DE102007055900A1 - Geschichteter Gassensor mit verbessertem Aufbau zum zuverlässigen Verhindern von Brüchen - Google Patents

Geschichteter Gassensor mit verbessertem Aufbau zum zuverlässigen Verhindern von Brüchen Download PDF

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Makoto Kariya Nakae
Kiyomi Kariya Kobayashi
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Abstract

Ein geschichteter Gassensor hat eine Festelektrolytschicht, eine Messgaskammer, eine Referenzgaskammer, eine Messgaskammerausbildungsschicht und eine Referenzgaskammerausbildungsschicht. Die Messgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen, die sich in einer Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in einer lateralen Richtung der Festelektrolytschicht durch die Messgaskammer zugewandt sind. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen, die sich in der Längsrichtung erstrecken und einander in der Querrichtung durch die Referenzgaskammer zugewandt sind. Ferner befindet sich wenigstens eine von den inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht weiter innerhalb des geschichteten Gassensors als eine entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • 1. Technisches Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft einen geschichteten Gassensor zum Abfühlen der Konzentration einer bestimmten Komponente, beispielsweise O2 oder NOx in dem Abgas eines Kraftfahrzeugs.
  • 2. Beschreibung des zugehörigen Stands der Technik
  • Um eine Luftverschmutzung zu verhindern, wurden die Bestimmungen für Abgase von Automobilmaschinen Jahr für Jahr zunehmend streng. Zum Verringern schädlicher, in den Abgasen enthaltener Komponenten wurden Systeme entwickelt, die einen Gassensor einsetzen, um die Konzentration einer bestimmten Gaskomponente in einem Abgasdurchgang der Maschine zu erfassen und die Menge von schädlichen Komponenten in dem Abgas durch eine Verbrennungssteuerung der Maschine basierend auf der erfasste Konzentration zu unterdrücken. Zu dem gleichen Zweck wurden auch Systeme entwickelt, die einen Gassensor einsetzen, um die Konzentration von O2 oder NOx in dem Abgas der Maschine zu erfassen, um die Verbrennungsbedingung der Maschine auf der Basis der erfassten Konzentration zu bestimmen, und um die Kraftstoffeinspritzung oder ein Luft/Kraftstoff-Verhältnis der Maschine zu regeln.
  • Gassensoren für derartige Anwendungen waren in der Vergangenheit becherförmig. Jedoch sind geschichtete Gassensoren nun so weit, diese becherförmigen Gassensoren hinsichtlich einer raschen Aktivierung und einer hohen Funktionsfähigkeit zu ersetzen. Geschichtete Gassensoren werden im Allgemeinen durch Schichten und Zusammenbrennen eines Sensorabschnitts und eines Heizgerätabschnitts hergestellt.
  • Beispielsweise offenbart die japanische Patentanmeldungsoffenlegungsschrift Nr. 2004-333205 einen geschichteten Gassensor, der einen Diffusionswiderstandsabschnitt, eine Messgaskammer, in die durch den Diffusionswiderstandsabschnitt ein zu messendes Gas eingeführt wird, eine Festelektrolytlage, die sauerstoffionenleitfähig ist, eine Messelektrode, die an einer Fläche der Festelektrolytlage befestigt ist, um innerhalb der Messgaskammer dem Gas ausgesetzt zu sein, eine Referenzelektrode, die an einer anderen Fläche der Festelektrolytlage befestigt ist, um zusammen mit der Messelektrode eine elektrochemische Zelle zu formen, aufweist.
  • Die 8, 9A und 9B zeigen gemeinsam einen geschichteten Gassensor 1B gemäß dem Stand der Technik, der einen Sensorabschnitt 20B und einen Heizgerätabschnitt 19 aufweist, die geschichtet und zusammengebrannt sind.
  • Der Sensorabschnitt 20B hat eine poröse Gasdiffusionsschicht 14, eine Messgaskammerausbildungsschicht 13B, eine Festelektrolytschicht 11 und eine Referenzgaskammerausbildungsschicht 12. Die poröse Gasdiffusionsschicht 14 ist beispielsweise aus Aluminiumoxid hergestellt. Die Messgaskammerausbildungsschicht 13B hat eine Öffnung zum Ausbilden einer Messgaskammer 130B. Die Festelektrolytschicht 11 ist beispielsweise aus teilweise stabilisiertem Zirkonoxid hergestellt. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 hat einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt zum Ausbilden einer Referenzgaskammer 120.
  • An einer oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 sind beispielsweise durch Drucken eine Messelektrode 21, eine Messleitung 211, ein Messelektrodenanschluss 212, der mit der Messelektrode 21 über die Messleitung 211 verbunden ist, und ein Referenzelektrodenanschluss 224 ausgebildet. Andererseits sind an einer unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 beispielsweise durch Drucken eine Referenzelektrode 22 und Referenzleitungen 221 und 222 ausgebildet. Die Referenzleitungen 221 und 222 verbinden die Referenzelektrode 22 über einen in der Festelektrolytschicht 11 ausgebildeten Durchgangsbohrungsanschluss 223 mit dem Referenzelektrodenanschluss 224.
  • Die Gasdiffusionsschicht 14 ist an der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 über die Messgaskammerausbildungsschicht 13B befestigt. Infolgedessen wird die Messgaskammer 130B ausgebildet, die durch die Gasdiffusionsschicht 14, die Messgaskammerausbildungsschicht 13B und die obere Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 umgeben ist. Andererseits ist die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 an der unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 befestigt. Infolgedessen wird die Referenzgaskammer 120 ausgebildet, die von der unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 und der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 umgeben ist. Der Heizgerätabschnitt 19 hat ein Heizgerätsubstrat 190, ein Heizelement 191, ein Paar Heizgerätleitungen 192, die mit dem Heizelement 191 verbunden sind, und ein paar Heizgerätanschlüsse 194. Das Heizgerätsubstrat 190 ist beispielsweise aus Aluminiumoxid hergestellt. Das Heizelement 191 und die Heizgerätleitungen 192 sind beispielsweise durch Drucken auf einer oberen Fläche 195 des Heizgerätsubstrats 190 ausgebildet. Andererseits sind die Heizgerätanschlüsse 194 beispielsweise durch Drucken auf einer unteren Fläche 196 des Heizgerätsubstrats 190 ausgebildet und über die Durchgangsbohrungselektroden 193, die in dem Heizgerätsubstrat 190 ausgebildet sind, jeweils mit den Heizgerätleitungen 192 verbunden.
  • Bei dem vorstehenden geschichteten Gassensor 1B sind jedoch Hohlräume (d. h., die Messgaskammer 130B und die Referenzgaskammer 120) sowohl an der oberen, als auch an der unteren Seite der Festelektrolytschicht 11 ausgebildet. Folglich hat derjenige Abschnitt der Festelektrolytschicht 11, der zwischen den Hohlräumen zwischengelegt ist, eine geringere Festigkeit als die anderen Abschnitte. Daher können während den Brenn- und Kühlprozessen des geschichteten Gassensors 1B Brüche in der Festelektrolytschicht 11 auftreten.
  • Genauer gesagt, bezugnehmend auf die 9A und 9B, können Brüche in der Festelektrolytschicht 11 um die Schnittstellen zwischen der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 und einem gegenüberliegenden Paar von inneren Seitenflächen 131B der Messgaskammerausbildungsschicht 13B auftreten; die inneren Seitenflächen 131B erstrecken sich in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht 11 und sind einander durch die dazwischen ausgebildete Messgaskammer 130B hindurch zugewandt.
  • Derartige in der Festelektrolytschicht 11 existierende Brüche werden von außerhalb des geschichteten Gassensors 1B nur schwer gefunden, wodurch die Zuverlässigkeit des Sensors 1B beträchtlich verringert wird. Deshalb ist es erforderlich, zuverlässig zu verhindern, dass während eines Herstellens des geschichteten Gassensors 1B Brüche in der Festelektrolytschicht 11 auftreten.
  • Insbesondere wenn der geschichtete Gassensor 1B verwendet wird, um die Konzentration von O2 in dem Abgas einer Automobilmaschine zu erfassen, wird er rasch auf eine Temperatur überhalb 500°C erwärmt. Daher, wenn Bruchstellen in der Festelektrolytschicht 11 existieren, werden die Brüche aufgrund einer Wärmespannung voranschreiten, was zu einer Beschädigung des geschichteten Gassensors 1B führt.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die Erfindung wurde im Hinblick auf die vorstehend erwähnten Probleme gemacht.
  • Es ist deshalb eine Hauptaufgabe der Erfindung, einen geschichteten Gassensor bereitzustellen, der einen verbesserten Aufbau zum zuverlässigen Verhindern eines Auftretens von Brüchen in einer Festelektrolytschicht des geschichteten Gassensors während einer Herstellung hat.
  • Erfindungsgemäß ist ein geschichteter Gassensor vorgesehen, der eine Festelektrolytschicht, eine Messgaskammer, eine Referenzgaskammer, eine Messelektrode, eine Referenzelektrode, eine Messgaskammerausbildungsschicht und eine Referenzgaskammerausbildungsschicht aufweist.
  • Die Festelektrolytschicht hat ein entgegengesetztes Paar von einer ersten und einer zweiten Hauptfläche. Die erste und die zweite Hauptfläche haben eine Länge und eine Breite, wodurch sie eine Längs- und eine Querrichtung der Festelektrolytschicht definieren. Die Messgaskammer und die Referenzgaskammer sind an der ersten bzw. zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht ausgebildet. Ein zu messendes Gas und ein Referenzgas sind in die Messgaskammer bzw. die Referenzgaskammer einzuführen. Die Messelektrode ist an der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht und innerhalb der Messgaskammer vorgesehen, um dem Gas ausgesetzt zu sein. Die Referenzelektrode ist an der zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht und innerhalb der Referenzgaskammer vorgesehen, um dem Referenzgas ausgesetzt zu sein. Die Messgaskammerausbildungsschicht hat einen in sich ausgebildeten ersten Hohlraum und ist an die erste Hauptfläche der Festelektrolytschicht geschichtet, so dass der erste Hohlraum die Messgaskammer ausbildet. Die Messgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar innerer Seitenflächen, die sich in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in der Querrichtung der Festelektrolytschicht durch die dazwischen ausgebildete Messgaskammer zugewandt sind. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht hat einen zweiten, in sich ausgebildeten, Hohlraum und ist an die zweite Hauptfläche der Festelektrolytschicht geschichtet, so dass der zweite Hohlraum die Referenzgaskammer bildet. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar innerer Seitenflächen, die sich in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in der Querrichtung der Festelektrolytschicht durch die dazwischen ausgebildete Referenzgaskammer zugewandt sind.
  • Ferner befindet sich bei dem geschichteten Gassensor wenigstens eine der inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht weiter innerhalb des geschichteten Gassensors als eine entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung der Festelektrolytschicht.
  • Mit dem vorstehenden Aufbau werden einwärts gerichtete Spannungen aufgrund des Gewichts von demjenigen Abschnitt der Festelektrolytschicht, der zwischen der Messgaskammer und einer Referenzgaskammer zwischengelegt ist, und der Gewichte der Mess- und Referenzelektroden auf die Festelektrolytschicht wirken. Die Wirkpositionen der einwärts gerichteten Spannungen fallen in der lateralen Richtung der Festelektrolytschicht mit den Schnittstellen zwischen den inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht bzw. der zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht zusammen. Ferner werden während eines Brennprozesses beim Herstellen des geschichteten Gassensors auswärtsgerichtete Spannungen aufgrund des Schrumpfens der Messgaskammerausbildungsschicht auf die Festelektrolytschicht wirken. Die Wirkpositionen der auswärts gerichteten Spannungen befinden sich jeweils bei den Schnittstellen zwischen den inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht und der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht.
  • Da sich wenigstens eine der inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht weiter innerhalb des geschichteten Gassensors befindet, als die entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung der Festelektrolytschicht, ist die Wirkposition von wenigstens einer der auswärts gerichteten Spannungen von derjenigen einer entsprechenden der einwärts gerichteten Spannungen versetzt.
  • Infolgedessen wird die wenigstens eine auswärts gerichtete Spannung durch die zugehörige einwärts gerichtete Spannung aufgehoben und dadurch wird eine Beanspruchung in der Festelektrolytschicht signifikant verringert. Infolgedessen kann zuverlässig verhindert werden, dass Brüche in der Festelektrolytschicht auftreten, wodurch die Zuverlässigkeit des geschichteten Gassensors sichergestellt wird.
  • Gemäß einer weiteren Umsetzung der Erfindung erstreckt sich die wenigstens eine der inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht zickzackförmig in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht, wodurch ein Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitt der Messgaskammerausbildungsschicht ausgebildet wird, der von der entsprechenden der inneren Seitenflächen von der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung der Festelektrolytschicht einwärts vorsteht.
  • Mit dem Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitt wird die Beanspruchung in der Festelektrolytschicht weiter verringert, wodurch ferner zuverlässig verhindert wird, dass Brüche in der Festelektrolytschicht auftreten.
  • Der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitt der Messgaskammerausbildungsschicht hat einen Querschnitt, der parallel zu der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht ist, und ist in einer Wellenform geformt, die eine Vielzahl von Gipfeln und Tälern aufweist, die in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht abwechselnd angeordnet sind.
  • Mit einer derartigen Wellenform des Querschnitts kann die Spannung auf der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht weiter wirksam dekonzentriert werden, wodurch ferner zuverlässig verhindert wird, dass Brüche in der Festelektrolytschicht auftreten.
  • Ferner kann die Welle entweder eine dreiecksförmige, eine sinusförmige oder eine rechteckförmige Welle sein.
  • Des Weiteren ist es wünschenswert, dass 0,2T < H < 2,5T, wobei T ein Abstand der Welle und H eine Höhe der Welle ist.
  • Es ist auch wünschenswert, dass die Welle weniger oder gleich als 50 Paare von Gipfeln und Tälern aufweist.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung wird aus der detaillierten Beschreibung, die nachstehend gegeben wird, und aus den beigefügten Zeichnungen eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung vollständiger verstanden werden, welches jedoch nicht herangezogen werden sollte, um die Erfindung auf das bestimmte Ausführungsbeispiel zu beschränken, sondern nur zum Zwecke der Erklärung und des Verständnisses ist.
  • In den beigefügten Zeichnungen:
  • 1 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines geschichteten Gassensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 2A ist eine seitliche Querschnittansicht des geschichteten Gassensors von 1;
  • 2B ist eine Querschnittansicht entlang der Linie A-A in 2A;
  • die 3A und 3B sind schematische Querschnittansichten, die den Mechanismus eines Auftretens von Brüchen in herkömmlichen geschichteten Gassensoren darstellen;
  • die 4A und 4B sind schematische Querschnittansichten, die die Vorteile des geschichteten Gassensors von 1 beim Verhindern eines Auftretens von Brüchen darstellen;
  • die 5A, 5B und 5C zeigen Abwandlungen von Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitten einer Festelektrolytschicht in dem geschichteten Gassensor von 1;
  • 6 ist eine grafische Darstellung, die die Ergebnisse einer experimentellen Untersuchung zum Bestätigen der Vorteile des geschichteten Gassensors von 1 zeigt;
  • die 7 und 7B zeigen geschichtete Gassensoren verschiedener Arten, bei denen die Erfindung angewandt werden kann;
  • 8 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines herkömmlichen geschichteten Gassensors;
  • 9A ist eine Seitenquerschnittansicht des herkömmlichen Gassensors mit einer Angabe von Positionen, bei denen Brüche auftreten; und
  • 9B ist eine Querschnittansicht entlang der Linie A-A in 9A, wobei die Positionen von auftretenden Brüchen angezeigt sind.
  • Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels
  • Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die 16 beschrieben.
  • Die 1, 2A und 2B zeigen gemeinsam den Gesamtaufbau eines geschichteten Gassensors 1 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Wie es gezeigt ist, hat der geschichtete Gassensor 1 einen Sensorabschnitt 20 und einen Heizabschnitt 19, die geschichtet und aneinander gebrannt sind.
  • Der Sensorabschnitt 20 hat eine poröse Gasdiffusionsschicht 14, eine Messgaskammerausbildungsschicht 13, eine Festelektrolytschicht 11 und eine Referenzgaskammerausbildungsschicht 12. Die poröse Gasdiffusionsschicht 14 ist beispielsweise aus Aluminiumoxid hergestellt. Die Messgaskammerausbildungsschicht 13 hat eine Öffnung zum Ausbilden einer Messgaskammer 130. Die Festelektrolytschicht 11 ist beispielsweise aus teilweise stabilisiertem Zirkonoxid hergestellt. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 hat einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt zum Ausbilden einer Referenzgaskammer 120.
  • Die Festelektrolytschicht 11 hat ein entgegengesetztes Paar Hauptflächen, d. h., eine obere Fläche 111 und eine untere Fläche 112. Die obere und die untere Fläche 111 und 112 haben eine gegebene Länge und eine gegebene Breite, wodurch eine Längs- und eine Querrichtung D1 und D2 der Festelektrolytschicht 11 definiert werden.
  • An der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 sind beispielsweise durch Drucken eine Messelektrode 21, eine Messleitung 211, ein Messelektrodenanschluss 212, der über die Messleitung 211 mit der Messelektrode 21 verbunden ist, und ein Referenzelektrodenanschluss 224 ausgeformt. Andererseits sind an der unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 beispielsweise durch Drucken eine Referenzelektrode 22 und Referenzleitungen 221 und 222 ausgebildet. Die Referenzleitungen 221 und 222 verbinden die Referenzelektrode 22 über einen in der Festelektrolytschicht 11 ausgeformten Durchgangsbohrungsanschluss 223 mit dem Referenzelektrodenanschluss 224.
  • Die Gasdiffusionsschicht 14 ist an der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 über die Messgaskammerausbildungsschicht 13 befestigt. Infolgedessen ist die Messgaskammer 130 ausgebildet, die, wie es am besten in 2A gezeigt ist, durch die Gasdiffusionsschicht 14, die Messgaskammerausbildungsschicht 13 und die obere Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 umgeben ist. Ferner befindet sich die Messelektrode 21 innerhalb der Messgaskammer 130, um einem Messgas (d. h., einem zu messenden Gas) ausgesetzt zu sein, das in die Messgaskammer 130 einzuführen ist.
  • Andererseits ist die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 an der unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 befestigt. Infolgedessen ist die Referenzgaskammer 120 ausgebildet, die, wie es am besten in 2A gezeigt ist, von der unteren Fläche 112 der Festelektrolytschicht 1 und der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 umgeben ist. Ferner befindet sich die Referenzelektrode 22 innerhalb der Referenzgaskammer 120, um einem Referenzgas, das in die Referenzgaskammer 120 einzuführen ist, ausgesetzt zu sein.
  • Die Messgaskammerausbildungsschicht 13 hat, wie es am besten in 2B gezeigt ist, ein gegenüberliegendes Paar innerer Seitenflächen 131, die sich in der Längsrichtung D1 der Festelektrolytschicht 11 erstrecken und einander durch die dazwischen ausgeformte Messgaskammer 130 zugewandt sind. Andererseits hat die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12, wie es in 2A gezeigt ist, ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen 121, die sich in der Längsrichtung D1 der Festelektrolytschicht 11 erstrecken und einander durch die dazwischen ausgeformte Referenzgaskammer 120 zugewandt sind.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel, wie es in 2A gezeigt ist, befindet sich jede der inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 weiter innen (d. h., weiter innerhalb des geschichteten Gassensors 1) als eine entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12.
  • Ferner, wie es in 2B gezeigt ist, erstreckt sich jede der inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 zickzackförmig in der Längsrichtung D1 der Festelektrolytschicht 11, wodurch ein Spannungsdekonzentrationsabschnitt 132 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 ausgebildet wird, der von der entsprechenden Seitenfläche der inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 vorsteht.
  • Die Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 haben jeweils einen Querschnitt, der parallel zu der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 ist, und der, wie es in 2B gezeigt ist, die Form einer Welle hat, die eine Vielzahl von Gipfeln und Tälern aufweist, die abwechselnd in der Längsrichtung D1 der Festelektrolytschicht 11 angeordnet sind. Die Welle hat eine Höhe H in der lateralen Richtung D2 der Festelektrolytschicht 11. Anders gesagt steht jeder der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 einwärts von einer entsprechenden Seitenfläche der inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 um H hervor.
  • Der Heizabschnitt 19 hat ein Heizsubstrat 190, ein Heizelement 191, ein Paar Heizleitungen 192, die mit dem Heizelement 191 verbunden sind, und ein Paar Heizkörperanschlüsse 194. Das Heizsubstrat 190 ist beispielsweise aus Aluminiumoxid hergestellt. Das Heizelement 191 und die Heizleitungen 192 sind beispielsweise durch Drucken an einer oberen Fläche 195 des Heizsubstrats 190 ausgeformt. Andererseits sind die Heizkörperanschlüsse 194 beispielsweise durch Drucken an einer unteren Fläche 196 des Heizsubstrats 190 ausgebildet und sind jeweils über die Durchgangsbohrungselektroden 193, die in dem Heizsubstrat 190 ausgeformt sind, mit den Heizleitungen 192 verbunden.
  • Der geschichtete Gassensor 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel kann beispielsweise in der folgenden Art und Weise hergestellt werden.
  • Zuerst wird die Festelektrolytschicht 11 vorbereitet. Genauer gesagt wird ein dünner Brei erhalten, indem beispielsweise ein Yttriumoxid-stabilisiertes Zirkonoxidpulver zusammen mit Sinterhilfen, einem Bindemittel (beispielsweise Polyvinylbutylaldehyd) und einem Weichmacher (beispielsweise Dibutylphthalat), in einem Lösungsmittel (beispielsweise einem organischen Lösungsmittel) dispergiert wird; der dünne Brei wird durch ein Rakelklingenverfahren in eine grüne Lage einer gegebenen Dicke geformt; die grüne Lage wird getrocknet und in ein Rechteck einer gegebenen Abmessung geschnitten; ferner ist eine Durchgangsbohrung in die grüne Lage gebohrt, um den Durchgangsbohrungsanschluss 223 auszubilden.
  • Zweitens wird eine Platinpaste, der der gleiche dünne Brei wie bei dem ersten Schritt zugegeben wird, auf die obere Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 gedruckt, um die Messelektrode 21, die Messleitung 211, den Messelektrodenanschluss 212 und den Referenzelektrodenanschluss 224 auszubilden. Die Platinpaste wird auch auf die untere Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 gedruckt, um die Referenzelektrode 22 und die Referenzleitungen 221 und 222 auszubilden. Die Platinpaste wird ferner an die innere Fläche der Festelektrolytschicht 11, die die Durchgangsbohrung definiert, gedruckt, um die Durchgangsbohrungselektrode 223 auszubilden.
  • Drittens wird die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 vorbereitet. Genauer gesagt wird ein dünner Aluminiumoxidbrei erhalten, indem Aluminiumoxidpulver, zusammen mit Sinterhilfen, einem Bindemittel und einem Weichmacher, in einem Lösungsmittel (beispielsweise einem organischen Lösungsmittel) dispergiert wird; der dünne Aluminiumoxidbrei wird durch Verwenden eines Rakelklingenverfahrens in Aluminiumoxidgrünlinge einer gegebenen Dicke geformt; die Aluminiumoxidgrünlinge werden getrocknet, geschnitten und geschichtet, um die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 auszubilden, die den im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt aufweist.
  • Viertens wird das Heizsubstrat 190 vorbereitet. Genauer gesagt wird ein Aluminiumoxidgrünling einer gegebenen Dicke in der gleichen Art und Weise wie bei dem dritten Schritt erhalten; sie wird dann getrocknet und in Rechtecke einer gegebenen Größe geschnitten und ferner werden Durchgangsbohrungen in sie gebohrt, um die Durchgangsbohrungselektroden 193 auszubilden.
  • Fünftens wird eine Platinpaste, der der gleiche dünne Aluminiumoxidbrei zugegeben wird, wie bei dem dritten Schritt, auf die obere Fläche 195 des Heizsubstrats 190 gedruckt, um das Heizelement 191 und die Heizleitungen 192 auszuformen. Die Platinpaste wird auch auf die untere Fläche 196 des Heizsubstrats 190 gedruckt, um die Heizkörperanschlüsse 194 auszuformen. Die Platinpaste wird ferner auf die inneren Flächen des Heizsubstrats 190 gedruckt, das die Durchgangsbohrungen definiert, um die Durchgangsbohrungsanschlüsse 193 auszuformen.
  • Sechstens wird die poröse Gasdiffusionsschicht 14 vorbereitet. Genauer gesagt wird ein zweiter dünner Aluminiumoxidbrei erhalten, indem ein Aluminiumoxidpulver mit einem größeren Durchmesser als demjenigen des dritten Schritts zusammen mit einem Bindemittel und einem Weichmacher in einem Lösungsmittel dispergiert wird; der zweite dünne Aluminiumoxidbrei wird durch Verwenden des Rakelklingenverfahrens in einen zweiten Aluminiumoxidgrünling einer gegebenen Dicke geformt; der zweite Aluminiumoxidgrünling wird getrocknet und in eine gewünschte Form geschnitten, um die Gasdiffusionsschicht 14 auszuformen.
  • Siebtens wird die Messgaskammerausbildungsschicht 13 an der oberen Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 ausgeformt. Genauer gesagt wird eine Klebepaste, die erhalten wird, indem mehr von dem Bindemittel in den gleichen dünnen Brei wie bei dem ersten Schritt zugegeben wird, auf die obere Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 gedruckt, um die Messgaskammerausbildungsschicht 13 auszuformen.
  • Außerdem sollte beachtet werden, dass die Klebepaste auch erhalten werden kann, indem mehr Bindemittel in ein Gemisch der dünnen Breie von dem ersten und dem sechsten Schritt zugegeben wird.
  • Achtens wird die poröse Gasdiffusionsschicht 14 durch Verwenden des Haftvermögens der Schicht 13 auf die Messgaskammerausbildungsschicht 13 gefügt.
  • Neuntens wird die Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 auf die untere Fläche 112 der Festelektrolytschicht 11 geschichtet, um dem Sensorabschnitt 20 auszuformen.
  • Zehntens werden der Sensorabschnitt 20 und der Heizabschnitt 19 beispielsweise durch Heißpressen oder Aufkleben aneinander befestigt, um einen Gassensorschichtverbund auszubilden.
  • Zuletzt wird der Gassensorschichtverbund getrocknet, entfettet und gebrannt, um den geschichteten Gassensor 1 auszubilden.
  • Der geschichtete Gassensor 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel kann beispielsweise in der folgenden Art und Weise verwendet werden.
  • Ein Spannungsdifferenzmessgerät (nicht gezeigt) ist mit dem Messelektrodenanschluss 212 und dem Referenzelektrodenanschluss 224 verbunden. Eine Stromquelle (nicht gezeigt) ist mit den Heizkörperanschlüssen 194 verbunden. Eine elektronische Steuereinheit (nicht gezeigt) steuert eine Energiezufuhr von der Energiequelle zu dem Heizelement 191, um den Sensorabschnitt 20 auf eine gegebene Temperatur zu erwärmen, um ihn zu aktivieren.
  • Die poröse Gasdiffusionsschicht 14 ist einem Messgas (beispielsweise dem Abgas einer Automobilmaschine) ausgesetzt, wodurch das Messgas in die Messgaskammer 130 eingeführt wird. Andererseits ist ein Eingang der Referenzgaskammer 120 zu einem Referenzgas (beispielsweise Luft) geöffnet, wodurch das Referenzgas in die Referenzgaskammer 120 eingeführt wird. Infolgedessen sind die Messelektrode 21 und die Referenzelektrode 22 dem Messgas bzw. dem Referenzgas ausgesetzt.
  • Die Festelektrolytschicht 11 kann beispielsweise sauerstoffionenleitfähig sein. In diesem Fall wird ein Unterschied bei einem elektrischen Potenzial zwischen der Messelektrode 21 und einer Referenzelektrode 22 abhängig von dem Unterschied bei der Sauerstoffkonzentration zwischen dem Messgas und dem Referenzgas erzeugt. Folglich ist es durch Messen der elektrischen Potenzialdifferenz möglich, die Konzentration von Sauerstoff in dem Messgas zu bestimmen.
  • Der geschichtete Gassensor 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel hat verglichen mit dem herkömmlichen geschichteten Gassensor 1B, der vorgehend beschrieben ist, einen verbesserten Aufbau, durch den zuverlässig verhindert werden kann, dass während einer Herstellung Bruchstellen in der Festelektrolytschicht 11 auftreten. Der Mechanismus eines Auftretens von Brüchen in dem herkömmlichen geschichteten Gassensor 1B und der Grund, warum das Auftreten von Brüchen bei dem geschichteten Gassensor 1 des Ausführungsbeispiels verhindert werden kann, werden nachstehend beschrieben.
  • Erstens, bezugnehmend auf 3A, befindet sich bei dem herkömmlichen geschichteten Gassensors 1B jede von den inneren Seitenflächen 131B der Messgaskammerausbildungsschicht 13B an der gleichen Position der Querrichtung D2 der Festelektrolytschicht 11 wie die entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12.
  • Aufgrund des Gewichts des Abschnitts der Festelektrolytschicht 11, der zwischen die Gaskammern 130B und 120 zwischengelegt ist, und aufgrund der Gewichte der Messelektrode 21 und der Referenzelektrode 22 werden Biegemomente auf die Festelektrolytschicht 11 wirken, die die Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 als Drehpunkt verwenden. Die Biegemomente werden einwärts gerichtete Spannungen F1 hervorrufen, die bei den Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131B der Messgaskammerausbildungsschicht 13B auf die Festelektrolytschicht 11 wirken.
  • Ferner wird während des Brennprozesses bei der Herstellung des geschichteten Gassensors 1B die Messgaskammerausbildungsschicht 13B auswärts der Messgaskammer 130B schrumpfen, was auswärts gerichtete Spannungen F2 hervorruft, die auch bei den Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131B der Messgaskammerausbildungsschicht 13B auf die Festelektrolytschicht 11 wirken.
  • Infolgedessen wird die Spannung in Abschnitten der Festelektrolytschicht 11 um die Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131B der Messgaskammerausbildungsschicht 13B herum konzentriert werden, wodurch bewirkt wird, dass Brüche in denjenigen Abschnitten, wie sie in 3B gezeigt sind, auftreten.
  • Im Vergleich dazu, bezugnehmend auf 4A, befinden sich bei dem geschichteten Gassensors 1 des Ausführungsbeispiels die inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 weiter innen als die inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12. Das heißt, die Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 sind von denjenigen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 in der Querrichtung D2 der Festelektrolytschicht 11 versetzt.
  • Wie bei dem geschichteten Gassensor 15 gemäß dem Stand der Technik werden Biegemomente auf die Festelektrolytschicht 11 wirken, die die Schnittpunkte zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 als Drehpunkte verwenden. Die Biegemomente werden einwärts gerichtete Spannungen F1 hervorrufen, die auf die obere Fläche 111 der Festelektrolytschicht 11 bei lateralen Positionen wirken werden, die den Schnittstellen zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 121 der Referenzgaskammerausbildungsschicht 12 entsprechen.
  • Ferner wird während des Brennprozesses beim Herstellen des geschichteten Gassensors 1 die Messgaskammerausbildungsschicht 13 außerhalb der Messgaskammer 130 schrumpfen, wodurch auswärts gerichtete Spannungen F2 hervorgerufen werden, die bei den Schnittpunkten zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 auf die Festelektrolytschicht 11 wirken werden.
  • Jedoch, da die Wirkpositionen der auswärts gerichteten Spannungen F2 von denjenigen der einwärts gerichteten Spannungen E1 versetzt sind, werden die auswärts gerichteten Spannungen F2 durch die einwärts gerichteten Spannungen E1 aufgehoben werden.
  • Infolgedessen wird eine Spannung in den Abschnitten der Festelektrolytschicht 11 um die Schnittpunkte zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 herum signifikant verringert, wodurch zuverlässig verhindert wird, dass Brüche in der Festelektrolytschicht 11 auftreten.
  • Ferner, bezugnehmend auf 4B, sind die Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132 in der Messgaskammerausbildungsschicht 13 vorgesehen. Mit diesen Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitten 132 wird die Spannung um die Schnittpunkte zwischen der Festelektrolytschicht 11 und den inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 weiter verringert, wodurch weiter zuverlässig verhindert wird, dass Brüche in der Festelektrolytschicht 11 auftreten.
  • Die 5A, 5B und 5C stellen Abwandlungen der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132 der Messgaskammerausbildungskammer 13 dar.
  • Bei der in 5A gezeigten ersten Abwandlung ist der Querschnitt von jedem der Spannungsdekonzentrationsabschnitte 132 in einer dreiecksförmigen Welle geformt.
  • Bei der in 5B gezeigten zweiten Abwandlung ist der Querschnitt von jedem der Spannungsdekonzentrationsabschnitte 132 in einer sinusförmigen Welle geformt.
  • Bei der in 5C gezeigten dritten Abwandlung ist der Querschnitt von jedem der Spannungsdekonzentrationsabschnitte 132 in einer rechtecksförmigen Welle geformt.
  • Bei jeder der drei in den 5A bis 5C gezeigten Abwandlungen repräsentiert a die gerade Länge von jedem der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132, repräsentiert b die Oberflächenlänge von jedem der Spannungsdekon-zentrationsabschnitte 132, repräsentiert H die Höhe der Welle, die den Querschnitt von jedem der Dekonzentrations-abschnitte 132 ausbildet, und repräsentiert T den Abstand der Welle. Außerdem, wenn man n die Anzahl von Paaren von Gipfeln und Tälern in der Welle darstellen lässt, dann ist T = (a/n).
  • Ferner sind in jeder der drei Abwandlungen die folgenden Beziehungen definiert:
    0,2T < H < 2,5T
    1 ≤ n ≤ 50; und
    1,1a ≤ b ≤ 5a.
  • Ein großes H ist hinsichtlich eines Verringerns der Auftrittsrate von Brüchen in der Festelektrolytschicht 11 wünschenswert. Wenn jedoch H so groß gemacht wird, dass es die vorstehende Obergrenze übersteigt, wird das Volumen der Messgaskammer 130 dementsprechend verringert werden, wodurch die Breite der Messelektrode 21 dazu gezwungen wird, dementsprechend verringert zu werden. In diesem Fall, um die Breite der Messelektrode 21 konstant zu halten und dadurch die Ansprechempfindlichkeit des geschichteten Gassensors 1 sicherzustellen, ist es erforderlich, das Volumen der Messgaskammer 130 durch Erhöhen der Breite der Festelektrolytschicht 11 zu vergrößern. Jedoch, wenn die Breite der Festelektrolytschicht 11 zunimmt, steigt die Wärmekapazität dergleichen dementsprechend, wodurch die Erwärmungszeit erhöht wird, die erforderlich ist, um die Festelektrolytschicht 11 zu aktivieren.
  • Andererseits, wenn H kleiner als die vorstehende Untergrenze gemacht wird, werden die inneren Seitenflächen 131 der Messgaskammerausbildungsschicht 13 annähernd eben sein, was es schwierig macht, die Wirkung der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitte 132 sicherzustellen.
  • Die Vorteile des geschichteten Gassensors 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel wurden durch eine experimentelle Untersuchung bestätigt.
  • Bei der Untersuchung wurden fünf verschiedene Arten A–E von geschichteten Gassensorproben getestet. Unter diesen war Typ A identisch zu dem herkömmlichen geschichteten Gassensor 1B, der vorstehend beschrieben ist. Die Typen B–E hatten die gleiche Struktur wie der geschichtete Gassensor 1 des Ausführungsbeispiels, jedoch verschiedene Werte der vorstehend definierten Parameter. Genauer gesagt hatte der Typ B ein H von 0,32 mm, n von 10, und b von gleich 1,05a; der Typ C hatte H von 0,46 mm, n von 10, und b von gleich 1,1a; der Typ D hatte H von 0,56 mm, n von 20, und b von gleich 1,5a; und der Typ E hatte H von 0,87 mm, n von 20, und b von gleich 2a.
  • Ferner war für jeden dieser Typen B–E a = 8 mm und war die Form der Querschnitte der Spannungsdekonzentrationsabschnitte 132 der Festelektrolytschicht 11 eine Sinuswelle, wie es 5B gezeigt ist. All diese Typen A–E wurden hinsichtlich einer Auftrittsrate von Brüchen ausgewertet. Die Auswertungsergebnisse sind in Tabelle 1 und 6 gezeigt, wobei die Auftrittsrate von Brüchen für jeden der Typen A–E auf eine relative Auftrittsrate von Brüchen (RORC) reduziert ist, die die Auftrittsrate von Brüchen für den Typ A als Referenzwert von 1 annimmt. Tabelle 1
    Typ A Typ B Typ C Typ D Typ E
    H (mm) - 0,32 0,46 0,56 0,87
    T (mm) - 0,8 0,8 0,4 0,4
    n - 10 10 20 20
    RORC 1 0,9 0,4 0,35 0,3
  • Wie es aus 6 ersichtlich ist, hatten all die Typen B–E eine niedrigere Auftrittsrate von Brüchen als der Typ A und nahm die Auftrittsrate von Brüchen mit einer Zunahme bei H ab.
  • Anders gesagt ist der geschichtete Gassensor 1 gemäß dem Ausführungsbeispiel besser als der herkömmliche geschichtete Gassensor 1B hinsichtlich eines Verhinderns eines Auftretens von Brüchen in der Festelektrolytschicht 11 während einer Herstellung. Darüber hinaus ist ein größeres H wünschenswerter, solange es innerhalb des vorstehend bestimmten Bereichs bleibt.
  • Während das vorstehende bestimmte Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt und beschrieben wurde, wird es von denjenigen Fachleuten verstanden werden, dass verschiedene Abwandlungen, Änderungen und Verbesserungen gemacht werden können, ohne von dem Wesen der Erfindung abzuweichen.
  • Beispielsweise, wie es in 7A gezeigt ist, ist es für den geschichteten Gassensor 1 möglich, ferner eine Gasschutzschicht 15 aufzuweisen, um die Gasdiffusionsschicht 14 abzudecken, wodurch die Diffusionsbeständigkeit erhöht wird. Anders gesagt kann der geschichtete Gassensor 1 von der Art eines begrenzten Stroms sein.
  • Darüber hinaus ist das vorangehende Ausführungsbeispiel auf den geschichteten Gassensor 1 gerichtet, der von einer Einzellenart ist. Jedoch kann die Erfindung auch auf einen geschichteten Gassensor einer Zweizellenart angewandt werden, wie es in 7B gezeigt ist, wobei zusätzliche Komponenten, einschließlich einer zweiten Festelektrolytschicht 16, Elektroden 31 und 32, und eines Stiftlochs 160 ferner zu dem Aufbau des geschichteten Gassensors 1 zugefügt werden. Die zusätzlichen Komponenten bilden eine Pumpzelle, wobei die Genauigkeit des geschichteten Gassensors verbessert wird.
  • Des Weiteren kann die Erfindung bei jedem Keramikverbund angewandt werden, der einen ähnlichen Aufbau zu dem geschichteten Gassensor 1 aufweist.
  • Ein geschichteter Gassensor hat eine Festelektrolytschicht, eine Messgaskammer, eine Referenzgaskammer, eine Messgaskammerausbildungsschicht und eine Referenzgaskammerausbildungsschicht. Die Messgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen, die sich in einer Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in einer lateralen Richtung der Festelektrolytschicht durch die Messgaskammer zugewandt sind. Die Referenzgaskammerausbildungsschicht hat ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen, die sich in der Längsrichtung erstrecken und einander in der Qeurrichtung durch die Referenzgaskammer zugewandt sind. Ferner befindet sich wenigstens eine von den inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht weiter innerhalb des geschichteten Gassensors als eine entsprechende Seitenfläche der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2004-333205 [0004]

Claims (8)

  1. Geschichteter Gassensor mit: einer Festelektrolytschicht mit einem entgegengesetzten Paar von einer ersten und einer zweiten Hauptfläche, wobei die erste und die zweite Hauptfläche eine Länge und eine Breite aufweisen und dadurch eine Längs- und eine Querrichtung der Festelektrolytschicht definieren; einer Messgaskammer und einer Referenzgaskammer, die an der ersten bzw. der zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht ausgebildet sind, und in die ein zu messendes Gas bzw. ein Referenzgas einzuführen sind; einer Messelektrode, die an der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht und innerhalb der Messgaskammer vorgesehen ist, um dem Gas ausgesetzt zu sein; einer Referenzelektrode, die an der zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht und innerhalb der Referenzgaskammer vorgesehen ist, um dem Referenzgas ausgesetzt zu sein; einer Messgaskammerausbildungsschicht mit einem darin ausgebildeten ersten Hohlraum, die so an der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht geschichtet ist, dass der erste Hohlraum die Messgaskammer bildet, wobei die Messgaskammerausbildungsschicht ein gegenüberliegendes Paar innerer Seitenflächen aufweist, die sich in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in der Querrichtung der Festelektrolytschicht über die dazwischen ausgebildete Messgaskammer zugewandt sind; und einer Referenzgaskammerausbildungsschicht mit einem darin ausgebildeten zweiten Hohlraum, die so an der zweiten Hauptfläche der Festelektrolytschicht geschichtet ist, dass der zweite Hohlraum die Referenzgaskammer ausbildet, wobei die Referenzgaskammerausbildungsschicht ein gegenüberliegendes Paar von inneren Seitenflächen aufweist, die sich in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstrecken und einander in der Querrichtung der Festelektrolytschicht über die dazwischen ausgeformte Referenzgaskammer zugewandt sind; wobei sich wenigstens eine der inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung der Festelektrolytschicht weiter innerhalb des geschichteten Gassensors als eine entsprechende der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht befindet.
  2. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 1, wobei sich die wenigstens eine der inneren Seitenflächen der Messgaskammerausbildungsschicht zickzackförmig in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht erstreckt, wobei ein Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitt der Messgaskammerausbildungsschicht ausgeformt wird, der von der entsprechenden Seitenfläche der inneren Seitenflächen der Referenzgaskammerausbildungsschicht in der Querrichtung der Festelektrolytschicht vorsteht.
  3. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 2, wobei der Spannungskonzentrationsaufhebungsabschnitt der Messgaskammerausbildungsschicht einen Querschnitt aufweist, der parallel zu der ersten Hauptfläche der Festelektrolytschicht ist und als eine Welle ausgebildet ist, die eine Vielzahl von Gipfeln und Tälern aufweist, welche in der Längsrichtung der Festelektrolytschicht abwechselnd angeordnet sind.
  4. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 3, wobei die Welle eine dreiecksförmige Welle ist.
  5. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 3, wobei die Welle eine sinusförmige Welle ist.
  6. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 3, wobei die Welle eine rechtecksförmige Welle ist.
  7. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 3, wobei 0,2T < H < 2,5T gilt, wobei T ein Abstand der Welle und H eine Höhe der Welle ist.
  8. Geschichteter Gassensor nach Anspruch 7, wobei die Welle weniger als oder genau 50 Paar Gipfel und Täler aufweist.
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