DE10231282A1

DE10231282A1 - Drahtführung für Drahtbonder

Info

Publication number: DE10231282A1
Application number: DE10231282A
Authority: DE
Inventors: Frank Walther
Original assignee: Hesse and Knipps GmbH
Current assignee: Hesse and Knipps GmbH
Priority date: 2002-04-04
Filing date: 2002-07-10
Publication date: 2003-10-23
Anticipated expiration: 2022-07-11
Also published as: DE10231282B4

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Drahtführung für Drahtbonder, um einen Draht zur Spitze eines Ultraschallwerkzeuges zuzuführen, bei der die Drahtführung (1) eine wenigstens teilweise gradlinige Nut/Rinne (3) umfasst, deren Tiefe wenigstens in einem Teilbereich (4) verringert ist. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Bondkopf mit einem Ultraschallwerkzeug, bei dem für die Zuführung eines Drahtes zur Spitze des Ultraschallwerkzeuges (6) eine erfindungsgemäße Drahtführung (1) vorgesehen ist und ein Verfahren zur Herstellung einer Bondverbindung mittels einer erfindungsgemäßen Drahtführung (1).

Description

Die Erfindung betrifft eine Drahtführung für Drahtbonder. Drahtführungen für Drahtbonder werden eingesetzt, um einen Draht, mittels dem eine elektrische Verbindung zwischen Anschlusselektroden, z. B. von Mikrochips, hergestellt werden soll, einem Ultraschallwerkzeug, dem sogenannten Wedge, zuzuführen und dafür Sorge zu tragen, dass der Draht in der richtigen Position unter der Spitze des Ultraschallwerkzeuges zu liegen kommt. Mittels des Ultraschallwerkzeuges kann sodann durch Anlegen einer Ultraschallschwingung eine Ultraschall- Schweißverbindung zwischen Draht und Anschlusselektrode hergestellt werden.
Derartige Drahtführungen führen den Draht üblicherweise von einer Vorratsspule über einen durch die Bondkopfgeometrie gegebenen mehr oder weniger gewundenen Weg zur Werkzeugspitze, so dass sich durch die nicht geradlinige Führung des Drahtes mehrere Berührungspunkte zwischen Draht und Drahtführung ergeben, die eine erhöhte Reibung, und damit auch einen erhöhten Verschleiß, sowohl bei der Drahtführung selbst, als auch bei dem später zu bondenden Draht hervorruft.
Die Aufgabe, den Verschleiß zu verringern, löst die erfindungsgemäße Drahtführung durch die Merkmale, dass die Drahtführung eine wenigstens teilweise gradlinige Rinne umfasst, deren Tiefe wenigstens in einem Teilbereich verringert ist.
Eine derartige Drahtführung kann in einfacher Art und Weise aus einem sich insbesondere in Förderrichtung auf die Spitze eines Ultraschallwerkzeuges zu ausgerichteten Längsprofil realisiert sein, welches auf seiner, dem Ultraschallwerkzeug zu gerichteten Oberseite, eine in Förderrichtung sich erstreckende Nut aufweist, durch die ein zu bondender Draht der Werkzeugspitze zugeführt werden kann.
Das Längsprofil selbst kann beliebige Querschnittsformen aufweisen und aus verschiedenen Materialien hergestellt sein, beispielsweise aus Kunststoff oder auch aus Metall, wobei die Führungsnut selbst noch in einer weiteren bevorzugten Ausführung mit einer Antihaftbeschichtung versehen sein kann.
Durch die Nut, die in Förderrichtung auf der Oberseite des Längsprofiles ausgebildet ist, ergibt sich insgesamt eine Rinnenkonstruktion, wobei die Rinne zunächst als einseitig offener Zuführungskanal dient. Insbesondere durch die Geradlinigkeit der Rinne ergeben sich nur wenige Berührungspunkte zwischen dem Draht und den Innenflächen der Rinne, so dass sich bei Verwendung einer solchen Drahtführung nur ein geringer Verschleiß sowohl am Draht als auch an der Drahtführung selbst ergibt.
Die Tiefe der Rinne ist wenigstens in einem Teilbereich gegenüber dem oder den restlichen Bereichen der Rinne verringert. Ein Bereich verringerter Tiefe kann, bezogen auf die Förderrichtung des Drahtes sowohl am Anfang der Drahtführung, am Ende der Drahtführung als auch zwischen diesen beiden Extrempunkten in der Drahtführung gegebenenfalls auch mehrfach realisiert sein.
Insbesondere in dem Fall, wenn die verringerte Rinnentiefe am in Förderrichtung liegenden Ende der Drahtführung bzw. der Rinne ausgebildet ist, ergibt sich der Vorteil, dass der Draht insbesondere bei einer stetigen Verringerung der Tiefe allmählich aus der Drahtführung emporgehoben wird. Hier kann es auch vorgesehen sein, dass die Rinnentiefe auf Null ausläuft.
Üblicherweise wird die Tiefe der Rinne derart ausgelegt sein, dass sie größer ist als der Durchmesser des zu fördernden Drahtes, um zu gewährleisten, dass dieser sicher bei einer Vorwärtsförderung innerhalb der Rinne geführt wird und diese nicht unbeabsichtigt verlässt.
In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist es vorgesehen, dass ein Bereich geringerer Rinnentiefe derart ausgebildet ist, dass die Tiefe an dieser Stelle geringer ist als der Durchmesser des zuführenden Drahtes. Z. B. kann die Tiefe etwa 80 bis 90 Prozent des Drahtdurchmessers betragen. Eine solche Stelle kann - wie bereits vorangehend erwähnt - in Förderrichtung am Anfang, am Ende als auch irgendwo zwischen diese Extrempositionen der Drahtführung gegebenenfalls auch mehrfach angeordnet sein.
Durch diese Konstruktion ergibt sich, dass sich der Draht in einem genannten Bereich zumindest teilweise bei der Förderung über die obere Rinnenkante der Drahtführung erhebt, was insbesondere am in Förderrichtung liegenden Ende der Drahtführung durch eine gegebenenfalls nur lokal beschränkte Abflachung der oberen Rinnenkante realisiert sein kann, was bedeutet, dass der Nut- bzw. Rinnengrund gleichmäßig ohne Stufen verläuft und sich die Seitenwandhöhe der Nut bzw. der Rinne verringert.
In einer bevorzugten Weiterbildung kann es vorgesehen sein, dass die Rinne wenigstens in einem Teilbereich geringerer Tiefe von einer Abdeckung überdeckt ist, so dass mittels dieser Abdeckung verhindert wird, dass der Draht die Förderrichtung verlassen kann, wodurch sichergestellt ist, dass der Draht zuverlässig unter das Ultraschallwerkzeug geführt wird.
Gerade wenn dieser Bereich geringerer Tiefe am in Förderrichtung liegenden Ende der Rinne der Drahtführung angeordnet ist, wird aufgrund der bereits oben beschriebenen Tatsache, dass der Draht hierdurch quasi aus der Drahtführung emporgehoben wird, sichergestellt, dass mit einer solchen erfindungsgemäßen Drahtführung sowohl eine verschleißfreie als auch eine stressfreie Führung des Drahtes möglich ist ohne aufwendige Umlenkungen vor der Spitze des Ultraschallwerkzeuges.
Durch die insbesondere vorgesehene Abdeckung zumindest in einem Bereich geringerer Rinnentiefe kann weiterhin in bevorzugter Weise eine Drahtklemme realisiert sein.
Eine Drahtklemme wird üblicherweise an Drahtbondern vorgesehen, um einen Draht, der diese Klemme durchläuft, festzuklemmen und so örtlich zu fixieren, so dass der Draht z. B. nach einem Einkerben durch ein Messer hinter der hergestellten Bondverbindung von dieser durch eine Bewegung des Bondkopfes getrennt bzw. abgerissen werden kann, ohne dass der Draht hierdurch aus der Drahtführung herausgezogen wird.
Derartige bekannte Drahtklemmen werden üblicherweise durch eine separate Vorrichtung realisiert, welches konstruktiv in den Bondkopf eingebunden werden muss und dessen Gewicht vergrößert. Gerade die Gewichtsvergrößerung nimmt besonderen Einfluss auf die mögliche Taktrate, mit der ein Bondkopf Verbindungen herstellt, da sich die Trägheit des Bondkopfes mit einer Gewichtszunahme vergrößert.
Mit der erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Abdeckung über der Rinne, zumindest in einem Teilbereich geringerer Tiefe, kann in besonders bevorzugter Weise der Draht innerhalb der Rinne eingeklemmt werden, wenn die Abdeckung und die Rinne mit einer insbesondere einstellbaren Kraft gegeneinander drückbar sind.
Hier kann es sowohl vorgesehen sein, dass die Abdeckung durch eine bewegliche Befestigung und einen Antriebsmechanismus gegen die Rinne gedrückt wird oder umgekehrt. Aufgrund der Tatsache, dass im Bereich geringerer Tiefe die Tiefe insbesondere geringer ist als der Durchmesser des zu führenden Drahtes, wird der Draht dementsprechend zwischen der Unterseite der Abdeckung und der unteren Grundfläche der Führungsrinne eingeklemmt.
Nach der Herstellung einer Bondverbindung kann dementsprechend mit Hilfe der erfindungsgemäßen Drahtführung der Draht geklemmt werden, ohne dass es einer zusätzlichen Vorrichtung bedarf.
Nach der Herstellung einer Bondverbindung kann dementsprechend mit Hilfe der erfindungsgemäßen Drahtführung, die gleichzeitig auch eine Drahtklemme realisiert, eine Kraft in Drahtrichtung an den Draht angelegt werden, um entweder einen Draht hinter der hergestellten Bondverbindung nach Einbringung einer Sollbruchstelle durch ein Messer abzureißen und eine nächste Bondverbindung zu beginnen oder aber durch eine bewusste Einstellung der Kraft in Drahtrichtung lediglich die Qualität der Bondverbindung zu überprüfen. So wird die Qualität einer Bondverbindung als gut angesehen, wenn die in Drahtrichtung angelegte Kraft nicht ausreichend ist, um den Draht wieder von der Bondoberfläche zu lösen.
Die Kraft, die in Drahtrichtung an den Draht angelegt wird, kann beispielsweise dadurch erzeugt werden, dass die Drahtführung gegenüber der Bondstelle bewegt wird. Dies kann zum einen dadurch erfolgen, dass lediglich die Drahtführung - also das Klemmsystem aus Rinne und Abdeckung - eine Relativbewegung gegenüber der Bondstelle durch entsprechende Antriebsmaßnahmen ausführt oder dadurch, dass der Bondkopf selbst in seiner Gänze mit der Drahtführung zusammen von der gebondeten Anschlussstelle wegbewegt wird.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist es vorgesehen, dass die zuvor beschriebene Abdeckung durch das Ultraschallwerkzeug eines Bondkopfes oder das daran vorgesehene Messer (zur Durchtrennung oder Einkerbung des Drahtes) ausgebildet ist. Es können daher durch ein und dasselbe Abdeckungselement bei einer erfindungsgemässen Drahtführung bzw. einem Bondkopf mit einer solchen Drahtführung im Wesentlichen zwei Funktionen erreicht werden, nämlich zum einen die Klemmung des Drahtes innerhalb der Rinne und zum anderen entweder noch die Funktion eines Messers zum Abtrennen oder Einkerben des Drahtes oder aber die Funktion des Ultraschallwerkzeuges zum Befestigen des Drahtes an der Bondstelle.
Eine derart aufgebaute erfindungsgemäße Drahtführung umfasst dementsprechend die zuvor beschriebene Rinne sowie noch ein weiteres, üblicherweise auch am Bondkopf vorgesehenes Bauteil, nämlich entweder das Messer oder das Ultraschallwerkzeug.
Sofern in der einen Alternative die Abdeckung oberhalb der Rinne durch das Messer eines Bondkopfes realisiert ist, dass bei einer Relativbewegung gegenüber dem Ultraschallwerkzeug und/oder der Drahtführung bzw. der Rinne den Draht, der zuvor an einer Stelle festgebondet wurde, zumindest eingekerbt, kann gegebenenfalls gleichzeitig der Draht durch die Abdeckungsfunktion des Messers zwischen diesem und der Rinne eingeklemmt werden. So können auch hier durch einen Verfahrensschritt zwei Funktionen, nämlich zum einen die Messerbewegung und zum anderen die Klemmung des Drahtes, erfolgen.
Hierbei kann z. B. durch eine flexible Aufhängung der Drahtführung am Bondkopf die Drahtführung bei der nach unten gerichteten Messerbewegung unter der Kraft des Messers seitlich von der Schnittstelle weg ausweichen, wobei gleichzeitig auch durch die flexible Aufhängung eine Federkraft zwischen der Drahtführung und dem Messer realisiert werden kann, die dann zur Einklemmung des Drahtes dient, insbesondere noch bevor das Messer so weit bewegt wurde, dass es in den Draht einschneidet.
Nach der Einklemmung des Drahtes kann wie zuvor beschrieben entweder die Qualität der Bondverbindung durch das Anlegen einer Kraft in Drahtrichtung getestet werden oder aber der Draht nach einer weiteren Messerbewegung und damit verbundener Einkerbung von der fertigen Bondstelle abgetrennt werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den nachfolgenden Abbildungen dargestellt. Es zeigen:
Fig. 1 Die Detailansicht einer erfindungsgemäßen Drahtführung, die durch Einbringung einer Nut in der Oberfläche als Rinne ausgebildet ist;
Fig. 2 Einen Bondkopf, umfassend einen Ultraschalltransducer und hieran befestigtem Ultraschallwerkzeug sowie eine erfindungsgemäße Drahtführung in mehrerer Ansichten;
Fig. 3 Seitenansichten einer erfindungsgemäßen Drahtführung in Verbindung mit der Spitze des Ultraschallwerkzeuges und dem Messer eines Drahtbonders in verschiedenen Verfahrensschritten.
Die Fig. 1 zeigt eine Drahtführung 1, die als längliches Bauelement ausgeführt ist und sich in Drahtführungsrichtung 2 verjüngt. Diese Verjüngung erfolgt im Wesentlichen dadurch, dass die beiden Seitenflächen 1a und 1b der Drahtführung in Drahtführungsrichtung aufeinander zugeneigt sind. Durch diesen verjüngenden Aufbau wird erreicht, dass das gesamte System aus Drahtführung, Ultraschallwerkzeug und Messer zum Durchtrennen des Drahtes an der Bondstelle sehr kleinbauend ausfällt, so dass die gesamte Anoröhung auch an schwer zugänglichen Stellen einsetzbar ist.
Auf der Oberfläche 1c der Drahtführung 1 ist eine sich in Drahtführungsrichtung 2 erstreckende Nut 3 eingebracht, deren Tiefe im oberen Bereich der Drahtführung, bezogen auf die Förderrichtung 2, konstant und insbesondere größer als der Durchmesser des zu fördernden nicht dargestellten Drahtes ist. Auch die Breite der Nut ist grösser als der Drahtdurchmesser. Hierdurch wird gewährleistet, dass der Draht sicher innerhalb der Führungsrinne einliegt und der Werkzeugspitze zugeführt werden kann, ohne dass der Draht versehentlich die Drahtführung 1 verlässt.
Am in Drahtführungsrichtung 2 liegenden unteren Ende der Drahtführung 1 ist die Oberfläche 1c der Drahtführung 1 gegenüber der Unterseite 1d der Drahtführung 1 stärker geneigt ausgebildet, so dass sich an dem spitzen Ende der Drahtführung 1 im Wesentlichen eine Abflachung 4 ergibt, wodurch die Tiefe der ausgebildeten Rinne an dieser Stelle derart gewählt ist, dass sie geringer als der Durchmesser des zu führenden Drahtes ausfällt. Im vorliegenden Fall ist die Tiefe am Ende der Drahtführung grösser als die Hälfe des Drahtdurchmessers, also z. B. ca. 60-70 Prozent des Drahtdurchmessers.
Dies bedeutet, dass sich am vorderen Ende der Drahtführung die Drahtoberfläche aus der Rinne heraus erhebt, und auch die Spitze des Ultraschallwerkzeuges sehr nahe an die Rinnenunterseite herangeführt werden kann, wodurch eine Führung des Drahtes an die Spitze des Ultraschallwerkzeuges ohne eine weitere Umlenkung möglich ist.
Durch die Tatsache, dass sich zumindest im Bereich der Abflachung 4 der Draht aus der Rinne erhebt, ist hier weiterhin die Möglichkeit gegeben durch eine fakultativ anzuordnende Abdeckung oberhalb der Nut 3 eine Drahtklemmung zu realisieren. Zum einen stellt die hier in der Fig. 1 nicht dargestellte Abdeckung sicher, dass der Draht auch im Bereich der Abflachung 4, also dem Bereich geringerer Rinnentiefe, nicht ungewollt die Rinne verlässt und zum anderen, dass bei einer Relativbewegung zwischen der Abdeckung und der Drahtführung 1 bzw. der darin ausgebildeten Rinne der Draht einklemmbar ist.
Die erfindungsgemäße Funktion wird weiter verdeutlicht durch die Darstellung der Abb. 2 und 3.
Die Fig. 2 zeigt in mehreren Ansichten die wesentlichen Bauteile eines Bondkopfes einer Bondmaschine, der im vorliegenden Fall einen Ultraschalltransducer 5, ein hieran befestigtes Ultraschallwerkzeug 6 sowie eine rechts dahinter angeordnete erfindungsgemäße Drahtführung 1 zeigt.
Mittels eines Zuführschlauches 7, der sich hier durch eine Aussparung bzw. Bohrung im Transducer erstreckt, wird ein zuzuführender Draht 8 bis in die in der Fig. 2 nicht deutlich zu erkennende Rinne der Drahtführung geleitet und gelangt von dort über die Rinne der Drahtführung 1 zur Spitze S des Ultraschallwerkzeuges 6.
Zwischen dem Ultraschallwerkzeug 6 und der Drahtführung 1 ist des Weiteren hier noch ein Messer 9 angeordnet, welche sich parallel zum Ultraschallwerkzeug 6 erstreckt und den fertig gebondeten Draht nach dem Bondvorgang durch eine Relativbewegung gegenüber dem Werkzeug 6 bzw. gegenüber der Drahtführung 1 zumindest einkerbt, um diesen anschließend von der Bondstelle abzureißen.
Der Bereich der Spitze sowohl des Werkzeuges 6 als auch der Drahtführung 1 ist in der Fig. 3 in drei verschiedenen Verfahrensstufen dargestellt.
In der oberen Abbildung der Fig. 3 ist eine Verfahrensstufe zum Bonden eines Drahtes dargestellt, bei der der Draht zunächst gradlinig durch die Rinne der Drahtführung 1 hindurchgleitet, wobei die Rinne sowohl von dem Messer 9 als auch von dem davor angeordneten Ultraschallwerkzeug überdeckt ist. Abgesehen von der Förderrichtung ist der Draht dementsprechend allseitig fixiert. Zwischen dem Draht 8 und dem Ultraschallwerkzeug 1 verbleibt ein geringer Spalt, so dass eine Klemmung in diesem Verfahrensstadium bislang nicht erfolgt ist und der Draht in Drahtförderrichtung frei beweglich ist.
Beispielsweise kann die Abbildung einen Verfahrensschritt repräsentieren, bei dem das abgetrennte Drahtende einer weitere Anschlusselektrode zugeführt wird, um eine neue Bondverbindung herzustellen oder wo ein Loop zu einer neuen Anschlusselektrode gezogen wird.
In der mittleren Abbildung der Fig. 3 wird der Draht beispielsweise dadurch geklemmt, dass sowohl die Drahtführung 1 als auch das Messer 9 durch einen nicht näher beschriebenen Aktor gegen das Ultraschallwerkzeug 6 bewegt werden, so dass der Draht durch Wegfall des zuvor beschriebenen Spaltes eingeklemmt und fixiert wird. Hierbei kann die Klemmbewegung sowohl translatorisch als auch rotatorisch erfolgen.
Die Klemmung selbst kann nicht nur durch die zuvor beschriebene konkrete Bewegung erreicht werden; sondern auch dadurch, dass z. B. nur das Messer gegen die Drahtführung oder umgekehrt bewegt wird.
In dem beschriebenen geklemmten Zustand kann nun beispielsweise eine Bondverbindung dadurch getestet werden, dass eine Kraft in Drahtrichtung durch Bewegung des gesamten geklemmten Systemes angelegt wird. Sofern der Draht bei einer bestimmten vorgegebenen Kraft nicht von der Bondstelle abreißt, kann davon ausgegangen werden, dass die Qualität der hergestellten Bondverbindung gut ist.
In der unteren Abbildung der Fig. 3 ist es dargestellt, dass nach einer durchgeführten Bondverbindung z. B. das Messer 9 relativ gegenüber dem Ultraschallwerkzeug 6 und der Drahtführung 1 nach unten auf den Draht zubewegt wird, um diesen am Ende der Messerbewegung einzukerben oder komplett zu durchtrennen.
Durch die Fixierung des Drahtes und des Ultraschallwerkzeuges 6, welches auf der Drahtoberfläche aufliegt sowie der sich einstellenden seitlichen Kraftkomponente durch die Bewegung des Messers nach unten weicht die Drahtführung, die hier nicht näher beschrieben flexibel am Bondkopf befestigt ist, nach hinten aus. Auch hierdurch kann eine Klemmung des Drahtes zwischen der Drahtführung 1 und dem Messer 9 erfolgen, so dass dann, wenn das Gesamtsystem aus Drahtführung, Messer und Ultraschallwerkzeug 6 von der Bondstelle wegbewegt wird eine Bondverbindung entweder getestet oder der Draht nach einer weiteren Messerbewegung und Einkerbung abgerissen wird und das Drahtende für einen weiteren Bondvorgang zur Verfügung steht.
Durch die zuvor beschriebene erfindungsgemäße Drahtführung wird dementsprechend sichergestellt, dass zum einen der Draht ohne Verschleiß der Spitze eines Ultraschallwerkzeuges zugeführt werden kann und des weiteren, dass durch die besondere konstruktive Ausgestaltung der geringen Rinnentiefe, insbesondere an der Spitze der Drahtführung, eine Drahtklemmung realisiert werden kann, ohne dass hier eine weitere Vorrichtung als Drahtklemme vorgesehen werden muss.

Claims

1. Drahtführung für Drahtbonder, um einen Draht zur Spitze eines Ultraschallwerkzeuges zuzuführen, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtführung (1) eine wenigstens teilweise gradlinige Nut/Rinne (3) umfasst, deren Tiefe wenigstens in einem Teilbereich (4) verringert ist.

2. Drahtführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe der Rinne/Nut (3) in dem wenigstens einen Teilbereich (4) geringer ist als der Durchmesser des zu führenden Drahtes.

3. Drahtführung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Teilbereich (4), in dem die Tiefe der Rinne/Nut (3) geringer ist als der Durchmesser des Drahtes, am in Förderrichtung liegenden Ende der Drahtführung (1) bzw. Rinne/Nut (3), insbesondere in Form einer Abflachung (4) der oberen Rinnenkante vorgesehen ist

4. Drahtführung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rinne/Nut (3) wenigstens in einem Teilbereich (4) geringerer Tiefe von einer Abdeckung (6, 9) überdeckt ist.

5. Drahtführung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (6, 9) und die Rinne/nut (3) mit einer einstellbaren Kraft gegeneinander drückbar sind, wodurch insbesondere der Draht in der Rinne/Nut (3) einklemmbar ist.

6. Drahtführung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (6, 9) durch das Ultraschallwerkzeug (6) und/oder ein Messer (9) eines Bondkopfes ausgebildet ist.

7. Drahtführung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der innere Bereich der Rinne/Nut (3) eine Anti- Haftbeschichtung aufweist.

8. Bondkopf mit einem Ultraschallwerkzeug, dadurch gekennzeichnet, dass für die Zuführung eines Drahtes zur Spitze des Ultraschallwerkzeuges (6) eine Drahtführung (1) nach einem der vorherigen Ansprüche vorgesehen ist.

9. Bondkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtführung (1) am Bondkopf flexibel angeordnet ist und insbesondere bei einer Schneidbewegung eines am Bondkopf vorgesehenen Messers (9) von der Schnittstelle zurückweicht.

10. Verfahren zur Herstellung einer Bondverbindung mittels einer Drahtführung (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 7 oder mittels eines Bondkopfes nach den Ansprüchen 8 und 9 dadurch gekennzeichnet, dass nach der Herstellung einer Bondverbindung der Draht durch eine Relativbewegung zwischen Rinne und Abdeckung (6, 9) eingeklemmt wird und anschliessend eine Kraft in Drahtrichtung an den Draht angelegt wird, insbesondere durch eine Bewegung der Drahtführung (1) gegenüber der Bondstelle.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der Drahtführung (1) durch eine Bewegung des Bondkopfes erzeugt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Draht mittels eines Messers (9) durch eine Relativbewegurg zwischen Messer (9) und Ultraschallwerkzeug (6) und/oder Drahtführung (1) zumindest eingekerbt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass beim Einschneiden die Drahtführung (1) von der Schnittstelle weg ausweicht und insbesondere durch die Messerbewegung der Draht zwischen Rinne und Messer (9) eingeklemmt wird.