DE1036827B - Verfahren zur Gewinnung von Fluorverbindungen aus fluorhaltigen Rohstoffen, insbesondere aus Fluormineralien - Google Patents

Verfahren zur Gewinnung von Fluorverbindungen aus fluorhaltigen Rohstoffen, insbesondere aus Fluormineralien

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DE1036827B DEB24754A DEB0024754A DE1036827B DE 1036827 B DE1036827 B DE 1036827B DE B24754 A DEB24754 A DE B24754A DE B0024754 A DEB0024754 A DE B0024754A DE 1036827 B DE1036827 B DE 1036827B
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Description

  • Verfahren zur Gewinnung von Fluorverbindungen aus fluorhaltigen Rohstoffen, insbesondere aus Fluormineralien Die Erfindung betrifft die Gewinnung von Fluorverbindungen aus fluorhaltigen Rohstoffen, insbesondere aus Fluormineralien, z. B. Flußspat.
  • Das übliche Verfahren zur Gewinnung von Fluorverbind.ungen aus Flußspat ist das Umsetzen mit Schwefelsäure unter Gewinnung von Fluorwassers,toff und Umsetzung des Calciums zu Gips. Dieses Verfahren ist infolge des Bedarfs an Schwefelsäure. von vornherein nicht optimal, insbesondere auch weil die wertvolle Schwefelsäure als ziemlich unverwendbarer Gips anfällt. Ein weiterer sehr schwerwiegender Nachteil dieser Verfahren ist die Notwendigkeit einer vorherigen kostspieligen Reinigung des Flußspats, der nur in seltenen Fällen als etwa 100°Joiges Material vorliegt. Insbesondere war man darauf bedacht, Kieselsäurebegleitstoffe des Flußspats möglichst vollständig zu entfernnen, um eine möglichst reine, Flußsäure bzw. wäßrige Lösung von Flußsäure zu erhalten.
  • Die Erfin'd'ung weist einen anderen Weg und geht von dem nassen Verfahren ab. Gemäß der Erfindung werden alle diese Nachtexile der bekannten Verfahren vermieden und eine Reihe von Vorteilen, insbesondere der Vorteil erzielt, daß das gesamte Fluor der Beschickung in. Form von Siliciumtetrafluorid in den den Ofen verlassenden Gasen anfällt. Dieser Vorteil ergibt sich bei einem bekannten Vorschlag, der von Fluor, Kieselsäure und gegebenenfalls Tonerde enthaltenden Ausgangsstoffen ausgeht und nach dem sie im elektrischen Ofen geschmolzen werden, nicht, da nach diesem Vorschlag das Fluor in den Gasen in Form von Fluorsilicium und Fluorwasserstoffsäure vorliegt, wobei es dem Zufall überlassen bleibt, in welchen Mengenverhältnissen die beiden Stoffe in den Abgasen vorliegen. Überdies hat die bekannte Arbeitsweise den Nachteil, daß die erhaltenen Gase nicht einheitlich und daher schwer aufzuarbeiten sind.
  • Die Vorteile, werden gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß Fluormineralien mit siliciumhaltigen Stoffen, z. B. Kieselsäure, im elektrischen Ofen geschmolzen werden, und zwar derart, daß die Charge eine solche Menge gebundenes Silicium enthält, da.ß nicht nur das gesamte in der Charge enthaltene, bei der Herstellung der Schmelze ausgetriebene Fluor als Siliciumtetrafluorid gebunden wird, sondern darüber hinaus die übrigen Bestandteile der Beschickung eine Erdalkalisilikatschmelze ergeben, vorzugsweise eine möglichst leichtflüssige Erda,lkalisilikatschmelze, und nach einer bevorzugten Ausführungsform eine ba,-sische Erdalka.lisilikatschmelze, in der außer Erdalkalisilikat noch andere Stoffe vorliegen können, jedoch nicht solche Stoffe:, mindestens nicht in wesentlichen Mengen, die bei der Schmelztemperatur durch Verdampfen das aus dem Ofen gasförmig abziehende Siliciumtetrafluo,rid verunreinigen könnten, wie z. B. Alkali. Die, Menge des Siliciums und die Menge der übrigen Bestandteile der Charge, die gegebenenfalls als Zuschläge beigegeben werden, werden so bemessen, da.ß der Siliciumgehalt die zur Bildung des Siliciumtetrafluorids und der Schlacke notwendige Menge nicht oder nicht wesentlich übersteigt. Die Schlacke -wird in flüssiger Form aus dem elektrischen Schmelzofen abgezogen. Das gasförmig abziehende Siliciumtetrafluorid, das bei Abwesenheit von Wasser in der Beschickung trocken anfällt, wird auf Fluorverbindungen aufgearbeitet, entweder direkt durch Umsetzen oder durch bzw. nach Spalten des Siliciumfluorids zu reinem Fluor bzw. Fluorwasserstoffsäure.
  • Ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens gemäß der Erfindung ist die Möglichkeit der Verwendung der Fluormineralien so wie sie vorliegen, da deren Gehalt an Begleitstoffen, z. B. kieselsauren Begleitstoffen, im '\'erfabren ausgenutzt bzw. durch entsprechende Zuschläge, falls der Kieselsäuregehalt des Ausgangsminerals größer sein sollte, als zur Bindung des Fluors als Siliciumtetrafluorid und Bildung einer Erdalkalisilikatschiacke notwendig ist, ausgeglichen -;erden kann. Wird dabei die Menge der Kieselsäure derart gehalten, da.ß sie gerade zusätzlich für die Bildung einer möglichst leichtflüssigen, z. B. basischen Erdalkalisilikatschlacke hinreicht, so wird dem ele@ktrischen Ofen kein unnötiger Ballast zugeführt, dagegen ein Siliciurnte-trafluo,rid von für die Weiterverarbeitung hinreichender Reinheit erhalten, und andererseits eine Silikatschmelze, die von Fluor frei bzw. praktisch frei ist und leicht aus dein Ofen abgestochen werden kann. Das Vorhandensein von Aluminiumsilikaten und anderen Silikaten bzw. Bestandteilen der Schlacke stört das Verfahren dann nicht, wenn dafür gesorgt wird, daß keine bei der Schmelztemperatur verdampfenden Bestandteile vorliegen und vor allem das Vorhandensein wesentlicher 'Mengen Alkali vermieden wird, da Alkali verdampfen und das Siliciumteirafluorid verunreinigen würde.
  • Nach der Erfindung nämlich soll das gesamte oder der größte Teil des Fluors in Form von Siliciumtetrafluorid in dem Ofen anfallen, da dann - wie gefunden wurde - die Umsetzung dieses Siliciumte.trafluorids zu handelsfähigen Fluorverbindungen ohne wesentliche Umstände und Kosten möglich ist.
  • Die -Beschickung kann in feinkörniger, stückiger und brikettierter Form eingebracht werden, wobei die Beschickung freies Wasser möglichst nicht enthalten soll.
  • Bei dem Vorgehen gemäß der Erfindung wird die Freisetzung von Fluor bzw. Umsetzung zu Siliciumtetrafluorid und dessen Freisetzung leicht und vollständig ermöglicht, wobei diese Freisetzung um so leichter vor sich geht, je dünnflüssiger die Schlacke ist.
  • Die Umsetzung des den Ofen verlassenden Siliciurntetrafluorids, sei es durch Spaltung zu Fluor und dessen Bindung, z. B. zu Fluorwasserstoff, sei es durch Umsetzen direkt zu handelsüblichen wertvollen, in brauchbar reinem Zustand vorliegenden Fluorverbindungen, wie z. B. Natriumfluorid, ist ein weiterer Gegenstand der Erfindung.
  • Bevorzugte Ausführungsformen bezüglich der Ausgangsmaterialien, der Art und Menge der Beschickung bzw. der Beschickungs-Bestandteile, der Form der Beschickung bzw. deren Vorbereitung und des Schmelzverfahrens ergeben sich aus der folgenden Erläuterung des Verfahrens der Erfindung.
  • Die Beschickung kann bestehen aus Flußspat unter Zusatz von Kieselsäure, wobei das Verhältnis von Calcium, Kieselsäure und Fluor etwa gemäß der Gleichung 2 CaF2 + 2 S'02 =-SiF4 + Ca, Si 04 eingestellt wird.
  • Reines Calciumfluorid schmilzt bei etwa 1403° C, während der Schmelzpunkt eines Gemenges von Pseudowollastonit und Trydimit etwa bei 1436° C liegt. Der Schmelzprozeß ist also bei verhältnismäßig niedrigen Temperaturen durchzuführen, wobei maximale Temperaturen zwischen 1450 und 1580° C ermittelt wurden. Zu bedenken ist dabei, daß das Metasilikat sich bei Temperaturen von etwa 1400° C und das Calciumorthosilikat sich bereits bei 1100 bis 1200° C zu bilden beginnt.
  • Die Schmelze enthält zweckmäßig eine geringe Menge Zündkohle. Der Wassergehalt der Schmelze soll gering sein, damit trockenes Siliciumtetrafluorid den Ofen verläßt.
  • Im elektrischen Ofen wird -wiegefunden wurdedie Zersetzung der fluorhaltigen Stoffe, hier des Flußspats, durch die Einwirkung des Lichtbogens begünstigt. Bei einer reinen Induktionsschmelze benötigte die Fluoraustreibung längere Zeit, so daß nach einer bevorzugten Ausführungsform die Spannung so gewählt wird, daß die Lichtbogenwirkung gegenüber der Induktionswirkung begünstigt wird. Vorteilhaft ist es, zunächst zwecks Schmelzens die Induktionswirkung zu begünstigen und dann die Spannung so zu regeln, d.aß die Lichtbogenwirkung überwiegt.
  • Die Atmosphäre im Ofen wird zweckmäßig schwach reduzierend gehalten. Durch Verbrennung von Elektrodenkohle und von zugesetzter Zündkohle sowie infolge der Spaltung von Carbonaten, die im Flußspat vorliegen, stellt sich eine solche schwach, jedoch genügend reduzierende Atmosphäre trotz Zutritt von Luft durch die Elektrodendurchführungen im Ofendeckel und durch die Beschickungsöffnungen auch bei Anlegen eines Unterdrucks ein.
  • Das Ofenfutter des Elektroofens besteht insbesondere aus Kohlefutter.
  • Bei dem Schmelzen gemäß der Erfindung tritt eine Spaltung des Fluorminerals, z. B. des Flußspats, in Fluor einerseits, das sich mit Silicium zu Siliciumtetrafluorid verbindet, das als heißer Gasstrom aus dem Ofen abgezogen wird, und Calcium andererseits ein, das wegen seines niedrigen Schmelzpunktes (etwa 700° C) den Prozeß begünstigt und sich mit Siliciumoxyd zu Kalksilikat umsetzt.
  • Nach einer be-#-orzugten Ausführungsform wird die Temperatur des Schmelzverfahrens so niedrig gehalten, daß ein geringer Prozentsatz Fluor, z. B. 2%, in der Schlacke verbleibt. Zwar ist dann die Ausbeute an Fluor in Form von Siliciumtetrafluorid naturgemäß nicht l00o/oig, jedoch wird der Energiebedarf des Verfahrens bei einem solchen Vorgehen derart verringert, daß sich in vielen Fällen ein Belassen einiger Prozente Fluor in der flüssig abstechbaren Schlacke empfiehlt. In vielen Fällen stört der Fluorgehalt der Schlacke nicht, z. B. wenn diese zur Herstellung von Zement verwendet wird.
  • Aus dem Ofen wird ein. Gasstrom abgesaugt, vorzugsweise durch einen nachgeschalteten Ventilator, der zwecks Steuerung des Soges zur Vermeidung des Einsaugens einer zu großen Sauerstoffmenge mit einem Regelgetriebe, gesteuert vom Elektrodenregulierwiderstand, versehen ist; der Gasstrom enthält neben gasförmigem. Siliciumtetrafluorid noch Kohlensäure, jedoch, da die Charge trocken eingebracht wird, kein Wasser.
  • Die Aufarbeitung dieses gasförmigen Siliciumtetrafluorids ist auf verschiedene Weise möglich.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden hinter dem. Gasabzug des Ofens zwei Reaktionstürme hintereinandergeschaltet. Im ersten Turm läuft z. B. eine wäßrige Tonaufschlämmung um. Der A1203 Gehalt der Tonaufschlämmung geht durch Umsetzung mit Si F4 als A1 F3 in Lösung. Die Lösung wird von Zeit zu Zeit abgezogen. und die wäßrige Tonaufschlämmung laufend ergänzt. Die A1 F3 Lösung wird warm abfiltriert und entweder eingeengt oder z. B. durch Zuschlag von Ale 03 ausgefällt.
  • Das feuchte Restgas wird in den zweiten Turm gesaugt, in dem z. B. eine Sodalösung umläuft; im Gegensatz zu denn ersten Turm geht das Produkt nicht in Lösung, sondern wird ausgefällt, z. B. als Natriumsilikofluorid oder Natriumfluorid. Das Produkt wird aus dem Turm am Boden abgezogen und die Alkalilösung laufend ersetzt.
  • Das aus dem zweiten Turm austretende Restgas kann gegebenenfalls ins Freie übergeführt werden, da es keine schädlichen Bestandteile mehr erhält.
  • Soll Fluonvasserstoff gewonnen werden, so kann die Spaltung des Si F4 in dem heißen Gasstrom durch Einwirkenlassen von Trockendampf erfolgen. Man erhält daher neben Fluorwasserstoff aktive, ausgefällte Kieselsäure.
  • Bei Einwirken von Wasserstoff verläuft die, Reaktion konzentrierter, da sich kein bzw. nur wenig Wasser bilden kann.
  • In beiden. Fällen muß immer vom Gasstrom mitgerissenes SiOz nachträglich entfernt werden.
  • Mit besonderem Vorteil wird die Spaltung des SiF4-Gases durch Einwirkenlassen eines Gases bewirkt. das keine Kieselsäure ausfällt, so da.ß eine Oxydierung von bei der Spaltung frei werdendem Si nicht notwendig ist. Bevorzugte Vertreter solcher Gase sind Kohlenwasserstoffe, z. B. Methan.
  • Läßt man auf Si F4 Methan (C H4) einwirken, so wird SiF4 etwa nach folgender Gleichung umgesetzt: Si F4+CH4=4HF+SiC.
  • Wird eine Mischung von Siliciumtetra.fluorid und Methan im Verhältnis der obigen Formel durch auf Rotglut erhitzte Retorten, z. B. Gra,phitretorten, insbesondere durch drei hintereinandergeschaltete, Retorten von 900 mm Länge und 150 mm lichter Weite, bei vermindertem Druck geführt, so setzen sich durch die obige Umsetzung gebildete Siliciumcarbi-dkristalle an der Retortenwandung ab, insbesondere wenn die Retorten mit Siliciumcarb.id ausgekleidet sind. Der Fluorwasserstoff kann dabei durch Vorlegen von Alkali gewonnen und gemessen werden. Außer dein Aufwachsen von Siliciumcarbid auf den Kristallen der Retortenauskleidung waren bei Einhalten der obigen Verhältnisse Abscheidungen von Siliciumcarbid in amorpher Form zu beobachten. Bei einem t`berschuß von Methan war außerdem eine Graphitabsetzung zu beobachten.
  • Der erhaltene Fluorwasserstoff war praktisch frei von Silicium.
  • Ein bevorzugter Vorschlag der Erfindung geht also dahin, das Siliciumtetrafluorid enthaltende Gas zusammen mit Methan durch Retorten, z. B. Graphitretorten oder mit Silic:iumca.rbid ausgekleidete Retorten, zu leiten unter Gewinnung von Siliciumca.rbid einerseits und von silic.iumfreiem Fluorwasserstoff andererseits.
  • Das folgende Ausführungsbeispiel möge das Verfahren der Erfindung weiter erläutern.
  • Die Beschickung war zusammengesetzt aus:
    a) kleinkörnigem Flußspat mit 80°/o Ca-F,>
    (Rest praktisch Si 02) . . . . . . . . . . . . . . . . 100-01,-
    b) Ouarzit, rein 999/o Si 02, kleinkörnig .. 300 kg
    zusammen .... 1300 kg
    Der vermischten trockenen Beschickung wurden 20 kg Zündkohle zugesetzt und das Gemenge durch eine Beschickungsschleuse dem Ofen zugeführt.
  • Das Ofenfutter des d.reipha:sigen Elektroofens bestand aus einem gebrannten Kohlefutter. Es können auch fertige Iiohlesteine verwendet werden. Der Ofendeckel aus gemauerten Magnesitsteinen in Eisenfassung besaß drei Durchführungen für die Elektroden und eine vierte für die Beschickungsschleuse. Elektroden und Beschickungsschleuse wurden durch. bronzene Kühlringe mit Wasserdurchleitung gekühlt. Der Ofen war geerdet. Die Elektrodenspannung betrug 75 Volt. Der Energieaufwand bei einer provisorisch hergerichteten Einheit von 750 kVA und kontinuierlichem Betrieb betrug bezogen auf 1300 kg Einsatzgewicht . . . . . . . . . . . . . . 970 kWh 1000 kg Charge demgemäß ....... rd. 750 kWh bezogen auf 1000 kg S i F4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . rd. 1950 kWh 1000 kg F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . rd. 2680 kWh Der Elektrodenverbrauch betrug 10 kg/t Durchsatz, bei entsprechend bemessenen Graphitelektroden etwa 8 kg. Die maximale Temperatur der Schlacke beim Ofenaustritt wurde pyrometrisch mit 1530° C gemessen. Die Temperatur der Ofengase 3 m hinter dem wassergekühlten Gasaustritt 1),etrug.710° C.
  • Während des Schmelzens wurden in die Gasphase übergeführt: 500 kg Si F4, 117 kg C OZ (gebildet aus 12 kg Kohleelektroden und aus der Zündkohle).
  • An Schlacke wurden erhalten: 770 kg einer Schlacke folgender Zusammensetzung: CaO 68,559/o, MgO 0,521/o, Ba 0 0,93%, S i 02 25"481/o, A12 03 1,16%. F = 2,10%.
  • Die heißen Gase wurden durch zwei Reaktionstürme geleitet. Im ersten Reaktionsturm lief eine wäßrige Suspension, bestehend. aus 7 cbm Wasser mit 600 kg Ton folgender Zusammensetzung, um Geglühter Ton A12 O, ......................... 43% Fee 03 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0,531/0 Alkalien .... . .................. 1.209/o 0,3711/o Ca 0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. ... 0.24% mg 0 .......................... 0,119/o P2 05 ................. ........ 0,00% Si O, .......................... 54,20% An Lösung wurden erhalten 5000 1 mit einem Gehalt an F = 54 g/l, A12/03 = 40 g/1.
  • Die Lösung wurde mit Tonerdehydrat neutralisiert, wobei eine Fluora,luminiumverb-indung in Gel-Form ausgefällt wurde.
  • Im zweiten Reaktionsturm lief eine wäßrige Lösung, bestehend aus 8 cbm Wasser mit 850 kg Na:.. C 03 # 1 O H2 O, um. Aus dem abgezogenen filtrierten und ausgewaschenen Niederschlag wurden erhalten: 182 kg NaF mit 2,849/o Si 02.
  • Die Restlösungen und Mutterlaugen können den Reaktionstürmen wieder zugeführt werden, so daß eine besondere Aufarbeitung nicht erforderlich ist.
  • Beide Reaktionstürme waren mit gebrannten, glasierten Klinkerhalbsteinen ausgemauert. Das Gaszuführungsrohr aus dem Ofen und die untere Zone des ersten Turms waren mit Carborundumsteinen ausgemauert. Das Gaszuführungsrohr war von außen mit Wasserkühlung seines Stahlmantels versehen.
  • Die Pumpen für das Umpumpen der Lösungen bzw. Flüssigkeiten für die Reaktionstürme waren stopfbüchslose, gußeiserne Pumpen.
  • Bei einem anderen Versuch wurden die heißen Gase durch Siliciumcarbidretorten, die durch elektrischie Widerstandsheizung auf Rotglut erhitzt waren, zusammen mit Methan, geleitet.
  • Neben 290 g graphitischer Feinkohle fielen an 1220 g ausgewachsene Siliciumcarbidkristalle und 2560 g abgesetzte Siliciumcarbid-Feinkristalle. Ferner wurden durch Umsetzung des Fluorwasserstoffs erhalten: 17 480 g trockenes Natriumfluorid. mit einem Gehalt von etwa 1,23% Kieselsäure.
  • Die aus dem Ofen abgezogene Schlacke wird zweckmäßig abgeschreckt, z. B. durch Einlaufenlassen in Wasser, wodurch sehr reaktionsfähige glasige Produkte erhalten werden.

Claims (16)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Gewinnung von Fluorverbindungen aus fluorhaltigen Rohstoffen, insbesondere Fluormineralien, durch Schmelzen mit siliciumhaltigen Stoffen, wie z. B. Kieselsäure, in an sich bekannter Weise im elektrischen Ofen, gekennzeichnet durch ein solches Verhältnis der Ausgangsstoffe, daß das in der von Alkali im wesentliehen freien, in trockenem Zustande vorliegenden Charge enthaltende Silicium zur Abbindung des gesamten Fluors der Beschickung in Form von den Ofen in Gasform verlassendem, auf Fluorverbindungen aufzuarbeitendem- Siliciumtetrafluorid und zur Bildung einer vorzugsweise bei der Schmelztemperatur möglichst leichtflüssigen, aus dem Ofen abgestochenen Erdalkalisilikatschlacke, vorzugsweise basische Silikatschlacke, mit den anderen siliciumhaltigen Bestandteilen der Beschikkung oder einem Teil der Bestandteile hinreicht und vorzugsweise die zur Siliciumtetrafluorid- und Silikatschlac:kenbildung benötigte Menge nicht oder nicht wesentlich übersteigt.
  2. 2. Verfahren. gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet. daß bei Verwendung von Calciumfluorid als Fluormineral die Beschickung unter Berücksichtigung des Kieselsäuregehalts des Minerals durch Zusatz von Kieselsäure, z. B. in Form von Quarzit, eingestellt wird gemäß der Umsetzungsformel 2CaF2+ 2Si02= S'F4+ C%Si04.
  3. 3. Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschickung Zündkohle in verhältnismäßig geringer Menge zugesetzt wird.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in einem geschlossenen Elektroofen mit Kohlefutter geschmolzen wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in schwach reduzierender Atmosphäre geschmolzen wird.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmelztemperatur etwa 1530° C beträgt.
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strombelastung, unter Bevorzugung der Lichtbogeneinwirkung gegenüber der Induktionswirkung geregelt wird. B.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die gasförmige Phase des Prozesses aus dem Ofen abgesaugt wird.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis S, dadurch gekennzeichnet, daß die flüssig abgestochene Schlacke abgeschreckt wird, insbesondere durch Einfließenlassen in `Wasser.
  10. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche! bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die heißen, Siliciumtetrafluorid enthaltenden Gase zusammen mit Niethaii erhitzt werden, z. B. durch Durchführen durch Grapliitretorten bzw. mit Siliciuincarl:id ausgekleidete Retorten, wobei das Verhältnis von Methan zu Siliciumfluorid mindestens das zur Umsetzung gemäß der Gleichung: SiF4+CH4=4HF+SiC benötigte ist.
  11. 11. -"erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Siliciumtetrafluorid-Gasstrom nacheinander mit einer Tonerdeaufschlämmung und einer Lösung eines Alhalica.rbcnats behandelt wird.
  12. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das heiße gasförmige Siliciumtetrafluorid mit Trockendampf zu Fluo.rwassersto@ff und aktiver Kieselsäure umgesetzt wird.
  13. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, da,ß das heiße Siliciumtetrafluoridgas mit Wasserstoff umgesetzt wird.
  14. 14. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 8, gekennzeichnet durch einen vom Elektrodenregulierwiderstand des Elektroofens in seiner Umdrehungszahl gesteuerten, insbesondere hinter den Reaktionstürmen angeordneten saugenden Ventilator.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruch 14, gekenlizeichnet durch mittels des Elektrocienregulierwiderstandes gesteuerte Umlaufpumpen für die Umsetzungsflüssigkeit des bzw. der Reaktionstürme.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, gekennzeichnet durch eine Auskleidung der Rohrleitungen und Reaktionstürme mit Siliciumcarbid und/oder Kohle. In Betracht gezogene Druckschriften: Französische Patentschrift \7r. 895 115; USA.-Patentschriften \7r. 2 567 544, 2 547 901.
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