DE3721682A1 - Bewegungselement fuer feinmess- oder justiergeraete - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Bewegungselement für Feinmeß- oder Justiergeräte mit mindestens einem Federgelenk.

Derartige Bewegungselemente, beispielsweise mit Blattfedern, sind allgemein bekannt.

Federgelenke haben die Aufgabe, mindestens zwei Bauteile miteinander gelenkig zu verbinden und gleichzeitig eine Rückstellkraft zu erzeugen, die bei einem Auslenken des einen Bauteils gegenüber einem anderen zu einer Rückstellung desselben führt, sobald die Auslenkkraft wegfällt. In Fein­ meß-, wie zum Beispiel Justiergeräten, ist es wesentlich, derartige Federgelenke möglichst spielfrei, hysteresefrei, reibungsarm, verschleißfrei und so klein wie möglich zu ge­ stalten. Zwar sind eine Reihe unterschiedlicher Ausführungs­ formen von Federgelenken bekannt, die jedoch den bei Feinmeß- oder Justiergeräten zu stellenden Anforderungen nicht opti­ mal genügen.

Bei der eingangs genannten bekannten Ausführungsform, bei der die zu verbindenden Bauteile mittels eines Blattfeder verbunden sind, ist vor allem von Nachteil, daß derartige Blattfedern produktionsbedingt immer mit Toleranzen behaftet sind, die sich zu den Produktionstoleranzen der Bauteile addieren können. Hierdurch entsteht häufig ein Produktions­ ausschuß oder es müssen Maßungenauigkeiten mit erheblichem Justieraufwand ausgeglichen werden. Nachteilig ist darüber hinaus, daß die Befestigung derartiger Blattfedern relativ aufwendig gestaltet werden muß, da diese, um ihre Feder­ charakteristik nicht zu stören, praktisch nur geschraubt oder genietet werden können. Gemessen an den insgesamt be­ nötigten Werkstoffmengen, ist eine derartige Verbindung auch mit relativ viel zusätzlichem Werkstoffaufwand behaftet, was bei teuren Materialien, wie beispielsweise im chemischen Be­ reich, zu einem erhöhten Kostenaufwand führt und darüber hinaus die zu bewegenden Bauteile schwer macht. Dadurch kön­ nen Trägheitsmomente nachteilig für die Bewegungsabläufe wirksam werden. Weiterhin bestehen Nachteile bei kleinen tragbaren Geräten, weil dort das Gesamtgewicht des Gerätes von besonderer Bedeutung ist.

Schließlich haben die bekannten Bewegungselemente, da sie aus mehrere Teilen zusammengesetzt sind, stets den Nach­ teil, daß infolge der Relativbewegung der Bauteile des Be­ wegungselements zueinander Reibungsverluste entstehen und diese Reibungsverluste zu Bewegungshysteresen oder zu Haft­ reibungseffekten führen.

Aus der EP-A-1 25 045 ist eine Positioniereinrichtung der ein­ gangs genannten Art bekannt, bei der lange, gekröpfte, blatt­ federartige Verbindungsstücke verwendet werden, die eine Bewegung eines Objekts in eine oder zwei Richtungen ermög­ lichen soll, wobei dadurch die Blattfedern verbogen werden. Die bekannte Vorrichtung ermöglicht zwar angeblich eine geradlinige Bewegung eines Objekts in zwei Richtungen ohne die obenerwähnten Nachteile, durch die dazu erforderlichen relativ langen Verbindungsstücke wird jedoch ein neuer Nach­ teil bewirkt. Die gesamte Positioniereinrichtung ist nämlich in sich instabil. Zahlreiche Federkomponenten wirken gegen­ einander oder miteinander, wobei geringfügigste Veränderun­ gen an einer einzigen dieser Federn das gesamte System unbe­ stimmbar machen. Dadurch ist ein häufiges Nachjustieren einer derartigen Vorrichtung erforderlich. Darüber hinaus erzeugt das System in sich eine relativ große Reibung, die durch die Verstellkraft überwunden werden muß. Ein Reduzieren dieser Reibung ist durch ein weiteres Reduzieren der Wandstärke der Federn, bzw. Verbindungsstücke, nicht mehr möglich, da an­ sonsten keine ausreichende Biegesteifigkeit mehr gegeben ist, die ein Durchdrücken des Objektträgers bei relativ großen Objektgewichten bewirken würde.

Eine andere Art von Positioniereinrichtungen ist ferner aus der DE-Z "Technische Rundschau" 41/86, S. 178-182, bekannt.

Bei dieser bekannten Positioniereinrichtung ist ein Paralle­ logramm in seinen Eckpunkten durch Gelenke verbunden und er­ möglicht auf diese Weise die Aufnahme von Meßwerten. Durch die Schwenkbewegung der Schenkel des Parallelogramms wird insofern ein Meßfehler erzeugt, als die Schwenkbewegung nicht nur einen Vektor in Anstoßrichtung, sondern auch in einem Winkel von 90° dazu aufweist, wodurch bei einer Mes­ sung beispielsweise fälschlich bei einer Auslenkung in einer Richtung auch ein Meßwert in einer anderen Richtung ange­ zeigt wird. Auf diesen Nachteil wird auch in der zuvor bereits gewürdigten EP-A-1 25 045 hingewiesen. Die Positio­ niereinrichtung gemäß DE-Z weist jedoch im Zusammenhang mit den bisher bekannten herkömmlichen Federgelenksverbindungen sämtliche weiter oben beschriebenen Nachteile auf. Darüber hinaus ist diese bekannte Positioniereinrichtung verhältnis­ mäßig großflächig, was im meßtechnischen Bereich unerwünscht ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Bewegungs­ element der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubil­ den, daß möglichst geringe Massen, Hysteresefreiheit, Ver­ schleißfreiheit, gute Rückstelleigenschaften und hohe Ferti­ gungspräzision bei verhältnismäßig einfacher und kostengün­ stiger Fertigung möglich sind, so daß die oben beschriebenen Nachteile vermieden werden.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, mit den erfindungsgemäßen Bewegungselementen Meßgeräte und Positio­ niereinrichtungen zu schaffen.

Bekannte Meßgeräte, wie sie z. B. zum Vermessen der Außen­ kontur einer Welle verwendet werden, verwenden in der Regel zylindrische Meßtaster. Diese Meßtaster weisen an ihrer vor­ deren Spitze ein kugelkappenförmiges Tastelement auf, das im Meßtaster axial gegen die Kraft einer Feder verschiebbar ist. Mit diesem Tastelement ist ein üblicherweise induktives Wegaufnehmersystem verbunden, so daß ein Signal erzeugt wird, das der Auslenkung des Tastelementes (typischerweise in einem Bereich von +/-1 mm) entspricht. Die bekannten Tastköpfe in derartigen Meßgeräten haben jedoch den Nachteil, daß sie verhältnismäßig dick ausgebildet sind, sie haben typischerweise einen Durchmesser von 8 mm oder mehr. In die­ sen Fällen ist jedoch das Ausmessen von sehr schmalen Ein­ drehungen von Wellen oder sonstwie schlecht zugänglichen Oberflächenbereichen von Werkstücken nicht möglich, ebenso wie die simultane Messung unmittelbar nebeneinanderliegender Meßpunkte aus Platzgründen ausscheidet. Zwar ist es bekannt, bei bekannten Tastern lange schmale Verlängerungen aufzu­ setzen, so daß auch schwieriger zugängliche Meßorte erreicht werden, dies löst jedoch nicht das Problem, mehrere axial dicht nebeneinanderliegende Meßpunkte zu messen, weil auch bei axialer Verlängerung der Meßtaster dann im radialen Ab­ stand von der Welle der große Durchmesser der Taster stört.

Ein weiterer wesentlicher Nachteil dieser bekannten Meßtaster ist, daß sie sehr aufwendig in der Herstellung und damit teuer sind, so daß Meßgeräte, mit denen simultan eine große Anzahl von Meßpunkten an Werkstücken gemessen werden sollen, außerordentlich aufwendig und teuer werden.

Ein weiteres Anwendungsgebiet der erfindungsgemäßen Bewegungs­ elemente sind Positioniereinrichtungen, wie beispielsweise Kreuztische. Derartige Kreuztische dienen typischerweise da­ zu, Objekte, beispielsweise mikroskopische Apparate, in min­ destens zwei Koordinatenachsen zu verschieben. Umgekehrt können derartige Positioniereinrichtungen aber auch dazu dienen, die unbekannte Position eines Objekts festzustellen, wenn ein bewegliches Teil dem Objekt nachgeführt und die entsprechende Positionsabweichung ermittelt wird.

Bekannte Kreuzschlitten bestehen aus vielen Einzelbauteilen, die an Führungen aufeinander gleiten und durch verschiedenste Antriebseinrichtungen gegeneinander bewegt werden können.

Der Aufbau derartiger Kreuzschlitten erfordert viele unter­ schiedliche Arbeitsgänge und die zu bewegenden Massen sind groß. Es tritt daher vor allem unerwünschte Reibung auf, die zu Hysteresen und Haftreibungseffekten führt. Eine Schmie­ rung der aufeinander laufenden Elemente ist jedoch nicht immer möglich, insbesondere nicht, wenn derartige Positio­ niereinrichtungen im chemischen Bereich eingesetzt werden sollen.

Die vorstehend genannten Aufgaben werden erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Federgelenk mit seinen angrenzenden Bauteilen einstückig ausgebildet ist.

Die einstückige Ausbildung des gesamten Bewegungselements hat zum einen den Vorteil, daß der Materialaufwand geringst­ möglich und die Herstellung auch sehr einfach ist, weil es prinzipiell möglich ist, das gesamte Bewegungselement in einem einzigen Arbeitsgang herzustellen.

Durch die einstückige Ausbildung wird auch die Reibung gegen­ einanderlaufender Bauteile verhindert, so daß das erfindungs­ gemäße Bewegungselement prinzipiell hysteresefrei arbeitet. Auch kann das erfindungsgemäße Bewegungselement besonders leicht und klein ausgebildet werden, so daß es sich für An­ wendungen eignet, in denen das entsprechende Gerät entweder transportabel ist oder eine Vielzahl erfindungsgemäßer Bewe­ gungselemente aufweist.

Schließlich ist die Herstellung des erfindungsgemäßen Bewe­ gungselements auch extrem kostengünstig, so daß hochpräzise Messungen oder Positionierungen nun auch mit Geräten in einer Preisklasse möglich sind, die deutlich unter der bekannter Geräte liegt.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind je zwei von mindestens vier als starre Schenkel ausgebildeten Bauteilen durch ein Federgelenk zu mindestens einem in seinen Eckpunkten elastisch verformbaren Parallelogramm verbunden, wobei wenigstens ein Schenkel bei der Verformung des ihm zugeordneten Parallelogramms unverschiebbar ist.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß das bewegliche Element in seiner Erstreckungsrichtung während der Auslenkung kon­ stant bleibt, was eine besonders einfache Meßwerterfassung bzw. -auswertung gestattet. Auch ist das bewegliche Element bei einer Parallelogrammführung definiert geführt, so daß die Meßwerte besonders gut reproduzierbar sind.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung dieser Variante ist ein Schenkel eines ersten Parallelogramms mit einem Schenkel eines zweiten Parallelogramms - vorzugsweise starr und ein­ stückig - verbunden.

Diese Maßnahme ermöglicht es, das Bewegungselement in zwei, vorzugsweise zueinander senkrechten Koordinatenrichtungen zu verschieben, so daß der Aufbau von Kreuztischen und dgl. möglich ist.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung dieser Variante liegt das zweite Parallelogramm innerhalb einer durch Schenkel des ersten Parallelogramms gebildeten Umrißlinie.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß ein besonders kompakter Aufbau des Bewegungselementes entsteht, weil der Außenumriß nicht größer ist als derjenige des ersten Parallelogramms.

Bei Ausbildungen der Erfindung ist mindestens ein bewegliches Bauteil bzw. Schenkel mit einem an ein Meßobjekt anlegbaren Tastkopf versehen.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß das auszumessende Objekt unmittelbar durch das bewegliche Bauteil erfaßt wird, so daß Meßfehler durch mechanische Übertragungsmittel entfallen.

Besonders bevorzugt ist dabei, wenn der Tastkopf an einem Fortsatz des Bauteils bzw. Schenkels angeordnet ist.

Diese Maßnahme ermöglicht es, an nahezu beliebigen Stellen von Meßobjekten Messungen vorzunehmen, weil die Gestalt des Fortsatzes an die jeweiligen Meßbedingungen angepaßt werden kann.

Besonders bevorzugt ist, wenn der Fortsatz rechtwinklig vom beweglichen Schenkel in Verlängerung eines weiteren beweg­ lichen Schenkels eines Parallelogramms absteht.

Bei diesem Ausführungsbeispiel macht man sich die Tatsache zunutze, daß das erfindungsgemäße Bewegungselement in seiner Ausbildung als Parallelogramm nahezu beliebig dünn ausgebil­ det werden kann, so daß bei einer entsprechenden Verlänge­ rung des vom festen Schenkel abgehenden beweglichen Schenkels zahlreiche Punkte in unmittelbarem axialem oder radialem Ab­ stand voneinander gemessen werden können, weil, im Gegensatz zu bekannten Meßtastern, die erfindungsgemäßen Bewegungsele­ mente bzw. deren Fortsätze einander nicht stören.

Bei weiteren Ausführungsformen der Erfindung sind mindestens ein bewegliches Bauteil bzw. Schenkel mit einem ersten Teil und mindestens ein festes Bauteil bzw. Schenkel mit einem zweiten Teil eines Lagesensors versehen.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Bewegung der Bau­ teile zueinander unmittelbar in ein elektrisches Signal um­ gesetzt wird, so daß auch hier Meßwertverfälschungen durch weitere Übertragungsglieder ausgeschlossen werden. Außerdem ergibt sich auf diese Weise ein extrem kompakter Aufbau, weil Lagesensoren der hier erforderlichen Art mit einem Meß­ bereich von nur wenigen Millimetern in extrem kleiner Bauart, jedoch mit der erforderlichen Präzision, erhältlich sind.

Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist bevorzugt, wenn die Teile an einem Fortsatz des Bauteils bzw. Schenkels angeord­ net sind.

Dies ermöglicht eine größere Freiheit in der Anordnung der Teile des Lagesensors, wobei bevorzugt diese Fortsätze in das Innere des von einem Parallogramm umschlossenen Rah­ mens hineinragen, so daß auch bei diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung die Größe des Bewegungselementes durch die Außenkontur des jeweils äußersten Parallelogramms bestimmt ist.

Bei Varianten dieses Ausführungsbeispiels kann der Lagesen­ sor induktiv mit einem in eine Spule tauchenden Kern sein und die Spulenachse kann parallel zum beweglichen Schenkel angeordnet sein.

Diese Maßnahmen ergeben eine besonders zuverlässige Meßan­ ordnung, weil sich dann der Kern mit einer Komponente seiner Bewegungsrichtung parallel zur Spulenachse bewegt und der sich einstellende radiale Versatz so geringfügig ist, daß er außer Betracht bleiben kann.

Als weitere Bauformen von Lagesensoren kommen kapazitive Sensoren oder eine Kombination eines Magneten mit einem ma­ gnetfeldempfindlichen Element, beispielsweise einem Hall- Element, einer Feldplatte od. dgl., in Betracht. Auch kann als Lagesensor ein einen Lichtstrahl aussendendes Teil mit einem fotoempfindlichen Teil vorgesehen sein, wobei diese Teile relativ zueinander verschiebbar sind. Diese Aufzählung ist jedoch nicht einschränkend, es können vielmehr auch be­ liebige andere Bauformen von Lagesensoren verwendet werden.

Bevorzugt ist, wenn der Lagesensor an eine Schwellwertstufe mit nachgeordneter Anzeige angeschlossen ist.

Diese Maßnahme ermöglicht es, das erfindungsgemäße Bewegungs­ element als Nullpunktdetektor oder als Detektor für eine vor­ bestimmte endliche Position einzusetzen, weil bei Erreichen des Nullpunktes bzw. der vorbestimmten Position das Anzeige­ element angesteuert wird.

Besonders bevorzugt sind Ausführungsformen der Erfindung, bei denen das Federgelenk als Filmscharnier ausgebildet ist.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Federkonstante des Federgelenks durch geeignete Dimensionierung und Material­ auswahl in weiten Bereichen nahezu beliebig eingestellt wer­ den kann, je nachdem, wie dies für den Einzelfall gewünscht wird. Auch hat die Verwendung eines Filmscharniers den Vor­ teil, daß die vom Filmscharnier beabstandeten dickeren Bau­ teile in einfacher Weise mit Befestigungsmitteln für die Teile des Lagesensors bzw. für die Fixierung an raumfesten Punkten eines Gerätes oder für die Fixierung weiterer nach­ geschalteter Bauteile versehen werden können. Schließlich können Filmscharniere auch in besonders einfacher Weise mehrfach ausgebildet werden, beispielsweise um die vier gelenkigen Eckpunkte eines Parallelogramms zu definieren. Hierzu genügt es beispielsweise, in einem quaderförmigen, verhältnismäßig flachen Block aus geeignetem Material mit­ tels geeigneter Schneidtechnik, beispielsweise mittels Laserschneiden, einen geeigneten Ausschnitt herzustellen, der an vier auf den Eckpunkten eines Rechtecks liegenden Punkten so nahe an die Außenoberfläche des Quaders herange­ führt ist, daß an diesen vier Punkten die Filmscharniere entstehen. Auch Funkenerosion kann eingesetzt werden.

Besonders bevorzugt ist, wenn beim Einsatz eines Filmschar­ niers zumindest eine Seitenwand des Filmscharniers entlang einer vorzugsweise kreisförmigen konkaven Kurve ausgebildet ist.

Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß das Filmscharnier in besonders einfacher Weise hergestellt werden kann, außerdem ergeben sich definierte Federeigenschaften von gewünschter Linearität oder gegebenenfalls definierter Nichtlinearität.

Bei weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung ist das Federgelenk so ausgebildet, daß seine Schenkel von einem Winkel von 0° mindestens bis zu einem solchen von 45°, vorzugsweise bis zu 180°, bringbar sind.

Alternativ kann aber das Federgelenk auch so ausgebildet sein, daß seine Schenkel in einem Winkel von nur bis zu maximal 3° aus ihrer Lage schwenkbar sind.

Diese Maßnahmen haben den Vorteil, daß im erstgenannten Fall ein relativ weiches Bewegungselement für große Wege entsteht, während im zweiten Fall ein relativ starres Bewegungselement für kleine Auslenkungen zur Verfügung gestellt wird.

Bei Ausführungsformen der Erfindung kann das Federgelenk mit seinen angrenzenden Bauteilen entweder aus Kunststoff oder aus Metall, vorzugsweise einem Federstahl, bestehen, je nach­ dem, wie dies für den Einzelfall zweckmäßig ist.

Es wurde bereits erwähnt, daß bevorzugte Einsatzgebiete des erfindungsgemäßen Bewegungselementes Meßgeräte, insbesondere Wellenmeßgeräte oder aber auch Kreuztische sind.

Schließlich eignet sich die Erfindung in besonderem Maße für ein Meß- oder Justierverfahren für ein Gerät, wie es vorste­ hend beschrieben wurde, beispielsweise mit elektronischen Meßwertabgreifern, bei dem die abgegriffenen Meß- oder vor­ gegebenen Justierwerte einem Tabellenrechner zugeleitet wer­ den, der eine empirisch ermittelte oder rechnerisch festge­ legte Fehlerabweichung mathematisch berücksichtigt und den Wert korrigiert, wonach der korrigierte Wert einer Anzeige­ vorrichtung oder Steuervorrichtung zugeleitet wird.

Diese Maßnahmen haben den Vorteil, daß das erfindungsgemäße Bewegungselement im Zusammenhang mit statistisch oder sonst­ wie auswertenden Recheneinheiten eingesetzt werden kann, um die gewünschten Meßaufgaben zu lösen.

Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeichnung.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach­ stehend noch erläuterten Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinatio­ nen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Bewegungselementes nach Art eines einarmigen Hebels;

Fig. 2 eine Anordnung, ähnlich Fig. 1, jedoch mit einer Anordnung nach Art eines zwei­ armigen Hebels;

Fig. 3 eine weitere Anordnung ähnlich den Fig. 1 und 2, jedoch mit einer paral­ lelogrammartigen Führung;

Fig. 4 eine äußerst schematisierte Ansicht eines Wellenmeßgerätes nach dem Stand der Technik;

Fig. 5 eine ebenfalls äußerst schematisierte Darstellung eines Wellenmeßgerätes unter Einsatz eines Bewegungselementes nach Art der Fig. 3;

Fig. 6 eine schematisierte Darstellung eines Kreuztisches, der von den erfindungs­ gemäßen Bewegungselementen Gebrauch macht;

Fig. 7 einen Ausschnitt aus der Darstellung der Fig. 6 zur Erläuterung der Dimen­ sionierung der verwendeten erfindungs­ gemäßen Bewegungselemente;

Fig. 8 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer kreuztischartigen Anordnung, jedoch mit Justiermitteln für beide Achsen des Kreuztisches;

Fig. 9 ein Ausführungsbeispiel ähnlich Fig. 8, jedoch mit im Einzelnen dargestellten Sensoren;

Fig. 10 eine Schnittdarstellung in Seitenansicht eines in drei räumlichen Koordinaten­ richtungen auslenkbaren erfindungsgemäßen Bewegungselementes, in der Ansicht der Linie X-X von Fig. 11;

Fig. 11 eine Schnittdarstellung entlang der Linie XI-XI von Fig. 10.

In der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele der Fig. 1 bis 11 sind jeweils gleiche Elemente mit glei­ chen Bezugszeichen versehen, bei den unterschiedlichen Aus­ führungsbeispielen wurden nur diese Bezugszeichen durch Hin­ zufügung eines kleinen Buchstabens oder, falls das fragliche Element bei einem Ausführungsbeispiel mehrfach erscheint, durch Hinzufügung eines Buchstaben und einer weiteren arabi­ schen Zahl gekennzeichnet.

In Fig. 1 bezeichnet 10 insgesamt ein erstes Ausführungsbei­ spiel eines erfindungsgemäßen Bewegungselementes. Ein erstes, raumfestes Bauteil 11 ist mit einem zweiten, beweglichen Bauteil 12 verbunden, das einen Tastkopf 13 trägt, der wie­ derum an einem nur schematisch angedeuteten Objekt 14 an­ liegt. Das Objekt 14 kann beispielsweise die Oberfläche eines in seinen Abmessungen auszumessenden Werkstücks sein.

Das erste, raumfeste Bauteil 11 ist mit dem zweiten, beweg­ lichen Bauteil 12 über ein Federgelenk 16 federnd verbunden, wobei das Federgelenk 16 vorzugsweise als Filmscharnier aus­ gebildet ist. Die Bauteile 11 und 12 sind mit dem Federge­ lenk 16 aus einem einzigen Materialblock hergestellt, wobei als Werkstoff Kunststoffe oder Metalle, je nach gewünschten Material- und Federungseigenschaften, in Betracht kommen. So kann das Bewegungselement 10 beispielsweise aus einem Stück Federstahl durch Ausschneiden mittels eines Laserschneide­ geräts in einem einzigen Arbeitsgang hergestellt werden.

Um die Relativbewegung der Bauteile 11, 12 zueinander zu er­ fassen, die in Fig. 1 mit einem Pfeil 17 um die Schwenkachse des Federgelenks 16 herum angedeutet ist, ist ein Lagesensor 18 vorgesehen. Der Lagesensor 18 weist ein erstes Sensorteil 19, beispielsweise einen Empfänger, am ersten, raumfesten Bauteil sowie ein oder mehrere zweite Sensorteile 20, 21, beispielsweise Geber, am zweiten, beweglichen Bauteil 12 auf. Die Bewegung der Sensorteile 19 und 20 bzw. 21 zuein­ ander ist in Fig. 1 mit einem weiteren Pfeil 22 veranschau­ licht.

Als Lagesensoren 18 können die unterschiedlichsten bekannten Sensorarten eingesetzt werden, insbesondere Induktivgeber, magnetische Geber, kapazitive Geber, optische Geber u. dgl. mehr, wie dies an sich bekannt ist. Auch die in Fig. 1 dar­ gestellte gabelförmige Bauweise des Lagesensors 18 ist nur beispielhaft zu verstehen, weil selbstverständlich auch an­ dere Bauformen an sich bekannter Art eingesetzt werden können.

Wird der Tastkopf 13 auf eine zu messende Oberfläche des Ob­ jektivs 14 aufgesetzt oder gleitet er an einer konturierten Oberfläche des Objekts 14 entlang, so wird der Tastkopf 13 in Richtung des Pfeils 15 ausgelenkt und das zweite, beweg­ liche Bauteil 12 verschwenkt sich in Richtung des Pfeils 17. Hierdurch ändert sich der Abstand zwischen dem ersten Sensor­ teil 19 und den zweiten Sensorteilen 20, 21, und am ersten Sensorteil 19, wenn dieses als Empfänger ausgebildet ist, läßt sich ein Meßwert abnehmen, der der Auslenkung des Tast­ kopfes 13 in Richtung des Pfeils 15 entspricht. Der Tastkopf 13 setzt elektrisch auf die Oberfläche des Objekts 14 auf bzw. folgt einer Kontur dieser Oberfläche elastisch, weil das Federgelenk 16 eine entsprechende Rückstellkraft ausübt. Infolge der Einstückigkeit der Bauteile 11, 12 mit dem Feder­ gelenk 16 ist eine Haftreibung bei Auslenkung des zweiten, beweglichen Bauteils 12 in Richtung des Pfeils 17 ausge­ schlossen.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Bewegungselements 10 a ist die Anord­ nung ähnlich derjenigen der Fig. 1, jedoch besteht das zweite, bewegliche Bauteil 12 a aus einem zweiarmigen Hebel mit einem in Fig. 2 linken Hebelarm 30 und einem rechten Hebelarm 31, die wiederum über ein vorzugsweise als Film­ scharnier ausgebildetes Federgelenk 16 a mit dem ersten, beweglichen Bauteil 11 a verbunden sind.

Am freien Ende des linken Hebelarms 30 ist der Tastkopf 13 a angeordnet, während an einer Verlängerung des rechten Hebel­ arms 31 sich ein Teil des Sensors 18 a befindet.

Bei Auslenkung des Tastkopfes 13 a verschwenkt sich der zweiarmige Hebel 30, 31 um das Federgelenk 16 a in Richtung des Pfeils 17 a und am Lagesensor 18 a ist, unter Berücksich­ tigung der Übersetzung der Hebelarme 30, 31, ein Meßsignal abnehmbar.

Fig. 3 zeigt ein besonders bevorzugtes drittes Ausführungs­ beispiel eines erfindungsgemäßen Bewegungselementes 10 b, das in Gestalt eines Parallelogramms 33 ausgebildet ist. Hierbei besteht das erste, raumfeste Bauteil 11 b aus einem ersten festen Schenkel 34 des Parallelogramms 33. An beiden Enden des ersten festen Schenkels 34 sind Federgelenke 16 b/1 bzw. 16 b/2 angeordnet, die zu freien Schenkeln 36, 37 führen, die wiederum über weitere Federgelenke 16 b/3 bzw. 16 b/4 mit einem zum ersten festen Schenkel 34 parallelen zweiten, freien Schenkel 35 führen.

Am linken Ende des zweiten parallelen freien Schenkels 35 befindet sich der Tastkopf 13 b, so daß bei Auslenkung des Tastkopfes 13 b das Parallelogramm 33 in Richtung der Pfeile 17 b/1 bzw. 17 b/2 verschwenkt wird und der zweite parallele freie Schenkel 35 eine Bewegung ausübt, die eine Komponente in Richtung des Pfeils 38 parallel zur Erstreckung des Schenkels 35 aufweist.

Fig. 4 zeigt ein herkömmliches Wellenmeßgerät mit einer als Meßobjekt dienenden Welle 40. Die Welle 40 ist mit zwei Bunden 41, 42 größeren Durchmessers versehen, zwischen denen sich eine Eindrehung 43 geringeren Durchmessers befinden mag. Die Bunde 41′, 42 definieren radiale Schulterflächen 44, während die Oberfläche der Eindrehung 43 eine Umfangsfläche 45 bildet.

An der Außenkontur der Welle 40 mag es nun interessieren, die Maßhaltigkeit an verschiedenen Meßpunkten zu kennen, beispielsweise wenn der Meßpunkt 46/1 auf der Umfangsfläche des Bundes 41, eines Meßpunktes 46/2 auf dem Übergang von der Umfangsfläche zur Schulterfläche 44, eines Meßpunktes 46/3 auf der Schulterfläche 44, von Meßpunkten 46/4 und 46/5 auf der Umfangsfläche 45 der Eindrehung 43 sowie eines Meß­ punktes 46/6 auf der gegenüberliegenden Schulterfläche des zweiten Bundes 42, beispielsweise um die Maßhaltigkeit eines Durchmessers 47 oder eines axialen Maßes 48, in den Meßpunk­ ten 6/1 bzw. 46/6 zu überprüfen.

Hierzu verwendet man beim Stand der Technik Meßtaster 49 mit einem kugelkappenförmigen Tastkopf 50, der über ein geeig­ netes Gestänge gegen die Kraft einer Feder 51 ein Induktiv- Meßsystem 52 betätigt. Aufgrund des Durchmessers 53 des Meß­ tasters 49 sind jedoch Simultanmessungen an den Meßpunkten 46/1 bis 46/6 nicht möglich, weil mehrere Meßtaster 49 wegen des doch erheblichen Durchmessers 53 nicht unmittelbar neben­ einander angeordnet werden können.

Fig. 5 zeigt nun in Seitenansicht in vergrößertem Maßstab eine entsprechende Anordnung mit dem erfindungsgemäßen Bewegungselement 10 b, wie es prinzipiell bereits zu Fig. 3 geschildert wurde.

Das Bewegungselement 10 b, das bekanntlich nach Art eines Parallelogramms 33 b aufgebaut ist, trägt, in Abweichung vom Ausführungsbeispiel in Fig. 3, am rechten Ende des zweiten parallelen freien Schenkels 35 b einen rechtwinklig abstehen­ den schmalen Meßfortsatz 60, der sich somit im nicht-ausge­ lenkten Zustand des Parallelogramms 33 b in Verlängerung des vierten freien Schenkels 37 b erstreckt. Am freien Ende des Meßfortsatzes 60 ist der Tastkopf 13 b′ angeordnet, der bei­ spielsweise gerade am Meßpunkt 46/4 auf der Umfangsfläche 45 der Eindrehung 43 anliegt.

Vom zweiten parallelen freien Schenkel 35 b erstreckt sich nach unten in den vom Parallelogramm 3 b umschriebenen Be­ reich ein Fortsatz 61, der mit einem Eisenkern 62 in paral­ leler Ausrichtung zum zweiten parallelen freien Schenkel 35 versehen ist.

Vom ersten, festen Schenkel 34 b erstreckt sich nach oben ein weiterer Fortsatz 63, der den zuvor genannten Fortsatz 61 aufnimmt und eine Magnetspule 64 aufweist, in deren Luftraum 65 der Eisenkern 62 teilweise eintaucht.

Wird nun der Tastkopf 13 b′ ausgelenkt, so ist leicht einzu­ sehen, daß der Eisenkern 62 sich axial in den Luftraum 65 der Magnetspule 64 hineinbegibt, weil seine Bewegungsrich­ tung überwiegend parallel zum zweiten parallelen freien Schenkel 35 b verläuft und der geringfügige radiale Versatz vernachlässigbar klein ist.

Auf diese Weise erzeugt der so gebildete Lagesensor 18 b ein Meßsignal, das über eine Leitung 66 auf ein kontinuierlich anzeigendes Anzeigeelement 67 sowie auf eine Schwellwert­ stufe 68 geführt wird, die ihrerseits am Ausgang mit einer Leuchte 69 versehen ist. Das kontinuierlich anzeigende An­ zeigeelement 67 kann eine Analog- oder Digitalanzeige auf­ weisen, auch können in das kontinuierlich anzeigende Anzeige­ element 67 geeignete statistische Auswertmittel integriert sein, wie dies an sich bekannt ist. Der Schwellwertschalter 68 kann entweder eine Nullposition des Tastkopfs 13 b′ erfas­ sen und mittels der Leuchte 69 anzeigen, ebenso gut können aber auch vorbestimmte endliche Meßwerte vorgegeben werden, deren Erreichen durch Aufleuchten der Leuchte 69 angezeigt wird.

Es versteht sich, daß beim Bewegungselement 10 b der Fig. 5 ebenso wie bei den anderen Bewegungselementen 10, die im Rahmen der vorliegenden Erfindung beschrieben werden, nicht nur induktive Längssensoren 18 b, sondern auch andere Sensoren beliebiger Bauart verwendet werden können. Auch ist die Anord­ nung an den Fortsätzen 61 und 63 lediglich als Beispiel zu verstehen, die zwar, da sie im Umfang des Parallelogramms 33 b angeordnet ist, besonders raumsparend ist, jedoch bei entsprechenden Randbedingungen auch anders gewählt sein kann.

Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfin­ dungsgemäßen Bewegungselements 10 c, bei dem das erste, raum­ feste Bauteil 11 c als rechteckiger starrer Rahmen ausgebil­ det ist. Von den schmalen Innen-Seitenwänden des Rahmens führen Gelenkbaugruppen 79/1 und 79/2 zu einem beweglichen Bauteil 12 c/1, das wiederum als starrer rechteckförmiger Rahmen ausgebildet ist. Von dessen Innen-Längsseiten führen entsprechende Gelenkbaugruppen 79/3 und 79/4 zu einem weite­ ren beweglichen Bauteil 12 c/2, das beispielsweise als recht­ eckförmiger Objektträger mit einem Kopf 81 ausgebildet sein kann.

Die Gelenkbaugruppen 79 bestehen jeweils aus vier starren Schenkeln 80, von denen z. B. in der Gelenkbaugruppe 79/1 ein erster Schenkel 80/1 mittels eines Federgelenks 16 c/1 am ersten, raumfesten Bauteil 11 angelenkt ist, während sein entgegengesetztes Ende über ein weiteres Federgelenk 18 c/2 an einem weiteren Schenkel 80/2 angelenkt ist, dessen ent­ gegengesetztes Ende wiederum über ein weiteres Federgelenk 16 c/3 am beweglichen Bauteil 12 c/1 angelenkt ist. Symme­ trisch hierzu sind zwei weitere Schenkel 80/3 und 80/4 mit­ tels Federgelenken 16 c/4, 16 c/5 und 16 c/6 zwischen den Schmalseiten der die Bauteile 11 c und 12 c/1 bildenden recht­ eckförmigen Rahmen angeordnet. Insgesamt entsteht so für jede Gelenkbaugruppe 79 eine sechseckförmige Struktur mit jeweils sechs Gelenkpunkten in Gestalt der Federgelenke 16 c/ . . ., die wiederum vorzugsweise als Filmscharniere aus­ gebildet sind.

Durch geeignete Dimensionierung und Materialauswahl kann man bereits bei der Herstellung der Gelenkbaugruppen 79, die ebenfalls mittels Laserschneiden, Elektroerosion, Ätzen od. dgl. hergestellt werden können, erreichen, daß das bewegliche Bauteil 12 c/2 mit dem Kopf 81 bereits in einer definierten Ruheposition angeordnet ist. Ansonsten ist es durch Aufbrin­ gen von Kräften, wie sie in Fig. 6 mit Pfeilen 82 und 83 symbolisiert sind, möglich, das zweite Bauteil 12 c/2 in zwei zueinander rechtwinkligen Koordinatenrichtungen auszulenken, indem in der Darstellung der Fig. 6 eine Horizontalkraft in Richtung des Pfeils 82 auf den das bewegliche Bauteil 12 c/1 bildenden Rahmen und eine Vertikalkraft in Richtung des Pfeils 83 auf den das bewegliche Bauteil 12 c/2 bildenden Objektträger ausgeübt wird.

Auf diese Weise bildet das Bewegungselement 10 c der Fig. 6 einen Kreuztisch, der entweder zum Führen eines Objekts (Kopf 81) in zwei zueinander senkrechte Koordinatenrichtun­ gen dienen kann oder aber auch zum Verfolgen eines sich in einer Ebene bewegenden Objekts, indem auf dem Objektträger (bewegliches Bauteil 12 c/2) ein entsprechender Suchsensor, z. B. eine optische Reflektionseinrichtung, angebracht wird.

Fig. 7 zeigt noch ein Detail aus Fig. 6, nämlich den Schenkel 80/1 mit den daran angrenzenden Federgelenken 16 c/1 und 16 c/2, wobei sich aus dieser Detaildarstellung einige bevor­ zugte Dimensionierungsangaben ergeben. So kann der Schenkel 80/1 vorzugsweise auf einen Winkel von bis zu 20° oder dar­ über hinaus verschwenkbar sein, die Dicke d der als Feder­ gelenk 16 dienenden Filmscharniere kann bei Verwendung eines hochelastischen metallischen Werkstoffes z. B. 0,15 mm betra­ gen, die Dicke D des starren Teils der Schenkel 80/1 kann z. B. 4 mm betragen, und der Krümmungsradius im konkaven Über­ gang von den starren Teilen zu den Federgelenken 16 kann beispielsweise 2 mm betragen.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Bewegungselements 10 d ist in Fig. 8 dargestellt. In einem als Gehäuse 90 ausgebildeten ersten, raumfesten Bauteil 11 d sind zwei ineinanderliegende Parallelogramme 33 d/1 und 33 d/2 angeordnet. Hierzu ist der zweite parallele freie Schenkel 35 d/1 des äußeren Parallelogramms 33 d/1 mit einer Brücke 96 versehen, die zum ersten, festen Schenkel 34 d/2 des inneren Parallelogramms 33 d/2 führt.

Eine erste Justierschraube 95 ist durch das Gehäuse 90 ein­ drehbar und sitzt mit ihrem freien Ende auf dem dritten freien Schenkel 36 d/1 des äußeren Parallelogramms 33 d/1 auf, so daß dieses in der Darstellung der Fig. 8 in vertikaler Richtung in seiner Ausgangslage einjustiert werden kann.

Eine zweite Justierschraube 103 ist ebenfalls durch das Ge­ häuse 90 schraubbar, durchsetzt ein Langloch 104 im zweiten parallelen freien Schenkel 35 d/1 des äußeren Parallelogramms 33 d/1 und sitzt mit seinem freien Ende auf dem vierten freien Schenkel 37 d/2 des inneren Parallelogramms 33 d/2 auf. Auf diese Weise kann durch Verdrehen der zweiten Justier­ schraube 103 das innere Parallelogramm 33 d/2 in horizontaler Richtung in seiner Ausgangslage einjustiert werden. Das Lang­ loch 104 ist in diesem Falle so ausgebildet, daß die zweite Justierschraube 103 auch bei einer Vertikalbewegung des zweiten parallelen freien Schenkels 35 d/1 des äußeren Paral­ lelogramms 33 d/1 nicht berührt wird.

Der zweite parallele freie Schenkel 35 d/2 des inneren Paral­ lelogramms 33 d/2 ist mit einer Halterung 101 für einen Kern 102 versehen, wobei der Kern 102 repräsentativ für ein zu positionierendes Objekt, für einen Lagesensor, für einen Verfolgungssensor od. dgl. steht.

Das in Fig. 9 dargestellte weitere erfindungsgemäße Bewegungs­ element 10 e entspricht von der Kinematik her dem Bewegungs­ element 10 d der Fig. 8.

Ergänzend ist in Fig. 9 nur gezeigt, daß an verschiedenen Stellen des äußeren Parallelogramms 33 e/1 bzw. des inneren Parallelogramms 33 e/2 Fortsätze 110, 11 oder 112 angebracht werden können, um dort Lagesensoren, Objekte od. dgl. zu fixieren.

So kann z. B. der erste Fortsatz 110 am inneren Parallelo­ gramm 33 e/2 zum Fixieren eines Objekts dienen. Der zweite Fortsatz 111 am inneren Parallelogramm 33 e/2 kann ein Teil eines Lagesensors 18 e/1 tragen, wobei bei der Dimensionie­ rung und Positionierung der Teile des Lagesensors 18 e/1 zu berücksichtigen ist, daß der zweite Fortsatz 111 nicht nur die Vertikalbewegung des inneren Parallelogramms 33 e/2, son­ dern auch die Horizontalbewegung des äußeren Parallelogramms 33 e/1 mitmacht. Es muß also für eine genügende Überdeckung der miteinander in Wirkungsverbindung tretenden Teile des Längssensors 18 e/1 gesorgt werden.

Schließlich kann der dritte Fortsatz 112 am äußeren Paralle­ logramm 33 e/1 mit einem oder mehreren Lagesensoren 18 e/2 oder 18 e/3 versehen werden, um die Horizontalbewegungen des äußeren Parallelogramms 33 e/1 zu erfassen.

Die Fig. 10 und 11 zeigen schließlich noch eine weitere Variante eines erfindungsgemäßen Bewegungselements 10 f, das über drei ineinander verschachtelte Parallelogramme 33 f/1, 33 f/2 und 33 f/3 verfügt.

Wie man leicht aus den beiden Schnittdarstellungen der Fig. 10 und 11 erkennen kann, ist die Anordnung so getroffen, daß die drei genannten Parallelogramme 33 f/1, 33 f/2 und 33 f/3 in drei zueinander senkrechten Koordinatenrichtungen wirksam sind, so daß das bewegliche Teil 12 f am innersten Parallelogramm 33 f/3 in drei zueinander senkrechten Koordi­ natenrichtungen d. h. frei im Raum bewegbar ist.

Claims (26)

1. Bewegungselement für Feinmeß- oder Justiergeräte mit mindestens einem Federgelenk (16), dadurch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) mit seinen angrenzenden Bau­ teilen (11, 12; 80) einstückig ausgebildet ist.

2. Bewegungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je zwei von mindestens vier als starre Schenkel (34, 35, 36, 37) ausgebildeten Bauteilen durch ein Federgelenk (16) zu mindestens einem in seinen Eckpunk­ ten elastisch verformbaren Parallelogramm (33) verbun­ den sind, wobei wenigstens ein Schenkel (34) bei der Verformung des ihm zugeordneten Parallelogramms (33) unverschiebbar ist.

3. Bewegungselement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schenkel (35 d/1) eines ersten Parallelogramms (33 d /1; 33 e/1; 33 f/1) mit einem Schenkel (34 d/2) eines zweiten Parallelogramms (33 d/2; 33 e/2; 33 f/2) vorzugs­ weise starr und einstückig verbunden ist.

4. Bewegungselement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Parallelogramm (33 d/2; 33 e/2; 33 f/2) innerhalb einer durch Schenkel (34 d/1, 35 d/1, 36 d/1, 36 d/2) des ersten Parallelogramms (33 d/1; 33 e/1; 33 f/1) gebildeten Umrißlinie liegt.

5. Bewegungselement nach Anspruch 3 oder 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß mehr als zwei Parallelogramme, vor­ zugsweise drei Parallelogramme (33 f/1, 33 f/2, 33 f/3) in den drei Raumebenen zugeordnet, miteinander verbunden sind.

6. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß mindestens ein bewegliches Bauteil (12) bzw. Schenkel (35) mit einem an ein Meß­ objekt (14) anlegbaren Tastkopf (13) versehen ist.

7. Bewegungselement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß der Tastkopf (13 a; 13 b′) an einem Fortsatz (30; 60; 102) des Bauteils (12 a) bzw. Schenkels (35 b, 35 d/2) angeordnet ist.

8. Bewegungselement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich­ net, daß der Fortsatz (60) rechtwinklig vom beweglichen Schenkel (35 b) in Verlängerung eines weiteren bewegli­ chen Schenkels (37 b) eines Parallelogramms (33 b) ab­ steht.

9. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß mindestens ein bewegliches Bauteil (12) bzw. Schenkel (35 b) mit einem ersten Teil (19; 62) und mindestens ein festes Bauteil (11) bzw. Schenkel (34 b) mit einem zweiten Teil (20; 64) eines Lagesensors (18) versehen sind.

10. Bewegungselement nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß die Teile (62, 64) an einem Fortsatz (31; 61; 63, 111, 112) des Bauteils (12 a) bzw. Schenkels (34 b, 35 b) angeordnet sind.

11. Bewegungselement nach Anspruch 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagesensor ein Induktivsensor (18 b) ist.

12. Bewegungselement nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß der Induktivsensor (18 b) einen in eine Spule (64) tauchenden Kern (62) aufweist.

13. Bewegungselement nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich­ net, daß der Kern (62) und die Spule (64) achsparallel zum beweglichen Schenkel (35 b) angeordnet sind.

14. Bewegungselement nach Anspruch 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagesensor (18) ein kapazitiver Sensor ist.

15. Bewegungselement nach Anspruch 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagesensor (18) einen Magneten sowie ein magnetfeldempfindliches Element, insbesondere Hall-Element, Feldplatte od. dgl. aufweist.

16. Bewegungselement nach Anspruch 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Lagesensor (18) ein einen Licht­ strahl aussendendes Teil und ein fotoempfindliches Teil aufweist, die relativ zueinander verschiebbar sind.

17. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 9 bis 16, da­ durch gekennzeichnet, daß der Lagesensor (18 b) an eine Schwellwertstufe (68) mit nachgeordneter Anzeige (69) angeschlossen ist.

18. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) als Filmscharnier ausgebildet ist.

19. Bewegungselement nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich­ net, daß zumindest eine Seitenwand des Filmscharniers entlang einer vorzugsweise kreisförmigen konkaven Kurve ausgebildet ist.

20. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 19, da­ durch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) so aus­ gebildet ist, daß seine Schenkel (80) von einem Winkel von 0° mindestens bis zu einem solchen von 45°, vorzugs­ weise bis zu 180°, bringbar sind.

21. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 19, da­ durch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) so aus­ gebildet ist, daß seine Schenkel (80) in einem Winkel von bis zu maximal 3° aus ihrer Lage schwenkbar sind.

22. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 21, da­ durch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) mit sei­ nen angrenzenden Bauteilen (11, 12; 80) aus Kunststoff besteht.

23. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 21, da­ durch gekennzeichnet, daß das Federgelenk (16) aus Metall, vorzugsweise aus Federstahl, besteht.

24. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 6 bis 23, da­ durch gekennzeichnet, daß es Teil eines Wellenmeßgerätes ist und daß das Meßobjekt (14) die Außenkontur einer Welle (40) ist.

25. Bewegungselement nach einem der Ansprüche 3 bis 23, da­ durch gekennzeichnet, daß es Teil eines Kreuztisches ist.

26. Meß- oder Justierverfahren für ein Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, beispielsweise mit elektroni­ schen Meßwertabgreifern, dadurch gekennzeichnet, daß die abgegriffenen Meß- oder vorgegebenen Justierwerte einem Tabellenrechner zugeleitet werden, der eine empi­ risch ermittelte oder rechnerisch festgelegte Fehlerab­ weichung mathematisch berücksichtigt und den Wert kor­ rigiert, wonach der korrigierte Wert einer Anzeigevor­ richtung oder Steuervorrichtung zugeleitet wird.