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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Mikropumpen und insbesondere
auf eine Mikropumpe, die eine piezoelektrische Betätigungseinrichtung verwendet,
die eine Biegedeformation erfährt.
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Stand der Technik
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Mikropumpen
werden als Kühlpumpen für kleine elektronische
Geräte, wie z. B. Notebookcomputer, oder als Brennstoffbeförderungspumpen
für Brennstoffzellen verwendet. Eine Mikropumpe ist eine
Pumpe, die ein piezoelektrisches Betätigungselement verwendet,
das durch Anlegen einer Spannung in einem Biegemodus eine Biegedeformation erfährt.
Die Mikropumpe hat eine relativ einfache Struktur mit einer reduzierten
Dicke im Vergleich zu der Dicke einer Pumpe, die einen Motor als
Antriebsquelle verwendet, und hat eine niedrige Leistungsaufnahme.
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Das
Patendokument 1 offenbart eine Mikropumpe, bei der eine Pumpenkammer
in einem Pumpenkörper gebildet ist, ein piezoelektrisches
Betätigungselement auf einer Rückoberfläche
(oberen Oberfläche) einer Membran befestigt ist, die eine obere
Wand der Pumpenkammer definiert, und ein Einlassseitenprüfventil
und ein Auslassseitenprüfventil direkt unter der Pumpenkammer
angeordnet sind. Diese Mikropumpe hat eine Struktur, bei der die Pumpenkammer
direkt über den Prüfventilen angeordnet ist, und
die Membran und das piezoelektri sche Betätigungselement
auf der Pumpenkammer angeordnet sind. Somit ist die Dicke der Mikropumpe
erhöht, was bei der Reduzierung der Dicke nachteilhaft ist.
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Das
Patentdokument 2 offenbart eine Mikropumpe, bei der eine Membran,
die eine Pumpenkammer definiert, ein Einlassseitenprüfventil
und ein Auslassseitenprüfventil in einer Ebene angeordnet
sind. Diese Mikropumpe kann im Vergleich zu der Dicke der im Patentdokument
1 offenbarten Mikropumpe in der Dicke reduziert werden. Da die Membran
und die Ventilabschnitte des Einlassseitenventils und des Auslassseitenprüfventils
aus getrennten Baugliedern gebildet sind, ist jedoch die Anzahl
der Komponenten erhöht und die Herstellungskosten sind
erhöht. Insbesondere, wenn die Prüfventile Schirmstrukturen mit
Wellenabschnitten und Haubenabschnitten aufweisen, sind die Strukturen
kompliziert, was dazu führt, dass sie Herstellungskosten
weiter erhöht werden.
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Das
Patentdokument 3 offenbart eine Membranpumpe, bei der ein Ventilabschnitt
eines Prüfventils und ein Membranabschnitt einstückig
gebildet sind. Mit dieser Membranpumpe ist ein Kopplungsstab, der über
eine Exzenterwelle an einem Motor befestigt ist, mit einem Vorsprung
gekoppelt, der von einer Rückoberfläche des Membranabschnitts
vorsteht. Außerdem sind zwischen dem Ventilabschnitt und
dem Membranabschnitt und an einem Umfangsrand Rippen vorgesehen,
um zu verhindern, dass Luft austritt. Der Ventilabschnitt und der
Membranabschnitt sind aus einem einzigen elastischen Bauglied gebildet;
es ist jedoch notwendig, die Rippen und den Vorsprung in drei Dimensionen
zu formen, was dazu führt, dass die Kosten erhöht
werden und die Dicke erhöht wird. Da ferner die Antriebsquelle
des Membranabschnitts der Motor ist, ist die Dicke der Pumpe groß und
die Leistungsaufnahme ist hoch. Somit kann die Pumpe nicht für
ein kleines elektronisches Gerät angewendet werden.
- Patentdokument
1: Japanische ungeprüfte
Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2003-214349
- Patentdokument 2: Japanische
ungeprüfte Patentanmeldungsveröffentlichung Nr.
2005-337068
- Patentdokument 3: Japanische
geprüfte Gebrauchsmusterregistrierungsanmeldungsveröffentlichung
Nr. 61-36787
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Offenbarung der Erfindung
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Probleme,
die durch die Erfindung zu lösen sind Folglich ist es eine
Aufgabe eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden
Erfindung, eine dünne Mikropumpe zu schaffen, die eine
einfache Struktur mit einer reduzierten Anzahl von Komponenten aufweist.
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Eine
weitere Aufgabe ist es, eine Mikropumpe zu schaffen, die unaufwendig
hergestellt werden kann.
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Einrichtung zum Lösen
der Probleme
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Um
die oben beschriebenen Aufgaben zu lösen, schafft die vorliegende
Erfindung eine Mikropumpe, die eine Biegeverschiebung eines piezoelektrischen
Betätigungselements über einen Membranabschnitt
zu einer Pumpenkammer überträgt, um ein Volumen
der Pumpenkammer zu ändern, und abwechselnd ein Einlassseitenprüfventil
und ein Auslassseitenprüfventil öffnet und schließt,
um Fluid zu befördern. Die Mikropumpe umfasst eine Elastisches-Bauglied-Lage,
ein erstes Gehäusebauglied und ein zweites Gehäusebauglied
mit konstanter Dicke. In der Mikropumpe sind der Membranabschnitt, ein
Ventilabschnitt des Einlassseitenprüfventils und ein Ventilabschnitt
des Auslassseitenprüfventils einstückig an der
Elastisches-Bauglied-Lage gebildet. Das piezoelektrische Betätigungselement
ist auf einer Rückoberfläche des Membranabschnitts
befestigt. Die Elastisches-Bauglied-Lage ist zwischen dem ersten
und dem zweiten Gehäusebauglied angeordnet, wobei die Elastisches-Bauglied-Lage
eine Abdichtung zwischen dem ersten und dem zweiten Gehäusebauglied
liefert. Zwischen der Elastisches-Bauglied-Lage und dem ersten Gehäusebauglied
ist eine Vibrationskammer definiert, wobei die Vibrationskammer
das piezoelektrische Betätigungselement unterbringt. Zwischen
der Elastisches-Bauglied-Lage und dem zweiten Gehäusebauglied
ist eine Pumpenkammer definiert.
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Bei
der Mikropumpe der vorliegenden Erfindung sind der Membranabschnitt,
der Ventilabschnitt des Einlassseitenprüfventils und der
Ventilabschnitt des Auslassseitenprüfventils einstückig
gebildet in der Elastisches-Bauglied-Lage mit der konstanten Dicke.
Außerdem ist die Elastisches-Bauglied-Lage zwischen dem
ersten und dem zweiten Gehäusebauglied angeordnet. Folglich
können der Membranabschnitt, das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil in einer Ebene angeordnet
sein. Somit ist die Dicke reduziert, die Anzahl der Komponenten
ist reduziert und die Struktur ist vereinfacht. Das piezoelektrische
Betätigungselement ist auf der Rückoberfläche
des Membranabschnitts befestigt, und der Membranabschnitt wird durch
die Biegedeformation des Betätigungselements deformiert.
Somit werden ein Fluss des Fluids, der durch das Einlassseitenprüfventil
verläuft und in die Pumpenkammer fließt, wenn
das Volumen der Pumpenkammer durch die Deformation des Membranabschnitts
erhöht ist, und ein Fluss des Fluids, der durch das Auslassseitenprüfventil
verläuft und von der Pumpenkammer ausfließt, wenn
das Volumen der Pumpenkammer verringert ist, erzeugt, und somit
kann das Fluid effizient befördert werden. Da die einzelne
Elastisches-Bauglied-Lage die Funktion einer Membran und die Funktionen
der Ventilkörper des Einlassseitenprüfventils
und des Auslassseitenprüfventils hat, wie es oben beschrieben
ist, kann die Reduktion bei der Anzahl der Komponenten und die Vereinfa chung der
Ventilbefestigung gefördert werden, was zu einer Reduktion
bei der Größe, Dicke und den Kosten der Pumpe
führt. Da ferner die Elastisches-Bauglied-Lage auch als
eine Flüssigkeitsaustrittsverhinderungsabdichtung zum Bereitstellen
einer Abdichtung zwischen der Innenseite und der Außenseite
der Pumpenkammer und zwischen der Innenseite und der Außenseite
der Vibrationskammer dient, ist ein zusätzliches Abdichtungsbauglied,
wie z. B. ein O-Ring, nicht notwendig, und eine dreidimensionale
Verarbeitung, wie z. B. eine Bildung von Rippen, ist nicht notwendig.
Somit kann durch die einfache Konfiguration mit der reduzierten
Anzahl von Komponenten eine hohe Zuverlässigkeit erreicht
werden.
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Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel können das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil an gegenüberliegenden
Abschnitten vorgesehen sein, wobei die Pumpenkammer zwischen den
beiden angeordnet ist, und das Fluid, das von dem Einlassseitenprüfventil
eintritt, kann über die Pumpenkammer in einer Vorwärtsrichtung
zu dem Auslassseitenprüfventil befördert werden.
Da das Fluid, das durch das Einlassseitenprüfventil verläuft
und in die Pumpenkammer fließt, und das Fluid, das durch
das Auslassseitenprüfventil verläuft und durch
das Antreiben des Membranflusses in der Vorwärtsrichtung
von der Pumpenkammer ausfließt, d. h. da das Fluid nicht
in einer Rückwärtsrichtung fließt, ist
ein Verlust, der den Fluss des Fluids stört, reduziert.
Das Einlassseitenprüfventil, die Pumpenkammer und das Auslassseitenprüfventil
müssen nicht in einer geraden Linie angeordnet sein. Ein Flussrichtungsvariationswinkel
kann jedoch vorzugsweise innerhalb 90° liegen. Mit dieser
Anordnung wird eine Pumprate wahrscheinlich erhöht, selbst wenn
eine kleine Pumpe mit einem piezoelektrischen Klein-Betätigungselement
verwendet wird. Wenn ferner die Pumpenkammer in einem leeren Zustand
das Fluid einzieht, ist es wahrscheinlich, dass die Luft in der
Pumpenkammer von dem Auslassseitenprüfventil ausgelassen
wird, indem dieselbe durch das Einlassfluid gedrückt wird.
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Somit
bleiben kaum Luftblasen in der Pumpenkammer. Folglich kann verhindert
werden, dass sich eine Pumpeffizienz verschlechtert, weil die Luftblasen
der Luft als komprimierbares Fluid in der Pumpenkammer verbleiben.
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Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel kann das piezoelektrische
Betätigungselement in einer rechteckigen Form gebildet
sein, und das Einlassseitenprüfventil und das Auslassseitenprüfventil
können jeweils an Positionen nahe kurzen Seiten des piezoelektrischen
Betätigungselements angeordnet sein. Die Form des piezoelektrischen
Betätigungselements kann eine runde Form oder eine rechteckige
Form sein. Wenn ein rechteckiges piezoelektrisches Betätigungselement
eine Biegeverschiebung in einem Modus erfährt, in dem beide
Endabschnitte in einer longitudinalen Richtung (zwei kurze Seiten)
des piezoelektrischen Betätigungselements als Tragepunkte
dienen, kann eine größere Volumenverschiebung
erhalten werden im Vergleich zu einem Fall, in dem ein rundes piezoelektrisches Betätigungselement
eine Biegeverschiebung in einem Modus erfährt, in dem ein äußerer
Umfangsabschnitt des piezoelektrischen Betätigungselements als
ein Tragepunkt dient. Wenn somit das rechteckige piezoelektrische
Betätigungselement als ein Membranantriebsbetätigungselement
verwendet wird, kann die Pumpeffizienz verbessert werden. Wenn außerdem
das rechteckige piezoelektrische Betätigungselement verwendet
wird, sind die Prüfventile nicht nahe dem maximalen Verschiebungspunkt
des Betätigungselements angeordnet, solange das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil jeweils an den Positionen
nahe den kurzen Seiten des Betätigungselements angeordnet
sind. Somit kann unerwünschtes Flattern der Ventile aufgrund
des schnellen Flusses des Fluids verhindert werden.
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Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel kann das erste Gehäusebauglied
ein Plattenbauglied sein, das eine Vibrationskammerausnehmung, eine
Einlassdurchgangausnehmung, die von der Vibrationskammerausnehmung
getrennt ist, und eine Auslassraumausnehmung umfasst, die von der Vibrationskammerausnehmung
getrennt ist. Das zweite Gehäusebauglied kann ein Plattenbauglied sein,
das eine Pumpenkammerausnehmung, eine Einlassraumausnehmung, die
mit der Pumpenkammerausnehmung kommuniziert und der Einlassdurchgangausnehmung
zugewandt ist, und eine Auslassdurchgangausnehmung umfasst, die
mit der Pumpenkammerausnehmung kommuniziert und der Auslassraumausnehmung
zugewandt ist. Der Ventilabschnitt des Einlassseitenprüfventils,
der konfiguriert ist, um die Einlassdurchgangausnehmung zu schließen,
und der Ventilabschnitt des Auslassseitenprüfventils, der
konfiguriert ist, um die Auslassdurchgangausnehmung zu schließen,
können in zungenartigen Formen gebildet sein. Das erste
und das zweite Gehäusebauglied, die die Ausnehmungen aufweisen,
können ohne weiteres durch ein bekanntes Verfahren, wie
z. B. Spritzgießen, hergestellt werden. Die Mikropumpe
ist aus den drei Komponenten des ersten Gehäusebauglieds,
des zweiten Gehäusebauglieds und der Elastisches-Bauglied-Lage
gebildet, und die Mikropumpe kann aufgebaut werden durch Schichten
des ersten und des zweiten Gehäusebauglieds, wobei die
Elastisches-Bauglied-Lage dazwischen angeordnet ist. Folglich kann
die dünne, leicht herstellbare Mikropumpe mit der reduzierten Anzahl
von Komponenten geschaffen werden.
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Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel kann das erste Gehäusebauglied
eine untere Platte umfassen, die eine flache Platte ist, und eine erste
Zwischenschicht, in der ein Vibrationskammerloch, ein Einlassdurchgangsloch,
das von dem Vibrationskammerloch getrennt ist, und ein Auslassraumloch,
das von dem Vibrationskammerloch getrennt ist, in einer flachen
Platte gebildet sind, wobei die untere Platte und die erste Zwischenschicht
geschichtet sind. Das zweite Gehäusebauglied kann eine
obere Platte umfassen, die eine flache Platte ist, und eine zweite
Zwischenschicht, in der ein Pumpenkammerloch, ein Einlassraumloch,
das dem Einlassdurchgangsloch zugewandt ist, und ein Auslassdurchgangsloch,
das dem Auslassraumloch zugewandt ist, fortlaufend in einer flachen
Platte gebildet sind, wobei die obere Platte und die zweite Zwischenschicht
geschichtet sind. Der Ventilabschnitt des Einlassseitenprüfventils,
der konfiguriert ist, um das Einlassdurchgangsloch zu schließen,
und der Ventilabschnitt des Auslassseitenprüfventils, der
konfiguriert ist, um das Auslassdurchgangsloch zu schließen,
können in zungenartigen Formen gebildet sein. Mit diesem
Ausführungsbeispiel sind die untere Platte und die erste
Zwischenschicht, die das erste Gehäusebauglied definieren,
die Elastisches-Bauglied-Lage, und die obere Platte und die zweite
Zwischenschicht, die das zweite Gehäuse definieren, aus
zweidimensional verarbeiteten Plattenbaugliedern gebildet. Die Mikropumpe kann
lediglich durch Schichten dieser Plattenbauglieder aufgebaut werden,
und somit kann die Mikropumpe leicht hergestellt werden. Folglich
kann die dünne, äußerst zuverlässige
Mikropumpe geschaffen werden. Die zungenförmigen Ventilabschnitte
der Elastisches-Bauglied-Lage, die Löcher der ersten Zwischenschicht
und die Löcher der zweiten Zwischenschicht können
ohne weiteres durch Stanzen oder Laserverarbeitung der flachen Platten
gebildet werden. Somit ist keine Form notwendig, die Verarbeitung
kann unaufwendig durchgeführt werden und Verwerfung oder
Verzerrung tritt nicht auf. Die untere Platte und die erste Zwischenschicht,
die das erste Gehäusebauglied definieren, und die obere
Platte und die zweite Zwischenschicht, die das zweite Gehäusebauglied
definieren, können aus einer Harzplatte, einer Metallplatte
oder einem zusammengesetzten Material, wie z. B. einer Glasepoxidplatte,
gebildet sein.
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Gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel können eine Länge
eines Kommunikationsdurchgangs, der die Pumpenkammer mit einem Einlassraum
verbindet, und eine Länge des Kommunikationsdurchgangs,
der die Pumpenkammer mit einem Auslassdurchgang verbindet, jeweils
größer sein als die Flussdurchgangsbreiten derselben.
Die Elastisches-Bauglied-Lage ist zwischen dem oberen und unteren
Gehäusebauglied angeordnet und somit liefert die Elastisches-Bauglied-Lage einen
Abdichtungseffekt. Abschnitte der Elastisches-Bauglied-Lage, die
den Kommunikationsdurchgängen entsprechen, die die Pumpenkammer
mit dem Einlassseiten- und Auslassseitenprüfventil verbinden,
sind nicht zwischen dem oberen und dem unteren Gehäusebauglied
angeordnet. Das heißt, eine Wandoberfläche ist
nur an einer Seite der Elastisches-Bauglied-Lage vorgesehen. Somit
muss durch eine Bindungskraft der Elastisches-Bauglied-Lage und
des Gehäusebauglieds an einer Seite verhindert werden, dass
Flüssigkeit austritt. Flüssigkeit tritt jedoch
möglicherweise von einem Abschnitt der Elastisches-Bauglied-Lage,
die durch Stanzen oder Schneiden für die Bildung der Ventilabschnitte
verarbeitet wurde, zu der Vibrationskammer aus. Das Austreten kann
einen Pumpenausfall verursachen. Aufgrund dessen sind die Längen
der Kommunikationsdurchgänge, die die Pumpenkammer mit
dem Einlassseiten- und Auslassseitenprüfventil verbinden, jeweils
größer eingestellt als die Flussdurchgangsbreiten
derselben. Folglich kann die Elastisches-Bauglied-Lage zwischen
dem ersten und zweiten Gehäusebauglied an Mittelabschnitten
der Kommunikationsdurchgänge angeordnet sein, und somit
kann ein ausreichender Abdichtungseffekt vorgesehen sein, selbst
wenn ein Bindungszustand eine geringe Intensität zeigt.
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Als
ein spezifisches Verfahren zum Erhöhen der Länge
des Kommunikationsdurchgangs, damit derselbe länger ist
als die Durchgangsbreite, können der Kommunikationsdurchgang,
der die Pumpenkammer mit dem Einlassraum verbindet, und der Kommunikationsdurchgang,
der die Pumpenkammer mit dem Auslassdurchgang verbindet, kurbelartige Formen
haben.
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Obwohl
das piezoelektrische Betätigungselement eine unimorphe
Struktur aufweisen kann, in der eine piezoelektrische Substanz auf
eine Metallplatte geschichtet ist, ist die Verwendung einer bimorphen
Struktur, bei der eine Mehrzahl von piezoelektrischen Substanzen
geschichtet sind, vorzuziehen, weil eine größere
Volumenverschiebung als diejenige der unimorphen Struktur geliefert
werden kann.
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Die
Elastisches-Bauglied-Lage kann jede weiche elastische Lage sein,
die beispielsweise aus Butylkautschuk gebildet ist.
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Vorteile
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Da
der Membranabschnitt, das Einlassseitenprüfventil und das
Auslassseitenprüfventil in der einzelnen Elastisches-Bauglied-Lage
gebildet sind, wie es oben beschrieben ist, können mit
der vorliegenden Erfindung der Membranabschnitt, das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil in einer Ebene angeordnet
werden, wodurch eine reduzierte Dicke erreicht wird. Außerdem
kann die unaufwendige Mikropumpe, die die einfache Struktur mit
der reduzierten Anzahl von Komponenten aufweist, geschaffen werden.
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Beste Modi zum Ausführen
der Erfindung
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Hierin
nachfolgend werden die besten Modi der vorliegenden Erfindung mit
Bezugnahme auf Ausführungsbeispiele beschrieben.
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Erstes Ausführungsbeispiel
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1 bis 6 stellen
eine Mikropumpe gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung dar. Eine Mikropumpe 21 dieses Ausführungsbeispiels
umfasst eine Dreischichtstruktur eines unteren Gehäuses 1,
einer Elastisches-Bauglied-Lage 2 und eines oberen Gehäuses 4.
Diese Komponenten sind gegenseitig geschichtet und verbunden.
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Das
untere Gehäuse ist beispielsweise aus einer Glasepoxidplatte
oder einer Harzplatte in einer rechteckigen Plattenform gebildet.
Eine rechteckige Ausnehmung 1a, die als eine Vibrationskammer dient,
ist an einem Mittelab schnitt des unteren Gehäuses 1 gebildet.
Zwei Tore 1b und eine Mehrzahl von Entlüftungslöchern 1c sind
an einer unteren Oberfläche der Ausnehmung 1a gebildet.
Anschlussleitungen 3a eines piezoelektrischen Betätigungselements 3 (nachfolgend
beschrieben) werden von den Toren 1b geleitet. Die Entlüftungslöcher 1c bewirken, dass
die Vibrationskammer der Luft ausgesetzt wird. Falls die Tore 1b auch
als Entlüftungslöcher dienen können,
können die Entlüftungslöcher 1c ausgelassen
werden. Die Tiefe der Ausnehmung 1a ist bestimmt, um größer
zu sein als die Summe der Dicke des piezoelektrischen Betätigungselements 3 und
eines maximalen Verschiebungsabstands. Eine Einlassdurchgangausnehmung 1d und
eine Auslassraumausnehmung 1e sind jeweils an Positionen
nahe kurzen Seiten der Vibrationskammerausnehmung 1a gebildet.
Die Einlassdurchgangausnehmung 1d und die Auslassraumausnehmung 1e sind
getrennt von der Vibrationskammerausnehmung 1a vorgesehen und
kommunizieren mit der Außenseite jeweils über ein
Einlasstor 1f und ein Auslasstor 1g.
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Die
Elastisches-Bauglied-Lage 2 ist eine Lage, die aus einem
weichen elastischen Material gebildet ist, wie z. B. Gummi, Elastomer
oder weiches Harz, und eine konstante Dicke aufweist. Die Elastisches-Bauglied-Lage 2 hat
eine Form äquivalent zu derjenigen des unteren Gehäuses 1.
Ein Membranabschnitt 2a ist an einem Mittelabschnitt der
Elastisches-Bauglied-Lage 2 vorgesehen. Ein Ventilabschnitt 2b eines
Einlassseitenprüfventils und ein Ventilabschnitt 2c eines
Auslassseitenprüfventils sind einstückig mit der
Elastisches-Bauglied-Lage 2 auf beiden Seiten des Membranabschnitts 2a gebildet. Die
Ventilabschnitte 2b und 2c sind durch Stanzen oder
Schneiden in zungenartige Formen gebildet. Das piezoelektrische
Betätigungselement 3 ist oberflächengebondet
auf eine Rückoberfläche (untere Oberfläche)
des Membranabschnitts 2a. Somit ist eine Rückoberfläche
der Elastisches-Bauglied-Lage 2, die nicht durch den Membranabschnitt 2a und
die Ventilabschnitte 2b und 2c besetzt ist, auf
eine obere Oberfläche des unteren Gehäuses 1 gebondet.
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Wenn
die Elastisches-Bauglied-Lage 2 an das untere Gehäuse 1 gebondet
ist, entsprechen die Ventilabschnitte 2b und 2c jeweils
der Einlassdurchgangausnehmung 1d und der Auslassraumausnehmung 1e.
Außerdem sind Schnittabschnitte 2d und 2e an
Abschnitten der Elastisches-Bauglied-Lage 2 gebildet, wobei
die Abschnitte jeweils dem Einlasstor 1f und dem Entladetor 1g des
unteren Gehäuses 1 entsprechen.
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Das
piezoelektrische Betätigungselement 3 hat eine
rechteckige Form und ist in der Ausnehmung 1a untergebracht.
Die Außenabmessung des piezoelektrischen Betätigungselements 3 ist
kleiner als die Innenabmessung der Ausnehmung 1a. Wenn
das piezoelektrische Betätigungselement 3 in der
Ausnehmung 1a untergebracht ist, sind vorbestimmte Zwischenräume 6 (siehe 5)
zwischen vier Seiten des piezoelektrischen Betätigungselements 3 und den
inneren Umfangsrändern der Ausnehmung 1a vorgesehen.
Die Zwischenräume 6 entsprechen Rändern
des Membranabschnitts 2a. Der Membranabschnitt 2a kann
an den Rändern ausreichend ausgedehnt werden, wenn das
piezoelektrische Betätigungselement 3 eine Biegeverschiebung
erfährt. Das piezoelektrische Betätigungselement 3 dieses
Ausführungsbeispiels ist ein bekanntes keramisches piezoelektrisches
Element vom bimorphen Typ. Das piezoelektrische Betätigungselement 3 weist
Elektroden an einer unteren Oberfläche desselben auf. Die beiden
Anschlussleitungen 3a sind mit den Elektroden verbunden.
Durch Anlegen eines Wechselsignals (Rechteckwellensignals oder Wechselsignals) an
die Anschlussleitungen 3a kann das piezoelektrische Betätigungselement 3 eine
Biegevibration in einem Biegemodus erfahren, in dem beide Endabschnitte
in einer longitudinalen Richtung (zwei kurze Seiten) des piezoelektrischen
Betätigungselements 3 als Tragepunkte dienen,
und ein Mittelabschnitt in der longitudinalen Richtung desselben
als ein maximaler Verschiebungspunkt dient. Alternativ kann das
piezoelektrische Betätigungselement 3 ein piezoelektrisches
Betätigungselement vom unimorphen Typ sein.
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Das
obere Gehäuse 4 ist aus einem ähnlichen
Material wie das des unteren Gehäuses 1 in einer
rechteckigen Plattenform gebildet. Eine rechteckige Pumpenkammerausnehmung 4a,
eine Einlassraumausnehmung 4b und eine Auslassdurchgangausnehmung 4c sind
fortlaufend an einer unteren Oberfläche des oberen Gehäuses 4 gebildet.
Die Pumpenkammerausnehmung 4a kommuniziert mit der Einlassraumausnehmung 4b über
einen Kommunikationsdurchgang 4d. Die Pumpenkammerausnehmung 4a kommuniziert
mit der Auslassdurchgangausnehmung 4c über einen
Kommunikationsdurchgang 4e. Wenn die untere Oberfläche
des oberen Gehäuses 4 auf die obere Oberfläche
des Elastisches-Bauglied-Lage 2 gebondet ist, entspricht
die Pumpenkammerausnehmung 4a dem Membranabschnitt 2a,
die Einlassraumausnehmung 4b entspricht dem Ventilabschnitt 2b und
der Einlassdurchgangausnehmung 1d, und die Auslassdurchgangausnehmung 4c entspricht
dem Ventilabschnitt 2c und der Auslassraumausnehmung 1e.
Außerdem sind Rillen 4f und 4g getrennt
an Abschnitten des oberen Gehäuses 4 gebildet,
wobei die Abschnitte jeweils dem Einlasstor 1f und dem
Auslasstor 1g des unteren Gehäuses 1 entsprechen.
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Wie
es oben beschrieben ist, werden das untere Gehäuse 1,
die Elastisches-Bauglied-Lage 2 und das obere Gehäuse 4 geschichtet
und gebondet und somit ist die Mikropumpe fertiggestellt. Eine Pumpenkammer 5 ist
zwischen der Ausnehmung 4a und dem Membranabschnitt 2a definiert.
Ein Einlassseitenprüfventil 6 ist durch den Ventilabschnitt 2b,
die Einlassdurchgangausnehmung 1d und die Einlassraumausnehmung 4b definiert.
Ein Auslassseitenprüfventil 7 ist durch den Ventilabschnitt 2c,
die Auslassraumausnehmung 1e und die Auslassdurchgangausnehmung 4c (siehe 4)
definiert. Eine Flüssigkeitsversorgungsröhre 8 und
eine Flüssigkeitsauslassröhre 9 (siehe 1)
sind jeweils mit dem Einlasstor 1f und dem Auslasstor 1g verbunden.
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Wenn
eine Wechselspannung (Rechteckwellenspannung oder Wechselspannung)
an das piezoelektrische Betätigungselement 3 angelegt
wird, erfährt das piezoelektrische Betätigungs element 3 eine Biegedeformation,
während beide Endabschnitte in der longitudinalen Richtung
des piezoelektrischen Betätigungselements 3 als
Tragepunkte dienen, und ein Mittelabschnitt in der longitudinalen
Richtung desselben als ein maximaler Verschiebungspunkt dient, und
dann wird der Membranabschnitt 3a durch die Biegedeformation
des piezoelektrischen Betätigungselements 3 deformiert.
Folglich kann das Volumen der Pumpenkammer 5 geändert
werden. Teil (a) von 6 stellt einen sich nach oben
ausbeulenden Zustand des Betätigungselements 3 dar,
und Teil (b) stellt einen sich nach unten ausbeulenden Zustand des
Betätigungselements 3 dar. Der Einlassseitenventilabschnitt 2b schließt
die Einlassdurchgangausnehmung 1d, wenn das Volumen der
Pumpenkammer 5 verringert ist, und ist offen, wenn das
Volumen der Pumpenkammer erhöht ist, um Fluid in die Pumpenkammer 5 zu
führen. Der Auslassseitenventilabschnitt 2c schließt
die Auslassdurchgangausnehmung 4c, wenn das Volumen der
Pumpenkammer 5 erhöht ist, und ist offen, wenn
das Volumen der Pumpenkammer 5 verringert ist, um das Fluid
von der Pumpenkammer 5 auszulassen. Wie es oben beschrieben
ist, kann das Fluid durch Antreiben des piezoelektrischen Betätigungselements 3 effizient
befördert werden über das Einlassseitenprüfventil 6,
die Pumpenkammer 5 und dann das Auslassseitenprüfventil 7.
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Das
Einlassseitenprüfventil 6 und das Auslassseitenprüfventil 7 sind
an gegenüberliegenden Positionen vorgesehen, wobei die
Pumpenkammer 5 zwischen denselben angeordnet ist. Die Flüssigkeit, die
von dem Einlassseitenprüfventil 6 eintritt, kann über
die Pumpenkammer 5, in einer Vorwärtsrichtung zu
dem Auslassseitenprüfventil 7 befördert
werden, und die Flüssigkeit fließt nicht in einer
Rückwärtsrichtung in der Pumpenkammer 5.
Somit ist der Fluidverlust gering. Selbst wenn Gas in die Pumpenkammer 5 eindringt,
wird das Gas durch den Fluss der Flüssigkeit über
das Einlassseitenprüfventil 6, die Pumpenkammer 5 und
dann das Auslassseitenprüfventil 7 in der Vorwärtsrichtung
hinausgedrückt. Somit bleibt das Gas nicht in der Pumpenkammer 5.
Da bei diesem Ausführungsbeispiel das Einlassseitenprüfventil 6 und
das Auslassseitenprüfventil 7 jeweils an den Positionen
nahe den gegenüberliegenden kurzen Seiten des piezoelektrischen
Betätigungselements 3 angeordnet sind, sind die
Prüfventile an Positionen am weitesten entfernt von dem
maximalen Verschiebungspunkt des Betätigungselements 3 angeordnet.
Somit kann Flattern der Ventile während des schnellen Flusses
des Fluids verhindert werden.
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Zweites Ausführungsbeispiel
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7 bis 10 stellen
eine Mikropumpe gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung dar. Eine Mikropumpe P2 dieses Ausführungsbeispiels
umfasst eine Fünfschichtstruktur aus einer unteren Platte 10,
einer ersten Zwischenschicht 11, einer Elastisches-Bauglied-Lage 12,
einer zweiten Zwischenschicht 13 und einer oberen Platte 14.
Diese Komponenten sind gegenseitig geschichtet und gebondet.
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Die
untere Platte 10 ist eine flache Platte, die beispielsweise
aus einer Glasepoxidplatte, einer Harzplatte oder einer Metallplatte
gebildet ist. Zwei Tore 10a und eine Mehrzahl von Entlüftungslöchern 10b sind
an der unteren Platte 10 gebildet. Anschlussleitungen 15a eines
piezoelektrischen Betätigungselements 15 werden
von den Toren 10a geleitet. Die Entlüftungslöcher 10b bewirken,
dass die Vibrationskammer Luft ausgesetzt wird. Die Entlüftungslöcher 10b können
nur bei Bedarf vorgesehen sein. Zwei Paare von Befestigungsstücken 10c mit Schraubeneinfügungslöchern 10d sind
einstückig an beiden Seitenabschnitten der unteren Platte 10 gebildet.
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Die
erste Zwischenschicht 11 ist eine flache Platte, die aus
einem ähnlichen Material gebildet ist wie diejenige der
unteren Platte 10, in einer ähnlichen äußeren
Form wie diejenige der unteren Platte 10. Ein rechteckiges
Vibrati onskammerloch 11a zum Definieren der Vibrationskammer
ist an einem Mittelabschnitt der ersten Zwischenschicht 11 gebildet.
Ein Einlassdurchgangsloch 11b und ein Auslassraumloch 11c sind
getrennt von dem Vibrationskammerloch r gebildet. Zwei
Paare von Befestigungsstücken 11d mit Schraubeneinfügungslöchern 11e sind
einstückig an beiden Seitenabschnitten der ersten Zwischenschicht 11 an
Positionen gebildet, die den Positionen der Befestigungsstücke 10c der
unteren Platte 10 entsprechen.
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Die
Elastisches-Bauglied-Lage 12 ist ähnlich wie die
Elastisches-Bauglied-Lage 2 des ersten Ausführungsbeispiels,
außer dass die Elastische-Bauglied-Lage 12 Befestigungsstücke 12f an
vier Positionen an beiden Seitenabschnitten derselben aufweist.
Die Elastisches-Bauglied-Lage 12 weist einen Membranabschnitt 12a,
einen Einlassseitenventilabschnitt 12b, einen Auslassseitenventilabschnitt 12c und
Schnittabschnitte 12d und 12e auf. Die Befestigungsstücke 12f weisen
Schraubeneinfügungslöcher 12g auf. Das
piezoelektrische Betätigungselement 15, das ähnlich
ist wie dasjenige des ersten Ausführungsbeispiels, ist
auf einer Rückoberfläche (untere Oberfläche)
des Membranabschnitts 12a befestigt.
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Die
zweite Zwischenschicht 13 ist eine flache Platte, die aus
einem ähnlichen Material gebildet ist wie das der unteren
Platte 10, in einer ähnlichen äußeren
Form wie die der unteren Platte 10. Ein rechteckiges Pumpenkammerloch 13a ist
an einem Mittelabschnitt der zweiten Zwischenschicht 13 gebildet. Ein
Einlassraumloch 13b und eine Auslassdurchgangsloch 13c sind
an beiden Endabschnitten in einer longitudinalen Richtung der zweiten
Zwischenschicht 13 gebildet, um mit dem Pumpenkammerloch 13a zu
kommunizieren. Zwei Paare von Befestigungsstücken 13d mit
Schraubeneinfügungslöchern 13e sind einstückig
an beiden Seitenabschnitten der zweiten Zwischenschicht 13 gebildet.
-
Die
obere Platte 14 ist eine flache Platte, die eine ähnliche äußere
Form aufweist wie diejenige der untere Platte 10. Zwei
Paare von Befestigungsstücken 14a mit Schraubeneinfügungslöchern 14b sind einstückig
an beiden Seitenabschnitten der oberen Platte 14 gebildet.
Durch Bonden der oberen Platte 14 auf eine obere Oberfläche
der zweiten Zwischenschicht 13 sind eine Pumpenkammer,
ein Einlassdurchgang und ein Auslassdurchgang zwischen der oberen
Platte 14 und der Elastisches-Bauglied-Lage 12 definiert.
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Die
oben beschriebene untere Platte 10, die erste Zwischenschicht 12,
die Elastisches-Bauglied-Lage 12, die zweite Zwischenschicht 13 und
die obere Platte 14 sind geschichtet und gebondet, wodurch
die Mikropumpe P2 definiert wird. Röhren 16 und 17 sind
jeweils mit dem Einlassdurchgang und dem Auslassdurchgang verbunden.
Dann werden Schrauben in die Schraubeneinfügungslöcher
der geschichteten Befestigungsstücke eingefügt
und entsprechend kann die Mikropumpe P2 an einem Gerätekörper
(nicht gezeigt) befestigt werden. Alternativ können, anstatt
der Schrauben, Nieten oder dergleichen in die Schraubeneinfügungslöcher
der Befestigungsstücke eingefügt werden. Als weitere
Alternative können die Befestigungsstücke ausgelassen
werden.
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Wie
es oben beschrieben ist, sind alle Komponenten, die die Mikropumpe
P2 definieren, zweidimensional verarbeitete flache Platten mit konstanter Dicke.
Durch Schichten und Bonden dieser Komponenten kann die Mikropumpe
definiert werden, ohne eine Form zu benötigen. Folglich
kann die Mikropumpe P2 leicht und unaufwendig mit einer reduzierten Dicke
hergestellt werden. Ein Betrieb der oben beschriebenen Mikropumpe
P2 ist ähnlich wie derjenige der Mikropumpe P1 des ersten
Ausführungsbeispiels. Somit ist die redundante Beschreibung
ausgelassen.
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Drittes Ausführungsbeispiel
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11 stellt
eine Mikropumpe gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung dar. Bei diesem Ausführungsbeispiels
ist die Länge eines Kommunikationsdurchgangs 22,
der eine Pumpenkammer 20 mit einem Prüfventil 21 verbindet,
größer als eine Breite desselben. Hierin hat der
Kommunikationsdurchgang 22 eine kurbelartige Form. Die
Pumpenkammer 20 ist zwischen einer Elastisches-Bauglied-Lage 23 und
einem oberen Gehäuse 24 definiert. Eine Vibrationskammer 26 ist
zwischen der Elastisches-Bauglied-Lage 23 und einem unteren
Gehäuse 25 definiert. Ein piezoelektrisches Betätigungselement 27 ist
in der Vibrationskammer 26 untergebracht. Das piezoelektrische
Betätigungselement 27 ist an eine Rückoberfläche
der Elastisches-Bauglied-Lage 23 gebondet. Ein Membranabschnitt 23a ist
an der Elastisches-Bauglied-Lage 23 an einem Abschnitt
vorgesehen, der der Pumpenkammer 20 entspricht. Ein Ventilabschnitt 23b ist durch
Stanzen oder Schneiden an der Elastisches-Bauglied-Lage 23 an
einem Abschnitt gebildet, der dem Prüfventil 21 entspricht.
Das Bezugszeichen 23c ist ein gelochter Abschnitt. Der
Ventilabschnitt 23b schließt einen Einlass- oder
Auslassflussdurchgang 28. Wenn das Volumen der Pumpenkammer 20 erhöht
oder verringert ist, öffnet der Ventilabschnitt 23b den
Flussdurchgang 28. 12 stellt
einen Kommunikationsdurchgang 22 mit einer geraden Form
dar oder den Kommunikationsdurchgang 22 mit einer Länge,
die äquivalent zu oder kleiner als eine Breite desselben
ist.
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In
dem Umfang der Pumpenkammer 20 ist die Elastisches-Bauglied-Lage 23 zwischen
dem oberem und dem unteren Gehäuse 24 und 25 angeordnet,
und somit liefert die Elastisches-Bauglied-Lage 23 einen
Abdichtungseffekt. Ein Abschnitt der Elastisches-Bauglied-Lage 23,
der dem Kommunikationsdurchgang 22 entspricht, der die
Pumpenkammer 20 mit dem Prüfventil 21 verbindet,
ist jedoch nicht durch das obere und das untere Gehäuse 24 und 25 umschlossen.
Das heißt, eine Wandoberfläche ist nur an einer
Seite des Elastisches-Bauglied-Lage 23 vorgesehen. Somit
muss Flüssigkeit durch eine Bindungskraft der Elastisches-Bauglied-Lage 23 und
des unteren Gehäuses 25 daran gehindert werden,
auszutreten. In einem Fall, wo der Kommunikationsdurchgang 22 im
Wesentlichen gerade ist und eine im Wesentlichen äquivalente
Länge und Breite aufweist, wie es in 12 gezeigt
ist, kann der Kommunikationsdurchgangsabschnitt der Elastisches-Bauglied-Lage 23 von
dem unterem Gehäuse 25 getrennt werden, wie es
in 12 in Teil (b) durch eine gestrichelte Linie angezeigt
ist, und somit kann Flüssigkeit von dem Abschnitt 23c der
Elastisches-Bauglied-Lage 23, der durch Stanzen oder Schneiden
verarbeitet wurde, zu der Vibrationskammer 26 austreten,
als Folge einer Druckänderung der Pumpenkammer 20 während
einer Dauernutzung. Wenn im Gegensatz dazu der Kommunikationsdurchgang 22 eine
kurbelartige Form hat, wie es in 11 gezeigt
ist, ist ein vorstehender Abschnitt 24a vorgesehen, der
sich von dem oberen Gehäuse 24 erstreckt, und
somit kann die Elastisches-Bauglied-Lage 23 zwischen dem
vorstehenden Abschnitt 24a und dem unteren Gehäuse 25 angeordnet
sein. Folglich kann die Flüssigkeit zuverlässig
daran gehindert werden, auszutreten. Um eine Struktur zu schaffen,
in der der Kommunikationsdurchgang 22 eine Länge
aufweist, die größer ist als eine Breite desselben,
muss die Form des Kommunikationsdurchgangs 22 nicht kurbelartig
sein, und der Kommunikationsdurchgang 22 kann ein gebogener Durchgang
sein, wie z. B. ein S-förmiger Durchgang oder ein U-förmiger
Durchgang.
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Viertes Ausführungsbeispiel
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In
den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen ist die Höhe
der Vibrationskammer ausreichend größer als die
Dicke des piezoelektrischen Betätigungselements, und selbst
wenn das Betätigungselement um einen maximalen Abstand
zu der Vibrationskammer verschoben ist, kontaktiert das Betäti gungselement
die untere Oberfläche der Vibrationskammer nicht. Die Rückoberfläche
des Betätigungselements 3 kann jedoch mit einer
unteren Oberfläche 1a1 einer
Vibrationskammer 1a in Kontakt kommen, wie es in 13 gezeigt
ist. In diesem Fall wird die Rückoberfläche des
Betätigungselements 3 durch die untere Oberfläche 1a1 der Vibrationskammer 1a getragen.
Folglich kann das Volumen der Pumpenkammer 5 verringert
werden, unabhängig von der Richtung, in die das Betätigungselement 3 verschoben
wird, und außerdem kann die Dicke der Mikropumpe reduziert
werden. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind gleiche Komponenten
wie in dem ersten Ausführungsbeispiel mit den gleichen
Bezugszeichen bezeichnet.
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Fünftes Ausführungsbeispiel
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Mit
Bezugnahme auf 14 können Trageabschnitte 1a2 an der unteren Oberfläche 1a1 der Vibrationskammer 1a vorgesehen
sein, um Rückoberflächen beider Endabschnitte
des Betätigungselements 3 zu tragen. Außerdem
kann ein Raum 1a3 für eine
Biegedeformation des Betätigungselements 3 auf
einer Rückoberflächenseite eines Mittelabschnitts
des Betätigungselements 3 vorgesehen sein. Außerdem
kann in diesem Fall die Verschiebung des Betätigungselements 3 effizient übertragen werden
zu einer Membran 2, ähnlich wie 13.
Somit kann die Dicke der Mikropumpe reduziert werden. Wenn das Betätigungselement 3 eine
rechteckige Form aufweist, kann eine große Volumenverschiebung
erhalten werden, falls das Betätigungselement 3 eine
Biegeverschiebung in einem Modus erfährt, in dem beide
Endabschnitte in der longitudinalen Richtung (zwei kurze Seiten)
des Betätigungselements 3 als Tragepunkte dienen.
Wenn somit beide Endabschnitte in der longitudinalen Richtung des
rechteckigen Betätigungselements 3 durch die Trageabschnitte 1a2 getragen
werden, kann die Volumenverschiebung der Pumpenkammer 5 im
Vergleich zu 13 weiter erhöht werden.
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Gleiche
Komponenten wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel sind
mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
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Bei
den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen wird das rechteckige
piezoelektrische Betätigungselement verwendet. Es kann
jedoch ein quadratisches oder rundes piezoelektrisches Betätigungselement
verwendet werden. Es wird angemerkt, dass das rechteckige piezoelektrische
Betätigungselement eine größere Volumenverschiebung erreichen
kann als diejenige des quadratischen oder runden piezoelektrischen
Betätigungselements. Somit kann das rechteckige piezoelektrische
Betätigungselement eine kleine und äußerst
effiziente Mikropumpe realisieren.
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Obwohl
bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil einander gegenüberliegend
vorgesehen sind, mit der Pumpenkammer dazwischen angeordnet, können
das Einlassseitenprüfventil und das Auslassseitenprüfventil
benachbart zueinander auf einer Seite der Pumpenkammer vorgesehen
sein. Obwohl das Einlassseitenprüfventil und das Auslassseitenprüfventil
auf beiden Seiten in der longitudinalen Richtung der rechteckigen
Pumpenkammer vorgesehen sind, können das Einlassseitenprüfventil
und das Auslassseitenprüfventil außerdem auf beiden
Seiten in einer Breitenrichtung angeordnet sein.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine Mikropumpe gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht, die die Mikropumpe
in 1 zeigt.
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3 ist
eine Draufsicht, die die Mikropumpe in 1 zeigt.
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4 ist
ein Querschnitt entlang der Linie IV-IV in 3.
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5 ist
ein Querschnitt entlang der Linie V-V in 3.
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6 stellt
Querschnitte dar, die schematisch einen Betrieb der Mikropumpe in 1 zeigen, wobei
Teil (a) einen sich nach oben ausbeulenden Zustand des piezoelektrischen
Betätigungselements zeigt, und Teil (b) einen sich nach
unten ausbeulenden Zustand desselben zeigt.
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7 ist
eine Draufsicht, die eine Mikropumpe gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
zeigt.
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8 ist
ein Querschnitt entlang der Linie VIII-VIII in 7.
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9 ist
ein Querschnitt entlang der Linie XI-XI in 7.
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10 ist
eine Draufsicht, die die Mikropumpe in 7 mit jeweiligen
Komponenten derselben auseinandergezogen zeigt.
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11 stellt
eine Mikropumpe gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung dar, wobei Teil (a) ein fragmentarischer
Querschnitt eines oberen Gehäuses ist, und Teil (b) ein Querschnitt
entlang der Linie A-A ist.
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12 stellt
eine Mikropumpe gemäß einem Vergleichsbeispiel
des dritten Ausführungsbeispiels in 11 dar,
wobei Teil (a) ein fragmentarischer Querschnitt eines oberen Gehäuses
ist, und Teil (b) ein Querschnitt entlang der Linie B-B ist.
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13 ist
ein Querschnitt, der eine Mikropumpe gemäß einem
vierten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
zeigt.
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14 ist
ein Querschnitt, der eine Mikropumpe gemäß einem
fünften Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
zeigt.
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Zusammenfassung
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[Aufgabe]
Das Schaffen einer dünnen Mikropumpe, die eine einfache
Struktur mit einer reduzierten Anzahl von Komponenten aufweist.
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[Lösungseinrichtung]
Ein Membranabschnitt 2a, ein Ventilabschnitt 2b eines
Einlassseitenprüfventils und ein Ventilabschnitt 2c eines
Auslassseitenprüfventils sind in einer einzelnen Elastisches-Bauglied-Lage 2 gebildet.
Ein piezoelektrisches Betätigungselement 3 ist
auf einer Rückoberfläche des Membranabschnitts 2a befestigt.
Die Elastisches-Bauglied-Lage 2 ist zwischen einem ersten Gehäusebauglied 1 und
einem zweiten Gehäusebauglied 4 angeordnet, wobei
die Elastisches-Bauglied-Lage 2 eine Abdichtung zwischen
beiden Gehäusebaugliedern liefert. Eine Vibrationskammer 1a ist
zwischen der Elastisches-Bauglied-Lage 2 und dem ersten
Gehäusebauglied 1 definiert, wobei die Vibrationskammer 1a das
photoelektrische Betätigungselement 3 unterbringt.
Eine Pumpenkammer 5 ist zwischen der Elastisches-Bauglied-Lage 2 und dem
zweiten Gehäusebauglied 4 definiert.
-
- P1,
P2
- Mikropumpe
- 1
- unteres
Gehäuse (erstes Gehäusebauglied)
- 1a
- Vibrationskammer
(Ausnehmung)
- 2
- Elastisches-Bauglied-Lage
- 2a
- Membranabschnitt
- 2b,
2c
- Ventilabschnitt
- 3
- piezoelektrisches
Betätigungselement
- 4
- oberes
Gehäuse (zweites Gehäusebauglied)
- 5
- Pumpenkammer
- 6
- Einlassseitenprüfventil
- 7
- Auslassseitenprüfventil
- 10
- untere
Platte
- 11
- erste
Zwischenschicht
- 12
- Elastisches-Bauglied-Lage
- 13
- zweite
Zwischenschicht
- 14
- obere
Platte
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2003-214349 [0005]
- - JP 2005-337068 [0005]
- - JP 61-36787 [0005]