DE1067934B - - Google Patents

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DE1067934B DENDAT1067934D DE1067934DA DE1067934B DE 1067934 B DE1067934 B DE 1067934B DE NDAT1067934 D DENDAT1067934 D DE NDAT1067934D DE 1067934D A DE1067934D A DE 1067934DA DE 1067934 B DE1067934 B DE 1067934B
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/265—Contactless testing
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0002451A1 (de) * 1977-12-12 1979-06-27 International Business Machines Corporation Verfahren und Anordnung zur berührungsfreien Messung von Verunreinigungsstellen in Halbleitern

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1012377B (de) * 1955-03-14 1957-07-18 Licentia Gmbh Verfahren zur Messung der Diffusionslaenge in einem Halbleiterkristall

Patent Citations (1)

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