DE102010043698A1 - Verfahren zur Herstellung eines keramischen Verbundkörpers - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines keramischen Verbundkörpers mit einer aufeinanderlaminierte Keramikfolien (11, 12, 13) aufweisenden, horizontalen Schichtstruktur, angegeben, bei dem in mindestens einer der Keramikfolien (12) mindestens ein Durchgangsloch (14, 15; 16) eingearbeitet und durch Beschichten der Lochwand mit mehreren aneinanderliegenden Materialschichten mit unterschiedlichen Funktionseigenschaften eine zur horizontalen Schichtstruktur rechtwinklig verlaufende, vertikale Schichtstruktur erzeugt wird. Zur Erzielung eines vorteilhaften Sensorelement-Layouts, das eine Miniaturisierung durch eine vertikal ausgerichtete, elektrochemische Messzellenstruktur ermöglicht, wird die Erzeugung der vertikalen Schichtstruktur in einzelnen, aufeinanderfolgenden Beschichtungsschritten durchgeführt, indem mit jedem Beschichtungsschritt eine Suspension des jeweiligen Materials durch das mindestens eine Durchgangsloch (14, 15) gesaugt und die Keramikfolie (12) einem Trocknungsprozess ausgesetzt wird.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Herstellung eines keramischen Verbundkörpers mit einer aufeinanderlaminierte Keramikfolien aufweisenden, horizontalen Schichtstruktur nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines PTC-Temperaturfühlers ( DE 37 33 192 C1 ) werden aus einer elektrisch isolierenden Keramikfolie, z. B. einer Aluminiumoxid-(Al2O3)-Folie, Löcher ausgestanzt und in den Löchern Durchkontaktierungen erzeugt. Hierzu wird eine Paste aus Platin-Aluminiumoxid-Cermit (Pt/Al2O3) durch die Löcher gesaugt. Alternativ werden die ausgestanzten Löcher mit einer Al2O3-Isolationsschicht sowie darüber mit einer elektrisch leitenden Pt/Al2O3-Cermetschicht versehen. Auf die mit den Durchkontaktierungen versehene Folie wird eine PTC-Widerstandsbahn und auf der davon abgekehrten Rückseite der Folie eine Kontaktfläche aufgedruckt. Auf eine zweite Keramikfolie aus Al2O3 wird eine interlaminare Binderschicht aufgedruckt, und die beiden Folien werden unter Anwendung von Druck und Temperatur zusammenlaminiert und einem Sinterprozess unterworfen. Der so hergestellte PTC-Temperaturfühler ist ein Verbundkörper mit einer von den Keramikfolien, den Kontaktflächen und der Widerstandsbahn gebildeten, horizontalen Schichtstruktur und mit einer von den Durchkontaktierungen in den Löchern gebildeten, vertikalen Schichtstruktur.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Das erfindungsgemäße Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, dass durch das einzelne, aufeinanderfolgende Einbringen der Schichten mit unterschiedlichen Funktionseigenschaften, wie elektrische Isolation, elektrische Leitfähigkeit oder Schutzfunktion gegen äußere Einflüsse, in das mindestens eine Durchgangsloch mittels Durchsaugen des entsprechenden Materials durch das Durchgangsloch und anschließendem Trocknen des sich im Loch niedergeschlagenen Materials vor Einleiten des nächsten Beschichtungsschritts auch vertikale, elektrochemische Messzellenstrukturen dargestellt werden können, und zwar unabhängig von der Lochform. Damit ist es möglich, vorteilhafte Sensorelement-Layouts herzustellen, die eine Miniaturisierung z. B. von Breitband-Lambdasonden und Stickoxidsonden ermöglichen.
  • Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Verfahrens möglich.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird das Durchsaugen der Suspension aus dem jeweiligen Material nacheinander von verschiedenen Seiten der Keramikfolie her durchgeführt. Dadurch wird eine gleichmäßige Schichtdicke für die jeweilige Materialschicht erzielt.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird vor Erzeugen der vertikalen Schichtstruktur das mindestens eine Durchgangsloch an den voneinander abgekehrten Lochrändern angefast. Durch die Anfasungen an den beiden Lochrändern wird die Strömung der Suspension beim Durchsaugen optimiert, was ebenfalls zur Erzielung einer über die Lochwand gleichmäßigen Schichtdicke der einzelnen Materialschichten beiträgt.
  • Der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Verbundkörper mit den Merkmalen des Anspruchs 8 hat den Vorteil, ein Sensorelement mit zwei elektrochemischen Messzellen zu realisieren, mit dem zwei separat zugeführte Messgasströme komparativ gegen dasselbe Referenzgas gemessen werden können. Bei Einsatz als Sensorelement für eine Abgas- oder Lambdasonde können die Messgasströme zwei unterschiedliche Abgasströme sein, von denen einer von einem ersten Verbrennungszylinder und der andere von einem zweiten Verbrennungszylinders des Verbrennungsmotors abgenommen sind, womit eine Einzelzylinderregelung möglich ist. In einem anderen Anwendungsfall können die beiden Messgasströme vom gleichen Abgas abgeleitet sein und über z. B. unterschiedliche Diffusionsbarrieren und unterschiedlicher Elektroden gemessen werden. Ein Anwendungsfall ist z. B. ein Sensorelement für einen Stickoxidsensor mit einer nur Sauerstoff messenden, passiven Messelektrode und einer Sauerstoff und Stickoxid messenden, aktiven Messelektrode.
  • Der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Verbundkörper mit den Merkmalen des Anspruchs 10 hat den Vorteil, ein Sensorelement mit einer vertikal ausgerichteten, elektrochemischen Messzelle zu realisieren, das fertigungstechnisch sehr gut zur Miniaturisierung geeignet ist. Je nach Beaufschlagung der Gaszutrittsöffnungen in der vertikalen Schichtstruktur kann die Messzelle als Nernstzelle für eine λ = 1-Sonde oder als Pumpzelle für eine Magersonde nach dem Grenzstromprinzip betrieben werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung ist anhand von in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 ausschnittweise eine perspektivische Darstellung eines Verbundkörpers,
  • 2 einen Schnitt längs der Linie II-II in 1,
  • 3 einen Schnitt längs der Linie III-III in 2,
  • 4 ausschnittweise eine Draufsicht einer Keramikfolie mit mehreren, noch nicht vereinzelten Sensorelementen für je einen Verbundkörper gemäß 1 bis 3,
  • 5 ausschnittweise einen Schnitt eines Verbundkörpers gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel,
  • 6 einen Schnitt längs der Linie VI-VI in 5.
  • Die beiden in 1 bis 3 und in 5 und 6 skizzierten, keramischen Verbundkörper weisen eine horizontale Schichtstruktur mit aufeinanderlaminierten Keramikfolien 11, 12, 13 und eine zur horizontalen Schichtstruktur rechtwinklig verlaufende, vertikale Schichtstruktur mit mehreren, aneinanderliegenden Materialschichten mit unterschiedlichen Funktionseigenschaften auf. Die vertikale Schichtstruktur ist dadurch erzeugt, dass in eine Keramikfolie 12 mindestens ein Durchgangsloch 14, 15 (2 und 3) bzw. 16 (5 und 6) eingearbeitet und die Lochwand mit mehreren aneinanderliegenden Materialschichten mit unterschiedlichen Funktionseigenschaften beschichtet wird. Diese Beschichtung wird in aufeinanderfolgenden Beschichtungsschritten durchgeführt, indem mit jedem Beschichtungsschritt eine Suspension des jeweiligen Materials durch das mindestens eine Durchgangsloch 14, 15 bzw. 16 gesaugt und die Keramikfolie 12 einen Trocknungsprozess ausgesetzt wird, bevor ein weiterer Beschichtungsschritt durchgeführt wird. Das Durchsaugen der Suspension des jeweiligen Materials wird vorzugsweise nacheinander von verschiedenen Seiten der Keramikfolie 12 her durchgeführt, wobei die Strömung der Suspension durch das Durchgangsloch 14, 15 bzw. 16 dadurch optimiert wird, dass die Durchgangslöcher 14, 15 bzw. 16 an den voneinander abgekehrten Lochrändern angefast werden. Die in der Keramikfolie 12 erzeugten Durchgangslöcher 14, 15 bzw. 16 werden durch Stanzen, Bohren, Fräsen oder durch Lasern hergestellt und können eine beliebige, jeweils gewünschte Form aufweisen. In den hier dargestellten Ausführungsbeispielen ist das mimndestens eine Durchgangsloch 14, 15 bzw. 16 rechteckig bzw. schlitzartig, es kann jedoch auch kreisrund, oval oder strukturiert, z. B. als Gitter, ausgeführt werden.
  • Zur Herstellung des Verbundkörpers gemäß dem in 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiels werden in eine Grünfolie 17 (4) aus einem Festelektrolyt, auch Festionenleiter genannt, z. B. yttriumstabilisiertes Zirkoniumoxid, aus der später die Keramikfolie 12 gewonnen wird, zwei verschiedene Arten von Durchgangslöchern 14, 15 eingearbeitet, wobei abwechselnd ein Durchgangsloch 15 einem Durchgangsloch 14 folgt. Durch alle Durchgangslöchern 14, 15 wird zunächst eine Suspension aus elektrisch leitendem Material, z. B. Platin-Cermit, hindurchgesaugt, wodurch sich auf einander gegenüberliegenden Wandflächen der Lochwände Material abscheidet und eine elektrische Leitschicht 18 mit einer Schichtdicke oder Schichtstärke von 5 bis 50 μm bildet. In dem sich anschließenden Trocknungsprozess, dem die Grünfolie 17 ausgesetzt wird, trocknen die eingebrachten Leitschichten 18. Nach Trocknen der Leitschichten 18 wird ausschließlich durch die Durchgangslöcher 15 eine Suspension eines porösen Materials, z. B. mit Porenbildner versehenes Aluminiumoxid, hindurchgesaugt, so dass sich auf den einander gegenüberliegenden Leitschichten 18 in den Durchgangslöchern 15 jeweils eine Diffusionsbarriere 19 in gewünschter Schichtdicke niederschlägt. Nach Trocknen der Diffusionsbarrieren 19 durch erneutes Aussetzen der Grünfolie 17 einem Trocknungsprozess wird durch alle Durchgangslöcher 14, 15 eine Suspension aus einem porösen Schutzmaterial, z. B. Aluminiumoxid, hindurchgesaugt, so dass sich einerseits auf die elektrischen Leitschichten 18 in den Durchgangslöchern 14 und andererseits auf die Diffusionsbarrieren 19 in den Durchgangslöchern 15 jeweils eine poröse Schutzschicht 20 niederschlägt. In allen Durchgangslöchern 14, 15 verbleibt zwischen den Schutzschichten 20 ein Hohlraum 28.
  • Die solchermaßen mit der vertikalen Schichtstruktur versehene Grünfolie 17 wird längs der mittig durch die Durchgangslöcher 15 führenden, strichpunktierten Linien 21 in 4 durchtrennt, so dass mehrere identische Abschnitte 171 der Grünfolie 17 entstehen. Jeder Abschnitt 171 der Grünfolie 17 bildet eine Keramikfolie 12, wie sie in der horizontalen Schichtstruktur des keramischen Verbundkörpers gemäß 1 bis 3 enthalten ist. Diese Keramikfolie 12 wird auf einer Trägerfolie 13, z. B. aus Aluminiumoxid, aufgelegt und von einer Deckfolie 13, z. B. aus Aluminiumoxid, bedeckt. In die Deckfolie 13 ist eine Durchgangsöffnung 22 so eingebracht, dass sie in dem Durchgangsloch 14 in dem zwischen den beiden porösen Schutzschichten 20 liegenden Hohlraum 28 mündet. Die Keramikfolien 11, 12, 13 werden unter Anwendung von Druck und Temperatur zusammenlaminiert und anschließend einem Sinterprozess unterworfen.
  • Der so hergestellte Verbundkörper gemäß 1 bis 3 weist eine horizontale Schichtstruktur, gebildet durch die Keramikfolien 11, 12, 13, und eine vertikale Schichtstruktur, gebildet durch die in der mittleren Keramikfolie 12 ausgebildeten Leitschichten 18, Diffusionsbarrieren 19 und Schutzschichten 20, auf. Dabei sind in dem schlitzartigen, mittleren Durchgangsloch 14 in der aus einem Festelektrolyten bestehenden Folie 12 die einander gegenüberliegenden Lochwände mit einer elektrtischen Leitschicht 18 und einer diese abdeckenden, porösen Schutzschicht 20 versehen. Die in der aus einem Festelektrolyten bestehenden Keramikfolie 12 links und rechts von dem mittleren Durchgangsloch 14 liegenden, schlitzartigen Halblöcher 15a und 15b sind durch die Vereinzelung der Folienabschnitt 171 aus je einem Durchgangsloch 15 in der Grünfolie 17 hervorgegangen und tragen somit auf ihrer dem mittleren Durchgangsloch 14 näher liegenden Wandfläche jeweils eine elektrische Leitschicht 18, eine Diffusionsbarriere 19 und eine die Diffusionsbarriere 19 bedeckende Schutzschicht 20. Ein solcher Verbundkörper für eine elektrochemisches Sensorelement weist damit zwei Nernstzellen mit vertikal ausgerichteten Elektroden auf. Mit einem solchen Sensorelement können zwei separat zugeführte Messgasströme komparativ gegen dasselbe Referenzgas gemessen werden. Die in 1 und 2 mit Pfeilen A und B symbolisierten Messgasströme werden dabei den außenliegenden Halblöchern 15a und 15b zugeführt, während der in 1 und 2 durch Pfeil C symbolisierte Referenzgasstrom in das Durchgangsloch 22 in der Keramikfolie 12 gelangt. Die von den elektrischen Leitschichten 18 gebildeten, gassensitiven Elektroden der beiden Nernstzellen werden somit einmal direkt von dem Referenzgas und einmal über die Diffusionsbarrieren 19 mit Messgas beaufschlagt. Im Anwendungsfall einer Abgassonde ist das Referenzgas Luft und die beiden Messgasströme A und B Abgas aus verschiedenen Verbrennungszylindern des Verbrennungsmotors. Bei Auslegung der einen Nernstzelle mit einer Sauerstoff messenden passiven Messelektrode und der anderen Nernstzelle mit einer Sauerstoff und Stickoxid messenden aktiven Messelektrode können beide Messgasströme A und B dasselbe Abgas sein.
  • Bei dem in 5 und 6 im Schnitt dargestellten keramischen Verbundkörper für ein elektrochemisches Sensorelement sind alle drei Keramikfolien 11, 12 und 13 aus einem Isolationsmaterial, z. B. Aluminiumoxid (Al2O3), hergestellt. Die mittlere Keramikfolie 12 enthält eine vertikale Schichtstruktur, bestehend aus zwei elektrischen Leitschichten 18 und einer dazwischenliegenden Festelektrolytschicht 23. Wie eingangs bereits erwähnt, ist diese vertikale Schichtstruktur dadurch erzeugt, dass vor Zusammenlaminieren der drei Keramikfolien 11, 12, 13 in die mittlere Keramikfolie 12 ein Loch 16 eingearbeitet wird, mit Hilfe des aufeinanderfolgenden Durchsaugens von zwei Suspensionen mit elektrisch leitendem Material einerseits und Festelektrolytmaterial andererseits zunächst die gegenüberliegenden Lochwände mit den elektrischen Leitschichten 18 belegt werden und danach zwischen die elektrischen Leitschichten 18 eine beide bedeckende Festelektrolytschicht 23 eingebracht wird. Das Durchsaugen wird dabei so gestaltet, dass sich auf jeder Lochwand die Leitschicht 18 mit einer Sichtdicke von 5 bis 50 μm niederschlägt und die Festelektrolytschicht 23 eine Schichtdicke von 5 bis 100 μm aufweist. Zwischen den beiden Durchsaugprozessen und nach dem letzten Durchsaugprozess wird die Keramikfolie 12 jeweils einem Trocknungsprozess ausgesetzt. Die als Trägerschicht fungierende Keramikfolie 13 und die als Deckschicht fungierende Keramikfolie 11 werden mit je einer Gaszutrittsöffnung 24 bzw. 25 versehen. Die Gaszutrittsöffnung 24 mündet an der einen elektrischen Leitschicht 18 und die Gaszutrittsöffnung 25 an der anderen elektrischen Leitschicht 18. In den Gaszutrittsöffnungen 24, 25 sind elektrische Zuleitungen 26 bzw. 27 zu den elektrischen Leitschichten 18 integriert.
  • Ein solcher Verbundkörper bildet ein elektrochemisches Sensorelement für einen Gasmessfühler mit einer Nernstzelle mit vertikaler Elektrodenstruktur. Wird die eine Gaszutrittsöffnung 24 mit einem Referenzgas und die andere Gaszutrittsöffnung 25 mit einem Messgas, wie dem Abgas eines Verbrennungsmotors, beaufschlagt, so misst das Sensorelement den Sauerstoffgehalt im Abgas als λ = 1-Sonde. Wird beiden Gaszutrittsöffnungen 24, 25 Abgas zugeführt, so kann das Sensorelement als Magersonde nach dem Grenzstromprinzip betrieben werden. Hierzu ist es erforderlich, dass eine der beiden Gaszutrittsöffnungen 24, 25 entweder mit einem Diffusionsbarrierematerial gefüllt ist oder so dimensioniert ist, dass sie selbst als Diffusionsbarriere wirkt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 3733192 C1 [0002]

Claims (13)

  1. Verfahren zur Herstellung eines keramischen Verbundkörpers mit einer aufeinanderlaminierte Keramikfolien (11, 12, 13) aufweisenden, horizontalen Schichtstruktur, bei dem in mindestens einer der Keramikfolien (12) mindestens ein Durchgangsloch (14, 15; 16) eingearbeitet und durch Beschichten der Lochwand mit mehreren, aneinanderliegenden Materialschichten mit unterschiedlichen Funktionseigenschaften eine zur horizontalen Schichtstruktur rechtwinklig verlaufende, vertikale Schichtstruktur erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Erzeugung der vertikalen Schichtstruktur in einzelnen, aufeinanderfolgenden Beschichtungsschritten durchgeführt wird, indem mit jedem Beschichtungsschritt eine Suspension des jeweiligen Materials durch das Durchgangsloch (14, 15; 16) gesaugt und die Keramikfolie (12) einem Trocknungsprozess ausgesetzt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchsaugen der Suspension des jeweiligen Materials nacheinander von verschiedenen Seiten der Keramikfolie (12) her durchgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass vor Erzeugen der vertikalen Schichtstruktur das mindestens eine Durchgangsloch (14, 15; 16) an den voneinander abgekehrten Lochrändern angefast wird.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Durchgangsloch (14, 15; 16) in einer gewünschten Form, z. B. kreisrund, oval, rechteckig, schlitzartig oder strukturiert, z. B. als Gitter, gestanzt, gebohrt, gefräst oder gelasert wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung mit einem elektrisch isolierenden Material in einer Schichtdicke von 5 bis 100 μm durchgeführt wird.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung mit einem elektrisch leitenden Material in einer Schichtdicke von 5 bis 50 μm durchgeführt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung mit einem Festelektrolyten in einer Schichtdicke von 5 bis 100 μm durchgeführt wird.
  8. Keramischer Verbundkörper für ein elektrochemisches Sensorelement, mit einer aufeinanderlaminierte Keramikfolien (11, 12, 13) aufweisenden, horizontalen Schichtstruktur und mit einer dazu rechtwinklig verlaufenden vertikalen Schichtstruktur, die in mindestens einem in eine aus einem Festelektrolyten bestehende Keramikfolie (12) eingebrachten Durchgangsloch (14, 15) einliegt, dadurch gekennzeichnet, dass die Keramikfolie (12) ein mittleres Durchgangsloch (14) und zwei auf voneinander abgekehrten Seiten des mittleren Durchgangslochs (14) angeordnete äußere Durchgangslöcher (15a, 15b) aufweist, dass das mittlere Durchgangsloch (14) auf gegenüberliegenden Wandflächen der Lochwand jeweils eine Schichtstruktur aus einer die Wandfläche belegenden, elektrischen Leitschicht (18) und einer diese bedeckenden, porösen Schutzschicht (20) aufweist und dass die beiden äußeren Durchgangslöcher (15a, 15b) jeweils auf der dem mittleren Durchgangsloch (14) näherliegenden Wandfläche der Lochwand eine Schichtstruktur aus einer die Wandfläche bedeckenden, elektrischen Leitschicht (18), einer diese bedeckenden, porösen Diffusionsbarriere (19) und einer die Diffusionsbarriere (19) bedeckenden, porösen Schutzschicht (20) aufweist und jede der Schutzschichten (20) in den drei Durchgangslöchern (14, 15) einen Hohlraum (28) begrenzt.
  9. Keramischer Verbundkörper nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlraum (28) des mittleren Durchgangslochs (14) von einem Referenzgas (C) und die Hohlräume (28) der beiden äußeren Durchgangslöcher (15a, 15b) von je einem Messgasstrom (A, B) beaufschlagt sind.
  10. Keramischer Verbundkörper für ein elektrochemisches Sensorelement mit einer aufeinanderlaminierte, elektrisch isolierende Keramikfolien (11, 12, 13) aufweisenden, horizontalen Schichtstruktur und mit mindestens einer dazu rechtwinklig verlaufenden, vertikalen Schichtstruktur, die in mindestens einem in eine der Keramikfolien (12) eingebrachten Durchgangsloch (16) einliegt, dadurch gekennzeichnet, dass die vertikale Schichtstruktur zwei die einander gegenüberliegenden Wandflächen der Lochwand belegende elektrische Leitschichten (18) und eine beide elektrische Leitschichten (18) bedeckende Festelektrolytschicht (23) aufweist und dass in der horizontalen Schichtstruktur Gaszutrittsöffnungen (24, 25) vorhanden sind, von denen jeweils eine an einer der beiden elektrischen Leitschichten (18) mündet.
  11. Keramischer Verbundkörper nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die eine der Gaszutrittsöffnungen (24, 25) mit einem Messgas und die andere der Gaszutrittsöffnungen (24, 25) mit einem Referenzgas beaufschlagt ist.
  12. Keramischer Verbundkörper nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Gaszutrittsöffnungen (24, 25) mit demselben Messgas beaufschlagt sind und die eine der Gaszutrittsöffnungen (24, 25) mit einem eine Diffusionsbarriere bildenden porösen Material gefüllt oder so dimensioniert ist, dass sie eine Diffusionsbarriere für das Messgas bildet.
  13. Keramischer Verbundkörper nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchganglöcher (14, 15; 16) als über die Breite der Keramikfolie (12) sich erstreckende Schlitze ausgebildet sind.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3733192C1 (de) 1987-10-01 1988-10-06 Bosch Gmbh Robert PTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von PTC-Temperaturfuehlerelementen fuer den PTC-Temperaturfuehler

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