DE10235195A1 - Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch - Google Patents

Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch Download PDF

Info

Publication number
DE10235195A1
DE10235195A1 DE10235195A DE10235195A DE10235195A1 DE 10235195 A1 DE10235195 A1 DE 10235195A1 DE 10235195 A DE10235195 A DE 10235195A DE 10235195 A DE10235195 A DE 10235195A DE 10235195 A1 DE10235195 A1 DE 10235195A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
sensor element
element according
intermediate layer
solid electrolyte
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10235195A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10235195B4 (de
Inventor
Heiner Scheer
Harald Guenschel
Lothar Diehl
Stefan Rodewald
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE10235195A priority Critical patent/DE10235195B4/de
Priority to PCT/DE2003/002361 priority patent/WO2004017059A1/de
Priority to JP2004528366A priority patent/JP2005534935A/ja
Priority to US10/519,117 priority patent/US20060163064A1/en
Publication of DE10235195A1 publication Critical patent/DE10235195A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10235195B4 publication Critical patent/DE10235195B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/416Systems
    • G01N27/417Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
    • G01N27/419Measuring voltages or currents with a combination of oxygen pumping cells and oxygen concentration cells

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

Es wird ein Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch, insbesondere zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine, angegeben, das einen aus mehreren Festelektrolytschichten zusammengesetzten Laminatkörper (10) mit einer jeweils als Folie ausgebildeten Ober- und Unterschicht (13, 11) sowie einer Zwischenschicht (12) aufweist. Zur Vereinfachung der Herstellung und Reduzierung der Fertigungskosten sind die Folien von Ober- und Unterschicht (13, 11) gleich dick ausgebildet und die Zwischenschicht (12) durch mindestens eine Druckschicht eines Folienbinders aufgebracht.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung geht aus von einem Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch, insbesondere zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Bei einem bekannten Sensorelement dieser Art ( DE 199 41 051 A1 ) sind Ober-, Unter- und Zwischenschicht als keramische Folien aus einem sauerstoffionenleitenden Festelektrolytmaterial, wie yttriumstabilisiertem Zirkoniumoxid, gegossen. Eine zwischen der Ober- und Zwischenschicht liegende weitere Festelektrolytschicht ist mittels Siebdruck eines pastösen, keramischen Materials beispielsweise auf die Oberschicht aufgebracht. Bevorzugt wird dabei das gleiche Material verwendet, aus dem auch die Oberschicht besteht, also z. B. Zirkoniumoxid. In der Ebene der weiteren Festelektrolytschicht liegen Funktionsschichten wie Elektroden einer Nernst- und Pumpzelle und ein Referenzkanal. Zwischen Unter- und Zwischenschicht ist noch ein in einer Isolationsschicht aus Aluminiumoxid eingebetteter elektrischer Widerstandsheizer angeordnet. Die integrierte Form des planaren keramischen Laminatkörpers wird durch Zusammenlaminieren der mit der weiteren Festelektrolytschicht und den Funktionsschichten bedruckten keramischen Folien von Ober-, Unter- und Zwischenschicht unter Verwendung von Folienbindern und anschließendes Sintern hergestellt.
  • Vorteile der Erfindung
  • Das erfindungsgemäße Sensorelement mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß durch den erfindungsgemäßen Aufbau des Laminatkörpers eine Folie und damit zwei Folienbinderschichten entfallen. Die Laminationsebenen des Laminatkörpers werden von zwei Laminationsebenen bei dem bekannten Sensorelement, nämlich zwischen Oberschicht und Zwischenschicht einerseits und zwischen Unterschicht und Zwischenschicht andererseits, auf eine Laminationsebene nur noch zwischen Unter- und Oberschicht verringert, wodurch die Wahrscheinlichkeit von Gasundichtigkeiten im Laminationsbereich reduziert wird und die Ausschußquote sinkt. Da die Anzahl der gegossenen Folien die Gestehungskosten des Sensorelements deutlich beeinflußt, reduzieren sich auch diese durch den Wegfall einer Folie. Des weiteren entfallen zwei zusätzliche Druckschritte zum Aufbringen der Folienbinder für die Zwischenschicht, was weiter die Herstellungskosten senkt.
  • Für Ober-, und Unterschicht werden einheitlich dicke Folien verwendet, so daß beim Fertigungsprozeß nur eine einzige Gießczharge hergestellt werden muß , somit die Folien gleiche Trocken-, Grün- und Sinterschwindung aufweisen. Durch die Verwendung dickerer Folien werden Handhabungsprobleme, wie sie beim Bedrucken dünner Folien mit den Funktionsschichten mittels Siebdruck auftreten, umgangen. Die gegenüber der beim bekannten Sensorelement dickere Oberschicht-Folie bringt zudem noch den Vorteil, daß in der meist aus Zirkoniumoxid bestehenden Folie infolge des Sauerstoffpumpens durch das Zirkoniumoxid langfristig weniger leicht Durchbrüche in Form von elektrisch leitenden Pfaden entstehen, die das Meßsignal verfälschen, so daß die Standzeit des Sensorelements sich erhöht.
  • Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Sensorelements möglich.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung enthält die Oberschicht-Folie ein diese vollständig durchdringendes Gaszutrittsloch, das vor dem Verbinden der Oberschicht-Folie zu dem Laminatkörper eingebracht worden ist. Durch das Vorsehen des Gaszutrittslochs in der noch nicht mit der Unterschicht-Folie verbundenen Oberschicht-Folie wird die Herstellung des Gaszutrittslochs vereinfacht, da das Gaszutrittsloch in die Oberschicht-Folie durchgängig eingebracht werden kann und nicht eine definierte Bohrtiefe im Laminatkörper eingehalten werden muß, wie dies bei dem bekannten Sensorelement der Fall ist.
  • Zeichnung
  • Die Erfindung ist anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Dabei zeigt die Zeichnung einen Längsschnitt eines Sensorelements zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine in schematischer Darstellung.
  • Beschreibung des Ausführungsbeispiels
  • Das in der Zeichnung schematisch im Längsschnitt zu sehende Sensorelement zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine als Ausführungsbeispiel für ein allgemeines Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch weist einen aus einer Unterschicht 11, einer Zwischenschicht 12 und einer Oberschicht 13 zusammengesetzten Laminatkörper 10 auf. Dabei sind die Unterschicht 11 und die Oberschicht 13 gegossene, keramische Folien aus einem Festelektrolytmaterial, vorzugsweise aus yttriumstabilisiertem Zirkoniumoxid (ZrO2), während die Zwischenschicht 12 aus mindestens einer Folienbinderschicht aus einem Festelektrolytmaterial besteht, die auf eine der Folien, beispielsweise auf die Folie der Oberschicht 13, im Siebdruck aufgedruckt ist. Vorzugsweise wird für die Folienbinderschicht Zirkonoxid-Paste verwendet. Mehrere Folienbinderschichten werden in aufeinanderfolgenden Druckschritten aufgebracht.
  • Die beiden Folien für Ober- und Unterschicht 13, 11 sind gleich dick ausgeführt und weisen eine Dicke zwischen 0,3 mm und 1,0 mm auf, während die Zwischenschicht aus einer oder mehreren Folienbinderschichten wesentlich dünner ausgeführt ist und ihre Dicke zwischen 25 μm und 100 μm gewählt wird. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel beträgt die Dicke der beiden Folien für Ober- und Unterschicht 13, 11 jeweils 0,5 mm und die Dicke der Zwischenschicht 12 50 μm. In der Folie der Oberschicht 13 ist ein Gaszutrittsloch 14 eingebracht, z. B. gestanzt oder gebohrt, das die Folie in ihrer gesamten Dicke vollständig durchdringt.
  • In bekannter Weise ist im Laminatkörper 10 eine Pumpzelle, bestehend aus einem Festelektrolyten und einer inneren und äußeren Pumpelektrode, sowie einer Nernstzelle, bestehend aus einem Festelektrolyten und einer Nernst- und Referenzelektrode, ausgebildet. Der Festelektrolyt der Pumpzelle wird von der Oberschicht 13 und der Festelektrolyt der Nernstzelle von der Zwischenschicht 12 gebildet. Die äußere Pumpelektrode 15 und die innere Pumpelektrode 16 der Pumpzelle sind jeweils koaxial zum Gaszutrittsloch 15 auf der Ober- bzw. Unterseite der Oberschicht 13 aufgedruckt. Die Nernstelektrode 17 der Nernstzelle ist zusammen mit der Pumpelektrode 16 in einem Hohlraum 23 angeordnet, der in die Zwischenschicht 12 eingebettet ist, während die Referenzelektrode 19 der Nernstzelle in einem in der Zwischenschicht 18 ausgebildeten Referenzgaskanal 18 angeordnet ist. Der Referenzgaskanal 18, der in bekannter Weise mit einem Referenzgas beaufschlagbar ist, kann mit einem porösen Material gefüllt sein. Die Referenzelektrode 19 ist zusammen mit der inneren Pumpelektrode 16 auf die Unterseite der Oberschicht 13 aufgedruckt. Der Hohlraum 23 ist durch eine im Siebdruckverfahren auf die Zwischenschicht 12 aufgebrachte Porenbildnerschicht hergestellt. Die innere Pumpelektrode 16 und die ebenfalls koaxial zum Gaszutrittsloch 14 angeordnete, von der inneren Pumpelektrode 16 axial beabstandete Nernstelektrode 17 stehen im Hohlraum 23 über eine ringförmige Diffusionsbarriere 20 mit dem Gaszutrittsloch 14 in Verbindung, so daß die äußere Pumpelektrode 15 direkt und die innere Pumpelektrode 16 sowie die Nernstelektrode 17 über die Diffusionsbarriere 20 von dem Abgas der Brennkraftmaschine beaufschlagbar sind.
  • Zwischen der Unterschicht 11 und der Zwischenschicht 12 ist ein elektrischer Widerstandsheizer 21 angeordnet, der in eine elektrische Isolationsschicht 22, z. B. aus Aluminiumoxid (Al2O3), eingebettet ist. Die Isolationsschicht 22 wird auf die Oberseite der Unterschicht 11 aufgedruckt. Durch Zusammenlaminieren der mit den Folienbinderschichten und den Funktionsschichten bedruckten keramischen Folien und anschließenden Sintern der laminierten Struktur wird der Laminatkörper 10 hergestellt.

Claims (10)

  1. Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch, insbesondere zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine, mit einem aus mehreren Festelektrolytschichten zusammengesetzten Laminatkörper (10), der eine jeweils als keramische Folie ausgebildete Ober- und Unterschicht (13, 11) sowie eine Zwischenschicht (12) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Ober- und Unterschicht (13, 11) gleich dick ausgebildet sind und die Zwischenschicht (12) aus mindestens einer Folienbinderschicht besteht.
  2. Sensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Folienbinderschicht auf eine der Folien für die Ober- und Unterschicht (13, 11) aufgedruckt ist.
  3. Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Folienbinderschicht aus einer Zirkonoxid-Paste besteht.
  4. Sensorelement nach einem der Ansprüche 1 – 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Ober- und Unterschicht (13, 11) jeweils zwischen 0,3 mm und 1,0 mm und die Dicke der Zwischenschicht zwischen 25 μm und 100 μm gewählt ist.
  5. Sensorelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Ober- und Unterschicht (13, 11) jeweils 0,5 mm und die Dicke der Zwischenschicht 50 μm beträgt.
  6. Sensorelement nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberschicht (13) ein diese vollständig durchdringendes Gaszutrittsloch (14) enthält, das vor Laminieren des Laminatkörpers (10) eingebracht ist.
  7. Sensorelement nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, daß im Laminatkörper (10) eine Pumpzelle mit einer auf einem Festelektrolyten angeordneten äußeren und inneren Pumpelektrode (15, 16) und eine Nernstzelle mit einer auf einem Festelektrolyten angeordneten Nernstelektrode (17) und Referenzelektrode (19) ausgebildet sind und daß die Oberschicht (13) den Festelektrolyten der Pumpzelle und die Zwischenschicht (12) den Festelektrolyten der Nernstzelle bildet.
  8. Sensorelement nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Pumpelektrode (16) und die Nernstelektrode (17) über eine Diffusionsbarriere (20) mit dem Gaszutrittsloch (14) in Verbindung stehen.
  9. Sensorelement nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Zwischenschicht (12) ein mit einem Referenzgas beaufschlagbarer Referenzgaskanal (18) ausgebildet ist, mit dem die Referenzelektrode (19) in Verbindung steht, und vorzugsweise daß der Referenzgaskanal (18) mit porösem Material gefüllt ist.
  10. Sensorelement nach einem der Ansprüche 1–9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Unter- und Zwischenschicht (11, 12) ein in einer Isolationsschicht (22) eingebetteter elektrischer Widerstandsheizer (21) angeordnet ist.
DE10235195A 2002-08-01 2002-08-01 Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch Expired - Lifetime DE10235195B4 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10235195A DE10235195B4 (de) 2002-08-01 2002-08-01 Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch
PCT/DE2003/002361 WO2004017059A1 (de) 2002-08-01 2003-07-14 Sensorelement zur bestimmung der konzentration einer gaskomponente in einem gasgemisch
JP2004528366A JP2005534935A (ja) 2002-08-01 2003-07-14 ガス混合物中のガス成分の濃度を測定するためのセンサ素子
US10/519,117 US20060163064A1 (en) 2002-08-01 2003-07-14 Sensor element for determining the concentration of a gas component in a gas mixture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10235195A DE10235195B4 (de) 2002-08-01 2002-08-01 Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10235195A1 true DE10235195A1 (de) 2004-02-12
DE10235195B4 DE10235195B4 (de) 2009-04-02

Family

ID=30128621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10235195A Expired - Lifetime DE10235195B4 (de) 2002-08-01 2002-08-01 Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20060163064A1 (de)
JP (1) JP2005534935A (de)
DE (1) DE10235195B4 (de)
WO (1) WO2004017059A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007040507A1 (de) 2007-08-28 2009-03-05 Robert Bosch Gmbh Gassensor
CN114660154A (zh) * 2022-03-11 2022-06-24 四方光电股份有限公司 一种氮氧传感器芯片及其制备方法
DE102006055797B4 (de) 2006-11-27 2024-01-11 Robert Bosch Gmbh Sensorelement für einen Gasssensor zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3546590B2 (ja) * 1996-04-12 2004-07-28 株式会社デンソー 空燃比センサー
DE19857470A1 (de) * 1998-12-14 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Elektrochemischer Meßfühler
US6589410B1 (en) * 1998-12-24 2003-07-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hydrocarbon sensor
JP3797060B2 (ja) * 1999-05-17 2006-07-12 株式会社デンソー セラミック積層体及びその製造方法
DE19941051C2 (de) * 1999-08-28 2003-10-23 Bosch Gmbh Robert Sensorelement zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in Gasgemischen und Verfahren zur Herstellung desselben

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006055797B4 (de) 2006-11-27 2024-01-11 Robert Bosch Gmbh Sensorelement für einen Gasssensor zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases
DE102007040507A1 (de) 2007-08-28 2009-03-05 Robert Bosch Gmbh Gassensor
DE102007040507B4 (de) 2007-08-28 2021-07-29 Robert Bosch Gmbh Gassensor
CN114660154A (zh) * 2022-03-11 2022-06-24 四方光电股份有限公司 一种氮氧传感器芯片及其制备方法
CN114660154B (zh) * 2022-03-11 2024-04-16 四方光电股份有限公司 一种氮氧传感器芯片及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20060163064A1 (en) 2006-07-27
WO2004017059A1 (de) 2004-02-26
DE10235195B4 (de) 2009-04-02
JP2005534935A (ja) 2005-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1127269B1 (de) Sensorelement zur bestimmung der sauerstoffkonzentration in gasgemischen und verfahren zur herstellung desselben
EP0391900B1 (de) Ntc-temperaturfühler sowie verfahren zur herstellung von ntc-temperaturfühlerelementen
DE19938416A1 (de) Mehrlagiges Luft-Kraftstoff-Verhältnis-Fühlerelement
DE4342005C2 (de) Planare elektrochemische Sonde und Verfahren zu deren Herstellung
DE102009002118A1 (de) Sensorelement für einen Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10121889C2 (de) Sensorelement
DE10235195B4 (de) Sensorelement zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch
DE10122271B4 (de) Sensorelemente
DE19746516C2 (de) Planares Sensorelement
DE10337573B4 (de) Sensorelement
DE10252712B4 (de) Gasmessfühler
DE10157734B4 (de) Gasmeßfühler
DE10222791B4 (de) Heizeinrichtung
DE102008002200A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Gassensor
DE102015226020A1 (de) Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum und Verfahren zum Herstellen desselben
DE102005055947A1 (de) Verfahren zum Füllen eines Gaszutrittslochs
EP1518110B1 (de) Sensorelement
DE10224055B4 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Sensorelements für eine Grenzstromsonde
DE10200052A1 (de) Sensorelement
WO2004072633A1 (de) Festelektrolyt sensorelement mit hohlelement zur aufname der heizersausdeinung
DE102022133432A1 (de) Gassensorelement und Gassensor
DE102008002199A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Gassensor
DE102020007501A1 (de) Sensorelement für Gassensor
DE102019008688A1 (de) Gassensor
DE102010043698A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines keramischen Verbundkörpers

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R084 Declaration of willingness to licence
R071 Expiry of right