16 sind zwischen zwei Anschlussrahmen (Leadframes)30 ,40 angeschlossen, wie dies im Einzelnen in den3 bis6 gezeigt ist. In der folgenden Beschreibung wird auf die ”Oberseite” jedes Anschlussrahmens als der Oberfläche Bezug genommen, die mit dem MOSFET in Kontakt steht. Die ”Unterseite” ist die Oberfläche, die, wenigstens teilweise, aus der Gießmasse84 freiliegt ist. Der dritte Anschlussrahmen30 hat zwei voneinander beabstandete rechteckige Teile37 ,39 . Die Teile37 ,39 nehmen auf der Oberseite31 die Drains der MOSFETs auf, um Drain-zu-Drain-Verbindungen zwischen den MOSFETs10 und14 auf der niederen Seite und den MOSFETs12 und16 auf der hohen Seite bereitzustellen. Es sind keine externen Verbindungen und keine internen Drahtverbindungen erforderlich. Die Oberseite hat vier Befestigungsflächen32.1 bis32.4 zur Aufnahme der IC-Chips und zum Herstellen elektrischer Kontakte mit den Drain-Anschlüssen der MOS-FETs. Die Unterseite38 des Drain-Anschlussrahmens30 hat erhabene Kühlekörper (Wärmesenken)36.1 bis36.4 , die wenigstens teilweise aus der Gießmasse84 der Ummantelung freiliegen. Öffnungen33.1 –33.4 in den Teilen37 und39 und der Raum zwischen den Teilen erlauben es, dass geschmolzenes Ummantelungsfluid frei in die Gehäusekavitäten zwischen den einander gegenüberliegenden Seiten des Anschlussrahmens30 fließt und so die Bildung von Hohlräumen innerhalb des Gehäuses verhindert. Abgetrennte Laschen34.1 bis34.4 und35.1 bis35.4 verbinden den Anschlussrahmen30 mit Schienen51.1 ,51.2 des Anschlussrahmens50 , siehe9 . - Der Source-Gate-Anschlussrahmen
40 hat drei Anschlussrahmenteile42.1 des42.3 für den Kontakt mit Source-Anschlüssen, siehe5 und7 . Der Anschlussrahmenteil42.1 für einen Source-Anschluss ist groß genug, um zwei Source-Anschlüsse zu kontaktieren, und er stellt die gemeinsame Verbindung mit Masse für die n-Kanal-MOSFETs14 und16 bereit. Die Source Anschlussrahmenteil42.2 und42.3 kontaktieren die Source-Anschlüsse der p-Kanal-MOSFETs10 und12 . Die Teile42.1 bis42.3 sind voneinander beabstandet, um es geschmolzenem Ummantelungsfluid zu erlauben, frei in die Gehäusekavitäten zwischen den einander gegenüberliegenden Seiten des Anschlussrahmens40 zu fließen und so die Bildung von Hohlräumen innerhalb des Gehäuses zu verhindern. Die Teile enden am einen Ende in anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten und einem Zwischenteil, das zu den Source-Kontaktregionen geneigt ist. Die Oberseite48 , siehe8 , hat vier Kühlkörper und zwar zwei Kühlkörper44.1 und44.4 auf dem Teil42.1 und jeweils einen Kühlkörper44.2 und44.3 auf den Teilen41.2 und41.3 . Die Source-Gate-Kontaktpads43.1 bis43.4 habe anschlussdrahtlose Gehäusekontakte am einen Ende und einen geneigten dazwischen liegenden Abschnitt, der in einem Kontaktpad endet. -
9 zeigt eine typische Matrix50 für einen Drain-Anschlussrahmen mit einer Vielzahl von individuellen Drain-Anschlussrahmen30 . Holme34 und35 verbinden die Anschlussrahmen30 mit einander gegenüber liegenden Schienen51.1 und51.2 . Die Matrix50 beginnt als ein Bogen bzw. ein Blatt leitfähigen Metalls, üblicherweise eine Kupferfolie, das mit einer oder mehreren Schichten aus Nickel, Palladium, Gold, Silber, Blei, Zinn oder anderen leitfähigen Metallen oder Legierungen beschichtet oder plattiert ist. In einem Schleifprozess werden unerwünschte Teile des Metalls entfernt, üblicherweise durch eine Stempelpressform, die so ausgebildet ist, dass sie unerwünschte Metallteile von dem Metallblatt entfernt. Ein leitfähiges Epoxidharz oder eine Wärmeleitpaste halten die Kühlkörper36 auf der Oberseite38 . Als Alternative kann das Metallblatt zum Abflachen ausgewählter Bereiche geprägt und dabei erhabene Kühlkörper bzw. Wärmesenken36 an der Oberseite38 ausgebildet werden. -
10 zeigt eine typische Source-Gate-Anschlussrahmen-Matrix60 mit einer Vielzahl von einzelnen Anschlussrahmen40 . Holme46.1 bis46.8 und47.1 bis47.8 , siehe7 , verbinden die Anschlussrahmen40 mit einander gegenüberliegenden Schienen61.1 und61.2 . Die Matrix60 beginnt als ein Bogen bzw. ein Blatt leitfähigen Metalls, üblicherweise eine Kupferfolie, das mit einer oder mehreren Schichten aus Nickel, Palladium, Gold, Silber, Blei, Zinn oder anderen leitfähigen Metallen oder Legierungen beschichtet oder plattiert ist. In einem ersten Bearbeitungsprozess werden unerwünschte Teile des Metalls entfernt, üblicherweise durch eine Stempelpressform, die so ausgebildet ist, dass sie unerwünschte Metallteile von dem Metallblatt entfernt. Nach dem Entfernen werden die Enden der Gate- und Source-Teile unter einem Winkel von 45° abgekantet, so dass sich die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte der Gate- und Source-Teile in einer Ebene parallel aber mit Abstand von der Ebene, die die Kontakte zu den Source- und Gate-Elektroden aufweist, befinden, siehe11 . Ein leitfähiges Epoxidharz oder eine Wärmeleitpaste halten die Kühlkörper44 auf der Oberseite48 . Als Alternative kann das Metallblatt zum Abflachen ausgewählter Bereiche geprägt und können dabei erhabene Kühlkörper44 an der Oberseite48 ausgebildet werden. - Wie in den
12 ,13 und14 gezeigt, hat eine Vollbrücke100 aus vier gehäusten MOSFETs ein kleineres Gehäuse als das in2 dargestellte. Das Multichip-Modul100 ist 7 ×7×0,8 mm groß. Seine Grundfläche ist 7-mal kleiner als die des TSSOP Gehäuses des Standes der Technik und sein Volumen ist 27-mal kleiner als das Volumen des TSSOP Gehäuses. Der gesamten Oberfläche des Moduls100 beträgt nur 14% der gesamten Oberfläche des TSSOP Gehäuses nach dem Stand der Technik. Das Multichip-Modul hat vier nicht dargestellte MOSFETs in einem 2×2 Array angeordnet im Gegensatz zu der linearen Anordnung der vier MOSFETs im bekannten Gehäuse. Das Multichip-Modul100 hat ein Array von vier Kühlkörpern44.1 bis44.4 , die an die Source-Anschlüsse der MOSFETs zur Ableitung von Wärme aus dem Gehäuse angebracht sind, siehe die Draufsicht auf das Modul100 in16 . Die Kühlkörper44.1 bis44.4 haben ihre oberen Flächen in der elektrisch isolierenden Ummantelung Material84 freiliegend. Aus der Ansicht auf die Unterseite in17 ergibt sich, dass die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte für die Source- und Gate-Anschlüsse für die vier MOSFETs in zwei Reihen86 und87 längs der einander gegenüberliegenden unteren Kanten des Moduls100 angeordnet sind. Das Modul100 hat nur 12 anschlusslose Gehäusekontakte im Vergleich zu den 20 Gehäusekontakten, in die das bekannte Gehäuse erfordert. Die unteren Seiten der vier Drain-Kontakte36.1 bis36.4 liegen aus dem Ummantelungsmaterial84 frei. Die Drain-Kontakte erfordern keine anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte an den Kanten. Folglich ist die Verarbeitung der Module mit einer gedruckten Schaltungsplatine leichter, da das Modul100 weniger Leiterzüge (16 im Vergleich zu 20 bei einem TSSOP) erfordert. - Ein Verfahren zum Herstellen eines Multichip-Moduls
100 ist in15 dargestellt. In einem ersten Schritt70 wird ein Source-Gate-Anschlussrahmen40 so angeordnet, dass seine Seite48 nach oben gewandt ist. Als nächstes wird in einem Schritt71 Weichlot80 mit einem Siebdruckverfahren auf die nach oben gewandte Seite48 aufgebracht. Die MOSFETs10 ,12 ,14 und16 werden so hergestellt, dass sie an ihren jeweiligen Source-Anschlüssen und Gate-Anschlüssen kleine Lotkugeln haben. Im Schritt72 werden die MOSFETs im Flip-Chip-Verfahren auf der Seite48 angebracht. Ein leitfähiger Klebstoff hält sie fest während beim Schwall- bzw. Wellenlöten das Weichlot schmilzt, um die MOSFETs an der Seite48 zu befestigen. Die Source-Anschlüsse der n-Kanal-MOSFETs sind an den Teilen42.1 und die Source-Anschlüsse der p-Kanal MOSFETs sind an den Teilen42.2 und43.3 befestigt. Die Gates der p-Kanal-MOSFETs sind an den Gate-Kontaktpads43.2 und43.3 befestigt. Schritt73 gleicht dem Schritt71 . Weichlot83 wird auf die freiliegenden Drainflächen der MOSFETs aufgebracht. Im nächsten Schritt74 wird der andere (Drain)-Anschlussrahmen30 zum Kontaktieren der Drain-Anschlüsse aufgebracht. Der Drain-Anschlussrahmen30 wird zeitweilig an den Drain-Anschlüssen der MOSFETs mithilfe eines leitenden Klebstoffes gehalten, während das Lot durch Schwalllöten zur Befestigung der Drain-Anschlüsse an dem Anschlussrahmen30 zum Schmelzen gebracht wird. Als Ergebnis hiervon liefert das Verfahren eine Baugruppe zweiseitiger Anschlussrahmen. Diese Baugruppe werden zusammen mit anderen Baugruppen in eine Kavität (Form) einer Gießmaschine eingebracht. Geschmolzenes elektrisch isolierendes Kunstharz wird unter hohem Druck zum Ausfüllen der Formkavität in diese eingespritzt und ummantelt die zweiseitige Anschlussrahmen-Baugruppe, siehe Schritt75 . Die nicht dargestellte Formkavität ist derart ausgestaltet, dass sie Rücksprünge zum Aufnehmen und/oder Abdichten der Formkavität gegenüber wenigstens einem Teil der Oberflächen der Kühlkörper aufweist. Als solches hat das fertig gestellte Modul100 freiliegende Abschnitte der Kühlkörper für die Source- und Drain-Anschlüsse. Die spritzgegossene Baugruppen werden dann durch Vereinzelung voneinander getrennt, um einzelne Module100 , die denen jeweils vier MOSFETs enthalten sind, zu bilden. - Eines der Merkmale des Moduls
100 besteht darin, dass es keine Verdrahtung benötigt. Vielmehr werden alle Verbindungen zwischen den anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten und den Bauteilen unter Verwendung von zwei Anschlussrahmen hergestellt. Das resultierende Bauteil entspricht existierenden Industriestandards hinsichtlich der Größe und der herausgeführten Gehäusekontakte des spritzgeformten anschlussdrahtlosen Gehäuses. Die MOSFETs sind vollständig innerhalb des Spritzgießteils eingeschlossen und kein Teil irgendeines Silizium-IC-Chips liegt frei. Das Modul100 hat überragende thermische Eigenschaften aufgrund der freiliegenden Kühlkörper und Drain-Kontakte auf der Oberseite und der Unterseite. Ferner ordnet die Konstruktion die externen anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte an den Enden einander gegenüberliegender äußeren Kanten des Gehäuses an. Die Gates befinden sich in den Ecken des Gehäuses, was ein gewünschter Ort für das Einsetzen des Moduls100 auf eine gedruckte Schaltungsplatine ist. - Ein zweites Multichip-Modul
200 ist in den19 bis26 dargestellt. Für das Beispiel ist nur der Unterschied zwischen den Modulen100 und200 verdeutlicht. Das Verfahren zur Herstellung ist das gleiche. Das Modul200 kehrt die relativen Lagen der Source- und Gate Bauteile um, siehe die23 und24 . Die Gatepads243.1 und243.2 liegen auf einer Seite des Bauteils einander gegenüber und die Gatepads241.3 und241.4 liegen auf der gegenüberliegenden Seite des Bauteils einander gegenüber, siehe25 . Als solche sind die externen anschlussdrahtlosen Gate-Kontakte nahe der Mitte des Gehäuses bzw. Packages. Das Gehäuse ist derart gegossen, dass es eine externe Rille201 zwischen den anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakten hat, siehe22 . Die Rille bildet einen Raum auf der gedruckten Schaltungsplatine, um Gate-Leiterzüge zu anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakten verlaufen zu lassen, siehe die20 und22 . Die anderen Eigenschaften des Moduls200 sind im wesentlichen die gleichen wie die des Moduls100 . Das Modul200 hat einen Array von vier Kühlkörpern, die mit der Source verbunden sind, siehe21 , und ein anderes Array von freiliegenden Drains, siehe20 . Der Drain-Anschlussrahmen50 ist der gleiche in beiden Ausführungsbeispielen, siehe26 . Das Modul200 hat keinerlei Drahtverbindungen. - Ein drittes Ausführungsbeispiel eines Moduls
300 ist in den27 bis30 dargestellt. Dort haben die Drain Anschlussrahmen330 alle die Elemente des Anschlussrahmens30 des früheren Beispiels. Zusätzlich sind die anschlussdrahtlosen Kontaktpads bzw. -flächen343.1 bis343.8 ebenfalls in die Matrix50 der Anschlussrahmen eingeschlossen. Nicht dargestellte Halteschienen halten die Kontaktpads während des Zusammenbaus der MOSFETs auf dem Rahmen30 und in der Formkavität. Die Kontaktpads343.2 ,343.3 ,343.6 und343.7 sind Gate-Kontaktpads. Sie sind mit den Gates der MOSFETs durch Anschlussdrähte312.1 bis312.4 verbunden. Das Verfahren zur Verdrahtung ist das Übliche. Die MOSFETs werden an die Verbindungspads des Chips eines der Drain-Anschlussrahmen30 durch Weichlot Klebstoff und dann durch Schwalllöten angebracht. Die MOSFETs10 ,12 ,14 und16 sind in einen Rahmen340 durch Anbringen eines leitfähigen Bands310.1 ,310.2 und310.3 an die Source-Anschlüsse und dann die Source-Klammern342.1 ,342.3 und342.3 an das Band angebracht. Anschließend wird dann Wärme zum Aushärten des leitfähigen Bands und für eine gute Klebeverbindung zwischen den Klammern und dem IC-Chip angewendet. Die herabhängenden Enden der Source-Klammern kontaktieren die anschlussdrahtlosen Source-Kontakte343.1 ,343.4 ,343.5 und343.6 . Ein Vorteil des Moduls300 ist der, dass die anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte neben der Rille301 liegen. Das Verfahren der Verwendung leitfähigen Bandes hat nicht die Fließprobleme wie sie bei Lötpasten auftreten und die Verwendung eines leitfähigen Bandes kann die Zuverlässigkeit des Produktes erhöhen. - Ein viertes Ausführungsbeispiel eines MOSFET-Moduls
400 ist in den31 bis34 dargestellt. Das vierte Modul400 gleicht dem Modul300 mit Ausnahme, dass die anschlussdrahtlosen Source- und Gate-Gehäusekontakte hinsichtlich ihrer entsprechenden Anordnungen gegeneinander vertauscht sind. Ein Vorteil des Moduls400 ist der, dass die anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte an den Ecken des Bauteils an den Enden der Arrays der Source-Gate-Kontaktpads vorgesehen sind. - Ein fünftes Ausführungsbeispiel ist ein Modul
500 mit vier MOSFETs, das in den35 sowie37 bis43 dargestellt ist. Wendet man sich35 zu, so ist eine Vollbrückenschaltung mit vier n-Kanal-MOSFETs510 bis513 dargestellt. Die MOSFETs510 und511 bilden die niedere Seite der Brücke und die MOSFETs512 und513 bilden die hohe Seite der Brücke. Die Drains der MOSFETs511 und513 sind mit einer Stromversorgungsleitung504 verbunden und die anderen Source-Anschlüsse der MOSFETs510 und512 sind einzeln an Masse angeschlossen. Die Source-Anschlüsse der MOSFETs511 und513 sind jeweils mit den Drains der MOSFETs510 und512 verbunden. Eingangsleitungen520 bis523 für Gate-Signale leiten jeweils Gate-Steuersignale an die MOSFETs510 bis513 . Eine Ausgangsleitung526 leitet die Ausgangssignale der Source-Drain-Node524 auf der niederen Seite und eine Ausgangsleitung528 leitet die Ausgangssignale des Source-Drain-Node (Knoten)527 der hohen Seite ab.36 stellt ein Modul600 dar, bei dem die Source-Anschlüsse der MOSFETs610 und612 intern miteinander verbunden sind. - Im Modul
500 ist die Vollbrücke unter Einschluss aller n-Kanal-MOSFETs aufgebaut. Die Brücke ist unter Verwendung eines Anschlussrahmens gebildet, dessen Körper die Source von einem MOSFET in einer Halbbrücke mit der Drain des anderen MOSFETs in der Halbbrücke verbindet. Wendet man sich37 und38 zu, sind dort die Doppelebenen- bzw. zweiseitige Anschlussrahmen532 und534 gezeigt. Jeder ist ein Spiegelbild des anderen. Der Anschlussrahmen534 weist einen ersten Chipbefestigungsabschnitt541 in der einen Ebene, einen zweiten Chipbefestigungsabschnitt543 in einer zweiten parallelen Ebene und ein Zwischenteil547 , das die beiden Chipbefestigungsabschnitte miteinander verbindet, auf, siehe41 . Die Source des einen MOSFET511 wird dem einen Chipbefestigungsabschnitt/pad541 und die Drain des MOSFET510 wird mit dem anderen Chipbefestigungsabschnitt/pad543 verbunden. Anschlussdrahtlose Gate-Gehäusekontakte536.1 und536.2 sind so ausgebildet, dass sie zwei ebene Teile und ein Zwischenverbindungsteil zur Verbindung der externen anschlusslosen Kontakte zu internen Kontaktpads haben, die die Gates der MOSFETs510 und511 anbringen. Ebenso werden die Source des MOSFET513 an den Chipbefestigungsabschnitt540 und die Drain des MOSFET512 an den anderen Chipbefestigungsabschnitt544 angebracht. Anschlussdrahtlosen Gate-Kontakte538.1 und538.2 sind so gestaltet, dass sie auch zwei ebene Teile und ein Zwischenverbindungsteil zur Verbindung der externen anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte mit internen Kontaktflächen hat, die die Gates der MOSFETs512 und513 anschließen. - Die Drain-Anschlüsse der MOSFETs
511 und513 sind elektrisch und mechanisch auf den Chipbefestigungsabschnitte543 und544 angebracht. Für die auf diesem Gebiet tätigen Fachleute ist verständlich, dass die Source-Drain-Verbindungen vollständig innerhalb des Gehäuses bzw. Packages vorgenommen sind. Hinzukommt, dass die Source-Drain-Verbindungen ohne Verbindungsdrähte hergestellt sind, wie dies bei bekannten Gehäusen typisch ist. Vielmehr sind die Verbindungen von Source und Drain unter Verwendung der Anschlussrahmen selbst für die Verbindung der Source- und der Drain-Anschlüsse jeder Hälfte der Brücke hergestellt, um die Ausgangsverbindungen526 und528 zu erzeugen. Diese Merkmale vermindern die Komplexität der Baugruppe und sparen die üblichen Schritte zur Verbindung mit Anschlussdrähten. Anschlussdrahtlosen Source-Gehäusekontakte537.1 und537.2 erhalten Bandverbindungen552 bis555 zur Verbindung der Source-Anschlüsse mit Masse. Die Gates der MOSFETs511 und513 sind mit den anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten556 und557 durch Drahtverbindungen verbunden (gebondet). - Wendet man sich den
39 und40 zu, so ist dort von oben die Außenseite und von unter die Unterseite des Moduls500 gezeigt. Das Modul500 hat eine mittlere Rille und vier Gate-Gehäusekontakte, zwei Gehäusekontakte auf jeder Seite der Rille und voneinander durch die Rille getrennt. Der doppelseitige Anschlussrahmen und die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte und IC-Chips sind in eine elektrische isolierende Gießmasse584 eingegossen. Teile der Befestigungskontaktpads sind an der Bodenfläche des gegossenen Gehäuses freiliegend, um die Wärmeableitung von den Modulen500 an die Umgebung zu unterstützen. Freiliegende Drain-Anschlüsse des MOSFETs auf der niederen Seite und freiliegende Drain-Anschlüsse des MOSFET513 auf der hohen Seite sind mit dem Stromzufuhrleiter504 verbunden, was üblicherweise ein Leiterzug auf der gedruckten Schaltungsplatine ist. anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte535.1 bis535.4 verbinden die internen Nodes524 ,527 , die der niederen Seite des Source-Drain-Anschlusses und der hohen Seite der Source-Drain-Anschlussverbindungen entsprechen. Die Source-Gehäusekontakte537.1 und537.2 bilden die Verbindungen mit Masse. - Die wichtigsten Schritte des Zusammenbaus und des Eingießprozesses sind in
44 gezeigt. In einem ersten Schritt570 wird Lötpaste auf die nach oben gewandten Flächen540 und541 der Anschlussrahmenabschnitte532 und534 gedruckt. Die MOSFETs mit Lotkugel-Array-Kontakten auf ihren Source- und Gate-Anschlüssen werden mit den nach oben gewandten Flächen durch eine Flip-Chip-Technik angebracht. Im Schritt571 wird das Lot durch Schwalllöten mit den MOSFETs verschmolzen. Im Schritt572 werden die Anschlussrahmenabschnitte umgewendet und Weichlot auf die gewendeten Oberflächen der Anschlussrahmen im Schritt573 aufgebracht. Die anderen MOSFETs werden mit ihren Drain-Anschlüssen im Schritt572 an das Weichlot gebracht, das durch Schwalllöten zum Schmelzen gebracht wird, um die MOSFETs mit dem Anschlussrahmen zu verlöten. Die vier Gate-Anschlüsse werden mit Anschlussdrähten mit den anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakten im Schritt575 gebondet. Im Schritt576 werden die Source-Anschlüsse der MOSFETs mit Bändern an die anschlussdrahtlosen Gehäuse-Kontakten verbunden. In einem letzten Schritt576 wird die Baugruppe in die Kavität einer Form eingebracht und geschmolzenes isolierendes Harz wird in die Formkavität eingeführt, um die Baugruppe mit einem elektrisch isolierenden Gießharz zu ummanteln. - Ein sechstes Ausführungsbeispiel eines Moduls
600 mit vier MOSFETs ist in den45 und46 dargestellt. Viele Kunden wünschen, dass die Source-Anschlüsse innerhalb des Gehäuses miteinander verbunden werden. Diese Ausführungsform eines Moduls aus vier MOSFETs erfüllt die Erfordernisse der Kunden durch Verwendung einer anschlussdrahtlosen Kontaktschiene610 . Die Schiene hat vier externe anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte und die oberen Gehäusekontakte sind mit der gemeinsamen Metallschiene611 einstückig ausgeführt. - Ein siebtes Ausführungsbeispiel eines Moduls
700 mit vier MOSFETs ist in den47 bis50 dargestellt. Wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen sind zwei MOSFETs durch eine Flip-Chip-Technik an eine Oberfläche des doppelseitigen Anschlussrahmens angebracht. Der andere Chipbefestigungsabschnitt erhält Lötpaste und die Drain-Anschlüsse der dritten und vierten MOSFETs werden mit den Chipbefestigungsabschnitten(-pads) verbunden. Das Lot wird mit einem Lotschwallverfahren zur Befestigung des Chips auf dem Abschnitt geschmolzen. Dann wird ein leitfähiges Gießharz auf die Source- und Gate-Bereiche aufgebracht. Eine Source-Klammer712 verbindet die Source-Anschlüsse mit einer Source-Schiene722 . Gate-Klammern710 und711 verbinden die Gates mit den anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte. - Auf dem vorliegenden Gebiet tätigen Fachleute verstehen, dass eines oder mehrere Merkmale der obigen Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden können, um weitere Kombinationen von Anschlussrahmen, Klammern, Drahtbonding und Bandbonding zu umfassen.
- Zusammenfassung
- Ein eingegossenes, anschlussdrahtloses (leadless), gehäustes Halbleiter-Multichipmodul
100 hat vier MOSFETs10 ,12 ,14 , und16 für einen Vollbrücken-Schaltkreis. Die MOSFETs könne zwei n-Kanal- und zwei p-Kanal-Bauteile oder vier MOSFETs des gleichen Typs sein, wenn auch vier n-Kanal-Bauteile bevorzugt werden. In dem Modul100 befinden sich zwei Anschlussrahmen (leadframes)30 und40 zur Montage der MOSFETs. Insbesondere die beiden n-Kanal- und die beiden p-Kanal-Bauteile können zwischen den beiden Anschlussrahmen angeordnet und von einer elektrisch isolierenden Gießmasse84 ummantelt sein. Das sich ergebende Gehäuse hat vier obere Wärmesenken44.1 bis44.4 , die zur Ableitung von Wärme der MOSFETs an die Umgebung in der Gießmasse84 freiliegen. Es sind keine Drahtverbindungen erforderlich. Dies kann den On-Widerstand RDSON deutlich vermindern. Der obere oder Source-Drain-Anschlussrahmen30 kann mit den Source- und Gate-Anschlüssen der MOSFETs verlötet sein.
Claims (20)
- Ein eingossenes, anschlussdrahtloses, gehäustes Halbleiter-Multichipmodul umfassend: erste und zweite MOSFET-Paare; elektrisch isolierende Gießmasse, die die MOSFETs ummantelt; ein erstes Array von Source-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse freiliegen, für das Ableiten von Wärme an die Umgebung des Moduls, und ein zweites Array von Drain-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse für das Ableiten von Wärme von den Drain-Anschlüssen an die Umgebung freiliegen; und eine Vielzahl von aus der ummantelnden Gießmasse freiliegenden anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten, die in einer gemeinsamen Ebene einer Seite des Moduls angeordnet sind, um elektrischen Kontakt mit den Source-, Gate- und Drain-Anschlüssen der MOSFETs herzustellen.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 1, das ferner umfasst: erste und zweite Anschlussrahmen, von denen der erste Anschlussrahmen Source- und Gate-Kontakte zum Kontaktieren von Source- und Gate-Anschlüssen des MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Source- und Gate-Gehäusekontakten endet und der zweite Anschlussrahmen Kontakte zum Kontaktieren der Drain-Anschlüsse der MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Drain-Gehäusekontakten endet.
- Ein vergossenes, anschlussdrahtloses, gehäustes Halbleiter-Multichipmodul umfassend: erste und zweite MOSFET-Paare; elektrisch isolierende Gießmasse, die die MOSFETs ummantelt; erste und zweite Anschlussrahmen, von denen der erste Anschlussrahmen Source- und Gate-Kontakte zum Kontaktieren von Source- und Gate-Anschlüssen des MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Source- und Gate-Gehäusekontakten endet, und der zweite Anschlussrahmen Kontakte zum Kontaktieren der Drain-Anschlüsse der MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Drain-Gehäusekontakten endet; ein erstes Feld von Source-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse freiliegen, für das Ableiten von Wärme an die Umgebung des Moduls, und ein zweites Array von Drain-Kühlkörpern, die wenigstens teilweise aus der ummantelnden Gießmasse für das Ableiten von Wärme von den Drain-Anschlüssen an die Umgebung des Moduls freiliegen, und eine Vielzahl von anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten, die aus der ummantelnden Gießmasse freiliegen und in einer gemeinsamen Ebene auf einer Seite des Moduls angeordnet sind, um elektrischen Kontakt mit den Source-, Gate- und Drain-Anschlüssen der MOSFETs herzustellen.
- Das eingegossene, anschlussdrahtloses, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 1 oder 3, bei dem die MOSFETs in einem 2×2 Feld angeordnet sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 1 oder 3, bei dem die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte für wenigstens die Source- und die Drain-Anschlüssen in ersten und zweiten linearen Arrays an einander gegenüberliegenden Rändern der Module angeordnet sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 5, bei dem die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte für die Gate-Anschlüssen in den gleichen Arrays wie die Source- und Gate-Gehäusekontakte angeordnet sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 5, bei dem die anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte längs der Ränder angeordnet sind, die quer zu den Rändern verlaufen, an denen die Kontaktarrays der Source- und Drain-Gehäusekontakte gehalten sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 5, bei dem die Gate-Gehäusekontakte an den Enden der jeweiligen Arrays angeordnet sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 5, bei dem die Gate-Gehäusekontakte nahe der Mitte der jeweiligen Arrays angeordnet sind.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 5, bei dem die MOSFETs zwei n-Kanal-MOSFETs und zwei p-Kanal-MOSFETs umfassen.
- Das vergossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 3, bei dem der erste Anschlussrahmen seine Source- und Gate-Kontakte in einer Ebene und seine Source- und Gate-Gehäusekontakte in einer anderen, parallelen Ebene hat.
- Das eingegossene, anschlussdrahtlose, gehäuste Halbleiter-Multichipmodul nach Anspruch 11, bei dem der erste Anschlussrahmen schräg geneigte Abschnitte hat, die mit den Kontakten und Gehäusekontakten einstückig sind und sich zwischen der die Kontakte aufweisenden Ebene und der die Gehäusekontakte aufnehmenden Ebene erstreckt.
- Ein Verfahren zum Ummanteln von mehreren IC-Chips in einer elektrisch isolierenden Masse, umfassend: Bereitstellen von ersten und zweiten MOSFET-Paaren; Anbringen eines ersten Felds von Source-Kühlkörpern an die Source-Anschlüsse der MOSFETs; Anbringen eines zweiten Arrays von Drain-Kühlkörpern an die Drain-Anschlüsse der MOSFETs; Anbringen von anschlussdrahtlosen Gehäusekontakten für Source-, Gate- und Drain-Anschlüsse an den Source-, Gate- und Drain-Anschlüssen der MOSFETs; Anordnen der anschlussdrahtlosen Source-, Gate- und Drain-Gehäusekontakte in einer gemeinsamen Ebene und in derselben Ebene wie einer der Felder von Kühlkörpern, und Ummanteln der MOSFETs in einer elektrisch isolierenden Masse, in der die Felder von Kühlkörpern und die anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte freiliegen.
- Das Verfahren nach Anspruch 13, das den weiteren Schritt des Anordnens der MOSFETs in einem 2×2 Feld umfasst.
- Das Verfahren nach Anspruch 13, das den weiteren Schritt des Anordnens der anschlussdrahtlosen Gehäusekontakte umfasst, bei dem wenigstens die Source- und die Drain-Gehäusekontakte in ersten und zweiten linearen Feldern an einander gegenüberliegenden Rändern des Moduls angeordnet sind,.
- Das Verfahren nach Anspruch 15, das den weiteren Schritt des Anordnens der anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte in den gleichen Feldern wie die Gehäusekontakte für die Source- und Drain-Anschlüsse umfasst.
- Das Verfahren nach Anspruch 15, das den weiteren Schritt des Anordnens der anschlussdrahtlosen Gate-Gehäusekontakte längs der Ränder, die quer zu den die Source- und Drain-Gehäusekontaktarrays aufweisenden Rändern stehen, umfasst.
- Das Verfahren nach Anspruch 17, das den weiteren Schritt des Anordnens der Gate-Gehäusekontakte an den Enden der jeweiligen Feldern umfasst.
- Das Verfahren nach Anspruch 17, das den weiteren Schritt des Anordnens der Gate-Gehäusekontakte nahe der Mitte der jeweiligen Feldern umfasst.
- Das Verfahren nach Anspruch 13, das die folgenden weiteren Schritte umfasst: Bereitstellen von ersten und zweiten Anschlussrahmen, von denen der erste Anschlussrahmen Source- und Gate-Kontakte zum Kontaktieren von Source und Gate-Anschlüssen der MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Source- und Gate-Gehäusekontakte endet und der zweite Anschlussrahmen Kontakte zum Kontaktieren der Drain-Anschlüsse der MOSFETs aufweist und in anschlussdrahtlosen Drain-Gehäusekontakte endet.
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