DE102018115763A1 - Dampfauftragsmaskensubstrat, Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske und Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung - Google Patents

Dampfauftragsmaskensubstrat, Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske und Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung Download PDF

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Abstract

Ein Metallblatt hat eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung. Das Metallblatt hat Formen in der Längsrichtung, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes genommen werden und sich voneinander unterscheiden. Jede Form umfasst Welligkeiten, die sich in der Längsrichtung wiederholen. Jede Welligkeit hat ein Tal an jedem Ende der Welligkeit. Jede Welligkeit hat eine Länge, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet. Der prozentuale Anteil einer Höhe jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit ist eine Einheitssteilheit. Eine Steilheit ist ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes. Der maximale Wert an Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als oder gleich wie 0,3 %. Der maximale Wert an Steilheiten in einem ersten Randabschnitt in der Breitenrichtung und ein maximaler Wert an Steilheiten in einem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung sind geringer als oder gleich wie 0,6 %. Der maximale Wert an Steilheiten in zumindest entweder dem ersten Randabschnitt oder dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung.

Description

  • Hintergrund
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Dampfauftragsmaskensubstrat, auf ein Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, auf ein Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske und auf ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung.
  • Eine Dampfauftragsmaske hat eine erste Fläche, eine zweite Fläche und Löcher, die sich durch die erste und zweite Fläche erstrecken. Die erste Fläche ist einem Zielobjekt wie beispielsweise einem Substrat zugewandt, und die zweite Fläche ist zu der ersten Fläche entgegengesetzt. Die Löcher umfassen jeweils eine erste Öffnung, die an der ersten Fläche angeordnet ist, und eine zweite Öffnung, die an der zweiten Fläche angeordnet ist. Das Dampfauftragsmaterial, das zu den Löchern durch die zweiten Öffnungen gelangt, bildet an dem Zielobjekt ein Muster, das der Position und der Form der ersten Öffnungen entspricht (siehe beispielsweise die offengelegte japanische Patentanmeldung JP 2015-055007 ).
  • Jedes Loch der Dampfauftragsmaske hat eine Querschnittsfläche, die von der ersten Öffnung zu der zweiten Öffnung zunimmt. Dies erhöht die Menge an Dampfauftragsmaterial, das in das Loch durch die zweite Öffnung gelangt, sodass eine angemessene Menge an Dampfauftragsmaterial die erste Öffnung erreicht. Jedoch haftet zumindest ein Teil des Dampfauftragsmaterials, das in das Loch durch die zweite Öffnung gelangt, an der das Loch definierenden Wandfläche an, womit es die erste Öffnung nicht erreicht. Das an der Wandfläche anhaftende Dampfauftragsmaterial kann verhindern, dass weiteres Dampfauftragsmaterial durch das Loch tritt, was die Maßgenauigkeit des Musters verringert.
  • Um das Volumen des an den Wandflächen anhaftenden Dampfauftragsmaterials zu reduzieren, ist ein Aufbau angedacht worden, bei dem die Dicke der Dampfauftragsmaske reduziert ist, um die Bereiche der Wandflächen zu verkleinern. Um die Dicke der Dampfauftragsmaske zu reduzieren, ist eine Technik angedacht worden, bei der die Dicke des Metallblattes reduziert wird, das als das Substrat zum Herstellen der Dampfauftragsmaske verwendet wird.
  • Jedoch führt in dem Prozess zum Ätzen des Metallblattes zum Ausbilden von Löchern eine kleinere Dicke des Metallblattes zu einem kleineren Volumen von Metall, das zu entfernen ist. Dadurch werden zulässige Bereiche bei den Prozessbedingungen enger gestaltet, wie beispielsweise die Dauer, in der das Ätzmittel zu dem Metallblatt geliefert wird, und die Temperatur des gelieferten Ätzmittels. Dies erhöht die Schwierigkeit beim Erzielen der erforderlichen Maßgenauigkeit der ersten und zweiten Öffnungen. Insbesondere bringt das Herstellen des Metallblattes einen Walzschritt, bei dem das Basismaterial mit Walzen gezogen wird, oder einen Elektrolyseschritt mit sich, bei dem das an einer Elektrode aufgetragene Metallblatt von der Elektrode abgeschält wird. Demgemäß hat das Metallblatt eine gewellte Form. Bei dem Metallblatt mit einer derartigen Form unterscheidet sich die Dauer, mit der die Erhebungen bei der gewellten Form mit dem Ätzmittel in Kontakt stehen, in starkem Maße von derjenigen der Täler der gewellten Form. Dies verstärkt die verringerte Genauigkeit, die sich aus den vorstehend beschriebenen eng gestalteten zulässigen Bereichen ergibt. Somit ist, obwohl eine dünnere Dampfauftragsmaske die Menge an Dampfauftragsmaterial reduziert, die an den Wandflächen anhaftet und dadurch die Maßgenauigkeit der Muster bei wiederholtem Dampfauftragen erhöht, bei einer derartigen Dampfauftragsmaske ein weiteres Problem bewirkt, dass die erforderliche Maßgenauigkeit des Musters bei jedem Dampfauftragen schwierig zu erzielen ist.
  • Zusammenfassung
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Dampfauftragsmaskensubstrat, ein Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrates, ein Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske und ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung zu schaffen, die die Genauigkeit der durch das Dampfauftragen erzeugten Muster erhöhen.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Dampfauftragsmaskensubstrat geschaffen, das ein Metallblatt ist, das eine Form eines Streifens hat und so aufgebaut ist, dass es geätzt wird, um eine Vielzahl an Löchern aufzuweisen, und zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske verwendet wird. Das Metallblatt hat eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung. Das Metallblatt hat Formen in der Längsrichtung, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes genommen werden und sich voneinander unterscheiden. Jede Form weist Welligkeiten auf, die sich in der Längsrichtung wiederholen. Jede Welligkeit weist ein Tal an jedem Ende der Welligkeit auf. Jede Welligkeit hat eine Länge, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet. Ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit ist eine Einheitssteilheit. Eine Steilheit ist ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes. Ein maximaler Wert der Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als oder gleich wie 0,3 %. Ein maximaler Wert von Steilheiten in einem ersten Randabschnitt in der Breitenrichtung und ein maximaler Wert an Steilheiten in einem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung sind geringer als oder gleich wie 0,6 %. Ein maximaler Wert an Steilheiten in zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt wird ein Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrates geschaffen. Das Dampfauftragsmaskensubstrat ist ein Metallblatt, das eine Form eines Streifens hat und so aufgebaut ist, dass es geätzt wird, um eine Vielzahl an Löchern aufzuweisen, und zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske verwendet wird. Das Verfahren umfasst ein Erlangen des Metallblattes durch Walzen eines Basismaterials. Das erlangte Metallblatt hat eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung. Das erlangte Metallblatt hat Formen in der Längsrichtung, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung genommen werden und sich voneinander unterscheiden. Jede Form weist Welligkeiten auf, die sich in der Längsrichtung wiederholen. Jede Welligkeit weist ein Tal an jedem Ende der Welligkeit auf. Jede Welligkeit hat eine Länge, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet. Ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit ist eine Einheitssteilheit. Eine Steilheit ist ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des erlangten Metallblattes. Ein maximaler Wert an Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als oder gleich wie 0,3 %. Ein maximaler Wert an Steilheiten in einem ersten Randabschnitt in der Breitenrichtung und ein maximaler Wert an Steilheiten in einem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung sind geringer als oder gleich wie 0,6 %. Ein maximaler Wert an Steilheiten zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt wird ein Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske geschaffen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Ausbilden einer Resistlage auf einem Metallblatt in einer Form eines Streifens; und Ausbilden einer Vielzahl an Löchern in dem Metallblatt durch Ätzen unter Verwendung der Resistlage als eine Maske zum Ausbilden eines Maskenabschnittes in dem Metallblatt. Das Metallblatt hat eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung. Das Metallblatt hat Formen in der Längsrichtung, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung genommen werden und sich voneinander unterscheiden. Jede Form weist Welligkeiten auf, die sich in der Längsrichtung wiederholen. Jede Welligkeit weist ein Tal an jedem Ende der Welligkeit auf. Jede Welligkeit hat eine Länge, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet. Ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit ist eine Einheitssteilheit. Eine Steilheit ist ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes. Ein maximaler Wert der Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als oder gleich wie 0,3 %. Ein maximaler Wert an Steilheiten in jedem Randabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als oder gleich wie 0,6 %. Ein maximaler Wert an Steilheiten in zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung ist geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung.
  • Gemäß wiederum einem anderen Aspekt wird ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung geschaffen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Vorbereiten einer Dampfauftragsmaske, die durch die vorstehend beschriebene Weise hergestellt wird; und Ausbilden eines Musters durch Dampfauftragen unter Verwendung der Dampfauftragsmaske.
  • Figurenliste
  • Die Merkmale der vorliegenden Erfindung, von deren Neuheit ausgegangen wird, sind insbesondere in den beigefügten Ansprüchen aufgezeigt. Die Offenbarung ist zusammen mit ihren Aufgaben und Vorteilen unter Bezugnahme auf die nachstehend dargelegte Beschreibung der gegenwärtig bevorzugten Ausführungsbeispiele zusammen mit den beigefügten Zeichnungen am besten verständlich.
    • 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Dampfauftragsmaskensubstrats.
    • 2 zeigt eine Draufsicht auf ein Messsubstrat.
    • 3 zeigt eine grafische Darstellung zur Veranschaulichung der Steilheit zusammen mit dem Querschnittsaufbau eines Messsubstrates.
    • 4 zeigt eine grafische Darstellung zur Veranschaulichung von Steilheiten.
    • 5 zeigt eine Draufsicht auf die Ebenenstruktur einer Maskenvorrichtung.
    • 6 zeigt eine ausschnittartige Querschnittsansicht eines Beispiels der Querschnittsstruktur eines Maskenabschnittes.
    • 7 zeigt eine ausschnittartige Querschnittsansicht eines weiteren Beispiels der Querschnittsstruktur eines Maskenabschnittes.
    • 8 zeigt eine ausschnittartige Querschnittsansicht eines Beispiels der Struktur zum Verbinden zwischen einem Rand eines Maskenabschnittes und einem Rahmenabschnitt.
    • 9 zeigt eine ausschnittartige Querschnittsansicht eines weiteren Beispiels der Struktur zum Verbinden zwischen einem Rand eines Maskenabschnittes und einem Rahmenabschnitt.
    • 10(a) zeigt eine Draufsicht auf ein Beispiel der Ebenenstruktur einer Dampfauftragsmaske.
    • 10(b) zeigt eine Querschnittsansicht eines Beispiels der Querschnittsstruktur der Dampfauftragsmaske.
    • 11(a) zeigt eine Draufsicht auf ein weiteres Beispiel der Ebenenstruktur einer Dampfauftragsmaske;
    • 11(b) zeigt eine Querschnittsansicht eines weiteren Beispiels der Querschnittsstruktur der Dampfauftragsmaske.
    • 12 zeigt eine Prozessdarstellung eines Walzschrittes zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrates.
    • 13 zeigt eine Prozessdarstellung eines Erwärmungsschrittes zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrates.
    • Die 14 bis 18 zeigen Prozessdarstellung eines Ätzschrittes zum Herstellen des Maskenabschnittes.
    • 19 zeigt eine Prozessdarstellung eines Ätzschrittes zum Herstellen eines Maskenabschnittes.
    • Die 20(a) bis 20(h) zeigen Prozessdarstellungen eines Beispiels eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske.
    • Die 21(a) bis 21(e) zeigen Prozessdarstellungen eines Beispiels eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske.
    • Die 22(a) bis 22(f) zeigen Prozessdarstellungen eines Beispiels eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske.
    • 23 zeigt eine Draufsicht auf die Ebenenstruktur eines Messsubstrates eines Beispiels zusammen mit Maßangaben.
    • 24 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Beispiel 1 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
    • 25 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Beispiel 2 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
    • 26 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Beispiel 3 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
    • 27 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 1 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
    • 28 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 2 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
    • 29 zeigt eine grafische Darstellung der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 3 unter verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Unter Bezugnahme auf die 1 bis 29 sind nachstehend Ausführungsbeispiele eines Dampfauftragsmaskensubstrats, eines Verfahrens zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske (Dampfbeschichtungsmaske) und eines Verfahrens zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung beschrieben.
  • Aufbau des Dampfauftragsmaskensubstrats
  • Wie dies in 1 gezeigt ist, ist ein Dampfauftragsmaskensubstrat (Dampfbeschichtungsmaskensubstrat) 1 ein Metallblatt in der Form eines Streifens. Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 hat eine gewellte Form, bei der Wellenformen in der Längsrichtung DL an jeder von verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung DW, die die Querrichtung ist, sich wiederholen. Die gewellten Formen an den verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrates 1 unterscheiden sich voneinander. Die verschiedenen gewellten Formen unterscheiden sich im Hinblick auf solchen Charakteristika wie beispielsweise die Anzahl der Wellenformen, die Länge der Wellenform und die Höhe der Wellenformen bei den gewellten Formen. Zum Zwecke der Veranschaulichung sind die Formen des Dampfauftragsmaskensubstrates 1 in 1 übertrieben dargestellt. Die Dicke des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 beträgt zwischen 15 µm und 50 µm inklusive. Die Gleichförmigkeit bei der Dicke des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 ist derart, dass das Verhältnis aus der Differenz zwischen der maximalen Dicke und der minimalen Dicke gegenüber der durchschnittlichen Dicke geringer als oder gleich wie beispielsweise 5 % ist.
  • Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 kann aus Nickel oder einer Nickel-Eisen-Legierung hergestellt sein, wie beispielsweise eine Nickel-EisenLegierung, die zumindest 30 Masse% an Nickel enthält. Insbesondere kann das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 aus Invar hergestellt sein, das hauptsächlich aus einer Legierung besteht, die 36 Masse% an Nickel und 64 Masse% an Eisen enthält. Wenn die Hauptkomponente der Legierung 36 Masse% an Nickel und 64 Masse% an Eisen ist, enthält der Rest Additive wie beispielsweise Chrom, Mangan, Kohlenstoff und Kobalt. Wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 aus Invar hergestellt ist, hat das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 einen thermischen Expansionskoeffizienten von ungefähr 1,2 × 10-6/°C. Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 mit einem derartigen thermischen Expansionskoeffizienten erzeugt eine Maske, die ihre Größe aufgrund thermischer Expansion bis zu einem Ausmaß ändert, das gleich derjenigen eines Glassubstrates oder eines Polyimidblattes ist.
  • Somit wird ein Glassubstrat oder ein Polyimidblatt in geeigneter Weise als das Dampfauftragszielobjekt verwendet.
  • Steilheit
  • Wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 auf einer Niveaufläche angeordnet wird, wird die Position (Höhe) der Fläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 in Bezug auf die Niveaufläche als die Flächenposition bezeichnet.
  • Wie dies in 2 gezeigt ist, wird zum Messen der Flächenposition ein Schneidschritt zuerst ausgeführt, bei dem das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 über die Breitenrichtung DW (Schnitt über die Breite) so geschnitten wird, dass ein Messsubtrat 2M als ein Abschnitt des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 in der Längsrichtung DL des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 herausgeschnitten wird. Das Maß W in der Breitenrichtung DW des Messsubstrats 2M ist gleich dem Maß in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Dann wird die Flächenposition der Fläche 2S des Messsubstrats 2M an verschiedenen Positionen in der Längsrichtung DL und unter vorbestimmten Intervallen in der Breitenrichtung DW gemessen. Die Fläche, in der die Flächenposition gemessen wird, ist die Messfläche ZL. Die Messfläche ZL ist eine Fläche, die die Nichtmessflächen ZE ausschließt, die sich an den beiden Rändern in der Längsrichtung DL des Messsubstrats 2M befinden. Der Schneidschritt zum Schneiden des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 kann dem Messsubtrat eine neue gewellte Form verleihen, die sich von der gewellten Form des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 unterscheidet. Die Länge in der Längsrichtung DL von jedem Nichtmessbereich ZE entspricht der Fläche, in der eine derartige neue gewellte Form ausgebildet werden kann, und die Nichtmessbereiche ZE sind von der Messung der Flächenpositionen ausgeschlossen. Die Länge in der Längsrichtung DL von jedem Nichtmessbereich ZE beträgt beispielsweise 100 mm.
  • 3 zeigt eine grafische Darstellung eines Beispiels der Flächenposition und der verschiedenen Positionen in der Längsrichtung DL des Messsubstrats 2M zusammen mit der Querschnittsstruktur eines Querschnitts in der Längsrichtung DL des Messsubstrats 2M. 3 zeigt ein Beispiel von einem der verschiedenen Abschnitte in der Breitenrichtung DW. Dieser Abschnitt hat drei Wellenformen (Welligkeiten) in der Längsrichtung DL.
  • Wie dies in 3 gezeigt ist, sind die verschiedenen Positionen in der Längsrichtung DL, an denen Flächenpositionen gemessen werden, in Intervallen festgelegt, die eine repräsentative Wiedergabe der gewellten Form des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 ermöglichen. Die Positionen in der Längsrichtung DL, an denen die Flächenpositionen gemessen werden, sind beispielsweise in Intervallen von 1 mm in der Längsrichtung DL. Die Linie LC, die die Flächenpositionen an verschiedenen Positionen in der Längsrichtung DL verbindet, wird als eine Linie erachtet, die sich entlang der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 erstreckt. Die Länge der Linie LC ist der Abstand entlang der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Die Welligkeiten in der Linie LC haben jeweils eine Wellenformlänge L1, L2 oder L3, die die Länge der geraden Linie ist, die eines der Täler der Wellenform mit einem anderen verbindet, das heißt der Abstand zwischen einem der Täler der Wellenform zu einem anderen. Die Wellenformen (Welligkeiten) bei der Linie LC haben jeweils eine Welligkeitshöhe H1, H2 oder H3, die die Höhe in Bezug auf die gerade Linie ist, die ein Tal mit einem anderen bei der Wellenform verbindet. Eine Einheitssteilheit des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 ist ein prozentualer Anteil der Höhe einer Wellenform in Bezug auf die Länge der Wellenform. In dem Beispiel von 3 sind die Einheitssteilheiten die Höhe H1/Länge L1 × 100 (%), die Höhe H2/Länge L2 × 100 (%) und die Höhe H3/Länge L3 × 100 (%). Die Steilheit des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 ist der durchschnittliche Wert der Einheitssteilheiten von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung DL an jeder Position in der Breitenrichtung DW. In dem Beispiel von 3 ist die Steilheit des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 der durchschnittliche Wert aus Höhe H1/L1 × 100 (%), Höhe H2/L2 × 100 (%) und Höhe H3/L3 × 100 (%).
  • 4 zeigt die Steilheiten an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Die obere durchgehende Linie in 4 zeigt ein Beispiel, bei dem der Mittenabschnitt RC in der Breitenrichtung DW eine Steilheit hat, die größer ist als die Steilheiten an den beiden Randabschnitten RE. Die untere durchgehende Linie in 4 zeigt ein Beispiel, bei dem einer der Randabschnitte RE in der Breitenrichtung DW eine Steilheit hat, die größer ist als die Steilheiten an dem Mittenabschnitt RC und dem anderen Randabschnitt RE. Einer der Randabschnitte RE ist ein Beispiel eines ersten Randabschnittes und der andere Randabschnitt RE ist ein Beispiel eines zweiten Randabschnittes.
  • Wie dies in 4 gezeigt ist, wird die größte Steilheit des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 in dem Mittenabschnitt RC in der Breitenrichtung DW gemessen, während die kleinste Steilheit in der Nähe der Grenzen zwischen dem Mittenabschnitt RC und den Randabschnitten RE gemessen wird. Die Steilheiten des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 nehmen von dem Mittenabschnitt RC zu den Rändern der beiden Randabschnitte RE in der Breitenrichtung DW zu. Die Mitte in der Breitenrichtung DW des Mittenabschnittes RC ist die Mitte PC in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Die Länge in der Breitenrichtung DW des Mittenabschnittes RC in der Breitenrichtung DW beträgt 40 % der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Die Länge in der Breitenrichtung DW von jedem Randabschnitt RE in der Breitenrichtung DW beträgt 30 % der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Die Steilheiten dieses Dampfauftragsmaskensubstrats 1 erfüllen die folgenden drei Bedingungen.
  • Bedingung 1: Der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC in der Breitenrichtung DW ist geringer als oder gleich wie 0,3 %.
  • Bedingung 2: Die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE in der Breitenrichtung DW sind geringer als oder gleich wie 0,6 %.
  • Bedingung 3: Der maximale Wert der Steilheiten in zumindest einem der Randabschnitte RE in der Breitenrichtung DB ist geringer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC in der Breitenrichtung DW.
  • Wie dies anhand der oberen durchgehenden Linie in 4 gezeigt ist, sind in einem Beispiel, das Bedingung 3 erfüllt, die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE geringer als der maximale Wert der Steilheit in dem Mittenabschnitt RC. Das heißt, bei diesem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 hat der Mittenabschnitt RC steilere Oberflächenwelligkeiten als die Randabschnitte RE. Dieses Dampfauftragsmaskensubstrat 1 ermöglicht, dass die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrat 1 gelieferte Flüssigkeit mit Leichtigkeit von dem Mittenabschnitt RC zu den Randabschnitten RE strömt und außerdem von den Randabschnitten RE zu der Außenseite des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 strömt.
  • Wie dies durch die untere durchgehende Linie in 4 gezeigt ist, ist in einem anderen Beispiel, das die Bedingung 3 erfüllt, der maximale Wert der Steilheiten in einem der Randabschnitte RE geringer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC, und der maximale Wert der Steilheiten in dem anderen Randabschnitt RE ist größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC. Das heißt, bei diesem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 hat einer der Randabschnitte RE sanftere Flächenwelligkeiten als der Mittenabschnitt RC, und der andere Randabschnitt RE hat steilere Flächenwelligkeiten als der Mittenabschnitt RC. Dieses Dampfauftragsmaskensubstrat 1 ermöglicht, dass die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit mit Leichtigkeit von dem zweiten Randabschnitt RE zu dem ersten Randabschnitt RE und außerdem von dem ersten Randabschnitt RE zu der Außenseite des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 strömt.
  • Die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit kann eine Entwicklungslösung zum Entwickeln der Resistlage auf der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 und eine Reinigungslösung zum Entfernen der Entwicklungslösung von der Oberfläche sein. Die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit kann außerdem ein Ätzmittel zum Ätzen des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 und eine Reinigungslösung zum Entfernen des Ätzmittels von der Oberfläche sein. Des Weiteren kann die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit eine sogenannte Stripping-Lösung zum Strippen der auf der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 nach dem Ätzen verbleibenden Resistlage und eine Reinigungslösung zum Entfernen der Stripping-Lösung von der Oberfläche sein.
  • Die vorstehend beschriebenen Strukturen, bei denen es unwahrscheinlich ist, dass die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit stagniert, erhöhen die Gleichförmigkeit des Prozesses, bei dem Flüssigkeit auf der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 verwendet wird. Des Weiteren verbessert die Struktur das Anhaften zwischen der Resistlage und dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 und erhöht die Genauigkeit der Belichtung bei der Resistlage, wenn der Mittenabschnitt RC die Bedingung 1 erfüllt, sodass die Oberfläche des Mittenabschnittes RC frei von übermäßig steilen Welligkeiten ist, und die Randabschnitte RE die Bedingung 2 erfüllen, sodass die Oberflächen der Randabschnitte RE frei von übermäßig steilen Welligkeiten sind. Darüber hinaus begrenzt die Struktur, die die Bedingungen 1 und 2 erfüllt, Abweichungen bei der Übertragung in der Walze-Zu-Walze-Behandlung des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 zusätzlich zu dem Begrenzen des Stagnierens einer Strömung einer Flüssigkeit. Dadurch wird die Gleichförmigkeit der Prozesse noch weiter verbessert.
  • In einem Beispiel, bei dem die Bedingung 3 nicht erfüllt ist, sind die maximalen Werte der Steilheiten an den Randabschnitten RE größer als oder gleich wie der maximale Wert der Steilheiten in den Mittenabschnitt RC. Das heißt, die Oberflächenwelligkeiten an den Randabschnitten RE sind steiler als die Oberflächenwelligkeiten in dem Mittenabschnitt RC. Dieses Dampfauftragsmaskensubstrat 1 ermöglicht, dass die zu der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gelieferte Flüssigkeit mit Leichtigkeit von den Randabschnitten RE zu der Außenseite des Dampfauftragsmaskensubstrats strömt und außerdem von den Randabschnitten RE zu dem Mittenabschnitt RC strömt. Dies kann Flüssigkeitspfützen in dem Mittenabschnitt RC erzeugen, was die Gleichförmigkeit des Prozesses reduzieren kann, der Flüssigkeit an der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 verwendet. Somit sind die Struktur, die Bedingung 3 erfüllt, und die Vorteile dieser Struktur lediglich erzielbar, indem das Problem bei der Oberflächenbehandlung unter Verwendung von Flüssigkeit identifiziert wird, das aufgrund der Differenz zwischen den Steilheiten an dem Mittenabschnitt RC und den Steilheiten an den Randabschnitten RE auftritt.
  • Struktur der Maskenvorrichtung
  • 5 zeigt schematisch die Ebenenstruktur einer Maskenvorrichtung mit einer Dampfauftragsmaske, die unter Verwendung des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 hergestellt wird. 6 zeigt ein Beispiel der Querschnittsstruktur eines Maskenabschnittes einer Dampfauftragsmaske. 7 zeigt ein weiteres Beispiel der Querschnittsstruktur eines Maskenabschnittes einer Dampfauftragsmaske. Die Anzahl der Dampfauftragsmasken bei der Maskenvorrichtung und die Anzahl der Maskenabschnitte in einer Dampfauftragsmaske 30, die gezeigt sind, sind Beispiele.
  • Wie dies in 5 gezeigt ist, hat eine Maskenvorrichtung 10 einen Hauptrahmen 20 und drei Dampfauftragsmasken 30. Der Hauptrahmen 20 hat die Form eines rechtwinkeligen Rahmens und stützt die Dampfauftragsmasken 30. Der Hauptrahmen 20 ist an einer Dampfauftragsvorrichtung angebracht, die ein Dampfauftragen ausführt. Der Hauptrahmen 20 hat Hauptrahmenlöcher 21, die sich durch den Hauptrahmen 20 erstrecken und sich im Wesentlichen über die gesamten Bereiche (gesamten Flächen) erstrecken, in denen die Dampfauftragsmasken 30 angeordnet sind. Die Dampfauftragsmasken 30 haben eine Vielzahl an Rahmenabschnitten 31, von denen jeder die Form eines ebenen Streifens hat, und drei Maskenabschnitte 32 in jedem Rahmenabschnitt 31. Jeder Rahmenabschnitt 31, der die Maskenabschnitte 32 stützt und die Form eines ebenen Streifens hat, ist an dem Hauptrahmen 20 angebracht. Jeder Rahmenabschnitt 31 hat Rahmenlöcher 33, die sich durch den Rahmenabschnitt 31 erstrecken und sich im Wesentlichen über die gesamten Bereiche erstrecken, in denen Maskenabschnitte 32 angeordnet sind. Der Rahmenabschnitt 31 hat eine höhere Steifigkeit als die Maskenabschnitte 32 und ist als ein Rahmen geformt, der die Rahmenlöcher 33 umgibt. Die Maskenabschnitte 32 sind durch Schweißen oder Anheften an den Rahmeninnenrandabschnitten der Rahmenabschnitte 31, die die Rahmenlöcher 33 definieren, separat fixiert.
  • Wie dies in 6 gezeigt ist, ist ein Beispiel eines Maskenabschnittes 32 aus einer Maskenplatte 323 hergestellt. Die Maskenplatte 323 kann ein einzelnes ebenes Element, das aus einem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 hergestellt ist, oder ein Laminat aus einem einzelnen ebenen Element sein, das aus einem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 und einem Kunststoffblatt hergestellt ist. 6 zeigt ein einzelnes ebenes Element, das aus dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 hergestellt ist.
  • Die Maskenplatte 323 hat eine erste Oberfläche 321 (die untere Fläche in 6) und eine zweite Oberfläche 322 (die obere Fläche in 6), die zu der ersten Oberfläche 321 entgegengesetzt ist. Die erste Oberfläche 321 ist dem Dampfauftragszielobjekt wie beispielsweise ein Glassubstrat zugewandt, wenn die Maskenvorrichtung 10 an der Dampfauftragsvorrichtung angebracht ist. Die zweite Oberfläche 322 ist der Dampfauftragsquelle der Dampfauftragsvorrichtung zugewandt. Der Maskenabschnitt 32 hat eine Vielzahl an Löchern 32H, die sich durch die Maskenplatte 323 erstrecken. Die Wandfläche (Wandoberfläche), die jedes Loch 32H definiert, ist in Bezug auf die Dickenrichtung der Maskenplatte 323 in einer Querschnittsansicht geneigt. In einer Querschnittsansicht kann die Wandfläche, die jedes Loch 32H definiert, eine halbkreisartige Form, die von dem Loch 32H nach außen vorragt, wie dies in 6 gezeigt ist, oder eine komplexe gekrümmte Form mit einer Vielzahl an Biegepunkten haben.
  • Die Maskenplatte 323 hat eine Dicke zwischen 1 µm und 50 µm inklusive, vorzugsweise zwischen 2 µm und 20 µm inklusive. Die Dicke der Maskenplatte 323, die geringer als oder gleich wie 50 µm ist, ermöglicht, dass die in der Maskenplatte 323 ausgebildeten Löcher 32H eine Tiefe von weniger als oder gleich wie 50 µm haben. Diese dünne Maskenplatte 323 ermöglicht, dass die die Löcher 32H definierenden Wandflächen eine kleine Fläche haben, wodurch das Volumen des Dampfauftragsmaterials reduziert wird, das an den die Löcher 32H definierenden Wandflächen anhaftet.
  • Die zweite Oberfläche 322 hat zweite Öffnungen H2, die Öffnungen der Löcher 32H sind. Die erste Oberfläche 321 hat erste Öffnungen H1, die Öffnungen der Löcher 32H sind. Die zweiten Öffnungen H2 sind in einer Draufsicht größer als die ersten Öffnungen H1. Jedes Maskenloch 32H ist ein Kanal für die Dampfauftragspartikel, die von der Dampfauftragsquelle sublimiert werden. Das von der Dampfauftragsquelle sublimierte Dampfauftragsmaterial bewegt sich von den zweiten Öffnungen H2 zu den ersten Öffnungen H1. Die zweiten Öffnungen H2, die größer als die ersten Öffnungen H1 sind, erhöhen die Menge an Dampfauftragsmaterial, das durch die zweiten Öffnungen H2 in die Löcher 32H gelangt. Die Fläche von jedem Loch 32H in einem Querschnitt entlang der ersten Oberfläche 321 kann monoton von der ersten Öffnung H1 zu der zweiten Öffnung H2 zunehmen oder sie kann in einem Abschnitt zwischen der ersten Öffnung H1 und der zweiten Öffnung H2 im Wesentlichen gleichförmig sein.
  • Wie dies in 7 gezeigt ist, hat ein anderes Beispiel eines Maskenabschnittes 32 eine Vielzahl an Löchern 32H, die sich durch die Maskenplatte 323 erstrecken. Die zweiten Öffnungen H2 sind in einer Draufsicht größer als die ersten Öffnungen H1. Jedes Loch 32H besteht aus einem großen Loch 32LH, das eine zweite Öffnung H2 hat, und einem kleinen Loch 32SH, das eine erste Öffnung H1 hat. Das große Loch 32LH hat eine Querschnittsfläche, die von der zweiten Öffnung H2 zu der ersten Oberfläche 321 monoton abnimmt. Das zweite Loch 32SH hat eine Querschnittsfläche, die von der ersten Öffnung H1 zu der zweiten Oberfläche 322 hin monoton abnimmt. Der Abschnitt der Wandoberfläche, der jedes Loch 32H definiert, an dem das große Loch 32LH das kleine Loch 32S an einem mittleren Abschnitt in der Dickenrichtung der Maskenplatte 323 trifft, ragt von dem Loch 32H nach innen vor. Der Abstand zwischen der ersten Oberfläche 321 und dem vorragenden Abschnitt der Wandoberfläche, der das Loch 32H definiert, ist eine Absatzhöhe SH. Das Beispiel der in 6 gezeigten Querschnittsstruktur hat eine Absatzhöhe SH von null. Um die Menge an Dampfauftragsmaterial zu erhöhen, das die ersten Öffnungen H1 erreicht, ist die Absatzhöhe SH vorzugsweise null. Damit ein Maskenabschnitt 32 eine Absatzhöhe SH von null hat, sollte die Maskenplatte 323 ausreichend dünn in derartiger Weise sein, dass ein Nassätzen von lediglich einer Seite des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 das Ausbilden der Löcher 32H erzielt. Beispielsweise kann die Maskenplatte 323 eine Dicke von weniger als oder gleich wie 50 µm haben.
  • Maskenabschnittverbindungsstruktur
  • 8 zeigt ein Beispiel der Querschnittsstruktur zum Verbinden zwischen einem Maskenabschnitt 32 und einem Rahmenabschnitt 31. 9 zeigt ein anderes Beispiel der Querschnittsstruktur zum Verbinden zwischen einem Maskenabschnitt 32 und einem Rahmenabschnitt 31.
  • Bei dem in 8 gezeigten Beispiel ist der Außenrandabschnitt 32E einer Maskenplatte 323 ein Bereich, der frei von Löchern 32H ist. Der Teil der zweiten Oberfläche 322 der Maskenplatte 323, der in dem Außenrandabschnitt 32E der Maskenplatte 323 umfasst ist, ist ein Beispiel einer Seitenfläche des Maskenabschnittes und ist mit dem Rahmenabschnitt 31 verbunden. Der Rahmenabschnitt 31 hat Innenrandabschnitte 31E, die Rahmenlöcher 33 definieren. Jeder Innenrandabschnitt 31E hat eine Verbindungsfläche 311 (die untere Fläche in 8), die der Maskenplatte 323 zugewandt ist, und eine Nichtverbindungsfläche 312 (die obere Fläche in 8), die zu der Verbindungsfläche 311 entgegengesetzt ist. Die Dicke T31 des Innenrandabschnittes 31E, das heißt der Abstand zwischen der Verbindungsfläche 311 und der Nichtverbindungsfläche 312, ist ausreichend größer als die Dicke T32 der Maskenplatte 323, was ermöglicht, dass der Rahmenabschnitt 31 eine höhere Steifigkeit als die Maskenplatte 323 hat. Insbesondere hat der Rahmenabschnitt eine hohe Steifigkeit, die ein Durchhängen des Innenrandabschnittes 31E aufgrund seines Eigengewichtes und ein Versetzen (Verschieben) des Innenrandabschnittes 31E zu dem Maskenabschnitt 32 hin begrenzt. Die Verbindungsfläche 311 des Innenrandabschnittes 31E hat einen Verbindungsabschnitt 32BN, der mit der zweiten Oberfläche 322 verbunden ist.
  • Der Verbindungsabschnitt 32BN erstreckt sich fortlaufend oder in unterbrochener Weise entlang im Wesentlichen des gesamten Umfangs des Innenrandabschnittes 31E. Der Verbindungsabschnitt 32BN kann eine Schweißmarkierung, die durch Schweißen der Verbindungsfläche 311 an der zweiten Oberfläche 322 ausgebildet wird, oder eine Verbindungslage sein, die die Verbindungsfläche 311 mit der zweiten Oberfläche 322 verbindet. Wenn die Verbindungsfläche 311 des Innenrandabschnittes 31E mit der zweiten Oberfläche 322 der Maskenplatte 323 verbunden wird, bringt der Rahmenabschnitt 31 eine Spannung F an der Maskenplatte 322 auf, die die Maskenplatte 322 nach außen zieht.
  • Der Hauptrahmen 20 bringt außerdem eine Spannung auf den Rahmenabschnitt 31 auf, die den Rahmenabschnitt 31 nach außen zieht. Diese Spannung entspricht der Spannung F, die auf die Maskenplatte 323 aufgebracht wird. Demgemäß wird die von dem Hauptrahmen 20 entfernte Dampfauftragsmaske von der Spannung befreit, die durch das Verbinden zwischen dem Hauptrahmen 20 und dem Rahmenabschnitt 31 bewirkt wird, und die auf die Maskenplatte 321 aufgebrachte Spannung F wird entspannt. Die Position des Verbindungsabschnittes 32BN in der Verbindungsfläche 311 ist vorzugsweise so festgelegt, dass die Spannung F isotropisch an der Maskenplatte 323 wirkt. Eine derartige Position kann gemäß der Form der Maskenplatte 323 und der Form der Rahmenlöcher 33 gewählt werden.
  • Die Verbindungsfläche (Verbindungsoberfläche) 311 ist eine Ebene, die den Verbindungsabschnitt 32BN umfasst, und erstreckt sich von der Maskenplatte 323 nach außen von dem Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322. Anders ausgedrückt hat der Innenrandabschnitt 31E eine Ebenenstruktur, die die zweite Oberfläche 322 nach außen virtuell verlängert, sodass der Innenrandabschnitt 31E sich von dem Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322 zu der Außenseite der Maskenplatte 323 erstreckt. Demgemäß ist es wahrscheinlich, dass in dem Bereich, in dem sich die Verbindungsfläche 311 erstreckt, ein Raum V, der der Dicke der Maskenplatte 323 entspricht, um die Maskenplatte 323 herum ausgebildet wird. Dies begrenzt eine physikalische Beeinträchtigung zwischen dem Dampfauftragszielobjekt S und dem Rahmenabschnitt 31 um die Maskenplatte 323 herum.
  • 9 zeigt ein weiteres Beispiel, bei dem der Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322 einen Bereich hat, der frei von Löchern 32H ist. Der Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322 hat einen Verbindungsabschnitt 32BN, mit dem der Außenrandabschnitt 32E an der Verbindungsfläche 311 des Rahmenabschnittes 31 verbunden ist. Der Rahmenabschnitt 31 bringt eine Spannung F auf die Maskenplatte 323 auf, die die Maskenplatte 323 nach außen zieht. Der Rahmenabschnitt 31 erzeugt außerdem einen Raum V, der der Dicke der Maskenplatte 323 entspricht, in dem Bereich, an dem sich die Verbindungsfläche 311 erstreckt.
  • Die Maskenplatte 323, die nicht der Spannung F ausgesetzt ist, kann einige Welligkeiten in ähnlicher Weise wie bei dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 haben. Die Maskenplatte 323, die der Spannung F ausgesetzt ist, das heißt die an der Dampfauftragsmaske 30 montierte Maskenplatte 323 kann sich derart verformen, dass die Höhen der Welligkeiten reduziert werden. Jedoch überschreitet eine beliebige durch die Spannung F bewirkte Verformung nicht das zulässige Maß, wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 die vorstehend beschriebenen Bedingungen 2 und 3 erfüllt. Demgemäß ist es wenig wahrscheinlich, dass die Löcher 32H der Dampfauftragsmaske 30 sich verformen, was die Genauigkeit der Position und der Form der Muster verbessert.
  • Quantität der Maskenabschnitte
  • Die 10(a) und 10(b) zeigen ein Beispiel der Beziehung zwischen der Quantität (Menge) der Löcher 32H in einer Dampfauftragsmaske 30 und der Quantität (Menge) der Löcher 32H in einem Maskenabschnitt 32. Die 11(a) und 11(b) zeigen ein weiteres Beispiel der Beziehung zwischen der Quantität (Anzahl) der Löcher 32H in einer Dampfauftragsmaske 30 und der Quantität (Anzahl) der Löcher 32H in einem Maskenabschnitt 32.
  • 10(a) zeigt ein Beispiel, bei dem der Rahmenabschnitt 31 drei Rahmenlöcher 33 (nämlich 33A, 33B und 33C) hat. Wie dies in 10(b) gezeigt ist, hat die Dampfauftragsmaske 30 von diesem Beispiel einen Maskenabschnitt 32 (32A, 32B oder 32C) in jedem der Rahmenlöcher 33. Der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33A definiert, ist mit einem Maskenabschnitt 32A verbunden, der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33B definiert, ist mit einem anderen Maskenabschnitt 32B verbunden, und der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33C definiert, ist mit dem anderen Maskenabschnitt 32C verbunden.
  • Die Dampfauftragsmaske 30 wird für eine Vielzahl an Dampfauftragszielobjekten wiederholt verwendet. Somit muss die Position und die Struktur der Löcher 32H bei der Dampfauftragsmaske 30 hochgradig genau sein. Wenn die Position und die Struktur der Löcher 32H nicht die erwünschte Genauigkeit haben, kann es sein, dass die Maskenabschnitte 32 ein Austauschen erforderlich machen, wenn die Dampfauftragsmaske 30 hergestellt oder repariert wird.
  • Wenn beispielsweise lediglich einer der Maskenabschnitte 32 ausgetauscht werden muss, macht die Struktur, bei der die Quantität (Menge) der in einem Rahmenabschnitt 31 erforderlichen Löcher 32H in drei Maskenabschnitte 32 geteilt ist, wie dies in den 10(a) und 10(b) gezeigt ist, lediglich das Austauschen von einem der drei Maskenabschnitte 32 erforderlich. Anders ausgedrückt werden zwei der drei Maskenabschnitte 32 weiterhin angewendet. Somit reduziert die Struktur, bei der die Maskenabschnitte 32 separat mit den jeweiligen Rahmenlöchern 33 verbunden sind, den Verbrauch an verschiedenen Materialien im Zusammenhang mit der Herstellung und der Reparatur der Dampfauftragsmaske 30. Außerdem können eine dünnere Maskenplatte 323 und kleinere Löcher 32H den Ausstoß des Maskenabschnittes 32 reduzieren und den Bedarf an einem Austauschen des Maskenabschnittes 32 erhöhen. Somit ist die Struktur, bei der jedes Rahmenloch 33 einen Maskenabschnitt 32 hat, für eine Dampfauftragsmaske 30 besonders geeignet, die eine hohe Auflösung erforderlich macht.
  • Die Position und die Struktur der Löcher 32H werden vorzugsweise bestimmt, während die Spannung F aufgebracht wird, das heißt, während die Maskenabschnitte 32 mit dem Rahmenabschnitt 31 verbunden sind. In dieser Hinsicht erstreckt sich der Verbindungsabschnitt 32BN vorzugsweise teilweise und in unterbrochener Weise entlang des Innenrandabschnittes 31E so, dass der Maskenabschnitt 32 austauschbar ist.
  • 11(a) zeigt ein Beispiel, bei dem der Rahmenabschnitt 31 drei Rahmenlöcher 33 hat. Wie dies in dem Beispiel von 11(b) gezeigt ist, kann die Dampfauftragsmaske 30 einen Maskenabschnitt 32 haben, der für die Rahmenlöcher 33 gemeinschaftlich vorhanden ist. Der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33A definiert, der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33B definiert, und der Innenrandabschnitt 31E, der das Rahmenloch 33C definiert, sind mit dem gemeinsamen Maskenabschnitt 32 verbunden.
  • Die Struktur, bei der die Menge an Löchern 32H, die in einem Rahmenabschnitt 31 erforderlich sind, einem einzelnen Maskenabschnitt 32 zugewiesen ist, bringt mit sich, dass lediglich ein Maskenabschnitt 32 mit dem Rahmenabschnitt 31 verbunden ist. Dadurch wird die Last reduziert, die für das Verbinden zwischen dem Rahmenabschnitt 31 und dem Maskenabschnitt 32 erforderlich ist. Außerdem können eine dickere Maskenplatte 323, die den Maskenabschnitt 32 ausbildet, und größere Löcher 32H den Ausstoß des Maskenabschnittes 32 erhöhen und den Bedarf an einem Austauschen des Maskenabschnittes 32 reduzieren. Somit ist die Struktur, bei der sich die Rahmenlöcher 33 den gemeinsamen Maskenabschnitt 32 teilen, besonders geeignet für eine Dampfauftragsmaske 33, die eine geringe Auflösung erforderlich macht.
  • Verfahren zum Herstellen des Dampfauftragsmaskensubstrats
  • Nachstehend sind Verfahren zum Herstellen des Dampfauftragsmaskensubstrats beschrieben. Als Verfahren für ein Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats sind ein Verfahren unter Verwendung eines Walzens und ein Verfahren unter Verwendung einer Elektrolyse separat beschrieben. Das ein Walzen anwendende Verfahren ist zunächst beschrieben, woraufhin das Verfahren unter Verwendung der Elektrolyse anschließend beschrieben ist. Die 12 und 13 zeigen ein Beispiel unter Verwendung eines Walzens.
  • Unter Bezugnahme auf 12 wird bei dem Verfahren unter Verwendung eines Walzens zunächst ein Basismaterial 1a vorbereitet, das beispielsweise aus Invar hergestellt ist. Das Basismaterial 1a erstreckt sich in der Längsrichtung DL. Dann wird das Basismaterial 1a zu einer Walzvorrichtung 50 so übertragen, dass die Längsrichtung DL des Basismaterials 1a parallel zu der Richtung ist, in der das Basismaterial 1a übertragen wird. Die Walzvorrichtung 50 kann ein Paar an Walzen 51 und 52 aufweisen, wobei diese das Basismaterial 1a walzen. Dadurch wird das Basismaterial 1a in der Längsrichtung DL gestreckt (gedehnt), wodurch ein gewalztes Material 1b ausgebildet wird. Das gewalzte Material 1b kann um einen Kern C gewickelt werden oder in einem Zustand gehandhabt werden, bei dem es sich in der Form eines Streifens erstreckt. Das gewalzte Material 1b hat eine Dicke von beispielsweise zwischen 10 µm und 50 µm inklusive.
  • Wie dies in 13 gezeigt ist, wird das gewalzte Material 1b dann zu einer Glühvorrichtung 53 befördert. Die Glühvorrichtung 53 erwärmt das gewalzte Material 1b, das in der Längsrichtung DL gestreckt worden ist. Dadurch wird die in dem gewalzten Material 1b verbleibende Restspannung entfernt und das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 ausgebildet. Die Drückkraft zwischen den Walzen 51 und 52, die Drehzahl der Walzen 51 und 52 und die Glühtemperatur des gewalzten Materials 1b sind so festgelegt, dass die Bedingungen 1, 2 und 3 erfüllt sind.
  • Bei dem Verfahren, das eine Elektrolyse anwendet, wird das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 auf der Oberfläche einer Elektrode für die Elektrolyse ausgebildet und dann von dieser Oberfläche entfernt. Wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 aus Invar hergestellt ist, enthält das elektrolytische Bad für die Elektrolyse beispielsweise eine Eisenionenquelle, eine Nickelionenquelle und einen ph-Puffer. Das für die Elektrolyse verwendete elektrolytische Bad kann außerdem ein Spannungsentlastungsmittel, ein Fe3+-Ionenmaskenmittel und ein Komplexierungsmittel wie beispielsweise Apfelsäure und Zitronensäure ebenfalls enthalten und ist eine schwach säurehaltige Lösung mit einem ph-Wert, der für die Elektrolyse eingestellt ist. Beispiele der heißen Ionenquelle umfassen Eisen(II)-Sulfat-Heptahydrat, Eisen(II)chlorid und Eisen(II)sulfamat. Beispiele der Nickelionenquelle umfassen Nickel(II)sulfat, Nickel(II)chlorid, Nickelsulfamat und Nickelbromid. Beispiele des ph-Puffers umfassen Borsäure und Malonsäure. Malonsäure fungiert auch als ein Fe3+-Ionenmaskiermittel. Das Spannungsentlastungsmittel kann beispielsweise Saccharinnatrium sein. Das für die Elektrolyse verwendete elektrolytische Bad kann eine wässrige Lösung sein, die die vorstehend aufgelisteten Additive enthält und unter Verwendung eines ph-Einstellmittels eingestellt wird, wie beispielsweise eine 5-prozentige Schwefelsäure oder Nickelcarbonat, sodass sich beispielsweise ein ph-Wert von zwischen 2 und 3 inklusive ergibt.
  • Als die Bedingungen für die Elektrolyse werden die Temperatur des elektrolytischen Bades, die Stromdichte und die Elektrolysezeit gemäß den Eigenschaften des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 eingestellt, wie beispielsweise die Dicke und das Zusammensetzungsverhältnis. Die in dem elektrolytischen Bad angewendete Anode kann aus reinem Eisen und Nickel hergestellt sein. Die in dem elektrolytischen Bad angewendete Kathode kann eine Platte aus rostfreiem Stahl wie beispielsweise SUS304 sein. Die Temperatur des elektrolytischen Bades kann zwischen 40 °C und 60 °C inklusive sein. Die Stromdichte kann zwischen 1 A/dm2 und 4 A/dm2 inklusive sein. Die Stromdichte an der Oberfläche der Elektrode ist so festgelegt, dass die Bedingungen 1 bis 3 erfüllt sind.
  • Das durch die Elektrolyse hergestellte Dampfauftragsmaskensubstrat 1 und das durch Walzen hergestellte Dampfauftragsmaskensubstrat 1 können durch chemisches oder elektrisches Polieren weiter ausgedünnt (dünn gestaltet) werden. Die für das chemische Polieren verwendete Polierlösung kann eine chemische Polierlösung für eine Legierung auf Eisenbasis sein, die Wasserstoffperoxid als Hauptkomponente enthält. Das für das elektrische Polieren verwendete Elektrolyt ist eine Elektropolierlösung auf der Basis von Perchlorsäurebasis oder eine Elektropolierlösung auf der Basis von Schwefelsäure. Da die Bedingungen 1, 2 und 3 erfüllt sind, hat die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 eine eingeschränkte Schwankung als ein Ergebnis des Polierens unter Verwendung der Polierlösung und als ein Ergebnis des Reinigens der Polierlösung unter Verwendung einer Reinigungslösung.
  • Verfahren zum Herstellen des Maskenabschnittes
  • Unter Bezugnahme auf die 14 bis 19 ist nachstehend ein Prozess zum Herstellen des in 7 gezeigten Maskenabschnittes 32 beschrieben. Der Prozess zum Herstellen des in 6 gezeigten Maskenabschnittes 32 ist der gleiche wie der Prozess zum Herstellen des in 7 gezeigten Maskenabschnittes 32 mit der Ausnahme, dass die kleinen Löcher 32SH als Durchgangslöcher ausgebildet werden und der Schritt zum Ausbilden der großen Löcher 32LH weggelassen ist. Die überlappenden Schritte sind nicht beschrieben.
  • Unter Bezugnahme auf 14 beginnt das Herstellen eines Maskenabschnittes mit der Vorbereitung eines Dampfauftragsmaskensubstrats 1, das eine erste Oberfläche 1Sa und eine zweite Oberfläche 1Sb hat und einen ersten Trockenfilmresist 2 (erster DFR 2), der an der ersten Oberfläche 1Sa zu fixieren ist, und einen zweiten Trockenfilmresist 3 (zweiter DFR) hat, der an der zweiten Oberfläche 1Sb zu fixieren ist. Die DFR 2 und 3 werden separat von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 ausgebildet. Dann wird der erste DFR 2 an der ersten Oberfläche 1Sa fixiert und der zweite DFR 3 wird an der zweiten Oberfläche 1Sb fixiert.
  • Unter Bezugnahme auf 15 werden die Abschnitte der DFR 2 und 3 außer den Abschnitten, in denen Löcher auszubilden sind, mit Licht belichtet, und dann werden die DFR entwickelt. Dadurch werden erste Durchgangslöcher 2a in dem ersten DFR 2 und zweite Durchgangslöcher 3a in dem zweiten DFR 3 ausgebildet. Das Entwickeln der belichteten DFR verwendet beispielsweise eine Natriumcarbonatlösung als die Entwicklungslösung. Da die Bedingungen 1, 2 und 3 erfüllt sind, hat die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 eine eingeschränkte Schwankung (Variation) als ein Ergebnis der Entwicklung unter Verwendung der Entwicklungslösung und als Ergebnis des Reinigens unter Verwendung einer Reinigungslösung. Dies erhöht die Gleichförmigkeit der Form und der Größe der ersten und zweiten Durchgangslöcher 2a und 3a an der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1.
  • Wie dies in 16 gezeigt ist, kann die erste Oberfläche 1Sa des Dampfauftragsmaskensubstrats (Dampfbeschichtungsmaskensubstrat) 1 mit einer Eisen(III)chloridlösung unter Verwendung des ersten DFR 2 als die Maske geätzt werden. Hierbei wird eine zweite Schutzlage 61 über der zweiten Oberfläche 1Sb so ausgebildet, dass die zweite Oberfläche 1Sd nicht zusammen mit der ersten Oberfläche 1Sa geätzt wird. Die zweite Schutzlage 61 kann aus einem beliebigen Material hergestellt sein, das gegenüber der Eisen(III)chloridlösung chemisch widerstandfähig ist. Sich zu der zweiten Oberfläche 1Sb erstreckende kleine Löcher 32SH werden somit in der ersten Oberfläche 1Sa ausgebildet. Jedes kleine Loch 32SH hat eine erste Öffnung H1, die in der ersten Oberfläche 1Sa offen ist. Da die Bedingungen 1, 2 und 3 erfüllt sind, hat die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 eine eingeschränkte Variation (Schwankung) als ein Ergebnis des Ätzens unter Verwendung eines Ätzmittels und als ein Ergebnis des Reinigens unter Verwendung einer Reinigungslösung. Dadurch wird die Gleichförmigkeit der Form und der Größe der kleinen Löcher 32SH an der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 erhöht.
  • Das Ätzmittel zum Ätzen des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 kann ein säureartiges Ätzmittel sein. Wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 aus Invar hergestellt ist, kann ein beliebiges Ätzmittel angewendet werden, das Invar ätzen kann. Das säureartige Ätzmittel kann eine Lösung sein, die Perchlorsäure, Salzsäure, Schwefelsäure, Ameisensäure oder Essigsäure enthält, die in einer Eisen(III)perchloratlösung gemischt ist, oder eine Mischung aus einer Eisen(III)perchloratlösung und einer Eisen(III)chloridlösung sein. Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 kann durch ein Tauchverfahren geätzt werden, bei dem das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 in einem säureartigen Ätzmittel getaucht wird, oder kann durch ein Sprühverfahren geätzt werden, bei dem ein säureartiges Ätzmittel auf das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 gesprüht wird.
  • Unter Bezugnahme auf 17 werden der erste DFR 2, der an der ersten Oberfläche 1Sa ausgebildet ist, und die zweite Schutzlage 61 an dem zweiten DFR 3 entfernt. Außerdem wird eine erste Schutzlage 4 auf der ersten Oberfläche 1Sa ausgebildet, um ein zusätzliches Ätzen der ersten Oberfläche 1Sa zu verhindern. Die erste Schutzlage 4 kann aus einem beliebigen Material hergestellt sein, die gegenüber der Eisen(III)chloridlösung chemisch widerstandsfähig ist.
  • Dann wird, wie dies in 18 gezeigt ist, die zweite Oberfläche 1Sb mit der Eisen(III)chloridlösung unter Verwendung des entwickelten zweiten DFR 3 als die Maske geätzt. Große Löcher 32LH, die sich zu der ersten Oberfläche 1Sa erstrecken, werden somit in der zweiten Oberfläche 1Sb ausgebildet. Jedes große Loch 32LH hat eine zweite Öffnung H2, die an der zweiten Oberfläche 1Sb offen ist. Die zweiten Öffnungen H2 sind größer als die ersten Öffnungen H1 in einer Draufsicht auf die zweite Oberfläche 1Sb. Da die Bedingungen 1, 2 und 3 erfüllt sind, hat die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 eine eingeschränkte Variation als ein Ergebnis des Ätzens unter Verwendung eines Ätzmittels und als ein Ergebnis des Reinigens von dem Ätzmittel unter Verwendung einer Reinigungslösung. Dadurch wird die Gleichförmigkeit der Form und der Größe der großen Löcher 32LH an der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 erhöht. Das bei diesem Schritt verwendete Ätzmittel kann auch ein säureartiges Ätzmittel sein. Wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 aus Invar hergestellt ist, kann ein beliebiges Ätzmittel angewendet werden, das zu einem Ätzen von Invar in der Lage ist. Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 kann auch durch ein Tauchverfahren, bei dem das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 in einem säureartigen Ätzmittel getaucht wird, oder durch ein Sprühverfahren geätzt werden, bei dem ein säureartiges Ätzmittel auf das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 gesprüht wird.
  • Wie dies in 19 gezeigt ist, schafft das Entfernen der ersten Schutzlage 4 und des zweiten DFR 3 von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 den Maskenabschnitt 32, der eine Vielzahl an kleinen Löchern 32SH und großen Löchern 32LH hat, die mit den kleinen Löchern 32SH verbunden sind.
  • Bei dem Herstellverfahren unter Verwendung eines Walzens hat das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 eine gewisse Menge an Metalloxid wie beispielsweise Aluminiumoxid oder Magnesiumoxid. Das heißt, wenn das Basismaterial 1a ausgebildet wird, wird ein Deoxidationsmittel wie beispielsweise granulatartiges Aluminium oder Magnesium typischerweise in das Material gemischt, um das Mischen von Sauerstoff in das Basismaterial 1a einzuschränken. Das Aluminium oder Magnesium verbleibt in gewissem Ausmaß in dem Basismaterial 1a als ein Metalloxid wie beispielsweise ein Aluminiumoxid oder ein Magnesiumoxid. In dieser Hinsicht begrenzt das Herstellverfahren unter Verwendung der Elektrolyse das Mischen des Metalloxids in den Maskenabschnitt 32.
  • Verfahren zum Herstellen der Dampfauftragsmaske (Dampfbeschichtungsmaske)
  • Verschiedene Beispiele eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske sind nachstehend beschrieben.
  • Unter Bezugnahme auf 20 ist ein Beispiel eines Verfahrens zum Ausbilden von Löchern durch Nassätzen (das erste Herstellverfahren) beschrieben. Unter Bezugnahme auf 21 ist ein Beispiel für ein Verfahren zum Ausbilden von Löchern durch Elektrolyse (das zweite Herstellverfahren) beschrieben. Unter Bezugnahme auf 22 ist ein weiteres Beispiel eines Verfahrens zum Ausbilden von Löchern durch Elektrolyse (das dritte Herstellverfahren) beschrieben.
  • Erstes Herstellverfahren
  • Das Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske mit dem unter Bezugnahme auf 6 beschriebenen Maskenabschnitt 32 und das Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske mit dem unter Bezugnahme auf 7 beschriebenen Maskenabschnitt 32 bringen im Wesentlichen identische Prozesse mit sich mit Ausnahme des Schrittes zum Ätzen eines Substrates 32K. Die folgende Beschreibung richtet sich hauptsächlich auf das Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske mit dem in 6 gezeigten Maskensubstrat 32. Die überlappenden Schritte bei dem Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske mit dem in 7 gezeigten Maskenabschnitt 32 sind nicht beschrieben.
  • Bei dem Beispiel eines Verfahrens zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske in den 20(a) bis 20(h) wird zunächst ein Substrat 32K vorbereitet, siehe 20(a). Zusätzlich zu dem vorstehend beschriebenen Dampfauftragsmaskensubstrat 1, das als eine Maskenplatte 323 zu bearbeiten ist, hat das Substrat 32K vorzugsweise eine Abstützung SP, die das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 stützt. Die erste Oberfläche 321 des Substrats 32K (die untere Oberfläche in den 20(a) bis 20(h)) entspricht der vorstehend beschriebenen ersten Oberfläche 1Sa, und die zweite Oberfläche 322 des Substrates 32K (die obere Fläche in den 20(a) bis 20(h)) entspricht der zweiten Oberfläche 1Sb, die vorstehend beschrieben ist.
  • Eine Resistlage PR wird auf der zweiten Oberfläche 322 des vorbereiteten Substrates 32K ausgebildet, siehe 20(b), und die Resistlage PR erfährt eine Belichtung und Entwicklung in derartiger Weise, dass eine Resistmaske RM auf der zweiten Oberfläche 322 ausgebildet wird, siehe 20(c). Dann werden Löcher 32H in dem Substrat 32K durch Nassätzen von der zweiten Oberfläche 322 unter Verwendung der Resistmaske RM ausgebildet, siehe 20(d).
  • Bei diesem Schritt werden zweite Öffnungen H2 in der zweiten Oberfläche 322 ausgebildet, an der das Nassätzen beginnt, und erste Öffnungen H1, die kleiner als die zweiten Öffnungen H2 sind, werden in der ersten Oberfläche 321 ausgebildet, die dem Nassätzen nach der zweiten Oberfläche 322 ausgesetzt ist. Die Resistmaske RM wird dann von der zweiten Oberfläche 322 entfernt, was den vorstehend beschriebenen Maskenabschnitt 32 belässt, siehe 20(e). Schließlich werden die Außenrandabschnitte 32E der zweiten Oberfläche 322 mit den Innenrandabschnitten 31E eines Rahmenabschnittes 31 verbunden, und die Abstützung SP wird von dem Maskenabschnitt 32 entfernt, um die Dampfauftragsmaske 30 zu vollenden, siehe die 20(f) bis 20(h).
  • Bei dem Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske mit dem in 7 gezeigten Maskenabschnitt 32 werden die vorstehend beschriebenen Schritte auf der Oberfläche eines Substrates 32K ausgeführt, die der ersten Oberfläche 321 entspricht, um kleine Löcher 32SH auszubilden. Dieses Substrat 32K hat keine Abstützung SP (umfasst die Abstützung nicht). Die kleinen Löcher 32SH werden dann mit einem Material für ein Schützen der kleinen Löcher 32SH gefüllt, wie beispielsweise ein Resist. Dann werden die vorstehend beschriebenen Schritte auf der Oberfläche des Substrates 32K, die der zweiten Oberfläche 322 entspricht, ausgeführt, wodurch ein Maskenabschnitt 32 ausgebildet wird.
  • Das in 20(f) gezeigte Beispiel verwendet ein Widerstandsschweißen zum Verbinden der Außenrandabschnitte 32E der zweiten Oberfläche 322 mit den Innenrandabschnitten 31E des Rahmenabschnittes 31. Dieses Verfahren bildet eine Vielzahl an Löchern SPH in einer Isolationsabstützung SP aus. Die Löcher SPH werden in den Abschnitten der Abstützung SP ausgebildet, die den Abschnitten zugewandt sind, die zu den Verbindungsabschnitten 32BN werden. Dann werden die Verbindungsabschnitte 32BN durch Anregung durch die Löcher SPH separat ausgebildet. Dadurch werden die Außenrandabschnitte 32E an den Innenrandabschnitten 31E geschweißt.
  • Das in 20(g) gezeigte Beispiel verwendet ein Laserschweißen zum Verbinden der Außenrandabschnitte 32E der zweiten Oberfläche 322 mit den Innenrandabschnitten 31E des Rahmenabschnittes 31. Dieses Verfahren verwendet eine lichtübertragende Abstützung SP und bestrahlt die Abschnitte, die zu den Verbindungsabschnitten 32BN werden, mit Laserlicht L durch die Abstützung SP. Separate Verbindungsabschnitte 32BN werden ausgebildet durch ein in unterbrochener Weise erfolgendes Aufbringen von Laserlicht L um den Außenrandabschnitt 32E herum. Alternativ wird ein fortlaufender Verbindungsabschnitt 32BN entlang des gesamten Umfangs des Außenrandabschnittes 32E ausgebildet durch ein in fortlaufender Weise erfolgendes Aufbringen von Laserlicht L um die Außenrandabschnitte 32E herum. Dadurch werden die Außenrandabschnitte 32E an den Innenrandabschnitten 31E geschweißt.
  • Das in 20(h) gezeigte Beispiel verwendet ein Ultraschallschweißen zum Verbinden der Außenrandabschnitte 32E der zweiten Oberfläche 322 mit den Innenrandabschnitten 32E des Rahmenabschnittes 31. Dieses Verfahren wendet Ultraschallwellen an den Abschnitten an, die zu den Verbindungsabschnitten 32BN werden, wobei die Außenrandabschnitte 32E und die Innenrandabschnitte 31E durch Klemmen CP oder eine andere Vorrichtung aneinandergehalten werden. Das Element, zu dem die Ultraschallwellen direkt aufgebracht werden, kann der Rahmenabschnitt 31 oder der Maskenabschnitt 32 sein. Das Verfahren, das das Ultraschallschweißen anwendet, hinterlässt Verstemmmarkierungen der Klemmen CP an dem Rahmenabschnitt 31 und der Abstützung SP.
  • In dem vorstehend beschriebenen Verbindungsprozess kann ein Aufschmelzen oder Schweißen ausgeführt werden, während eine Spannung an dem Maskenabschnitt 32 nach außerhalb von dem Maskenabschnitt 32 wirkt. Wenn die Abstützung SP den Maskenabschnitt 32 stützt, während die Spannung an dem Maskenabschnitt 32 so wirkt, dass sie von dem Maskenabschnitt 32 nach außen gerichtet ist, kann das Aufbringen der Spannung an dem Maskenabschnitt 32 weggelassen werden.
  • Zweites Herstellverfahren
  • Zusätzlich zu dem ersten Herstellverfahren können die unter Bezugnahme auf die 8 und 9 beschriebenen Dampfauftragsmasken durch ein anderes in den 21(a) bis 21(e) gezeigten Beispiel hergestellt werden.
  • Bei dem in den 21(a) bis 21(e) gezeigten Beispiel wird zunächst eine Resistlage PR auf einer Elektrodenoberfläche EPS ausgebildet, die eine Oberfläche einer Elektrode EP ist, die für die Elektrolyse verwendet wird, siehe 21(a). Dann erfährt die Resistlage PR eine Belichtung und Entwicklung in derartiger Weise, dass eine Resistmaske RM auf der Elektrodenoberfläche EPS ausgebildet wird, siehe 21(b). Die Resistmaske RM hat die Form eines umgekehrten Kegelstumpfes im Querschnitt senkrecht zu der Elektrodenoberfläche EPS. Die Querschnittsfläche von jeder Form entlang der Elektrodenoberfläche EPS nimmt weg von der Elektrodenoberfläche EPS zu. Dann wird eine Elektrolyse unter Verwendung der Elektrodenoberfläche EPS mit der Resistmaske RM ausgeführt, und ein Maskenabschnitt 32 wird über den anderen Bereich auf der Elektrodenoberfläche EPS außer der Resistmaske RM ausgebildet, siehe 21(c).
  • Bei diesem Schritt wird der Maskenabschnitt 32 in dem Raum ausgebildet, der nicht durch die Resistmaske RM eingenommen wird. Demgemäß hat der Maskenabschnitt 32 Löcher, die entsprechend der Form der Resistmaske RM geformt sind. Selbstausrichtende Löcher 32H werden somit in dem Maskenabschnitt 32 ausgebildet. Die Oberfläche, die mit der Elektrodenoberfläche EPS in Kontakt steht, fungiert als die erste Oberfläche 321 mit den ersten Öffnungen H1, und die äußerste Oberfläche mit den zweiten Öffnungen H2, die größer als die ersten Öffnungen H1 sind, fungiert als die zweite Oberfläche 322.
  • Dann wird lediglich die Resistmaske RM von der Elektrodenoberfläche EPS entfernt, wodurch Löcher 32H belassen bleiben, die Hohlräume sind, die sich von den ersten Öffnungen H1 zu den zweiten Öffnungen H2 erstrecken, siehe 21(d). Schließlich wird die Verbindungsfläche 311 des Innenrandabschnittes 31E mit dem Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322 verbunden, die die zweiten Öffnungen H2 hat, und dann wird eine Spannung auf den Rahmenabschnitt 31 aufgebracht, um den Maskenabschnitt 32 von der Elektrodenoberfläche EPS abzuschälen. Die Dampfauftragsmaske 30 bei der der Maskenabschnitt 32 mit dem Rahmenabschnitt 31 verbunden ist, wird somit hergestellt, siehe 21(e).
  • Drittes Herstellverfahren
  • Zusätzlich zu dem ersten Herstellverfahren können die unter Bezugnahme auf die 8 und 9 beschriebenen Dampfauftragsmasken durch ein anderes Beispiel hergestellt werden, das in den 22a bis 22f gezeigt ist.
  • Das in den 22(a) bis 22(f) gezeigte Beispiel bildet zunächst eine Resistlage PR auf der Elektrodenoberfläche EPS aus, die für die Elektrolyse verwendet wird, siehe 22(a). Dann erfährt die Resistlage PR eine Belichtung und eine Entwicklung in derartiger Weise, dass eine Resistmaske RM auf der Elektrodenoberfläche EPS ausgebildet wird, siehe 22(b). Die Resistmaske RM hat die Form eines Kegelstumpfes im Querschnitt senkrecht zu der Elektrodenoberfläche EPS. Die Querschnittsfläche von jeder Form entlang der Elektrodenoberfläche EPS nimmt weg von der Elektrodenoberfläche EPS ab. Dann wird eine Elektrolyse unter Verwendung der Elektrodenoberfläche EPS, die die Resistmaske RM hat, ausgeführt, und ein Maskenabschnitt 32 wird über den anderen Bereich auf der Elektrodenoberfläche EPS außer der Resistmaske RM ausgebildet, siehe 22(c).
  • Bei diesem Schritt wird der Maskenabschnitt 32 in dem Raum ausgebildet, der nicht durch die Resistmaske RM eingenommen wird. Demgemäß hat der Maskenabschnitt 32 Löcher, die entsprechend der Form der Resistmaske RM geformt sind. Selbstausrichtende Löcher 32H werden somit in dem Maskenabschnitt 32 ausgebildet. Die Oberfläche, die mit der Elektrodenoberfläche EPS in Kontakt steht, wirkt als die zweite Oberfläche 322, die die zweiten Öffnungen H2 hat, und die äußerste Fläche mit den ersten Öffnungen H1, die kleiner sind als die zweiten Öffnungen H2, wirkt als die erste Oberfläche 321.
  • Dann wird lediglich die Resistmaske RM von der Elektrodenoberfläche EPS entfernt, wodurch Löcher 32H belassen bleiben, die Hohlräume sind, die sich von den ersten Öffnungen H1 zu den zweiten Öffnungen H2 erstrecken, siehe 22(d). Ein Zwischenübertragungssubstrat TM wird mit der ersten Oberfläche 321 verbunden, die die ersten Öffnungen H1 hat, und eine Spannung wird dann auf das Zwischenübertragungssubstrat TM aufgebracht, um den Maskenabschnitt 32 von der Elektrodenoberfläche EPS abzuschälen. Dadurch wird die zweite Oberfläche 322 von der Elektrodenoberfläche EPS getrennt, wobei der Maskenabschnitt 32 mit dem Zwischenübertragungssubstrat TM verbunden ist, siehe 22(e). Schließlich wird die Verbindungsfläche 311 des Innenrandabschnittes 31E mit dem Außenrandabschnitt 32E der zweiten Oberfläche 322 verbunden, und dann wird das Zwischenübertragungssubstrat TM von dem Maskenabschnitt 32 entfernt. Die Dampfauftragsmaske 30, bei der der Maskenabschnitt 32 mit dem Rahmenabschnitt 31 verbunden ist, wird somit hergestellt, siehe 22(f).
  • Bei dem Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung unter Verwendung der vorstehend beschriebenen Dampfauftragsmaske 30 wird die Maskenvorrichtung 10, an der die Dampfauftragsmaske 30 montiert ist, in die Vakuumkammer (Unterdruckkammer) der Dampfauftragsvorrichtung gesetzt. Die Maskenvorrichtung 10 wird so befestigt, dass die erste Oberfläche 321 dem Dampfauftragszielobjekt wie beispielsweise einem Glassubstrat zugewandt ist, und die zweite Oberfläche 322 der Dampfauftragsquelle zugewandt ist. Dann wird das Dampfauftragszielobjekt in die Vakuumkammer der Dampfauftragsvorrichtung befördert, und das Dampfauftragsmaterial wird von der Dampfauftragsquelle sublimiert. Dadurch wird ein Muster, das entsprechend den ersten Öffnungen H1 geformt ist, auf dem Dampfauftragszielobjekt ausgebildet, das den ersten Öffnungen H1 zugewandt ist. Das Dampfauftragsmaterial kann ein organisches Lichtemissionsmaterial zum Ausbilden von Pixeln einer Anzeigevorrichtung oder eine Pixelelektrode zum Ausbilden einer Pixelschaltung einer Anzeigevorrichtung beispielsweise sein.
  • Beispiele
  • Unter Bezugnahme auf die 23 bis 29 sind nachstehend Beispiele beschrieben.
  • Beispiel 1
  • Ein Basismaterial 1a, das aus Invar hergestellt wurde, wurde einem Walzschritt zum Ausbilden eines Metallblattes ausgesetzt. Das Metallblatt wurde einem Schneidschritt zum Schneiden des Metallblattes in Abschnitte mit erwünschtem Maß in der Breitenrichtung DW ausgesetzt, um ein gewalztes Material 1b auszubilden. Das gewalzte Material 1b wurde geglüht, um ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 1 auszubilden, das eine Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und eine Dicke von 20 µm hatte.
  • Unter Bezugnahme auf 23 wurde ein Messsubstrat 2M aus Beispiel 1 mit einer Länge in der Längsrichtung DL von 700 mm aus dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 1 herausgeschnitten. Dann wurden die Steilheiten des erlangten Messsubstrates 2M über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW des Messsubstrates 2M gemessen. Die Messbedingungen der Steilheit waren wie folgt:
    • Messvorrichtung: CNC-Bildmesssystem VMR-6555, hergestellt durch die Nikon Corporation
    • Länge in der Längsrichtung DL des Messbereiches ZL: 500 mm
    • Länge in der Längsrichtung DL des Nichtmessbereiches ZE: 100 mm
    • Messintervall in der Längsrichtung DL: 1 mm
    • Messintervall in der Breitenrichtung DW: 20 mm
  • 24 und Tabelle 1 zeigen das Messergebnis der Steilheiten von Beispiel 1. In Tabelle 1 sind die maximalen Werte der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC und den Randabschnitten RE gezeigt.
  • Wie dies in 24 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in den Mittenabschnitt RC von Beispiel 1 geringer als oder gleich wie 0,3 %, und die maximalen Werte der Steilheiten an den Randabschnitten RE waren geringer als oder gleich wie 0,6 %, was aufzeigt, das Beispiel 1 die Bedingungen 1 und 2 erfüllt, die vorstehend beschrieben sind. In Beispiel 1 war der maximale Wert der Steilheiten in einem der beiden Randabschnitte RE (der Randabschnitt 1) 0,43 % und größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC (0,28 %). Der maximale Wert der Steilheiten in dem anderen Randabschnitt RE (der Randabschnitt 2) betrug 0,20 % und war geringer als die Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC. Das heißt, die vorstehend beschriebene Bedingung 3 war erfüllt. Die Differenz zwischen den maximalen Werten der Steilheiten in den Randabschnitten RE betrug 0,23 %.
  • Beispiel 2
  • Das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 2 mit einer Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und einer Dicke von 15 µm wurde unter den gleichen Bedingungen wie bei Beispiel 1 erlangt mit der Ausnahme, dass die Drückkraft zwischen den Walzen 51 und 52 höher als bei dem Beispiel 1 war. Ein Messsubstrat 2M wurde von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 2 in der gleichen Weise wie bei Beispiel 1 herausgeschnitten, und die Steilheiten des erlangten Messsubstrates 2M wurden über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW des Messsubstrates 2M gemessen.
  • 25 und Tabelle 1 zeigen das Messergebnis der Steilheiten von Beispiel 2.
  • Wie dies in 25 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC von Beispiel 2 geringer als oder gleich wie 0,3 %, und die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE waren geringer als oder gleich wie 0,6 %, was aufzeigt, dass das Beispiel 2 die Bedingungen 1 und 2 erfüllte, die vorstehend beschrieben sind. Bei Beispiel 2 betrugen die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten R 0,15 % und 0,06 % und waren geringer als die maximalen Werte der Steilheiten in den Mittenabschnitt RC (0,17 %), was aufzeigt, dass das Beispiel 2 die Bedingung 3 erfüllte.
  • Beispiel 3
  • Ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 3 mit einer Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und einer Dicke von 15 µm wurde unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel 1 mit der Ausnahme erlangt, dass die Presskraft (Drückkraft) zwischen den Walzen 51 und 52 höher als bei Beispiel 1 war und in einer Weise verteilt war, die sich von derjenigen von Beispiel 2 unterschied. Ein Messsubstrat 2M wurde aus dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Beispiel 3 in der gleichen Weise wie bei Beispiel 1 herausgeschnitten, und die Steilheiten des erlangten Messsubstrates 2M wurden über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW des Messsubstrates 2M gemessen.
  • 26 und Tabelle 1 zeigen das Messergebnis der Steilheiten von Beispiel 3.
  • Wie dies in 26 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC von Beispiel 3 geringer als oder gleich wie 0,3 %, und die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE waren geringer als oder gleich wie 0,6 %, was aufzeigt, dass das Beispiel 3 die vorstehend beschriebenen Bedingungen 1 und 2 erfüllte. Bei dem Beispiel 3 betrug der maximale Wert der Steilheiten in einem der beiden Randabschnitte RE (der Randabschnitt 1) 0,58 % und war größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC (0,24 %). Der maximale Wert der Steilheiten in dem anderen Randabschnitt RE (der Randabschnitt 2) betrug 0,21 % und war geringer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC. Das heißt, die vorstehend beschriebene Bedingung 3 wurde erfüllt. Die Differenz zwischen den maximalen Werten der Steilheiten in den Randabschnitten RE betrug 0,37 %.
  • Vergleichsbeispiel 1
  • Ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 eines Vergleichsbeispiels 1 mit einer Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und einer Dicke von 20 µm wurde unter den gleichen Bedingungen wie bei Beispiel 1 mit der Ausnahme erlangt, dass die Drückkraft zwischen den Walzen 51 und 52 und die Drehzahl der Walzen 51 und 52 größer als bei dem Beispiel 1 waren. Ein Messsubstrat 2M wurde von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Vergleichsbeispiel 1 in der gleichen Weise wie bei Beispiel 1 herausgeschnitten, und die Oberflächendistanzen des erlangten Messsubstrates 2M wurden über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW des Messsubstrates 2M gemessen, um die Steilheiten des Messsubstrates 2M des Vergleichsbeispiels 1 zu bestimmen.
  • 27 und Tabelle 1 zeigen das Messergebnis der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 1.
  • Wie dies in 27 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC von Vergleichsbeispiel 1 geringer als oder gleich wie 0,3 %, und die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE waren geringer als oder gleich wie 0,6 %, was aufzeigt, dass das Vergleichsbeispiel 1 die vorstehend beschriebenen Bedingungen 1 und 2 erfüllte. In dem Vergleichsbeispiel 1 betrugen die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE 0,21 % und 0,36 % und waren größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC (0,08 %), was aufzeigt, dass das Vergleichsbeispiel 1 die Bedingung 3 nicht erfüllte.
  • Vergleichsbeispiel 2
  • Ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 eines Vergleichsbeispiels 2 mit einer Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und einer Dicke von 20 µm wurde unter den gleichen Bedingungen wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 mit der Ausnahme erlangt, dass die Drückkraft zwischen den Walzen 51 und 52 in einer Weise verteilt war, die sich von derjenigen von Vergleichsbeispiel 1 unterschied. Ein Messsubstrat 2M wurde von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Vergleichsbeispiel 2 in der gleichen Weise wie bei Vergleichsbeispiel 1 herausgeschnitten, und die Steilheiten des erlangten Messsubstrates 2M wurden über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW gemessen.
  • 28 und Tabelle 1 zeigen das Messergebnis der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 2.
  • Wie dies in 28 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC von Vergleichsbeispiel 2 bedeutend größer als 0,3 %, und die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE waren geringer als oder gleich wie 0,6 %, was aufzeigt, dass das Vergleichsbeispiel 2 die Bedingung 2 erfüllte, aber die Bedingung 1 nicht erfüllte. Bei dem Vergleichsbeispiel 2 betrugen die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE 0,59 % und 0,58 % und waren geringer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC (0,63 %), was aufzeigt, dass das Vergleichsbeispiel 2 die Bedingung 3 erfüllte.
  • Vergleichsbeispiel 3
  • Ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Vergleichsbeispiel 3 mit einer Länge in der Breitenrichtung DW von 500 mm und einer Dicke von 20 µm wurde unter den gleichen Bedingungen wie bei Vergleichsbeispiel 1 mit der Ausnahme erlangt, dass die Drückkraft zwischen den Walzen 51 und 52 in einer Weise verteilt war, die sich von derjenigen bei dem Vergleichsbeispiel 1 unterschied. Ein Messsubstrat 2M wurde von dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 von Vergleichsbeispiel 3 in der gleichen Weise wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 herausgeschnitten, und die Steilheiten des erlangten Messsubstrates 2M wurden über den gesamten Bereich in der Breitenrichtung DW gemessen.
  • 29 und Tabelle 1 zeigen die Messergebnisse der Steilheiten von Vergleichsbeispiel 3.
  • Wie dies in 29 gezeigt ist, war der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC des Vergleichsbeispiels 3 geringer als oder gleich wie 0,3 %, wobei der maximale Wert der Steilheiten in einem der Randabschnitte RE (der Randabschnitt 1) bedeutend größer als 0,6 % war, und der maximale Wert der Steilheiten in dem anderen Randabschnitt (der Randabschnitt 2) geringer als oder gleich wie 0,6 % war. Das heißt, das Vergleichsbeispiel 3 erfüllte die Bedingung 1, erfüllte aber die Bedingung 2 nicht. Bei dem Vergleichsbeispiel 3 waren die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE 0,81 % und 0,36 % und waren größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC. Das heißt, die vorstehend beschriebene Bedingung 3 wurde nicht erfüllt. Tabelle 1
    Dicke Steilheit Variation (Schwenkung)
    Randabschnitt 1 Mittenabschnitt Randabschnitt 2
    %
    Beispiel 1 20 µm 0,43 0,28 0,20 ○
    Beispiel 2 15 µm 0,15 0,17 0,06 ○
    Beispiel 3 15 µm 0,58 0,24 0,21 ○
    Vergleichsbeispiel 1 20 µm 0,21 0,08 0,36 ×
    Vergleichsbeispiel 2 20 µm 0,59 0,63 0,58 ×
    Vergleichsbeispiel 3 20 µm 0,81 0,22 0,36 ×
  • Mustergenauigkeit
  • Ein erster DFR 2 mit einer Dicke von 10 µm wurde an der ersten Oberfläche 1Sa des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 von jedem der Beispiele 1 bis 3 und der Vergleichsbeispiele 1 bis 3 fixiert. Jeder erste DFR 2 erfuhr einen Belichtungsschritt, bei dem der erste DFR 2 mit Licht belichtet wurde, während er mit einer Belichtungsmaske in Kontakt war, und einen Entwicklungsschritt. Dadurch wurden Durchgangslöcher 2a mit einem Durchmesser von 30 µm in dem ersten DFR 2 in einem Gittermuster ausgebildet. Dann wurde die erste Oberfläche 1Sa unter Verwendung des ersten DFR 2 als die Maske so geätzt, dass Löcher 32H in dem Dampfauftragsmaskensubstrat 1 in einem Gittermuster ausgebildet wurden. Der Durchmesser der Öffnungen von jedem Loch 32H wurde in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 gemessen. Tabelle 1 zeigt die Variationen (Schwankungen) beim Durchmesser der Öffnungen der Löcher 32H in der Breitenrichtung DW. In der Tabelle 1 sind die Niveaustufen, bei denen die Differenz zwischen dem maximalen Wert und dem minimalen Wert der Öffnungsdurchmesser der Löcher 32H geringer als oder gleich wie 2,0 µm betrug, mit „o“ bezeichnet, und die Niveaustufen, in denen die Differenz zwischen dem maximalen Wert und dem minimalen Wert der Öffnungsdurchmesser größer als 2,0 µm war, sind mit „x“ bezeichnet.
  • Wie dies in Tabelle 1 gezeigt ist, waren die Variationen beim Durchmesser der Öffnungen der Beispiele 1 bis 3 geringer als oder gleich wie 2,0 µm. Im Gegensatz dazu waren die Variationen beim Durchmesser der Öffnungen der Vergleichsbeispiele 1 bis 3 größer als 2,0 µm.
  • Das Vergleichsbeispiel 1 hat die Bedingung 3 nicht erfüllt, da die maximalen Werte der Steilheiten in den Randbereichen RE größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC war. Somit hat das Vergleichsbeispiel 1 eine Stagnation einer Strömung einer Flüssigkeit bewirkt, was dazu geführt hat, dass die Variation beim Durchmesser der Öffnungen größer als 2,0 µm war, obwohl die Bedingungen 1 und 2 erfüllt waren.
  • Das Vergleichsbeispiel 2 hat die Bedingung 3 erfüllt, da die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE geringer als der maximale Wert der Steilheiten in den Mittenabschnitt RC waren. Jedoch hat das Vergleichsbeispiel 2 die Bedingung 1 nicht erfüllt, da der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC bedeutend größer als 0,3 % war. Obwohl das Vergleichsbeispiel 2 die Bedingungen 2 und 3 erfüllt hat, waren einige Welligkeiten in dem Mittenabschnitt RC zu hoch und bewirken eine Stagnation einer Strömung einer Flüssigkeit an dem Mittenabschnitt RC wie beispielsweise in den Tälern der Welligkeiten in dem Mittenabschnitt RC. Dies führte dazu, dass die Variation beim Durchmesser der Öffnungen größer als 2,0 µm war.
  • Wie bei dem Vergleichsbeispiel 1 hat auch das Vergleichsbeispiel 3 die Bedingung 3 nicht erfüllt, da die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE größer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC waren. Das Vergleichsbeispiel 3 hat außerdem die Bedingung 2 nicht erfüllt, da der maximale Wert der Steilheiten in einem der Randabschnitte RE bedeutend größer als 0,6 % war. In dem Vergleichsbeispiel 3 führten, obwohl die Bedingung 1 erfüllt war, die Faktoren, die die Stagnation einer Flüssigkeitsströmung umfassten, das Abschälen der Resistlage, das Versetzen (Verschieben) der Belichtung der Resistlage und Abweichungen bei der Übertragung des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 dazu, dass die Variation beim Durchmesser der Öffnungen größer als 2,0 µm war.
  • Der Vergleich zwischen den Beispielen 1 bis 3 und dem Vergleichsbeispiel 1 zeigt, dass eine Struktur, bei der der maximale Wert der Steilheiten in zumindest einem der Randbereiche RE in der Breitenrichtung DW geringer als der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC in der Breitenrichtung DW ist, das heißt eine Struktur, die die Bedingung 3 erfüllt, eine Variation beim Durchmesser der Öffnungen begrenzt. Anders ausgedrückt führt selbst dann, wenn ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 geringe maximale Werte von Steilheiten hat und die Bedingungen 1 und 2 erfüllt, ein Nichterfüllen der Bedingung 3 zu einer Variation beim Durchmesser der Öffnungen aufgrund der Faktoren, die die im Wesentlichen ungleichmäßige Verteilung der Steilheiten umfassen, das heißt die Stagnation einer Strömung einer Flüssigkeit.
  • Der Vergleich zwischen den Beispielen 1 bis 3 und den Vergleichsbeispielen 2 und 3 zeigt, dass eine Struktur, die die Bedingung 3 erfüllt, den vorstehend beschriebenen Vorteil lediglich dann aufweist, wenn der maximale Wert der Steilheiten in dem Mittenabschnitt RC geringer als oder gleich wie 0,3 % ist und die maximalen Werte der Steilheiten in den Randabschnitten RE geringer als oder gleich wie 0,6 % sind, das heißt lediglich dann, wenn die Struktur die Bedingungen 1 und 2 erfüllt. Anders ausgedrückt führt selbst dann, wenn ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 eine geeignete Verteilung der maximalen Werte der Steilheiten hat und die Bedingung 3 erfüllt, ein Nichterfüllen der Bedingungen 1 und 2 zu einer Variation beim Durchmesser der Öffnungen aufgrund des Vorhandenseins von Welligkeiten mit übermäßiger Steilheit.
  • Das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel hat die folgenden Vorteile.
    1. (1) Die erhöhte Genauigkeit der Form und Größe der Löcher in dem Maskensubstrat 32 erhöht die Genauigkeit des Musters, das durch das Dampfauftragen ausgebildet wird. Das Verfahren zum Belichten des Resists ist nicht auf ein Verfahren beschränkt, bei dem die Belichtungsmaske mit dem Resist in Kontakt gebracht wird. Das Belichten kann ausgeführt werden, ohne dass der Resist mit der Belichtungsmaske in Kontakt gebracht wird. Indem der Resist mit der Belichtungsmaske in Kontakt gebracht wird, wird das Dampfauftragsmaskensubstrat auf die Oberfläche der Belichtungsmaske gedrückt. Dadurch wird eine Verringerung bei der Genauigkeit der Belichtung eingeschränkt, die ansonsten aufgrund der gewellten Form des Dampfauftragsmaskensubstrats auftreten würde. Die Genauigkeit bei dem Schritt des Behandelns der Oberfläche mit einer Flüssigkeit wird unabhängig von dem Belichtungsverfahren erhöht, wodurch die Genauigkeit des Musters erhöht wird, das durch das Dampfauftragen ausgebildet wird.
    2. (2) Die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 hat eine eingeschränkte Variation (Schwankung) als ein Ergebnis der Entwicklung unter Verwendung einer Entwicklungslösung und als ein Ergebnis der Reinigung unter Verwendung einer Reinigungslösung. Dadurch wird die Konsistenz der Form und Größe der ersten und zweiten Durchgangslöcher 2a und 3a erhöht, die durch den Belichtungsschritt und den Entwicklungsschritt in der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 ausgebildet werden.
    3. (3) Die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 hat eine begrenzte Variation als ein Ergebnis des Ätzens unter Verwendung eines Ätzmittels und als ein Ergebnis des Reinigens von dem Ätzmittel unter Verwendung einer Reinigungslösung. Die Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 hat eine eingeschränkte Variation als ein Ergebnis des Strippens der Resistlage und Verwendung einer Stripping-Lösung und als ein Ergebnis des Reinigens von der Stripping-Lösung unter Verwendung einer Reinigungslösung. Dadurch wird die Konsistenz der Form und Größe der kleinen Löcher 32SH und der großen Löcher 32LH in der Oberfläche des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 erhöht.
    4. (4) Die Menge an Löchern 32H, die in einem Rahmenabschnitt 31 erforderlich sind, wird in drei Maskenabschnitte 32 geteilt. Das heißt, die Gesamtfläche der Maskenabschnitte 32, die in einem Rahmenabschnitt 31 erforderlich sind, ist beispielsweise in drei Maskenabschnitte 32 geteilt. Somit macht eine beliebige abschnittartige Verformung eines Maskenabschnittes 32 in einem Rahmenabschnitt 31 kein Austauschen von sämtlichen Maskenabschnitten 32 in dem Rahmenabschnitt 31 erforderlich. Im Vergleich zu einer Struktur, bei der ein Rahmenabschnitt 31 lediglich einen Maskenabschnitt 32 hat, kann die Größe eines neuen Maskenabschnittes 32 zum Ersetzen des verformten Maskenabschnittes 32 auf ungefähr ein Drittel reduziert werden.
    5. (5) Die Steilheiten von jedem Messsubstrat 2M wurden gemessen, indem die Abschnitte an den beiden Rändern in der Längsrichtung DL des Messsubstrates 2M als Nichtmessbereiche ZE von der Messuntersuchung im Hinblick auf die Steilheiten ausgeschlossen wurde. Jeder Nichtmessbereich ZE ist der Bereich, der eine gewellte Form haben kann, die dann ausgebildet wird, wenn das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 geschnitten wird und sich somit von der gewellten Form eines anderen Abschnittes des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 unterscheidet. Somit erhöht das Ausschließen des Nichtmessbereiches ZE von dem Messzielobjekt die Genauigkeit der Messung der Steilheiten.
  • Das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel kann wie folgt abgewandelt werden.
  • Verfahren zum Herstellen des Dampfauftragsmaskensubstrats
  • In dem Walzschritt kann eine Walzvorrichtung angewendet werden, die eine Vielzahl an Paaren an Walzen hat, die das Basismaterial 1a walzen. Das Verfahren unter Verwendung einer Vielzahl an Paaren von Walzen erhöht die Flexibilität im Hinblick auf die Steuerparameter zum Erfüllen der Bedingungen 1 bis 3.
  • Des Weiteren kann anstelle eines Glühens (Vergüten) des gewalzten Materials 1b, während sich dieses in der Längsrichtung DL erstreckt, das gewalzte Material 1b in einem Zustand geglüht (vergütet) werden, bei dem es um den Kern C zu einer Rolle gewickelt wird. Wenn das Glühen an dem gerollten Material 1b, das zu einer Rolle gewickelt ist, ausgeführt wird, kann das Dampfauftragsmaskensubstrat 1 die Neigung zu einem Verwerfen gemäß dem Durchmesser der Rolle haben. Somit kann in Abhängigkeit von dem Material des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 und dem Durchmesser der Rolle, die um den Kern C gewickelt ist, bevorzugt werden, dass das gerollte Material 1b geglüht (vergütet) wird, während es gestreckt ist.
  • Des Weiteren können der Schritt des Walzens und der Schritt des Glühens (Vergüten) wiederholt und abgewechselt werden, um ein Dampfauftragsmaskensubstrat 1 zu erzeugen.
  • Das durch Elektrolyse erzeugte Dampfauftragsmaskensubstrat 1 und das durch Walzen erzeugte Dampfauftragsmaskensubstrat 1 können durch ein chemisches oder elektrisches Polieren noch dünner gestaltet werden (Ausdünnen). Die Bedingungen wie beispielsweise die Zusammensetzung und das Lieferverfahren der Polierlösung können so festgelegt werden, dass die Bedingungen 1 bis 3 nach dem Polieren erfüllt sind.
  • Mittenabschnitt RC und Randabschnitte RE
  • Die Länge in der Breitenrichtung DW des Mittenabschnittes RC beträgt vorzugsweise 40 % der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Jedoch kann die Länge in der Breitenrichtung DW des Mittenabschnittes RC zwischen 20 % und 60 % inklusive der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1 betragen.
  • Die Länge in der Breitenrichtung DW von jedem Randabschnitt RE beträgt vorzugsweise 30 % der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats 1. Jedoch kann die Länge in der Breitenrichtung DW von jedem Randabschnitt RE zwischen 20 % und 40 % inklusive der Länge in der Breitenrichtung DW des Dampfauftragsmaskensubstrats betragen. Des Weiteren können die Randabschnitte RE zueinander unterschiedliche Längen innerhalb dieses Bereiches aufweisen.
  • Obwohl mehrere Ausführungsbeispiele hierbei beschrieben sind, sollte für Fachleute offensichtlich sein, dass die vorliegende Erfindung in anderen spezifischen Formen ausgeführt werden kann, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die hierbei dargelegten Details beschränkt, sondern kann innerhalb des Umfangs der beigefügten Ansprüche abgewandelt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2015055007 [0002]

Claims (7)

  1. Dampfauftragsmaskensubstrat, das ein Metallblatt ist, das eine Form eines Streifens hat und so aufgebaut ist, dass es geätzt wird, um eine Vielzahl an Löchern aufzuweisen, und zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske verwendet wird, wobei das Metallblatt eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung hat, das Metallblatt Formen in der Längsrichtung hat, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes genommen werden und sich voneinander unterscheiden, jede Form Welligkeiten aufweist, die sich in der Längsrichtung wiederholen, jede Welligkeit ein Tal an jedem Ende der Welligkeit aufweist, jede Welligkeit eine Länge hat, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet, ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit eine Einheitssteilheit ist, eine Steilheit ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes ist, ein maximaler Wert der Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,3 % beträgt, ein maximaler Wert von Steilheiten in einem ersten Randabschnitt in der Breitenrichtung und ein maximaler Wert an Steilheiten in einem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,6 % betragen und ein maximaler Wert an Steilheiten in zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist.
  2. Dampfauftragsmaskensubstrat gemäß Anspruch 1, wobei ein maximaler Wert an Steilheiten in dem zweiten Randbereich geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt ist, ein maximaler Wert an Steilheiten in dem ersten Randabschnitt größer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt ist, und eine Differenz zwischen dem maximalen Wert an Steilheiten in dem ersten Randabschnitt und dem maximalen Wert an Steilheiten in dem zweiten Randabschnitt zwischen 0,2 % und 0,4 % inklusive ist.
  3. Dampfauftragsmaskensubstrat gemäß Anspruch 1, wobei ein maximaler Wert an Steilheiten in dem ersten Randabschnitt und ein maximaler Wert an Steilheiten in dem zweiten Randabschnitt geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt sind, und der maximale Wert an Steilheiten in dem ersten Randabschnitt, der maximale Wert an Steilheiten in dem zweiten Randabschnitt und der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt geringer als oder gleich wie 0,2 % sind.
  4. Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, das ein Metallblatt ist, das eine Form eines Streifens hat und so aufgebaut ist, dass es geätzt wird, um eine Vielzahl an Löchern aufzuweisen, und zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske verwendet wird, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Erlangen des Metallblattes durch Walzen eines Basismaterials, wobei das erlangte Metallblatt eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung hat, das erlangte Metallblatt Formen in der Längsrichtung hat, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung genommen werden und sich voneinander unterscheiden, jede Form Welligkeiten aufweist, die sich in der Längsrichtung wiederholen, jede Welligkeit ein Tal an jedem Ende der Welligkeit aufweist, jede Welligkeit eine Länge hat, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet, ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit eine Einheitssteilheit ist, eine Steilheit ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des erlangten Metallblattes ist, ein maximaler Wert an Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,3 % beträgt, ein maximaler Wert an Steilheiten in einem ersten Randabschnitt in der Breitenrichtung und ein maximaler Wert an Steilheiten in einem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,6 % betragen, und ein maximaler Wert an Steilheiten zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist.
  5. Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Ausbilden einer Resistlage auf einem Metallblatt in einer Form eines Streifens; und Ausbilden einer Vielzahl an Löchern in dem Metallblatt durch Ätzen unter Verwendung der Resistlage als eine Maske zum Ausbilden eines Maskenabschnittes in dem Metallblatt, wobei das Metallblatt eine Längsrichtung und eine Breitenrichtung hat, das Metallblatt Formen in der Längsrichtung hat, die an verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung genommen werden und sich voneinander unterscheiden, jede Form Welligkeiten aufweist, die sich in der Längsrichtung wiederholen, jede Welligkeit ein Tal an jedem Ende der Welligkeit aufweist, jede Welligkeit eine Länge hat, die eine Länge einer geraden Linie ist, die eines der Täler der Welligkeit mit einem anderen verbindet, ein prozentualer Anteil einer Höhe von jeder Welligkeit in Bezug auf die Länge der Welligkeit eine Einheitssteilheit ist, eine Steilheit ein durchschnittlicher Wert der Einheitssteilheit von sämtlichen Welligkeiten in der Längsrichtung an jeder der verschiedenen Positionen in der Breitenrichtung des Metallblattes ist, ein maximaler Wert der Steilheiten in einem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,3 % beträgt, ein maximaler Wert an Steilheiten in jedem Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als oder gleich wie 0,6 % beträgt, ein maximaler Wert an Steilheiten in zumindest einem aus dem ersten Randabschnitt und dem zweiten Randabschnitt in der Breitenrichtung geringer als der maximale Wert an Steilheiten in dem Mittenabschnitt in der Breitenrichtung ist.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 5, wobei der Maskenabschnitt einer aus einer Vielzahl an Maskenabschnitten ist, das Ausbilden des Maskenabschnittes ein Ausbilden der Maskenabschnitte in dem einzelnen Metallblatt umfasst, die Maskenabschnitte jeweils eine Seitenfläche haben, die einige der Löcher aufweist, und das Verfahren den folgenden Schritt aufweist: Verbinden der Seitenflächen der Maskenabschnitte mit einem einzelnen Rahmenabschnitt in derartiger Weise, dass der Rahmenabschnitt die Löcher umgibt.
  7. Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Vorbereiten einer Dampfauftragsmaske, die durch das Verfahren gemäß Anspruch 5 oder 6 hergestellt wird; und Ausbilden eines Musters durch Dampfauftragen unter Verwendung der Dampfauftragsmaske.
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