DE1078403B - Verfahren zur Speisung eines Verdampfers fuer die Herstellung von Metallueberzuegen - Google Patents

Verfahren zur Speisung eines Verdampfers fuer die Herstellung von Metallueberzuegen

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DE1078403B
DE1078403B DEST8961A DEST008961A DE1078403B DE 1078403 B DE1078403 B DE 1078403B DE ST8961 A DEST8961 A DE ST8961A DE ST008961 A DEST008961 A DE ST008961A DE 1078403 B DE1078403 B DE 1078403B
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Germany
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DEST8961A
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Rer Nat Gerhard W H Helwig Dr
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Alcatel Lucent Deutschland AG
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Standard Elektrik Lorenz AG
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur fortlaufenden Speisung von Verdampfern, wie sie beispielsweise beim thermischen Verdampfen von Metallen im Vakuum zur Herstellung von Metallüberzügen, insbesondere von metallisierten Bändern für Kondensatoren, benutzt werden.
Es ist bereits bekannt, einem Verdampfer der angegebenen Art das Material fortlaufend in Form eines Drahtes oder einer Wendel zuzuführen. Die bekannten Maßnahmen sind aber in erster Linie dazu gedacht, eine Zerstörung des Materials des Verdampfers durch Bildung von Legierungen zu vermeiden, und haben den Nachteil, daß eine praktisch nur punktweise Verdampfung des Metalles an der Stelle erfolgt, an welcher der Draht den Heizstab berührt.
Die bekannten Verfahren sind für die Herstellung gleichmäßig starker Überzüge nicht geeignet. Man benötigt aber insbesondere für die Herstellung von Metallüberzügen auf Kondensatordielektriken flächenmäßig wirkende Verdampfer, z. B. Schiffchen, Wannen od. dgl., die sich über die ganze Breite des Kondensatorpapiers erstrecken oder vorzugsweise noch breiter als dieses sind.
Zur Versorgung solcher Verdampfer wird gemäß der Erfindung vorgeschlagen, diesem das Material in Form einer Kette zuzuführen, von der immer das letzte Glied den Verdampfer speist. Die Erfindung bietet verschiedene Vorteile. So trifft die Materialkette, wenn sie frei herabhängt, stets auf die gleiche .gewünschte Stellung des Verdampfers auf. Außerdem kann dieser in seiner vollen Breite gespeist werden, so daß eine Verarmung an Metall an den Enden eines lang ausgedehnten Verdampfers wegen zu langsamen Verfließens des Materials nicht eintreten kann. Ferner ist es von Vorteil, daß die Wärmeableitung über die punktweise Berührung der einzelnen Kettenglieder minimal ist und eine mechanische Beschädigung des bei hoher Temperatur empfindlichen Verdampfers praktisch nicht vorkommen kann. Schließlich ist es günstig, daß das mit einer Kette zugeführte Material mengenmäßig so groß bemessen werden kann, daß nur eine kleine Zuführungsgeschwindigkeit zum Verdampfer notwendig ist.
Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt.
Die Fig. 1 zeigt einen Verdampfer 1, dem das Material, z. B. Aluminium, durch eine Kette 2 in Pfeilrichtung zugeführt wird. Diese Kette besteht aus ineinandergehängten Gliedern 21, 22, 23 usw., von denen jedes einzelne aus einem Draht des zu verdampfenden Materials besteht. Vorzugsweise wird die Kette 2 einer Vorratstrommel 3 über eine den Weitertransport der Kette bewirkende Zahnradrolle 4 entnommen Verfahren
zur Speisung eines Verdampfers
für die Herstellung von Metallüberzügen
Anmelder:
Standard Elektrik Lorenz
Aktiengesellschaft,
Stuttgart-Zuffenhausen,
Hellmuth-Hirth-Str. 42
Dr. rer. nat. Gerhard W. H. Helwig, Fürth (Bay.),
ist als Erfinder genannt worden
und frei herabhängend ohne zusätzliche Leitvorrichtungen dem Verdampfer zugeführt (vgl. Fig. 2), so daß dort Glied für Glied schmilzt. An Stelle einer kontinuierlichen Zuführung kann man jedoch den Verdampfer in Portionen speisen, indem der Vorschub der Kette absatzweise erfolgt, so daß sich das letzte Glied aus dem vorhergehenden aushängt, in die Wanne fällt und schmilzt.
Die Fig. 3 zeigt eine Anordnung, bei der die Glieder der Kette aus Blechstreifen 51, 52, 53 usw. bestehen, die mit Hilfe von Drähten 61, 62, 63 usw. aus dem gleichen Material zusammengehängt sind. Auch hier kann die Versorgung des Verdampfers kontinuierlich oder stufenweise erfolgen.
Im Sinne der Erfindung liegt es auch, die Zuführung des Materials zum Verdampfer mit einer Temperaturregelung zu koppeln, um z. B. beim Aufnehmen eines Gliedes der Kette durch den Verdampfer eine kurzzeitige Temperaturerhöhung zu bewirken, die so lange aufrechtzuerhalten ist, bis das zugeführte Glied der Kette geschmolzen ist.
Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt.

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Speisung eines Verdampfers, insbesondere zur Herstellung von Metallüberzügen im Vakuum, vorzugsweise für die Herstellung von metallisierten Kondensatordielektriken, bei dem das Material laufend einem Verdampfer zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführung durch eine aus dem zu verdampfenden Material gebildete Kette erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kette von einer Vorratstrommel
909 767/227
über eine Förderrolle abgenommen und frei herabhängend kontinuierlich dem Verdampfer zugeführt wird, so daß dort Glied für Glied abschmilzt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fortbewegung der Kette schrittweise erfolgt, so daß Glied auf Glied in den Verdampfer fällt.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kette aus drahtförmigen Gliedern benutzt wird, die leicht lösbar ineinandergehängt sind.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kette aus leicht lösbar miteinander verbundenen Blechstreifen benutzt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kette benutzt wird, deren Glieder in ihrer Längsausdehnung der wirksamen Länge des Verdampfers entsprechen.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 831 474.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
® «09 767/227 3.
DEST8961A 1954-10-29 1954-10-29 Verfahren zur Speisung eines Verdampfers fuer die Herstellung von Metallueberzuegen Pending DE1078403B (de)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE831474C (de) * 1946-10-01 1952-02-14 Paul Alexander Verfahren sowie Vorrichtung zur Erzeugung metallischer Niederschlaege durch Verdampfen im Vakuum

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE831474C (de) * 1946-10-01 1952-02-14 Paul Alexander Verfahren sowie Vorrichtung zur Erzeugung metallischer Niederschlaege durch Verdampfen im Vakuum

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