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Die
Erfindung bezieht sich auf eine unidirektionale eingangsschaltanordnung
für Halbleiterschaltungen
mit einem Signalanschluss und einem mit dem Signalanschluss verbundenen
unidirektionalen Eingangstreiber, der zur Konditionierung eines
am Signalanschluss anliegenden Eingangssignals in ein internes Eingangssignal,
das eine Verarbeitung durch mit der Eingangsschaltanordnung verbundene interne
Schaltkreise ermöglicht,
geeignet ist, und einer durch ein Prüfsteuersignal steuerbaren Transfer-Schalteinrichtung,
die in einem Testmodus der Halbleiterschaltung den jeweils mit dem
Signalanschluss verbundenen Anschluss des Eingangstreibers mit einer
Prüfsignalleitung
verbindet. Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Halbleiterschaltung und
ein Verfahren zur Prüfung
einer Laufzeitverzögerung
eines Eingangstreibers einer Halbleiterschaltung.
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Bei
komplexen Halbleiterschaltungen wie etwa DRAMs (dynamic random access
memories) tragen die Prüfkosten
in bedeutendem Umfang, gegenwärtig
etwa 15 % bis 20 %, zu den gesamten Herstellungskosten bei. Das
Prüfen
von Halbleiterschaltungen erfolgt in der Regel an programmierbaren Prüfvorrichtungen
(Bauteiletestern). Zur Steigerung des Durchsatzes von zu prüfenden Halbleiterschaltungen
an den kostenintensiven Prüfvorrichtungen werden
kurze Prüfzeiten
und eine hohe Testparallelität
angestrebt. Die Prüfzeit
ist durch die Funktionalität der
Halbleiterschaltung vorgegeben. Die Anzahl der an einer Prüfvorrichtung
gleichzeitig zu prüfenden Halbleiterschaltungen
wird durch die Anzahl der Testkanäle der Prüfvorrichtung beschränkt.
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Um
den Durchsatz an den Prüfvorrichtungen zu
erhöhen,
sind daher so genannte Reduced-I/O-Prüfverfahren üblich, die die Kontaktierung lediglich
eines Teils der Signalanschlüsse
der zu prüfenden
Halbleiterschaltung erfordern. In einem Reduced-I/O-Prüfverfahren mit bauteilinterner
Selbsttesteinheit wird die Funktionalität interner Schaltkreise der
Halbleiterschaltung durch einen internen Selbsttest geprüft. Über die
mit der Prüfvorrichtung
verbundenen Signalanschlüsse
wird der interne Selbsttest lediglich initiiert und ein Testergebnis
des Selbsttests zur Prüfvorrichtung übertragen.
Die Anzahl der erforderlichen Testkanäle pro Halbleiterschaltung
ist deutlich reduziert.
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Weitere
Reduced-I/O-Prüfverfahren,
zu deren Durchführung
die Kontaktierung nur einer Teilmenge der Signalanschlüsse der
zu prüfenden
Halbleiterschaltung erforderlich ist, sind Scanpath- und Boundary-Scan-Prüfverfahren.
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In
nachteiliger Weise werden bei Reduced-I/O-Prüfverfahren die während der
Prüfung
nicht benutzten und nicht mit der Prüfvorrichtung verbundenen Signalanschlüsse sowie
die den unbenutzten Signalanschlüssen
zugeordneten Ein- bzw. Ausgangsschaltanordnungen (I/O-Pads, Padschaltungen)
nicht geprüft.
Ein I/O-Pad umfasst neben dem Signalanschluss einen Ausgangstreiber,
der ein von internen Schaltkreisen der Halbleiterschaltung erzeugtes
Ausgangssignal auf einer am Signalanschluss angeschlossenen Signalleitung
zu treiben vermag, und/oder einen Eingangstreiber, der ein an einem
Signalanschluss anliegendes Eingangssignal in einer für die internen
Schaltkreise geeigneten Weise konditioniert sowie eine Verbindungsleitung
zwischen dem Signalanschluss und dem Ein- bzw. Ausgangstreiber.
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Eine
Prüfung
der im Zuge eines Reduced-I/O-Prüfverfahrens
nicht geprüften
I/O-Pads erfolgt im einfachsten Fall durch einen weiteren Durchgang
an der selben oder einer anderen Prüfvorrichtung, wobei bei entsprechend
geringer Testparalle lität
alle Signalanschlüsse
der zu prüfenden
Halbleiterschaltung mit jeweils einem Testkanal der Prüfvorrichtung
verbunden werden.
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Die
JP-09-257884 A beschreibt ein Prüfverfahren
für unidirektionale
Eingangstreiber einer Halbleiterschaltung, bei dem die Eingangstreiber
in einem Testmodus über
steuerbare Selektorschaltkreise zu einem Ringoszillator verschaltet
werden, um durch Auswertung der Schwingung des Ringoszillators die prinzipielle
Funktionalität
der Eingangstreiber zu testen. Dabei sind die Selektorschaltkreise
jeweils zwischen dem Eingang des Eingangstreibers und dem jeweils
zugeordneten Signalanschluss geschaltet.
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Die
DE 101 38 556 C1 beschreibt
eine Möglichkeit
zur Prüfung
von im Rahmen eines Reduced-I/O-Prüfverfahrens unkontaktierten
bidirektionalen I/O-Pads, bei dem zur Prüfung der bidirektionalen I/O-Pads
ein Prüfsignal über den
Ausgangstreiber des I/O-Pads an den Eingang des Eingangstreibers desselben
I/O-Pads und von dort zu einer bauteilinternen Auswertelogik zurückgeführt wird.
Zur Prüfung
unidirektionaler I/O-Pads wird in der
DE 101 38 556 C1 vorgeschlagen,
jeweils einen unidirektionalen I/O-Pad mit Eingangstreiber und einen
unidirektionalen I/O-Pad mit Ausgangstreiber außerhalb der Halbleiterschaltung
miteinander zu verschalten.
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Die
US 6,397,361 B1 beschreibt
Eingangsschaltanordnungen, deren Eingänge an einen internen Prüfsignalbus
geschaltet werden. Dem Prüfsignalbus
wird zum Test über
einen Signalanschluss der Halbleiterschaltung ein Analogsignal zugeführt. Transfer-Schalteinrichtungen
schalten den internen Prüfsignalbus
selektiv an den Eingang eines oder mehrerer Eingangstreiber.
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Die
US 4,970,410 bezieht sich
auf eine Halbleiterschaltung mit Eingangs- und Ausgangstreiberschaltkreisen,
bei der der Ausgang eines Ausgangstreibers auf den Eingang eines
Ein gangstreibers zurückgeschleift
ist. Der Eingang des Ausgangstreibers wird wahlweise an den Ausgang
eines internen Schaltkreises der Halbleiterschaltung oder an den Ausgang
des Eingangsschaltkreises geschaltet, so dass zur Prüfung der
Ein- und Ausgangsschaltkreise eine
Prüfschleife
aus jeweils einem Eingangstreiber und einem Ausgangstreiber gebildet
wird.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine unidirektionale Eingangsschaltanordnung
zur Verfügung
zu stellen, die eine Prüfung
des zugeordneten Eingangstreibers ohne Kontaktierung des zugeordneten
Signalanschlusses ermöglicht.
Die Aufgabe umfasst ferner eine Halbleiterschaltung mit einer Mehrzahl
von unidirektionalen Eingangsschaltanordnungen sowie ein Verfahren
zur Prüfung
einer Laufzeitverzögerung
eines Eingangstreibers einer Halbleiterschaltung.
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Diese
Aufgabe wird bei einer Eingangsschaltanordnung der eingangs genannten
Art durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 aufgeführten Merkmale
gelöst.
Eine die Aufgabe lösende Halbleiterschaltung
ist im Patentanspruch 3 und ein Prüfverfahren im Anspruch 7 angegeben.
Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den jeweiligen Unteransprüchen.
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Eine
Eingangsschaltanordnung für
Halbleiterschaltungen umfasst einen Signalanschluss und einen mit
dem Signalanschluss verbundenen unidirektionalen Eingangstreiber.
Der Eingangstreiber konditioniert ein am Signalanschluss von außen angelegtes
Eingangssignal in einer Weise, die die Verarbeitung in mit der Eingangsschaltanordnung
verbundenen internen Schaltkreisen ermöglicht.
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Die
unidirektionale Eingangsschaltanordnung umfasst ferner eine bidirektionale
und zur Übertragung
von Prüfsignalen
geeignete Transfer-Schalteinrichtung, die durch ein Prüfsteuersignal
steuerbar ist und in einem Testmodus der Halbleiterschaltung den
jeweils mit dem Signalanschluss verbundenen Eingang des Eingangstreibers
mit einer Prüfsignalleitung
verbindet.
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Über die
Prüfsignalleitung
wird ein zur Prüfung
eines Parameters des Eingangstreibers geeignetes Prüfsignal
an den Eingang des Eingangsschaltkreises geführt. Außerhalb des Testmodus, im bestimmungsgemäßen Betriebszustand
der Halbleiterschaltung, wird die Prüfsignalleitung durch die geöffnete Transfer-Schalteinrichtung
vom mit dem Signalanschluss verbundenen Anschluss des Eingangstreibers
getrennt. Die unidirektionale Eingangsschaltanordnung ermöglicht den
Test unidirektionaler Eingangstreiber in ähnlicher Weise, wie es die
DE 101 38 556 C1 für bidirektionale
Schaltkreise beschreibt. In bevorzugter Weise ist die Transfer- Schalteinrichtung
als Transfergate aus einem n-Kanal-Feldeffekttransistor(FET) und einem
parallel zum n-Kanal-FET angeordneten und mit dem invertierten Prüfsteuersignal
angesteuerten p-Kanal-FET ausgebildet.
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Da
zur Prüfung
des Eingangsschaltkreises am zugeordneten Signalanschluss keine
Last erforderlich ist, kann das Transfergate mit kleinen Abmessungen
ausgeführt
werden, so dass die Eingangskapazität des Eingangstreibers gering
bleibt und die Eigenschaften der Eingangsschaltanordnung für den bestimmungsgemäßen Betriebsmodus
nicht verschlechtert werden.
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Gegenüber einer
Lösung,
die es vorsähe, sämtliche
unidirektionalen Eingangsschaltkreise als bidirektionale I/O-Pads
auszubilden, weist die erfindungsgemäße Eingangsschaltanordnung
den Vorteil auf, dass das Transfergate weniger Fläche auf
einem Halbleitersubstrat beansprucht als ein Ausgangstreiber, der
innerhalb der gebräuchlichen
Technologie vergleichsweise groß ausfällt. Ferner
vergrößert ein Transfergate
die Eingangskapazität
des Eingangsschaltkreises in geringerem Maße als ein Ausgangstreiber
in herkömmlicher
Technologie.
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Erfindungsgemäß ist eine
Bypass-Schalteinrichtung vorgesehen, die ein auf der Prüfsignalleitung übertragenes
Prüfsignal
wahlweise auf die Transfer-Schalteinrichtung oder einen Anschluss
des Eingangstreibers schaltet. Das Prüfsignal wird in einem Fall über die
Transfer-Schalteinrichtung an den Eingang des Eingangstreibers und
im anderen Fall direkt an den Ausgang des Eingangstreibers geführt.
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Mit
Hilfe der Bypass-Schalteinrichtung kann daher ein einzelner Eingangstreiber
in den Signalpfad des Prüfsignals
geschaltet werden. Dies ermöglicht
die Messung der Laufzeitver zögerung
eines einzelnen Eingangstreibers wie auch ein serielles Aneinanderreihen
einer Mehrzahl unidirektionaler Eingangstreiber entlang einer einzigen
Prüfsignalleitung.
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In
besonders vorteilhafter Weise wird ein Signalpfad zwischen dem Signalanschluss
und der Transfer-Schalteinrichtung in Serie zu einer den Signalanschluss
mit dem Eingangstreiber verbindenden Verbindungsleitung ausgeführt. Die
Verbindungsleitung und der Signalpfad sind dann voneinander getrennt
auf den Signalanschluss geführt.
Die funktionelle Prüfung
umfasst auch die Verbindungsleitung zwischen dem Signalanschluss
und dem Eingangstreiber.
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Eine
erfindungsgemäße Halbleiterschaltung weist
neben internen Schaltkreisen, die zur Verarbeitung und Erzeugung
von Signalen geeignet sind, eine Mehrzahl von Eingangsschaltanordnungen
der beschriebenen Art mit jeweils einem Signalanschluss und einem
unidirektionalen Eingangstreiber zum Empfang der zu verarbeitenden
Signale auf. In bevorzugter Weise umfasst die Halbleiterschaltung
ferner eine Multiplexereinheit, die in einem Testmodus der Halbleiterschaltung
die Transfer- und Bypass-Schalteinrichtungen der Eingangsschaltanordnungen
steuert. Dazu ist die Multiplexereinheit mit ersten Multiplexer-Schalteinrichtungen
zur Führung der
Prüfsteuersignale
vorgesehen. Über
zweite Multiplexer-Schalteinrichtungen wird eines oder werden mehrere
Prüfsignale
von einer Prüfsignalquelle
zu dem oder den zu prüfenden
Eingangstreibern geschaltet. Über
dritte Multiplexer-Schalteinrichtungen wird ein Ausgangssignal des
bzw. der jeweils zu prüfenden
Eingangstreiber mit einer Auswerteeinheit verbunden. Ferner umfasst
die Multiplexereinheit Registereinheiten zur Steuerung des Zustands
der Transfer-, Bypass- und Multiplexer-Schalteinrichtungen.
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Sowohl
die Prüfsignalquelle
als auch die Auswerteeinheit können
in einer Prüfvorrichtung
außerhalb
der Halbleiterschaltung vorgesehen und mit jeweils einem Signalanschluss
der Halbleiterschaltung verbunden sein.
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Bevorzugt
sind die Prüfsignalquelle
zur Ausgabe von zur Prüfung
der Eingangstreiber geeigneten Prüfsignalen sowie die interne
Auswerteeinheit innerhalb der Halbleiterschaltung realisiert.
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In
besonders bevorzugter Weise umfasst die Halbleiterschaltung ein
Testport, über
das die Multiplexereinheit steuerbar ist. Ein solches Testport ist etwa
ein Boundary-Scan-Zugangsport, über das Boundary-Scan-Register
innerhalb der Halbleiterschaltung durch die Prüfvorrichtung beschrieben werden
können.
Die Multiplexereinheit ist über
die Boundary-Scan-Register
steuerbar.
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Erfindungsgemäß werden
etwa die Parameter "leakage
current", "pullup current", "pulldown current" oder "rise/fall time out
to in" der I/O-Pads
parallel bzw. zeitgleich zur Funktionalität der internen Schaltkreise
der Halbleiterschaltung an der selben Prüfvorrichtung geprüft.
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Im
Zuge eines erfindungsgemäßen Prüfverfahrens
für eine
Halbleiterschaltung mit einer Mehrzahl von jeweils einen Signalanschluss
aufweisenden Ein/Ausgangsschaltanordnungen (I/O-Pads) und mit den I/O-Pads verbundenen
internen Schaltkreisen ist jeweils eine erste Teilmenge der Signalanschlüsse mit
einer Prüfvorrichtung
verbunden. Die internen Schaltkreise werden in einem Reduced-I/O-Modus
der Halbleiterschaltung unter Benutzung der ersten echten Teilmenge
der Signalanschlüsse
geprüft.
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Eine
nicht in der ersten Teilmenge enthaltene zweite Teilmenge von Signalanschlüssen, die
jeweils unidirektionalen Eingangsschaltanordnungen zugeordnet sind,
wird in Abhängigkeit
von im Testmodus generierten Prüfsteuersignalen
an eine interne Prüfsignalleitung
geschaltet. Ein Prüfsignal
wird generiert, das auf der Prüfsignalleitung übertragen
wird. Unter Benutzung der internen Prüfsignale werden mindestens
diejenigen Eingangstreiber, die der zweiten Teilmenge von Signalanschlüssen zugeordnet sind,
geprüft.
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Zur
Prüfung
einer Halbleiterschaltung ist eine reduzierte Anzahl von Testkanälen der
Prüfvorrichtung
erforderlich. Das Prüfverfahren
ergänzt
bekannte Reduced-I/O-Prüfverfahren
zum Test interner Schaltkreise der Halbleiterschaltung um eine umfangreiche
und aussagekräftige
Prüfung
derjenigen I/O-Pads, die durch übliche
Reduced-I/O-Prüfverfahren
regelmäßig nicht
abgedeckt werden.
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Zur
Prüfung
einer Laufzeitverzögerung
tpd eines Eingangstreibers wird der Eingang
des Eingangstreibers über
die Prüfsignalleitung
mit einer Prüfsignalquelle
und der Ausgang des Eingangstreibers mit einer Auswerteeinheit verbunden.
Eine Treiberlaufzeit eines von der Prüfsignalquelle zur Auswerteeinheit übertragenen
Signals wird erfasst. Mittels einer Bypass-Schalteinrichtung werden
die Transfer-Schalteinrichtungen sowie der Eingangstreiber überbrückt, der
Eingangstreiber abgeschaltet oder der Ausgang des Eingangstreibers über eine
weitere Multiplexereinheit abgehängt
und eine Bypass-Laufzeit eines von der Prüfsignalquelle zur Auswerteeinheit übertragenen
Signals erfasst. Aus der Differenz zwischen der Treiberlaufzeit
und der Bypass-Laufzeit ergibt sich die Laufzeitverzögerung tpd.
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Zur
Prüfung
des Leckstroms eines I/O-Pads über
die Prüfsignalleitung
wird der zugeordnete Signalanschluss auf einen definierten Pegel
(Padpotential) geladen. Anschließend wird die Prüfsignalleitung abgeschaltet.
Tritt ein Leckstrom zur positiven oder negativen Versorgungsspannung
auf, so ändert
sich das Padpotential entsprechend. Die Lade/Entladezeit ist eine
Funktion des Betrags des Leckstroms. Nach einer vorbestimmten Zeit
wird der Ausgang des I/O-Pads in ein Boundary-Scan-Register eingelesen und
ausgewertet.
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Nachfolgend
werden die Erfindung und deren Vorteile anhand von Figuren näher erläutert, wobei
einander entsprechenden Bauteilen und Komponenten gleiche Bezugszeichen
zugeordnet sind. Es zeigen in jeweils schematischer Darstellung:
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1 eine
herkömmlichen
Prüfvorrichtung für bidirektionale
Eingangsschaltanordnungen,
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2 eine
Ausgangsschaltanordnung nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
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3 eine
Ausgangsschaltanordnung nach einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung und
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4 eine
erfindungsgemäße Halbleiterschaltung
nach einem dritten Ausführungsbeispiel der
Erfindung
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Anhand
der 1 wird ein im zitierten Stand der Technik beschriebenes
Prüfverfahren
für bidirektionale
I/O-Pads 71, 72, ... einer Halbleiterschaltung 1 erläutert, bei
dem lediglich eine Teilmenge der Signalanschlüsse 3 der Halbleiterschaltung 1 mit
einer Prüfvorrichtung 9 verbunden
ist.
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Die
Halbleiterschaltung 1 umfasst neben den I/O-Pads 71, 72,
... interne Schaltkreise 11. Die bidirektionalen I/O-Pads 71, 72,
... weisen jeweils einen Eingangstreiber 21 und einen Ausgangtreiber 22 auf. Der
Ausgangstreiber 22 treibt ein in den internen Schaltkreisen 11 erzeugtes
Signal auf einer am jeweils zugeordneten Signalanschluss 3 angeschlossenen
Signalleitung. Der Eingangstreiber 21 konditioniert ein
am Signalanschluss 3 anliegendes Eingangssignal in einer
zur Verarbeitung in den internen Schaltkreisen 11 geeigneten
Art und Weise. Der Eingangstreiber 21 und der Ausgangstreiber 22 bilden zusammen
einen bidirektionalen Treiberschaltkreis 23. Der bidirektionale
Treiberschaltkreis 23 bildet zusammen mit den zugeordneten
Signalanschlüssen 3 eine
bidirektionale Ein/Ausgangsschaltanordnung (I/O-Pad) 71, 72,
...
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Zur
Prüfung
der Halbleiterschaltung 1 ist die Halbleiterschaltung über einen
Prüfsteuerbus 93 mit der
Prüfvorrichtung 9 verbunden. Über den
Prüfsteuerbus 93 wird
ein interner Test der internen Schaltkreise 11 gesteuert
und ein Testergebnis ausgegeben. Zusätzlich wird über den
Teststeuerbus 93 eine Multiplexereinheit 8 gesteuert,
die zwischen den internen Schaltkreisen 11 und den I/O-Pads 71, 72,
... vorgesehen ist und die zur Steuerung einer Prüfung der
nicht mit der Prüfvorrichtung 9 verbundenen
Signalanschlüsse 3 geeignet
ist.
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Die
Multiplexereinheit 8 umfasst Multiplexer-Schalteinrichtungen
sowie etwa eine herkömmliche
Boundary-Scan-Registerlogik. Ein I/O-Port 76 ist mit einem
ersten Prüfkanal 91 der
Prüfvorrichtung 9, ein
zweiter I/O-Pad 75 mit einem zweiten Prüfkanal 92 der Prüfvorrichtung 9 verbunden.
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Zur
Messung des Parameters tpdoutin (round trip
propagation delay) des bidirektionalen I/O-Pads 72 wird
von der Prüfvorrichtung 9 am
Prüfkanal 91 eine
steigende Flanke eines Prüf signals
ausgegeben und durch den Eingangstreiber des I/O-Pads 76 zur Multiplexereinheit 8 durchgeschleift. Über die
Multiplexereinheit 8 wird das Prüfsignal an den Ausgangstreiber 22 des
I/O-Pads 72 geführt.
Das Prüfsignal wird
vom Eingangstreiber desselben I/O-Pads 72 zurückgelesen
und über
die Multiplexereinheit 8 und den Ausgangstreiber 22 des
I/O-Pads 75 an den Prüfkanal 92 der
Prüfvorrichtung 9 weitergeschaltet. In
der Prüfvorrichtung 9 wird
die Verzögerung
des am Prüfkanal 92 empfangenen
Signals gegenüber
dem vom Prüfkanal 91 ausgegebenen
Signal erfasst.
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Das
in der 2 dargestellte Ausführungsbeispiel eines I/O-Pads 7 umfasst
einen Signalanschluss 3 und einen Eingangstreiber 2.
Der Eingangstreiber 2 setzt ein am Signalanschluss 3 anliegendes
externes Signal Q' in
ein internes Signal Q um. Eine steuerbare Transfer-Schalteinrichtung 4 ist
zwischen dem Eingang des Eingangstreibers 2 und einer Prüfsignalleitung 6 angeordnet.
Die Transfer-Schalteinrichtung 4 ist über ein Prüfsteuersignal T steuerbar.
Die Transfer-Schalteinrichtung 4 ist als Transfergate bestehend
aus einem n-Kanal-FET und einem parallel zum n-Kanal-FET geschalteten
p-Kanal-FET ausgebildet. Der p-Kanal-FET wird über einen Inverter 41 mit
dem invertierten Prüfsteuersignal angesteuert.
Im bestimmungsgemäßen Betriebszustand
bzw. im Normalbetrieb einer Halbleiterschaltung liegt am Prüfsteuersignal
T ein "low"-Pegel und die Transfer-Schalteinrichtung 4 sperrt.
Im Zuge einer Prüfung
des Eingangstreibers 2 wird die Transfer-Schalteinrichtung 4 leitend
geschaltet und ein auf der Prüfsignalleitung 6 übertragenes
Prüfsignal
S an den Eingang des Eingangstreibers 2 geschaltet.
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Die
in der 3 dargestellte Padschaltung 7 unterscheidet
sich von der Eingangsschaltanordnung der 2 durch
eine zusätzliche
Bypass-Schalteinrichtung 5.
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Die
Bypass-Schalteinrichtung 5 wird über ein weiteres internes Bypass-Steuersignal
B gesteuert und schaltet das interne Prüfsignal S entweder über die
Transfer-Schalteinrichtung 4 an den Eingang des Eingangstreibers 2 oder
unmittelbar an den Ausgang des Eingangstreibers 2.
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Zur
Messung der Laufzeitverzögerung
des Eingangstreibers 21 wird zunächst die Signallaufzeit eines
Prüfsignals
S, das über
die Bypass-Schalteinrichtung 5, die Transfer-Schalteinrichtung 4 und
den Eingangstreiber 2 geführt ist, ermittelt. In einem
zweiten Schritt wird die Signallaufzeit des direkt an den Ausgang
des Eingangstreibers 2 geschalteten Prüfsignals S und danach die Differenz
der beiden Laufzeiten ermittelt.
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In
der 4 ist die erfindungsgemäße Halbleiterschaltung 1 in
einer der 1 entsprechenden Darstellung
gezeigt. Im Unterschied zur 1 sind die
I/O-Pads 71, 72, ... der 4 unidirektionale
Eingangstreiber 2, für
die ein Prüfverfahren,
wie es in der 1 dargestellt ist, ohne weiteres
nicht möglich
ist. Durch Integration von Transfer-Schalteinrichtungen 4 in
die Padschaltungen 71, 72, ... ist es möglich, jeweils
ein Prüfsignal
S an den Eingang des Eingangstreibers 2 zu führen. Durch
eine Anpassung in der Multiplexereinheit 8 wird die Messung
von Parametern der Eingangstreiber 2 entsprechend dem in
der 1 für
bidirektionale Treiberschaltkreise bzw. Padschaltungen beschriebenen
Prüfverfahren
ermöglicht.
Parameter des Eingangstreibers wie Schaltschwelle (input threshold),
Leckstrom (input leakage) und Pullup/Pulldown-Funktionalität sind dabei
auch ohne den Anschluss von Prüfkanälen 91, 92 erfassbar.
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Für Padschaltungen,
die einem differentiellen Eingangsignal zugeordnet sind, etwa einem
differentiellen Takteingang, wird jeweils einer der beiden Signalanschlüsse der
differentiellen Padschaltung an ein Referenzpotenzial geschaltet,
während
der jeweils andere Signalanschluss entsprechend einem Signalanschluss
einer nicht differentiellen Padschaltung geprüft wird. Danach wird der zweite
Signalanschluss mit dem Referenzpotential verbunden und der erste
Signalanschluss in der Art eines Signalanschlusses einer nicht differentiellen
Padschaltung geprüft.
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Alternativ
dazu werden beide Signalanschlüsse
einer differentiellen Padschaltung an die internen Prüfsignale
angeschlossen.
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- 1
- Halbleiterschaltung
- 11
- interne
Schaltkreise
- 2
- Eingangstreiber
- 21
- Eingangstreiber
- 23
- bidirektionaler
Treiberschaltkreis
- 3
- Signalanschluss
- 4
- Transfer-Schalteinrichtung
- 41
- Inverter
- 5
- Bypass-Schalteinrichtung
- 6
- Prüfsignalleitung
- 7
- IO-PAD
- 71
- IO-PAD
- 72
- IO-PAD
- 73
- IO-PAD
- 74
- IO-PAD
- 75
- IO-PAD
- 76
- IO-PAD
- 8
- Multiplexereinheit
- 9
- Prüfvorrichtung
- 91
- Prüfkanal
- 92
- Prüfkanal
- 93
- Prüfsteuerbus
- B
- Bypass-Steuersignal
- Q
- konditioniertes
Eingangssignal
- Q'
- empfangenes
Eingangssignal
- D
- Ausgangssignal
- D'
- konditioniertes
Ausgangssignal
- S
- Prüfsignal
- T
- Prüfsteuersignal