DE102017006602A1

DE102017006602A1 - Messsonde, Messvorrichtung und Messverfahren

Info

Publication number: DE102017006602A1
Application number: DE102017006602.7A
Authority: DE
Inventors: Hideyuki Arai; Kazuya Iwasaki; Minoru Tanaka; Shuichi Kamiyama; Kazuhiko Hidaka
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2016-07-19
Filing date: 2017-07-12
Publication date: 2018-01-25
Also published as: JP6769764B2; CN107631712A; CN107631712B; US20180023936A1; US10415947B2; JP2018013341A

Abstract

Eine Messsonde enthält eine bewegbare Platte, an welcher ein Taststift befestigt ist, welcher in der Lage ist, ein Messobjekt zu berühren, wobei die bewegbare Platte in einer X-Richtung verschiebbar ist; eine statische Platte, welche so angeordnet ist, dass sie mit der bewegbaren Platte überlappt; eine Gegenplatte, welche der bewegbaren Platte und der statischen Platte zugewandt ist; eine elastische Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, wobei die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite die Gegenplatte an mindestens drei Stellen mit jedem von einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte in X-Richtung positioniert ist, und zweiten Endverbindungsstücken, welche in Richtung zu einem zweiten Ende in X-Richtung positioniert sind, verbindet; und eine Verbindungsplatte der statischen Seite, welche die statische Platte und die Gegenplatte verbindet. Eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks in einer Y-Richtung orthogonal zu der X-Richtung ist gleich groß ist wie die Gesamtlänge der zweiten Endverbindungsstücke in Y-Richtung.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
Diese Erfindung beansprucht die Priorität der Japanischen Patentanmeldung Nr. 2016-141320 , eingereicht am 19. Juli 2016, deren Offenbarung hier explizit in ihrer Gesamtheit aufgenommen ist.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Diese Erfindung betrifft eine Messsonde, eine Messvorrichtung und ein Messverfahren.
2. Beschreibung der verwandten Technik
Messvorrichtungen, wie beispielsweise eine Koordinatenmessvorrichtung enthalten eine Messsonde, welche eine Messung durch Berühren eines Messobjekts ausführt. Die Messsonde ist abnehmbar an einer Spindel der Messvorrichtung angebracht und enthält einen Taststift, welcher das Messobjekt berührt.
Eine Messvorrichtung, welche in der unten angeführten ungeprüften Japanischen Patentveröffentlichung Nr. H02-502488 beschrieben ist, ist ein einem Parallelogramm mit drei Federn konfiguriert, sodass sich der Taststift in die X-, die Y- und die Z-Richtung bewegen kann. Das Parallelogramm mit den Federn ist mit einer inneren Platte einer äußeren Platte einer mittleren Platte, einer Tellerfeder und dergleichen konfiguriert. Der Taststift ist an der inneren Platte montiert und kann sich mit der inneren Platte verschieben.
Bei der in der oben angeführten ungeprüften Japanischen Patentveröffentlichung Nr. H02-502488 beschriebenen Konfiguration kann beispielsweise, wenn der Taststift das Messobjekt berührt, eine externe Kraft auf die innere Platte wirken, an welcher der Taststift montiert ist, wobei die externe Kraft in eine Richtung orthogonal zu einer Richtung ausgeübt wird, in welche sich die innere Platte bewegt. In solchen Fällen empfängt die innere Platte eine Torsionskraft und versucht sich zu drehen. Dabei wird aufgrund der ungenügenden Starrheit der inneren Platte eine ungewollte Verformung hervorgerufen, und eine Befestigungsposition des Taststifts wird beträchtlich verschoben. Aufgrund der Verschiebung der Befestigungsposition des Taststifts tritt ein Messfehler auf.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Diese Erfindung wurde unter Berücksichtigung der obigen Umstände konzipiert und unterdrückt die Verschiebung eines Taststifts, welche dadurch hervorgerufen wird, dass eine Platte, an welcher der Taststift montiert ist, eine Torsionskraft empfängt.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Besondere Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
In einem Aspekt gemäß dieser Erfindung führt eine Messsonde eine Messung durch Berühren eines Messobjekts aus und enthält eine bewegbare Platte, an der ein Taststift montiert ist oder montierbar ist, welcher in der Lage ist, das Messobjekt zu berühren, wobei die bewegbare Platte zu einer Verschiebung in eine erste Richtung in der Lage ist, eine statische Platte, welche so angeordnet ist, das sie zumindest teilweise mit der bewegbaren Platte überlappt, eine Gegenplatte, welche der bewegbaren Platte und der statischen Platte im Wesentlichen zugewandt ist, eine Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, wobei die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite die Gegenplatte an mindestens drei Stellen mit sowohl einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte in der ersten Richtung positioniert ist, als auch einem zweiten Endverbindungsstück verbindet, welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der ersten Richtung positioniert ist, und eine Verbindungsplatte der statischen Seite, welche die statische Platte und die Gegenplatte verbindet. Eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks in einer zweiten Richtung, welche orthogonal zu der ersten Richtung ist, hat die gleiche Größe wie die Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks in der zweiten Richtung.
Zudem können eine Form des ersten Endes der bewegbaren Platte in der ersten Richtung und die Form des zweiten Endes der bewegbaren Platte in der ersten Richtung insbesondere asymmetrisch zueinander sein.
Auch kann insbesondere ein Abstand des zweiten Endverbindungsstücks von einer Befestigungsposition, an der der Taststift montiert oder montierbar ist, größer als der Abstand des ersten Endverbindungsstücks von der Befestigungsposition sein.
Auch können insbesondere die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite und die Verbindungsplatte der statischen Seite durch ein einziges Plattenelement gebildet sein, bei dem ein Teil der Gegenplattenseite der Verbindungsplatte der bewegbaren Seite und ein Teil der Gegenplattenseite der Verbindungsplatte der statischen Seite verbunden sind.
Ferner sind insbesondere die bewegbare Platte, die statische Platte, die Gegenplatte, die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite und die Verbindungsplatte der statischen Seite eine erste bewegbare Platte, eine erste statische Platte eine erste Gegenplatte, eine erste Verbindungsplatte der bewegbaren Seite bzw. eine erste Verbindungsplatte der statischen Seite. Die Messsonde kann ferner enthalten: eine zweite bewegbare Platte, welche über ein Koppelstück an die erste statische Platte gekoppelt ist und in der Lage sich in die zweite Richtung orthogonal zu der ersten Richtung zu verschieben, eine zweite statische Platte, welche so angeordnet ist, dass sie zumindest teilweise mit der zweiten bewegbaren Platte überlappt, eine zweite Gegenplatte, welche der zweiten bewegbaren Platte und der zweiten statischen Platte im Wesentlichen zugewandt ist, eine zweite Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, wobei die zweite Verbindungsplatte der bewegbaren Seite die zweite Gegenplatte an zumindest drei Stellen jeweils mit einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der zweiten bewegbaren Platte in der zweiten Richtung positioniert ist, und einem zweiten Endverbindungsstück verbindet, welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der zweiten Richtung positioniert ist, und eine zweite Verbindungsplatte der statischen Seite, welche die zweite statische Platte und die zweite Gegenplatte verbindet. Die Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks der zweiten Verbindungsplatte der bewegbaren Seite in einer ersten Richtung kann die gleiche Größe wie die Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks der zweiten Verbindungsplatte der bewegbaren Seite in der ersten Richtung haben.
Ferner kann insbesondere die zweite bewegbare Platte über der ersten Gegenplatte positioniert sein, und die erste Gegenplatte kann eine Öffnung enthalten, welche ein Durchgangsloch bildet, durch welche das säulenförmige Koppelstück verläuft.
Ferner können insbesondere die zweite bewegbare Platte, die zweite statische Platte, die zweite Gegenplatte, die zweite Verbindungsplatte der bewegbaren Seite und die zweite Verbindungsplatte der statischen Seite in einem Raum zwischen der ersten statischen Platte und der ersten Gegenplatte positioniert sein.
Ferner kann insbesondere das Koppelstück ein Teil sein, welches von der zweiten bewegbaren Platte aus in die zweite Richtung verläuft.
In einem anderen Aspekt dieser Erfindung wird eine Messvorrichtung angegeben, welche umfasst: eine Messsonde nach dem vorstehenden Aspekt der Erfindung oder einer speziellen Ausführungsform derselben zum Ausführen einer Messung durch Berühren eines Messobjekts, und eine Halterung, an welcher die Messsonde befestigbar ist. Insbesondere ist eine Messvorrichtung angegeben, welche eine Messsonde, die eine Messung durch Berühren eines Messobjekts durchführt, und ein Halterungsteil enthält, an dem die Messsonde montiert ist. Die Messsonde enthält eine bewegbare Platte, an der ein Taststift montiert ist, welcher in der Lage ist, das Messobjekt zu berühren, wobei die bewegbare Platte zur Verschiebung in eine erste Richtung in der Lage ist, eine statische Platte, welche so angeordnet ist, das sie zumindest teilweise mit der bewegbaren Platte überlappt, eine Gegenplatte, welche der bewegbaren Platte und der statischen Platte im Wesentlichen zugewandt ist, eine Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, wobei die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite die Gegenplatte an mindestens drei Stellen mit sowohl einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem erste Ende der bewegbaren Platte in der ersten Richtung positioniert ist, als auch einem zweiten Endverbindungsstück verbindet, welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der ersten Richtung positioniert ist, und eine Verbindungsplatte der statischen Seite, welche die statische Platte und die Gegenplatte verbindet. Eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks in einer zweiten Richtung, welche orthogonal zu der ersten Richtung ist, hat die gleiche Größe wie die Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks in der zweiten Richtung.
In einem weiteren Aspekt nach dieser Erfindung wird ein Verfahren zum Durchführen einer Messung durch Berührung einer Messsonde, insbesondere nach dem obigen Aspekt dieser Erfindung oder einer speziellen Ausführungsform derselben, mit einem Messobjekt angegeben, umfassend: Montieren eines Taststifts, welcher in der Lage ist, das Messobjekt zu berühren, an einer bewegbaren Platte, welche in eine erste Richtung verschiebbar ist, Anordnen einer statischen Platte derart, dass sie mit der bewegbaren Platte zumindest teilweise überlappt, Anordnen einer Gegenplatte derart, dass sie der bewegbaren Platte und der statischen Platte im Wesentlichen zugewandt ist, Bereitstellen einer Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, zum Verbinden der Gegenplatte an zumindest drei Stellen jeweils mit einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte in der ersten Richtung positioniert ist, und einem zweiten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der ersten Richtung positioniert ist, und Verbinden der statischen Platte und der Gegenplatte mittels einer Verbindungsplatte der statischen Seite, wobei eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung die gleiche Größe wie eine Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks in der zweiten Richtung hat.
Gemäß dieser Erfindung kann die Verschiebung des Taststifts, welche dadurch hervorgerufen wird, dass die Platte, an der der Taststift montiert ist, die Torsionskraft empfängt, unterdrückt werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Diese Erfindung wird in der folgenden ausführlichen Beschreibung unter Bezugnahme auf die genannten mehreren Zeichnungen anhand nicht einschränkender Beispiele beispielhafter Ausführungsformen dieser Erfindung weiter beschrieben, wobei gleiche Bezugszeichen über die verschiedenen Ansichten der Zeichnungen hinweg ähnliche Teile repräsentieren. Es sei darauf hingewiesen, dass Ausführungsformen zwar separat beschrieben werden, einzelne Merkmale derselben jedoch zu weiteren Ausführungsformen kombiniert werden können.
1 ist eine perspektivische Ansicht einer beispielhaften äußeren Konfiguration einer Koordinatenmessvorrichtung 1 nach einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung;
2 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine innere Konfiguration einer Sonde 30 zeigt;
3 betrachtet die in 2 gezeigte Sonde 30 aus einer Y-Achsen-Richtung.
4 betrachtet die in 2 gezeigt Sonde 30 aus einer X-Achsen-Richtung.
5 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 zeigt;
6 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der in 5 gezeigten in X-Richtung bewegbaren Struktur 40;
7 ist eine schematische Ansicht, welche einen Rotationszustand einer bewegbaren Platte 41 bei Einwirkung einer externen Kraft zeigt;
8 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 nach einer zweiten Ausführungsform zeigt;
9 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der in 8 gezeigten in X-Richtung bewegbaren Struktur 40;
10 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 und einer in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 nach einer dritten Ausführungsform zeigt; und
11 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen Zustand zeigt, in dem die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 und die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 in 10 voneinander getrennt sind.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die hier gezeigten Besonderheiten sind beispielhaft und dienen allein Zwecken der erläuternden Diskussion der Ausführungsformen dieser Erfindung und werden präsentiert, um das bereitzustellen, was als die nützlichste und am leichtesten verständliche Beschreibung der Prinzipien und konzeptionellen Aspekte dieser Erfindung erachtet wird. In dieser Hinsicht wird nicht versucht, strukturelle Aspekte dieser Erfindung ausführlicher zu zeigen, als für das grundlegende Verständnis dieser Erfindung notwendig ist, da die Beschreibung zusammen mit den Zeichnungen dem Fachmann auf dem Gebiet verdeutlicht, wie die Formen dieser Erfindung in der Praxis ausgeführt sein können.
Erste Ausführungsform
[Konfiguration der Koordinatenmessvorrichtung]
Unter Bezugnahme auf 1 wird eine Konfiguration einer Koordinatenmessvorrichtung 1, welche beispielhaft für eine Messvorrichtung nach einer ersten speziellen Ausführungsform dieser Erfindung ist, beschrieben.
1 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine beispielshafte äußere Konfiguration der Koordinatenmessvorrichtung 1 nach der ersten Ausführungsform zeigt. Wie in 1 gezeigt, enthält die Koordinatenmessvorrichtung 1 eine Basis 10, einen Verschiebungsmechanismus 20 und eine Sonde 30.
Die Basis 10 ist insbesondere im Wesentlichen in einer rechteckigen Plattenform ausgebildet, wie in 1 dargestellt ist. Die Basis 10 enthält eine Anordnungsfläche 11, auf der ein Werkstück (Messobjekt) angeordnet ist oder angeordnet werden kann. Außerdem ist eine Führung 12 auf der Anordnungsfläche 11 entlang einer Y-Achsen-Richtung in Richtung zu einem ersten Ende der Basis 10 in einer X-Achsen-Richtung angeordnet. Die Führung 12 führt die Verschiebung des Verschiebungsmechanismus 20 (insbesondere einer Säule 22 des Verschiebungsmechanismus 20) in der Y-Achsen-Richtung.
Der Verschiebungsmechanismus 20 verschiebt die Sonde 30, oder kann diese verschieben, welche an einem Stößel 25 (insbesondere an einem vordersten Ende desselben) montiert oder montierbar ist, in die X-Achsen-, die Y-Achsen- und/oder die Z-Achsen-Richtung. Der Verschiebungsmechanismus 20 enthält die Säule 22, einen Querträger 23, ein Gleitstück 24 und/oder den Stößel 25. Außerdem enthält der Verschiebungsmechanismus 20 einen Antrieb (in den Zeichnungen nicht dargestellt) zum Verschieben der Säule 22, des Gleitstücks 24 und/oder des Stößels 25.
Die Säule 22 steht insbesondere im Wesentlichen aufrecht auf der Führung 12. Die Säule 22 kann auf der Führung 12 entlang der Y-Achsen-Richtung verschoben werden. Der Querträger 23 ist so angeordnet, dass er in die X-Achsen-Richtung verläuft. Ein erster Teil des Querträgers 23 (insbesondere ein erstes Ende des Querträgers 23 in einer Längenrichtung) ist durch die Säule 22 gehalten, und ein zweites Teil des Querträgers 23 (insbesondere ein zweites Ende des Querträgers 23 in der Längenrichtung) ist von einer Stütze 26 gehalten. Der Querträger 23 verschiebt sich mit der Säule 22 in Y-Achsen-Richtung.
Das Gleitstück 24 ist von dem Querträger 24 gehalten und/oder ist im Wesentlichen in einer zylindrischen Form entlang der Z-Achsen-Richtung ausgebildet. Das Gleitstück 24 kann an dem Querträger 23 entlang der X-Achsen-Richtung verschoben werden. Der Stößel 25 ist zumindest teilweise in das Gleitstück 24 eingesetzt und/oder verschiebt sich mit dem Gleitstück 24 in die X-Achsen-Richtung. Außerdem kann der Stößel 25 in dem Gleitstück 24 entlang der Z-Achsen-Richtung verschoben werden.
Die Sonde 30 ist insbesondere eine Messsonde, welche eine Messung von Koordinaten und dergleichen des Werkstücks ausführt, indem sie das Werkstück auf der Basis 10 berührt. Die Sonde 30 ist an dem Stößel 25 (dem Befestigungsabschnitt) montiert oder montierbar. Außerdem ist ein Taststift an dem vordersten Ende der Sonde 30 angeordnet, wobei der Taststift in der Lage ist, das Werkstück auf der Basis 10 zu berühren.
[Interne Konfiguration der Sonde 30]
Unter Bezugnahme auf die 2 bis 4 wird eine interne Konfiguration der Sonde 30 beschrieben. 2 ist eine perspektivische Ansicht, welche die interne Konfiguration der Sonde 30 zeigt. 3 betrachtet die in 2 gezeigte Sonde aus der Y-Achsen-Richtung. 4 betrachtet die in 2 gezeigte Sonde 30 aus der X-Achsen-Richtung.
Wie in den 2 bis 4 gezeigt, enthält die Sonde 30 einen Taststift 32, ein Gehäuse 34, die in X-Richtung bewegbare Struktur 40, eine in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 und/oder eine in Z-Richtung bewegbare Struktur 60.
Der Taststift 32 führt durch Berühren des Werkstücks auf der Basis 10 eine Messung durch. Wie in 2 gezeigt, hat der Taststift 32 Kontakte 32a bis 32e, welche jeweils in verschiedene Richtungen verlaufen. Ferner ist die Form des Taststifts 32 nicht auf die Form in 2 beschränkt.
Das Gehäuse 34 bildet eine Verkleidung der Sonde 30. Um die innere Konfiguration der Sonde 30 zu beschreiben, ist in 2 nur eine obere Wand 34a des Gehäuses 34 abgebildet, während Seitenwände und dergleichen weggelassen werden. Insbesondere ist das Gehäuse 34 im Wesentlichen in einer zylindrischen Form derart ausgebildet, dass es zumindest teilweise die in X-Richtung bewegbare Struktur 40, die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 und/oder die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 bedeckt.
Die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 empfängt eine externe Kraft, um in die X-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Der Taststift 32 ist an der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 zu befestigen. Wenn eine externe Kraft auftritt, um den Taststift 32 dadurch, dass der Taststift 32 das Werkstück berührt und dergleichen, in die X-Achsen-Richtung zu verschieben, ist die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 in die X-Achsen-Richtung bewegbar, um die durch die externe Kraft hervorgerufene Verschiebung des Taststifts 32 zu absorbieren. Die ausführliche Konfiguration der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 wird später beschrieben.
Die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 empfängt die externe Kraft, um in die Y-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 ist über der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 positioniert und/oder ist mit der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 gekoppelt. Wenn die externe Kraft auftritt, um den Taststift 32 dadurch, dass der Taststift 32 das Werkstück berührt und dergleichen, in die Y-Achsen-Richtung zu verschieben, ist die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 in die Y-Achsen-Richtung bewegbar, um die durch die externe Kraft hervorgerufene Verschiebung des Taststifts 32 zu absorbieren. Die ausführliche Konfiguration der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 wird später beschrieben.
Die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 empfängt die externe Kraft, um in die Z-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. Die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 ist über der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 positioniert und/oder ist mit der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 gekoppelt. Zusätzlich ist die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 mit der oberen Wand 34a des Gehäuses 34 zu koppeln. Wenn die externe Kraft auftritt, um den Taststift 32 dadurch, dass der Taststift 32 das Werkstück berührt und dergleichen, in die Z-Achsen-Richtung zu verschieben, ist die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 in die Z-Achsen-Richtung bewegbar, um die durch die externe Kraft hervorgerufene Verschiebung des Taststifts 32 zu absorbieren. Die ausführliche Konfiguration der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 50 wird später beschrieben.
Detaillierte Konfiquration der in X-Richtunq bewegbaren Struktur 40
Die detaillierte Konfiguration der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 wird unter Bezugnahme auf die 5 und 6 beschrieben.
5 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 zeigt. 6 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 in 5. Wie in 6 gezeigt, enthält die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 eine bewegbare Platte 41, eine statische Platte 42, eine Gegenplatte 43, eine oder mehrere, insbesondere ein Paar Verbindungsplatten 44 und 45 und/oder ein Koppelstück 46.
Die bewegbare Platte 41 ist an einem unteren Teil der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 positioniert. Wie in 6 gezeigt, ist der Taststift 32 an einer Befestigungsposition an der bewegbaren Platte 41 montiert. Die bewegbare Platte 41 ist insbesondere aus einem einzelnen Metallelement ausgebildet und/oder hat insbesondere im Wesentlichen die Form einer rechteckigen dünnen Platte.
Wie in 6 gezeigt, ist die bewegbare Platte 41 insbesondere so ausgebildet, dass eine Form eines ersten Endes und die Form eines zweites Endes in X-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung) zueinander asymmetrisch sind. Insbesondere enthält die bewegbare Platte 41 einen ersten Endverlängerungsabschnitt 411, welcher an dem ersten Ende in X-Achsen-Richtung angeordnet ist, und zweite Endverlängerungsabschnitte 412 und 413, welche an dem zweiten Ende in X-Achsen-Richtung angeordnet sind. Der erste Endverlängerungsabschnitt 411 und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 sind insbesondere an unterschiedlichen Positionen in Y-Achsen-Richtung angeordnet. Insbesondere ist der erste Endverlängerungsabschnitt 411 an einem mittleren Abschnitt der ersten Endseite der bewegbaren Platte 41 so ausgebildet, dass er von dem ersten Ende entlang der X-Achsen-Richtung vorsteht. Ferner sind die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 an beiden Enden des zweiten Endes der bewegbaren Platte 41 so ausgebildet, dass sie von dem zweiten Ende entlang der X-Achsen-Richtung vorstehen. Mit anderen Worten: Die bewegbare Platte 41 ist insbesondere so ausgebildet, dass sie von der Z-Achsen-Richtung aus betrachtet im Wesentlichen Y-förmig ist.
Der erste Endverlängerungsabschnitt 411 und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 sind so konfiguriert, dass ihre unteren Flächen mit der unteren Fläche der bewegbaren Platte 41 auf gleicher Höhe liegen und ihre oberen Flächen über eine obere Fläche der bewegbaren Platte 41 hinaus vorstehen. Mit anderen Worten: Der erste Endverlängerungsabschnitt 411 und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 sind in einem Zustand angeordnet, in dem sie gegenüber der bewegbaren Platte 41 auf der oberen Fläche vorstehen. Außerdem ist, aus der Z-Achsen-Richtung betrachtet, eine Breite des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in Y-Achsen-Richtung (Größe einer Breite 2a in 7, welche später beschrieben wird) insbesondere im Wesentlichen zwei Mal so groß wie eine Breite der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 (Größe einer Breite a in 7). Mit anderen Worten: Eine Gesamtlänge (Länge 2a) des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in Y-Achsen-Richtung hat insbesondere im Wesentlichen die gleiche Größe wie die Gesamtlänge (2a) der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 in Y-Achsen-Richtung.
Der erste Endverlängerungsabschnitt 411 hält die Verbindungsplatte 44 mit einer entgegenstehenden Halterung 411a. Die Halterung 411a ist mit einem Befestigungselement und dergleichen an einer Seitenfläche des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in einem Zustand angebracht oder anzubringen, in dem sie die Verbindungsplatte 44 hält. Außerdem halten die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 insbesondere die Verbindungsplatte 45 mit entgegenstehenden Halterungen 412a bzw. 413a. Die Halterungen 412a und 413a sind mit dem Befestigungselement und dergleichen an der Seitenfläche der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 bzw. 413 in einem Zustand angebracht, in dem sie die Verbindungsplatte 45 halten.
Der Taststift 32 ist in einer Befestigungsposition montiert, welche insbesondere an einer zentralen oder mittleren Position der bewegbaren Platte 41 angeordnet ist. Die bewegbare Platte 41 ist in X-Achsen-Richtung bewegbar, wenn die externe Kraft zum Verschieben des Taststifts 32 in die X-Achsen-Richtung ausgeübt wird. Ferner ist bei dieser speziellen Ausführungsform (später ausführlich beschrieben), wenn sich die bewegbare Platte 41 insbesondere nach Empfangen der externen Kraft in die Richtung (Y-Achsen-Richtung bei diesem Beispiel) orthogonal zu der Bewegungsrichtung (X-Achsen-Richtung) der bewegbaren Platte 41 dreht, ein Drehpunkt im Mittelpunkt der bewegbaren Platte 41 gelegen. Folglich sind insbesondere die Befestigungsposition 414 des Taststifts 32 und der Drehpunkt der bewegbaren Platte 41 nahe beieinander gelegen. Daher kann die Verschiebung des Taststifts 32 unterdrückt werden, auch wenn sich die bewegbare Platte 41 dreht.
7 ist eine schematische Ansicht, welche einen Drehungszustand der bewegbaren Platte 41 darstellt, wenn die externe Kraft ausgeübt wird. Bei diesem Beispiel wird eine externe Kraft F entlang der Y-Achsen-Richtung während der Messung auf den Taststift 32 ausgeübt. Wenn die in 7 gezeigte externe Kraft F ausgeübt wird, tritt eine Torsionskraft auf, welche den Taststift 32 zu drehen versucht. Aufgrund dieser Torsionskraft dreht sich auch die bewegbare Platte 41, an welcher der Taststift 32 montiert ist. Wenn die bewegbare Platte 41, anders als bei dieser Ausführungsform, eine rechteckige Form hat (d. h. nur zwei Verbindungsstellen mit der Verbindungsplatte (Tellerfeder) sind vorhanden), wird eine ungewollte Verformung aufgrund unzureichender Festigkeit der bewegbaren Platte 41 gegenüber der externen Kraft F hervorgerufen. Infolgedessen kann der Drehpunkt der bewegbaren Platte 41 an einer Position liegen, welche von der bewegbaren Platte 41 versetzt ist, und wenn sich die bewegbare Platte 41 dreht, kann die Position des Taststifts 32 stark verschoben werden.
Bei dieser speziellen Ausführungsform dagegen gibt es, anders als bei der bewegbaren Platte nach einem vorstehend beschriebenen Vergleichsbeispiel, insbesondere drei Verbindungsstellen mit den Verbindungsplatten 44 und 45 der bewegbaren Platte 41 und/oder die Gesamtlänge des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 (Länge 2a) in Y-Achsen-Richtung ist gleich der Gesamtlänge der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 (Länge 2a) in Y-Achsen-Richtung. Daher ist der Drehpunkt, wenn die bewegbare Platte 41 durch die externe Kraft F gedreht wird, im Mittelpunkt der bewegbaren Platte 41 gelegen. Wie oben beschrieben, ist zudem die Befestigungsposition 414 des Taststifts 32 insbesondere im Mittelpunkt der bewegbaren Platte 41 gelegen. Die Befestigungsposition 414 des Taststifts 32 kann ferner beispielsweise wie nachfolgend beschrieben in X-Achsen-Richtung und Y-Achsen-Richtung angeordnet sein. Insbesondere ist die Befestigungsposition 414 dort angeordnet, wo ein Abstand zwischen der Befestigungsposition 414 und dem ersten Endverlängerungsabschnitt 411 und der Abstand zwischen der Befestigungsposition 414 und dem zweiten Endverlängerungsabschnitt 412 (413) in X-Achsen-Richtung gleich sind. Zudem ist die Befestigungsposition 414 dort angeordnet, wo der Abstand zwischen der Befestigungsposition 414 und dem zweiten Endverlängerungsabschnitt 412 und der Abstand zwischen der Befestigungsposition 414 und dem zweiten Endverlängerungsabschnitt 413 in Y-Achsen-Richtung insbesondere gleich sind. Selbst wenn sich die bewegbare Platte 41 auf dem Drehpunkt zentriert dreht, wenn die externe Kraft F auf den Taststift 32 ausgeübt wird, ist daher die Befestigungsposition 414 schwer zu verschieben, und daher kann die Verschiebung des Taststifts 32 unterdrückt werden. Infolgedessen kann verhindert werden, dass ein Messfehler aufgrund der Verschiebung des Taststifts 32 auftritt.
Ferner ist bei dieser speziellen Ausführungsform die bewegbare Platte 41 im Wesentlichen Y-förmig, und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 sind, von der Befestigungsposition 414 aus betrachtet, von dem ersten Endverlängerungsabschnitt 411 weiter entfernt angeordnet. Wenn der Abstand zwischen den zweiten Endverlängerungsabschnitten 412 und 413 und der Befestigungsposition 414 des Taststifts 32 auf diese Weise vergrößert wird, ist die Festigkeit (Torsionsfestigkeit) der Verbindungsplatte 44, welche mit den zweiten Endverlängerungsabschnitten 412 und 413 verbunden ist, gegenüber der Torsionskraft erhöht, wenn die Torsionskraft aufgrund der externen Kraft F auftritt. Dies ist der Fall, da die Torsionsfestigkeit proportional zum Quadrat des Abstands ist. Ferner ist bei dieser speziellen Ausführungsform, wie in 7 gezeigt, eine Länge (Breite c) des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in X-Achsen-Richtung gleich der Länge (Breite b) der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 in X-Achsen-Richtung und hat eine Größe, welche die Festigkeit nicht herabsetzt.
Ferner ist die bewegbare Platte 41 in der obigen Beschreibung insbesondere im Wesentlichen Y-förmig, doch ist die Form nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann die Form der bewegbaren Platte 41 im Wesentlichen eine W-Form sein, und insbesondere kann die bewegbare Platte 41 zwei des ersten Endverlängerungsabschnitts und drei des zweiten Endverlängerungsabschnitts haben. Außerdem kann die bewegbare Platte 41 insbesondere drei des ersten Endverlängerungsabschnitts und vier des zweiten Endverlängerungsabschnitts haben. Darüber hinaus kann die bewegbare Platte 41 einen einzigen ersten Endverlängerungsabschnitt und drei des zweiten Endverlängerungsabschnitts haben.
Zu den 5 und 6 zurückkehrend, wird die Konfiguration der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 beschrieben. Die statische Platte 42 ist aus einem einzigen Metallelement ähnlich der bewegbaren Platte 41 ausgebildet und ist so angeordnet, dass sie mit der bewegbaren Platte 41 in einem Zustand, in dem Spalte einer bestimmten (vorgegebenen oder vorgebbaren) Größe in X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung vorhanden sind, zumindest teilweise von oben überlappt, wie in 5 gezeigt ist. Durch insbesondere Ausbilden solcher Spalte kann verhindert werden, dass die bewegbare Platte 41 die statische Platte 42 berührt und gegen diese reibt, wenn die bewegbare Platte 41 in die X-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung) verschoben wird.
Außerdem sind die statische Platte 42 und die bewegbare Platte 41 insbesondere so angeordnet, dass sie einander halten. Die statische Platte 42 ist durch das Koppelstück 46, welches später beschrieben wird, mit der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 verbunden.
Die statische Platte 42 enthält insbesondere erste Endverlängerungsabschnitte 421 und 422, welche zu einem ersten Ende in X-Achsen-Richtung hin angeordnet sind, und einen zweiten Endverlängerungsabschnitt 423, welcher zu einem zweiten Ende in X-Achsen-Richtung hin angeordnet ist. Die ersten Endverlängerungsabschnitte 421 und 422 sind an beiden Enden zu dem ersten Ende der statischen Platte 42 hin so ausgebildet, dass sie von dem ersten Ende entlang der X-Achsen-Richtung vorstehen. Außerdem ist der zweite Endverlängerungsabschnitt 423 an der Mitte zu dem zweiten Ende der statischen Platte 42 so ausgebildet, dass er von dem zweiten Ende entlang der X-Achsen-Richtung vorsteht. Wenn die statische Platte 42 so angeordnet ist, dass sie mit der bewegbaren Platte 41 zumindest teilweise von oben überlappt, sind die oberen Flächen der ersten Endverlängerungsabschnitte 421 und 422 und des zweiten Endverlängerungsabschnitts 423 so konfiguriert, dass sie koplanar mit den oberen Flächen des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 und der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 sind.
Die ersten Endverlängerungsabschnitte 421 und 422 halten die Verbindungsplatte 44 mit einer oder mehreren (insbesondere im Wesentlichen gegenüberliegenden) Halterungen 421a und 422a. Die (gegenüberliegenden) Halterung(en) 421a und 422a sind mit dem Befestigungselement und dergleichen an den Seitenflächen der ersten Endverlängerungsabschnitte 421 bzw. 422 in einem Zustand, in dem sie die Verbindungsplatte 44 halten, befestigt. Außerdem hält der zweite Endverlängerungsabschnitt 423 die Verbindungsplatte 45 mit einer (insbesondere gegenüberliegenden) Halterung 423a. Die Halterung 423a ist mit dem Befestigungselement und dergleichen in einem Zustand, in dem sie die Verbindungsplatte 45 hält, an der Seitenfläche des zweiten Endverlängerungsabschnitts 423 befestigt.
Wie in 5 gezeigt, ist die Gegenplatte 43 auf einem oberen Abschnitt der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 positioniert. Die Gegenplatte 43 ist der bewegbaren Platte 41 und der statischen Platte 42 in einem Zustand, in dem sie von der bewegbaren Platte 41 und/oder der statischen Platte 42 getrennt ist, im Wesentlichen zugewandt. Die Verbindungsplatten 44 und 45 sind zumindest teilweise zwischen der Gegenplatte 43 und der bewegbaren Platte 41 und der statischen Platte 42 angeordnet und/oder Hauptflächen der Verbindungsplatten 44 und 45 sind entlang der Z-Achsen-Richtung positioniert.
Die Gegenplatte 43 enthält eine oder mehrere Halterungen 432 und 433 zwischen (einer) Seitenfläche(n) eines Basisabschnitts 431 der Gegenplatte 43, um die Verbindungsplatten 44 und 45 zu halten Die eine oder mehreren Halterungen 432 und 433 sind beispielsweise mit dem Befestigungselement an der Seitenfläche des Basisabschnitts 431 befestigt. Ferner ist eine Öffnung 431a, welche ein (insbesondere im Wesentlichen rechteckiges) Durchgangsloch bildet, an oder nahe einer Mittelseite des Basisabschnitts 431 der Gegenpatte 43 ausgebildet. Durch Ausbilden der Öffnung 431a kann das Gewicht der Gegenplatte 43 verringert werden.
Wie in 6 gezeigt, ist ein Paar der Verbindungsplatten 44 und 45 insbesondere in X-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung der bewegbaren Platte 41) voneinander getrennt angeordnet. Die Verbindungsplatte 44 ist zu dem ersten Ende in X-Achsen-Richtung hin positioniert, und die Verbindungsplatte 45 ist zu dem zweiten Ende in X-Achsen-Richtung hin positioniert. Außerdem sind die Verbindungsplatten 44 und 45 so angeordnet, dass sie orthogonal zu der bewegbaren Platte 41 sind. Die Verbindungsplatten 44 und 45 sind aus einem dünnen Metallblechteil ausgebildet und weisen Elastizität auf.
Die Verbindungsplatte 44 enthält insbesondere ein mittelseitiges Verbindungsstück 441 und ein oder mehrere, insbesondere ein Paar endseitige Verbindungsstücke 442. Bei der Verbindungsplatte 44 entspricht das mittelseitige Verbindungsstück 441 im Wesentlichen der Verbindungsplatte auf der bewegbaren Seite, und die endseitigen Verbindungsstücke 442 entsprechen der Verbindungsplatte auf der statischen Seite.
Das mittelseitige Verbindungsstück 441 ist zu der Mittelseite in X-Achsen-Richtung hin positioniert. Das mittelseitige Verbindungsstück 441 verbindet insbesondere den ersten Endverlängerungsabschnitt 441 der bewegbaren Platte 41 mit der Gegenplatte 43. Die beiden endseitigen Verbindungsstücke 442 sind an oder nahe den beiden Enden des mittelseitigen Verbindungsstücks 441 positioniert. Die beiden endseitigen Verbindungsstücke 442 verbinden jeweilige erste Endverlängerungsabschnitte 421 und 422 der statischen Platte 42 mit der Verbindungsplatte 43. Wie in 6 gezeigt, ist insbesondere ein Schlitz 444 entlang der Z-Achsen-Richtung zwischen jedem des mittelseitigen Verbindungsstücks 441 und der endseitigen Verbindungsstücke 442 ausgebildet.
Die Verbindungsplatte 45 enthält ein mittelseitiges Verbindungsstück 451 und ein oder mehrere, insbesondere ein Paar endseitige Verbindungsstücke 452. Bei der Verbindungsplatte 45 entspricht, anders als bei der Verbindungsplatte 44, das mittelseitige Verbindungsstück 451 der Verbindungsplatte auf der statischen Seite, und das eine oder die mehreren endseitigen Verbindungsstücke 452 entsprechen der Verbindungsplatte auf der bewegbaren Seite.
Das mittelseitige Verbindungsstück 451 verbindet den zweiten Endverlängerungsabschnitt 423 der statischen Platte 42 mit der Gegenplatte 43. Die beiden endseitigen Verbindungsstücke 452 verbinden die jeweiligen zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 der bewegbaren Platte 41 mit der Verbindungsplatte 43. Ein Schlitz 454 ist insbesondere entlang der Z-Achsen-Richtung zwischen jedem des mittelseitigen Verbindungsstücks 451 und der endseitigen Verbindungsstücke 452 ausgebildet.
Bei der oben erwähnten Konfiguration der Verbindungsplatten 44 und 45 ist durch Biegen des mittelseitigen Verbindungsstücks 441 der Verbindungsplatte 44 und der endseitigen Verbindungsstücke 452 der Verbindungsplatte dort, wo ihre ersten Enden mit der bewegbaren Platte 41 verbunden sind, die bewegbare Platte 41 in die X-Achsen-Richtung bewegbar. Dabei ist zwar ein Abschnitt der Gegenplatte 43 über das mittelseitige Verbindungsstück 441 und das endseitige Verbindungsstück 442 mit der bewegbaren Platte 41 verbunden, doch ist die Gegenplatte 43 über die endseitigen Verbindungsstücke 442 und das mittelseitige Verbindungsstück 451 auch mit der statischen Platte 42 verbunden. Daher wird die Gegenplatte 43 nicht in die X-Achsen-Richtung verschoben. Ferner sind das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442 in einer einzigen Verbindungsplatte 44 ausgebildet, und daher kann eine Anzahl von Komponenten reduziert werden.
Durch Verbinden der Verbindungsplatte 44 mit der bewegbaren Platte 41, der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43, ist gegenüber einen Fall, in dem das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442 einzelnen mit der bewegbaren Platte 41, der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43 verbunden sind, die Korrektur von Parellelismus, wenn das mittelseitige Verbindungsstück 441 und endseitigen Verbindungsstücke 442 mit der bewegbare Platte 41, der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43 verbunden sind, leicht auszuführen, und die Montagegenauigkeit wird verbessert.
Das Koppelstück 46 koppelt insbesondere die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 und die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 (siehe 4). Das Koppelstück 46 ist in einem Raum zwischen der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43 angeordnet. Folglich kann das Koppelstück 46 effektiv unter Verwendung von totem Raum zwischen der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43 angeordnet werden.
Das Koppelstück 46 ist insbesondere im Wesentlichen in einer prismatischen Form ausgebildet, und ein erstes Ende des Koppelstücks 46 in einer Längenrichtung ist mit der Mitte der statischen Platte 42 gekoppelt. Wie in 3 gezeigt, ist ferner ein zweites Ende des Koppelstücks 46 in Längenrichtung mit der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 gekoppelt. Das zweite Ende des Koppelstücks 46 in Längenrichtung ist zumindest teilweise durch das Durchgangsloch der Öffnung 431a der Gegenplatte 43 eingeführt. Von der bewegbaren Platte 41 und der statischen Platte 42 ist das Koppelstück 46 mit der statischen Platte 42 gekoppelt. Daher besteht kein Einfluss auf die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50, selbst wenn das Koppelstück 46 in X-Achsen-Richtung der bewegbaren Platte 41 bewegbar ist.
Bei Obigem enthält die Verbindungsplatte 44 das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442, jedoch ist diese Erfindung nicht darauf beschränkt. Beispielsweise können das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442 voneinander unabhängige Komponenten sein. Entsprechend können das mittelseitige Verbindungsstück 451 und die endseitigen Verbindungsstücke 452 der Verbindungsplatte 45 voneinander unabhängige Komponenten sein.
Detaillierte Konfiguration der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50
Unter Bezugnahme auf die 2 bis 4 wird die detaillierte Konfiguration der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 beschrieben, welche eine ähnliche Konfiguration wie die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 hat. Wie in 2 gezeigt, enthält die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 eine bewegbare Platte 51, eine statische Platte 52, eine Gegenplatte 53, ein Paar Verbindungsplatten 54 und 55 und/oder ein Koppelstück 56.
Die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 unterscheidet sich von der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40, bei welcher die bewegbare Platte 41 in X-Achsen-Richtung bewegbar ist, darin, dass die bewegbare Platte 51 in Y-Achsen-Richtung bewegbar ist. Daher ähneln die bewegbare Platte 51, die statische Platte 52, die Gegenplatte 53, das Paar Verbindungsplatten 54 und 55 und/oder das Koppelstück 56 der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 in der Form der bewegbaren Platte 41, der statischen Platte 42, der Gegenplatte 43, dem Paar Verbindungsplatten 44 und 45 und/oder dem Koppelstück 46 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40.
Die bewegbare Platte 51 ist über der Gegenplatte 43 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 angeordnet. Die bewegbare Platte 51 ist insbesondere über das Koppelstück 46 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 an die statische Platte 42 gekoppelt. Die bewegbare Platte 51 ist in Y-Richtung bewegbar, wenn die externe Kraft so ausgeübt wird, dass sie den Taststift 32 in die Y-Achsen-Richtung verschiebt.
Die statische Platte 52 ist so angeordnet, dass sie mit der bewegbaren Platte 51 zumindest teilweise von oben überlappt, und Spalte einer bestimmten (vorgegebenen oder vorgebbaren) Größe sind zwischen der statischen Platte 52 und der bewegbaren Platte 51 in X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung ausgebildet. Durch insbesondere Ausbilden der Spalte kann verhindert werden, dass die bewegbare Platte 51 die statische Platte 52 berührt und gegen diese reibt, wenn die bewegbare Platte 51 in die Y-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung) verschoben wird.
Die Gegenplatte 53 ist insbesondere der bewegbaren Platte 51 und der statischen Platte 52 in einem von der bewegbaren Platte 51 und der statischen Platte 52 getrennten Zustand zugewandt. Die Verbindungsplatten 54 und 55 sind zumindest teilweise zwischen der Gegenplatte 53 und der bewegbaren Platte 51 und der statischen Platte 52 angeordnet, und die Hauptflächen der Verbindungsplatten 54 und 55 sind im Wesentlichen entlang der Z-Achsen-Richtung angeordnet. Eine Öffnung 531a, welche ein (insbesondere im Wesentlichen rechteckiges) Durchgangsloch bildet, ist an oder nahe einer Mittelseite der Gegenpatte 53 ausgebildet.
Die beiden Verbindungsplatten 54 und 55 sind in Y-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung der bewegbaren Platte 51) voneinander getrennt angeordnet. Die Verbindungsplatte 54 enthält ein mittelseitiges Verbindungsstück 541 und ein endseitiges Verbindungsstück 542, welche eine ähnliche Konfiguration wie das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442 der oben erwähnten Verbindungsplatte 44 haben. Außerdem enthält die Verbindungsplatte 55 ein mittelseitiges Verbindungsstück 551 und ein endseitiges Verbindungsstückt 552, welche eine ähnliche Konfiguration wie das mittelseitige Verbindungsstück 451 und die endseitigen Verbindungsstücke 452 der Verbindungsplatte 45 haben.
Das mittelseitige Verbindungsstück 541 der Verbindungsplatte 54 verbindet die statische Platte 51 und die Gegenplatte 53, und das endseitige Verbindungsstück 542 verbindet die bewegbare Platte 51 und die Gegenplatte 53. Ferner verbindet das mittelseitige Verbindungsstück 551 der Verbindungsplatte 55 die bewegbare Platte 51 und die Gegenplatte 53, und das endseitige Verbindungsstück 552 verbindet die statische Platte 52 und die Gegenplatte 53. Daher ist durch Biegen des endseitigen Verbindungsstücks 542 der Verbindungsplatte 54 und des mittelseitigen Verbindungsstücks 551 der Verbindungsplatte 55 die bewegbare Platte 51 in Y-Achsen-Richtung bewegbar.
Das Koppelstück 56 ist insbesondere ein Abschnitt, welcher die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 (insbesondere die statische Platte 52) und die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 (insbesondere eine nachstehend beschriebene bewegbare Platte 61) verbindet. Das Koppelstück 56 ist zumindest teilweise in einem Raum zwischen der statischen Platte 52 und der Gegenplatte 53 angeordnet. Folglich kann das Koppelstück 56 unter Verwendung des toten Raums zwischen der statischen Platte 52 und der Gegenplatte 53 effektiv angeordnet werden.
Detaillierte Konfiquration der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60
Unter Bezugnahme auf die 2 bis 4 wird die detaillierte Konfiguration der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 beschrieben. Wie in 2 gezeigt, enthält die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 die bewegbare Platte 61, eine statische Platte 62, eine Gegenplatte 63, eine oder mehrere, insbesondere ein Paar Verbindungsplatten 64 und 65 und/oder ein Koppelstück 66.
Die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 unterscheidet sich von der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40, bei welcher die bewegbare Platte 41 in X-Achsen-Richtung bewegbar ist, darin, dass die bewegbare Platte 61 in Z-Achsen-Richtung bewegbar ist. Daher ist auch die Konfiguration der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 im Wesentlichen ähnlich der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40.
Die bewegbare Platte 61 ist über der Gegenplatte 53 der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 angeordnet. Die bewegbare Platte 61 ist insbesondere über das Koppelstück 56 der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 an die statische Platte 52 gekoppelt. Insbesondere ist ein Verlängerungsabschnitt 67, welcher im Wesentlichen in Y-Achsen-Richtung verläuft, an einer Seitenfläche der bewegbaren Platte 61 ausgebildet und/der ist an das Koppelstück 56 gekoppelt. Die bewegbare Platte 61 mit der obigen Konfiguration ist im Wesentlichen in Z-Achsen-Richtung bewegbar, wenn die externe Kraft so ausgeübt wird, dass sie den Taststift 32 in die Z-Achsen-Richtung verschiebt.
Die statische Platte 62 ist so angeordnet, dass sie mit der bewegbaren Platte 61 zumindest teilweise von oben überlappt, und Spalte einer bestimmten (vorgegebenen oder vorgebbaren) Größe sind zwischen der statischen Platte 62 und der bewegbaren Platte 61 in X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung ausgebildet. Durch insbesondere Ausbilden der Spalte kann verhindert werden, dass die bewegbare Platte 61 die statische Platte 62 berührt und gegen diese reibt, wenn die bewegbare Platte 61 in die Z-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung) verschoben wird.
Die Gegenplatte 63 ist insbesondere der bewegbaren Platte 61 und der statischen Platte 62 in einem von der bewegbaren Platte 61 und der statischen Platte 62 getrennten Zustand zugewandt. Die Verbindungsplatten 64 und 65 sind zumindest teilweise zwischen der Gegenplatte 63 und der bewegbaren Platte 61 und der statischen Platte 62 angeordnet, und die Hauptflächen der Verbindungsplatten 64 und 65 sind im Wesentlichen entlang der Y-Achsen-Richtung angeordnet.
Die beiden Verbindungsplatten 64 und 65 sind in Z-Achsen-Richtung (Bewegungsrichtung der bewegbaren Platte 61) voneinander getrennt angeordnet. Die Verbindungsplatte 64 enthält ein mittelseitiges Verbindungsstück 641 und ein endseitiges Verbindungsstück 642, welche eine ähnliche Konfiguration wie das mittelseitige Verbindungsstück 441 und die endseitigen Verbindungsstücke 442 der oben erwähnten Verbindungsplatte 44 haben. Außerdem enthält die Verbindungsplatte 65 ein mittelseitiges Verbindungsstück 651 und ein endseitiges Verbindungsstückt 652, welche eine ähnliche Konfiguration wie das mittelseitige Verbindungsstück 45 und die endseitigen Verbindungsstücke 452 der Verbindungsplatte 45 haben.
Das endseitige Verbindungsstück 642 der Verbindungsplatte 64 verbindet die bewegbare Platte 61 und die Gegenplatte 63, und das mittelseitige Verbindungsstück 641 verbindet die statische Platte 62 und die Gegenplatte 63. Außerdem verbindet das endseitige Verbindungsstück 652 der Verbindungsplatte 65 die statische Platte 62 und die Gegenplatte 63, und das mittelseitige Verbindungsstück 651 verbindet die bewegbare Platte 61 und die Gegenplatte 63. Daher ist durch Biegen des endseitigen Verbindungsstücks 642 der Verbindungsplatte 64 und des mittelseitigen Verbindungsstücks 651 der Verbindungsplatte 65 die bewegbare Platte 61 in Z-Achsen-Richtung bewegbar.
Das Koppelstück 66 ist insbesondere ein Abschnitt, welcher die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 (insbesondere die statische Platte 62) und das Gehäuse 34 (insbesondere die obere Wand 34a) koppelt. Das Koppelstück 66 verläuft von einer Seitenfläche der statischen Platte 62 aus zu der oberen Wand 34a des Gehäuses 34.
Wirkungen dieser Ausführungsformen
Die oben erwähnte Sonde 30 enthält die in X-Richtung bewegbare Struktur 40, die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 und/oder die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60, welche jeweils ähnliche Konfiguration haben, und der Taststift 32 ist an der bewegbaren Platte 41 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 befestigt. Außerdem sind der erste Endverlängerungsabschnitt 411 und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413, welche an oder nahe den beiden Enden der bewegbaren Platte 41 in X-Achsen-Richtung positioniert sind, an drei Stellen mit den Verbindungsplatten 44 und 45 verbunden Die Gesamtlänge des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in Y-Achsen-Richtung ist genau so groß wie die Gesamtlänge der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 in Y-Achsen-Richtung. Der erste Endverlängerungsabschnitt 411 und die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413, welche an drei Stellen angeordnet sind, sind mit den Verbindungsplatten 44 und 45 verbunden, und die Gesamtlänge des ersten Endverlängerungsabschnitts 411 in Y-Achsen-Richtung ist genau so groß wie die Gesamtlänge der zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 in Y-Achsen-Richtung. Daher ist der Drehpunkt der bewegbaren Platte 41 in der Mitte der bewegbaren Platte 41 angeordnet. Dann sind die Befestigungsposition 414 des Taststifts 32 und der Drehpunkt der bewegbaren Platte 41 nahe beieinander angeordnet, und daher ist der Taststift 32 auch dann schwer zu verschieben, wenn sich die bewegbare Platte 41 nach Empfangen der externen Kraft über den Taststift 32 auf dem Drehpunkt zentriert dreht. Folglich kann das Auftreten eines Messfehlers aufgrund der Verschiebung des Taststifts 32 verhindert werden.
Bei Obigem sind die in X-Richtung bewegbare Struktur 40, die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 und/oder die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 insbesondere in dieser Reihenfolge von unten gestapelt, jedoch ist diese Erfindung nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann die in Y-Richtung bewegbare Struktur 50 an unterster Position angeordnet sein. In einem solchen Fall ist der Taststift 32 an der bewegbare Platte 51 der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 befestigt.
Ferner gibt es bei Obigem drei Verbindungsstellen zwischen der bewegbaren Platte 41 und den Verbindungsplatten 44 und 45, jedoch ist die Anzahl nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann es vier oder mehr Verbindungsstellen zwischen der bewegbaren Platte 41 und den Verbindungsplatten 44 und 45 geben.
Ferner sind bei Obigem die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 von der Befestigungsposition 414 aus betrachtet von dem ersten Endverlängerungsabschnitt 411 beabstandet angeordnet, jedoch ist diese Erfindung nicht darauf beschränkt. Beispielsweise können die zweiten Endverlängerungsabschnitte 412 und 413 und der erste Endverlängerungsabschnitt 411 auf einem Umfang auf der Befestigungsposition 414 zentriert angeordnet sein, sodass sie in dem gleichen Abstand von der Befestigungsposition 414 positioniert sind.
Zweite Ausführungsform
Unter Bezugnahme auf die 8 und 9 wird eine Konfiguration der Sonde 30 nach einer zweiten speziellen Ausführungsform beschrieben.
Bei der oben beschriebenen ersten speziellen Ausführungsform ist die statische Platte 42 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 über das Koppelstück 46 (2), welches durch die Öffnung 431a der Gegenplatte 43 eingeführt ist, mit der bewegbaren Platte 51 der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 gekoppelt. Dagegen sind bei der zweiten speziellen Ausführungsform das Koppelstück 46 und die Öffnung 431a nicht vorgesehen, und die statische Platte 42 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 ist an eine Seitenwand des Gehäuses 34 gekoppelt.
8 ist eine perspektivische Ansicht der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 nach der zweiten speziellen Ausführungsform. 9 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 in 8. Bei der zweiten speziellen Ausführungsform enthält die statische Platte 42 einen in Y-Achsen-Richtung verlaufenden Verlängerungsabschnitt 425. Der Verlängerungsabschnitt 425 ist an eine Seitenwand 34b des Gehäuses 34 gekoppelt.
Die Konfigurationen der bewegbaren Platte 41 und der Verbindungsplatten 44 und 45 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 nach der zweiten speziellen Ausführungsform sind ähnlich wie bei der ersten speziellen Ausführungsform. Daher sind, wie bei der ersten speziellen Ausführungsform, die Befestigungsposition des Taststifts 32 und der Drehpunkt der bewegbaren Platte 41 auch dann in der Mitte der bewegbaren Platte 41 angeordnet, wenn die Torsionskraft von dem Taststift 32 auf die bewegbare Platte 41 übertragen wird. Daher ist der Taststift 32 schwer zu verschieben, selbst wenn sich die bewegbare Platte 41 dreht. Folglich kann das Auftreten eines Messfehlers aufgrund der Verschiebung des Taststifts 32 verhindert werden. Bei der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 ist die statische Platte 52 an die Seitenwand 34b des Gehäuses 34 gekoppelt, was in 8 jedoch nicht gezeigt ist.
Dritte Ausführungsform
Unter Bezugnahme auf die 10 und 11 wird eine Konfiguration der Sonde 30 nach einer dritten speziellen Ausführungsform beschrieben.
10 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 und der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 nach der dritten speziellen Ausführungsform zeigt. 11 ist eine perspektivische Ansicht, welche einen Zustand zeigt, in dem die in X-Richtung bewegbare Struktur 40 und die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 der 10 voneinander getrennt sind.
Bei der ersten speziellen Ausführungsform ist die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 von der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 getrennt angeordnet. Dagegen ist bei der dritten speziellen Ausführungsform ein Hauptabschnitt der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 so konfiguriert, dass er in einem Raum in der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 angeordnet ist.
Bei der dritten speziellen Ausführungsform ist das in der ersten speziellen Ausführungsform beschriebene Koppelstück 46 (2) der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 nicht vorgesehen, und wie in 10 dargestellt, ist die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 in dem Raum angeordnet, in dem das Koppelstück 46 ausgebildet war. Mit anderen Worten: Die bewegbare Platte 61, die statische Platte 62, die Gegenplatte 63 und die Verbindungsplatten 64 und 65 der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 sind zwischen der statischen Platte 42 und der Gegenplatte 43 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 angeordnet. Um die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60 in dem Raum der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 anzuordnen, ist die Öffnung 431a der Gegenplatte 43 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 größer.
Die Konfiguration der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 hat eine ähnliche Konfiguration wir die in Z-Richtung bewegbare Struktur 60, welche in den 2 bis 4 gezeigt ist. Daher wird bei dieser Ausführungsform die Struktur zum Koppeln der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 und der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 beschrieben.
Die bewegbare Platte 61 der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 ist mit der statischen Platte 42 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 gekoppelt. Bei der bewegbaren Platte 61 ist ein entlang der Z-Achsen-Richtung verlaufender Verlängerungsabschnitt 615 der bewegbaren Seite ausgebildet. Der Verlängerungsabschnitt 615 der bewegbaren Seite ist mit der statischen Platte 42 der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 gekoppelt.
Die statische Platte 62 der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 ist mit der in Y-Richtung bewegbaren Struktur 50 (siehe 2) gekoppelt, welche in 10 nicht gezeigt ist. Ein in Z-Achsen-Richtung verlaufender Verlängerungsabschnitt 625 der statischen Seite ist mit der bewegbaren Platte 51 der in bewegbaren Struktur 50 gekoppelt.
Bei der dritten speziellen Ausführungsform kann durch Anordnen der in Z-Richtung bewegbaren Struktur 60 in dem toten Raum der in X-Richtung bewegbaren Struktur 40 die Länge der Sonde 30 in Z-Achsen-Richtung kleiner sein. Folglich kann die Sonde 30 kleiner ausgebildet werden.
Vorstehend sind Ausführungsformen dieser Erfindung beschrieben, doch ist der technische Umfang dieser Erfindung nicht auf den Umfang der oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Es ist offensichtlich, dass ein Fachmann eine große Zahl von Modifikationen oder Verbesserungen an den oben erwähnten Ausführungsformen vornehmen kann. Aus der Beschreibung des Umfangs von Ansprüchen geht hervor, dass derartige modifizierte und verbesserte Ausführungsformen in dem technischen Umfang dieser Erfindung enthalten sein können.
Es wird eine Sonde offenbart, welche enthält: eine bewegbare Platte, an der ein Taststift montiert oder montierbar ist, welcher in der Lage ist, ein Messobjekt zu berühren, wobei die bewegbare Platte im Wesentlichen in einer X-Richtung verschiebbar ist, eine statische Platte, welche so angeordnet ist, dass sie zumindest teilweise mit der bewegbaren Platte überlappt, eine Gegenplatte, welche der bewegbaren Platte und der statischen Platte im Wesentlichen zugewandt ist, eine elastische Verbindungsplatte der bewegbaren Seite, wobei die Verbindungsplatte der bewegbaren Seite die Gegenplatte an mindestens drei Stellen mit einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte in X-Richtung positioniert ist, und zweiten Endverbindungsstücken jeweils verbunden ist, welche in Richtung zu einem zweiten Ende in X-Richtung positioniert sind, und eine Verbindungsplatte der statischen Seite, welche die statische Platte und die Gegenplatte verbindet. Eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks in einer Y-Richtung, welche orthogonal zu der X-Richtung ist, hat im Wesentlichen die gleiche Größe wie eine Gesamtlänge der zweiten Endverbindungsstücke in der Y-Richtung. Es sei darauf hingewiesen, dass die vorstehenden Beispiele rein zum Zwecke der Erläuterung geliefert wurden und in keiner Weise als die vorliegende Erfindung einschränkend zu verstehen sind. Während diese Erfindung unter Bezugnahme auf beispielhafte Ausführungsformen beschrieben wurde, sind die hier verwendeten Worte selbstverständlich Worte der Beschreibung und Darstellung, statt Worte der Einschränkung. Änderungen, innerhalb des Rahmens der angefügten Ansprüche, wie sie hier angeführt sind und geändert, sind möglich, ohne vom Umfang und Gedankten dieser Erfindung in ihren Aspekten abzuweichen. Zwar wurde diese Erfindung hier unter Bezugnahme auf bestimmte Strukturen, Materialien und Ausführungen beschrieben, doch ist diese Erfindung nicht als auf die hier offenbarten Besonderheiten beschränkt gedacht; vielmehr erstreckt sich diese Erfindung auf alle funktional äquivalenten Strukturen, Verfahren und Verwendungen, wie sie innerhalb des Umfangs der angefügten Ansprüche liegen.
Diese Erfindung ist nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt, und verschiedene Variationen und Modifikationen können möglich sein, ohne vom Umfang dieser Erfindung abzuweichen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2016-141320 [0001]
JP 02-502488 [0004, 0005]

Claims

Messsonde (30), welche eine Messung durch Berühren eines Messobjekts durchführt, wobei die Messsonde (30) umfasst: eine bewegbare Platte (41), an welcher ein Taststift (32) montiert ist, der in der Lage ist, dass Messobjekt zu berühren, wobei die bewegbare Platte (41) in eine erste Richtung verschiebbar ist; eine statische Platte (42), welche so angeordnet ist, dass sie zumindest teilweise mit der bewegbaren Platte (41) überlappt; eine Gegenplatte (43), welche der bewegbaren Platte (41) und der statischen Platte (42) im Wesentlichen zugewandt ist; eine Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, wobei die Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite die Gegenplatte (43) an mindestens drei Stellen mit jedem von einem ersten Endverbindungsstück (411), welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte (41) in der ersten Richtung positioniert ist, und einem zweiten Endverbindungsstück (412; 413), welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der ersten Richtung positioniert ist, verbindet; und eine Verbindungsplatte (451) der statischen Seite, welche die statische Platte (42) und die Gegenplatte (43) verbindet, wobei eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks (411) in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung gleich groß ist wie eine Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks (412; 413) in der zweiten Richtung.
Messsonde nach Anspruch 1, wobei eine Form des ersten Endes der bewegbaren Platte (41) in der ersten Richtung und die Form des zweiten Endes der bewegbaren Platte (41) in der ersten Richtung asymmetrisch zueinander sind.
Messsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Abstand des zweiten Endverbindungsstücks (412; 413) von einer Befestigungsposition, an welcher der Taststift (32) montiert ist, größer als der Abstand des ersten Endverbindungsstücks (411) von der Befestigungsposition ist.
Messsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite und die Verbindungsplatte (451) der statischen Seite durch ein einziges Plattenelement ausgebildet sind, bei dem ein Abschnitt auf Seiten der Gegenplatte (43) der Verbindungsplatte (452) auf der bewegbaren Seite und ein Abschnitt auf Seiten der Gegenplatte (43) der Verbindungsplatte (451) der statischen Seite verbunden sind.
Messsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die bewegbare Platte (41), die statische Platte (42), die Gegenplatte (43), die Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite und die Verbindungsplatte (451) der statischen Seite einer ersten bewegbaren Platte (41), einer ersten statischen Platte (42), einer ersten Gegenplatte (43), einer ersten Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite und einer ersten Verbindungsplatte (451) der statischen Seite jeweils entsprechen, wobei die Messsonde (30) ferner umfasst: eine zweite bewegbare Platte (51), welche über ein Koppelstück (46) mit der ersten statischen Platte (42) verbunden ist und in die zweite Richtung orthogonal zu der ersten Richtung verschiebbar ist; eine zweite statische Platte (52), welche so angeordnet ist, dass sie zumindest teilweise mit der zweiten bewegbaren Platte (51) überlappt; eine zweite Gegenplatte (53), welche der zweiten bewegbaren Platte (51) und der zweiten statischen Platte (52) im Wesentlichen zugewandt ist; eine elastische zweite Verbindungsplatte (552) der bewegbaren Seite, wobei die zweite Verbindungsplatte (552) der bewegbaren Seite die zweite Gegenplatte (53) an mindestens drei Stellen mit jedem von einem ersten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem ersten Ende der zweiten bewegbaren Platte (51) in der zweiten Richtung positioniert ist, und einem zweiten Endverbindungsstück, welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der zweiten Richtung positioniert ist, verbindet; und eine zweite Verbindungsplatte (551) der statischen Seite, welche die zweite statische Platte (52) und die zweite Gegenplatte (53) verbindet, wobei eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks der zweiten Verbindungsplatte (552) der bewegbaren Seite in der ersten Richtung gleich groß ist wie die Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks der zweiten Verbindungsplatte (552) der bewegbaren Seite in der ersten Richtung.
Messsonde nach Anspruch 5, wobei: die zweite bewegbare Platte (51) über der ersten Gegenplatte (43) positioniert ist und die erste Gegenplatte (43) ein Durchgangsloch (431a) enthält, durch welches das säulenförmige Koppelstück (46) verläuft.
Messsonde nach Anspruch 5 oder 6, wobei: die zweite bewegbare Platte (51), die zweite statische Platte (42), die zweite Gegenplatte (53), die zweite Verbindungsplatte (552) der bewegbaren Seite und die zweite Verbindungsplatte (552) der statischen Seite (551) in dem Raum zwischen der ersten statischen Platte (42) und der ersten Gegenplatte (43) angeordnet sind.
Messsonde nach Anspruch 5, 6 oder 7, wobei das Koppelstück (46) von der zweiten bewegbaren Platte (51) aus in die zweite Richtung verläuft.
Messvorrichtung (1), umfassend: eine Messsonde (30) nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Ausführen einer Messung durch Berühren eines Messobjekts und eine Befestigungsvorrichtung (20), an welcher die Messsonde befestigbar ist.
Verfahren zum Durchführen einer Messung durch Kontaktieren einer Messsonde (30) mit einem Messobjekt, umfassend: Befestigen eines Taststifts (32), welcher in der Lage ist, das Messobjekt zu berühren, an einer bewegbaren Platte (41), welche in eine erste Richtung verschiebbar ist; Anordnen einer statischen Platte (42) derart, dass sie zumindest teilweise mit der bewegbaren Plate (41) überlappt; Anordnen einer Gegenplatte (43) derart, dass sie der bewegbaren Platte (41) und der statischen Platte (42) im Wesentlichen zugewandt ist; Bereitstellen einer Verbindungsplatte (452) der bewegbaren Seite, welche Elastizität aufweist, zum Verbinden der Gegenplatte (43) an mindestens drei Stellen mit jedem von einem ersten Endverbindungsstück (411), welches in Richtung zu einem ersten Ende der bewegbaren Platte (41) in der ersten Richtung positioniert ist, und einem zweiten Endverbindungsstück (412; 413), welches in Richtung zu einem zweiten Ende in der ersten Richtung positioniert ist; und Verbinden der statischen Platte (42) und der Gegenplatte (43) mittels einer Verbindungsplatte (451) der statischen Seite, wobei eine Gesamtlänge des ersten Endverbindungsstücks (411) in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung gleich groß ist wie eine Gesamtlänge des zweiten Endverbindungsstücks (412; 413) in der zweiten Richtung.