DE1085969B - Verfahren und Vorrichtung zur Oberflaechenbehandlung von Halbleiterbauelementen mit mehreren Elektroden und mindestens einem pn-UEbergang - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Oberflaechenbehandlung von Halbleiterbauelementen mit mehreren Elektroden und mindestens einem pn-UEbergangInfo
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Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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| GB861624A (en) | 1961-02-22 |
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