DE10252541B4 - Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten - Google Patents

Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten Download PDF

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2383810B1 (es) * 2009-12-22 2013-05-08 Asociación De Investigación Metalúrgica Del Noroeste Aimen Equipo móvil de inspección del espesor de recubrimientos de película seca, sistema de inspección del espesor de recubrimientos de película seca y procedimiento de inspección del espesor de recubrimientos de película seca.
DE202010006061U1 (de) * 2010-04-23 2010-07-22 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Messsonde zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten
CN103988243B (zh) 2011-12-14 2017-09-12 英特尔公司 微型数字看板硬件集成

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49146970U (enExample) * 1973-04-16 1974-12-18
JPS5181684U (enExample) * 1974-12-23 1976-06-30
DE3432511A1 (de) * 1983-09-05 1985-03-21 Mitutoyo Mfg Co Ltd Messgeraet mit digitalanzeige und einem speicher fuer die messwerte
EP0576714A1 (de) * 1992-07-03 1994-01-05 Norbert Dr. Nix Magnetinduktive und Wirbelstrommesssonde zur Messung einer Schichtdicke
DE19511397C1 (de) * 1995-03-28 1996-09-12 Norbert Nix Gerät zur Feststellung eines Lackschadens
DE19918064A1 (de) * 1999-04-21 2000-11-09 Norbert Nix Schichtdickenmeßgerät mit automatisierter Nulleinstellung und/oder Kalibrierung
DE10053377A1 (de) * 1999-11-05 2001-05-10 Elcometer Instr Ltd Gerät und Verfahren zur Dickenmessung
DE20206657U1 (de) * 2002-04-26 2002-09-19 Gimex Dr. Gao Import u. Export GmbH, 67655 Kaiserslautern Multianzeige für Digital-Meßmittel

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2311623A1 (de) * 1973-03-09 1974-09-12 Fischer Gmbh & Co Helmut Vorrichtung zum messen der dicke von schichten mit einem die schicht bestrahlenden radionuklid
JPS6138503A (ja) * 1984-07-31 1986-02-24 Ketsuto Kagaku Kenkyusho:Kk 膜厚計
US4745809A (en) * 1986-08-12 1988-05-24 Grumman Aerospace Corporation Composite analyzer tester
US5241280A (en) * 1990-06-05 1993-08-31 Defelsko Corporation Coating thickness measurement gauge
US5583830A (en) * 1993-06-30 1996-12-10 Casio Computer Co., Ltd. Electronic appliance equipped with sensor capable of visually displaying sensed data
FI115160B (fi) * 1994-06-22 2005-03-15 Suunto Oy Optisesti luettava suuntimakompassi
GB9520414D0 (en) * 1995-10-06 1995-12-06 Car Light & Sound Sys Ltd Thickness measurement
US5959451A (en) * 1997-08-18 1999-09-28 Torfino Enterprises, Inc. Metal detector with vibrating tactile indicator mounted within a compact housing
GB2347220B (en) * 1999-02-23 2003-12-31 Rynhart Res Ltd A moisture meter

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49146970U (enExample) * 1973-04-16 1974-12-18
JPS5181684U (enExample) * 1974-12-23 1976-06-30
DE3432511A1 (de) * 1983-09-05 1985-03-21 Mitutoyo Mfg Co Ltd Messgeraet mit digitalanzeige und einem speicher fuer die messwerte
EP0576714A1 (de) * 1992-07-03 1994-01-05 Norbert Dr. Nix Magnetinduktive und Wirbelstrommesssonde zur Messung einer Schichtdicke
DE19511397C1 (de) * 1995-03-28 1996-09-12 Norbert Nix Gerät zur Feststellung eines Lackschadens
DE19918064A1 (de) * 1999-04-21 2000-11-09 Norbert Nix Schichtdickenmeßgerät mit automatisierter Nulleinstellung und/oder Kalibrierung
DE10053377A1 (de) * 1999-11-05 2001-05-10 Elcometer Instr Ltd Gerät und Verfahren zur Dickenmessung
DE20206657U1 (de) * 2002-04-26 2002-09-19 Gimex Dr. Gao Import u. Export GmbH, 67655 Kaiserslautern Multianzeige für Digital-Meßmittel

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