DE60004441T2 - System zur Sitzreproduzierbarkeit in einem Tastkopf mit einer Doppelverschiebung der Kontaktpunkte - Google Patents

System zur Sitzreproduzierbarkeit in einem Tastkopf mit einer Doppelverschiebung der Kontaktpunkte Download PDF

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes, der in einer Koordinatenmeßmaschine eingebaut ist. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes, der ein feststehendes Bauteil und ein bewegliches Bauteil aufweist, wobei das Sitzreproduziersystem eine Verschiebung des beweglichen Bauteils relativ zu dem feststehenden Bauteil ermöglicht, wenn auf das bewegliche Bauteil eine äußere Kraft ausgeübt wird, und eine Rückstellung des beweglichen Bauteils in eine Ruheposition ermöglicht, wenn die auf das bewegliche Bauteil ausgeübte Kraft aufhört.
  • Ein Tastkopf wird in einer Koordinatenmeßmaschine zur Feststellung eines Kontakts (einer Berührung) benutzt. Der Tastkopf der Koordinatenmeßmaschine ist in Richtung dreier Dimensionen bewegbar und berührt ein Werkstück auf einem feststehenden Tisch, und es wird ein Koordinatenwert der jeweiligen Achsen (der jeweiligen Achsen in den Richtungen der drei Dimensionen), wenn der Tastkopf das Werkstück berührt, als elektrischer Auslöser erfaßt, so daß Dimension und Konfiguration des Werkstücks auf der Basis des Koordinatenwertes gemessen wird. Die Position des Tastkopfes kann daher als elektrisches Berührungssignal bei der Berührung von Tastkopf und Werkstück festgestellt werden.
  • 5 stellt einen herkömmlichen Tastkopf dar. Er hat einen Taststift 1, der an einem beweglichen Bauteil 2 befestigt ist. Am distalen Ende des Taststiftes 1 ist eine Kontaktkugel 4 vorgesehen. Am Umfang des beweglichen Bauteils 2 ragen drei zylindrische Körper 3 in Abständen von 120° um die Achse des Taststiftes 1 in einer zur Achse des Taststiftes 1 senkrechten Ebene radial nach außen. Dagegen hat das feststehende Bauteil 5 drei Paare zylindrischer Körper 6 in einer dem zylindrischen Körpern 3 des beweglichen Bauteils 2 entsprechenden Position. Die zylindrischen Körper 3 und 6 bilden eine Sitzrepoduzierkomponente zur Begrenzung der relativen Position des feststehenden Bauteils 5 und des beweglichen Bauteils 2 auf eine Stelle.
  • Bei dieser Anordnung wird das bewegliche Bauteil 2 durch eine Vorbelastungskraft F eines (nicht dargestellten) Vorbelastungsbauteils gegen das feststehende Bauteil 5 gedrückt, und das bewegliche Bauteil 2 zwangsweise durch das Sitzreproduzierbauteil mit dem feststehenden Bauteil in Kontakt gebracht. Wenn das Werkstück keine Druckkraft auf das distale Ende des Taststiftes 1 ausübt, liegt das bewegliche Bauteil 2 an sechs Kontaktpunkten am feststehenden Bauteil an. Mit anderen Worten, jeder zylindrische Körper 3 des beweglichen Bauteils 2 liegt jeweils an zwei Punkten jeweils eines Paares zylindrischer Körper 6 an, mithin gibt es insgesamt sechs Berührungspunkte. Das Sitzreproduziersystem wird daher als Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten bezeichnet.
  • Bei dem Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten kann mithin die reproduzierte Position des beweglichen Bauteils nach einer Wegbewegung auf nur eine Stelle lo kalisiert werden. Mit anderen Worten, wenn man annimmt, daß der Taststift 1 parallel zur Axialrichtung in die Ruheposition des Taststiftes 1 gebracht wird, aber der Kontakt zwischen dem Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und des Sitzreproduzierbauteils auf seiten des feststehenden Bauteils zu den jeweiligen Kontaktpunkten hin beibehalten wird, dann kreuzen die Orte, die das distale Ende des Taststiftes durchläuft, die Achse des Taststiftes in der Ruheposition. Bei dieser Anordnung kehrt der Taststift 1 nur durch Wiederherstellung des Kontakts mit den jeweiligen Kontaktpunkten durch die Vorbelastungskraft F bei der Rückbewegung nach der Wegbewegung des beweglichen Bauteils 2 durch die Druckkraft des Werkstücks in eine einzige Ruheposition zurück, so daß die Ruheposition des Taststiftes 1 konstant gehalten werden kann.
  • Da die Position des beweglichen Bauteils relativ zu dem feststehenden Bauteil durch das Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten immer auf dieselbe Stelle eingestellt werden kann, hat dieses Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten eine hohe Antivibrationssteifigkeit. Ferner hat das Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten unabhängig von der Richtung der äußeren Druckkraft eine hohe Sitzreproduzierfähigkeit in einer verhältnismäßig groben Einheit von beispielsweise 10.m.
  • Das obige Sitzreproduziersystem mit sechs Kontaktpunkten bewirkt jedoch einen Fehler ("Sitzverschiebungsfehler") in einer weiteren feinen Einheit von beispielsweise 1.m, der bei einer Rückbewegung nach dem Kontakt festgestellt und dadurch bewirkt wird, daß das Werkstück während der Wegbewegung des beweglichen Bauteils, um eine Verschiebung relativ zu dem feststehen den Bauteil zu bewirken, gegen das bewegliche Bauteil drückt.
  • Insbesondere wenn die Kontaktkugel 4 gemäß 6(A) das Werkstück W bei dem herkömmlichen Sitzreproduziersystem berührt, bewegt sich der Taststift 1 nach links in der Figur, wie es in 6(B) dargestellt ist. Dabei tritt eine geringe Reaktionskraft zwischen dem beweglichen Bauteil 2 und dem feststehenden Bauteil 5 auf, so daß das bewegliche Bauteil 2 etwas nach links in der Figur ausgelenkt wird. Wenn das Werkstück W und der Taststift 1, der mit dem beweglichen Bauteil 2 verbunden ist, sich nicht mehr berühren, wie es in 6(C) dargestellt ist, führt das bewegliche Bauteil 2 die Rückbewegung aufgrund der Vorbelastungskraft F aus, wobei die axiale Position des beweglichen Bauteils 2 aufgrund der erwähnten Auslenkbewegung verschoben wird. Die Verschiebung beeinträchtigt unmittelbar die Meßgenauigkeit des Tastkopfes.
  • Der Anmelder vorliegender Erfindung hat ein Sitzreproduziersystem vorgeschlagen, das in der Lage ist, eine Positionsverschiebung nach einer Rückbewegung gemäß 7 (europäische Patentanmeldung 0764827 A2 ) zu korrigieren, wobei der Sitzreproduzierfehler durch ein piezoelektrisches Element zur Administrierung der Richtung der Reibungskraft, die auf einen Kontaktpunkt zwischen dem beweglichen Bauteil und dem feststehenden Bauteil des Sitzreproduziersystems ausgeübt wird, korrigiert wird.
  • Das Sitzreproduziersystem hat ein feststehendes Bauteil 11, ein bewegliches Bauteil 21 und einen (nicht dargestellten) Vorbelastungskraftgenerator, der in der Lage ist, eine Verschiebung des beweglichen Bauteils 21 re lativ zum feststehenden Bauteil zuzulassen, wenn von außen eine Kraft auf das bewegliche Bauteil ausgeübt wird, und in der Lage ist, das bewegliche Bauteil 21 in eine Ruhelage zurückzubringen, wenn die Kraft nicht auf das bewegliche Bauteil 21 ausgeübt wird.
  • Das bewegliche Bauteil 21 hat einen von diesem abstehenden Taststift 22 mit einer Kontaktkugel 24 zur Kontaktierung des Werkstücks und drei zylindrischen Körpern 23, die in Abständen von 120° radial um die Achse des Taststiftes 22 herum abstehen, um mit dem feststehenden Bauteil 11 in Kontakt gebracht zu werden.
  • Der mittlere Teil des feststehenden Bauteils 11 ist an einem (nicht dargestellten) Gehäuse des Tastkopfes befestigt und mit drei Armen 12 versehen, die sich in Abständen von 120° um die Achse des Taststiftes 22 herum radial erstrecken. An einer oberen Oberfläche eines Endes der betreffenden Arme 12 ist jeweils ein Paar harter Kugeln 13 angeordnet.
  • Ferner ist ein piezoelektrisches Element 14 als Verschiebungsgenerator als ein inneres Teil relativ zu den harten Kugeln 13 der jeweiligen Arme 12 vorgesehen, wobei die piezoelektrischen Elemente radial etwa längs der Achse des Taststiftes 22 streckbar sind.
  • Wenn an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente eine Spannung angelegt wird, verschieben sich die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 14 synchron, so daß die jeweiligen harten Kugeln 13 sich etwa in radialer Richtung um die Achse des Taststiftes 22 herum verschieben. Dabei ist die Verschiebung bei der vorliegenden Anordnung eine Art "statische" Verschiebung und keine Vibra tion, bei der sich winzige Bewegungen der piezoelektrischen Elemente wiederholen.
  • Die Richtung der Reibungskraft in den jeweiligen Kontaktpunkten zwischen dem zylindrischen Körper 23 und der harten Kugel 13 wird durch die Verschiebung geradlinig ausgerichtet, so daß die Sitzreproduktionsposition so justiert werden kann, daß das bewegliche Bauteil durch die Vorbelastungskraft zurückgestellt wird.
  • Bei der vorstehend beschriebenen Einrichtung kann zwar die "axiale Verschiebung", d.h. der Sitzreproduzierungsverschiebungsfehler in axialer Richtung des zylindrischen Körpers 22 wirksam korrigiert werden, doch kann der "Fehler in Umfangsrichtung", d.h. der Sitzreproduzierungsverschiebungsfehler in Umfangsrichtung um die Achse des Taststiftes 22 herum, nicht hinreichend korrigiert werden.
  • Insbesondere, wenn das bewegliche Bauteil 21 gemäß 8(A) (von oben in 7 gesehen) und 8(B) (von der Seite her auf die Achse des zylindrischen Körpers 23 gesehen) die Rückbewegung ausführt, nachdem der Taststift 22 das Werkstück berührte, kann der zylindrische Körper 23 in Umfangsrichtung um die Achse des Taststiftes 22 herum verschoben werden, so daß er nur durch eine der harten Kugeln 13 abgestützt wird. Wenn der zylindrische Körper 23 in Richtung der Achse verschoben wird, während er in Umfangsrichtung verschoben wird, gleitet der zylindrische Körper 23 in Axialrichtung, während er die Verschiebung in Umfangsrichtung gemäß 8(C) bis 8(H) beibehält, so daß die Verschiebung in Umfangsrichtung nicht hinreichend eliminiert werden kann.
  • Es wird vermutet, daß obiges Phänomen dadurch verursacht wird, daß die Wirkung der Vorbelastungskraft zur Eliminierung der Verschiebung in Umfangsrichtung durch die Oberflächenverformungsenergie der harten Kugeln 13 blockiert wird.
  • Insbesondere wird eine winzige elastische Verformung im Kontaktpunkt P1 zwischen dem zylindrischen Körper 23 als das Sitzreproduzierbauteil auf der Seite des beweglichen Bauteils und der harten Kugel 13 als das Sitzreproduzierbauteil auf der Seite des feststehenden Bauteils sowohl auf der Seite des zylindrischen Körpers 23 als auch der Seite der harten Kugel 13 bewirkt. Unmittelbar nachdem der Taststift 22 nicht mehr mit dem Werkstück in Berührung steht und das bewegliche Bauteil 21 die Rückstellbewegung ausführt, gibt es eine Dispersion in der Richtung der elastischen Verformung in den jeweiligen Kontaktpunkten P1a und P1b zwischen dem zylindrischen Körper 23 als das Sitzreproduzierbauteil auf der Seite des beweglichen Bauteils und der harten Kugel 13 als das Sitzreproduzierbauteil auf der Seite des feststehenden Bauteils und der auf den jeweiligen Kontaktpunkt ausgeübten Kraft. Obwohl geringfügig, nimmt der elastisch verformte Teil eine relative Verschiebung des beweglichen Bauteils 21 und des feststehenden Bauteils 11 auf, so daß die Rückstellbewegung durch die Vorbelastungskraft blockiert wird.
  • Wenn die Verschiebungsspannung synchron an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 14 angelegt wird, bewegen sich die jeweiligen harten Kugeln 13 radial zur Achse des Taststiftes 22 relativ zu ihrer Ruhelage vor und zurück. Mithin gleitet der zylindrische Körper 23 kurzzeitig in Axialrichtung relativ zur harten Kugel 13. Und der Kontaktpunkt am zylindrischen Körper 23 be wegt sich der Reihe nach von P1a in 8(A) nach P2 in 8(C), P3 in 8(E) und P4 in 8(G). Daher kann die Richtung der elastischen Verformung an den Kontaktpunkten und die auf die Kontaktpunkte ausgeübte Kraft auf der Seite des zylindrischen Körpers 23 ausgeglichen und mithin die axiale Verschiebung eliminiert werden.
  • Wie jedoch die 8(B), 8(D), 8(F) und 8(H) zeigen, bleibt der Kontaktpunkt P1B auf der harten Kugel 13 an derselben Stelle, und zwar unabhängig von der Verschiebung des zylindrischen Körpers 23, so daß die elastische Verformung nicht ausgeglichen werden kann. Daher wirkt die Oberflächenverformungsenergie zur Verhinderung der Rückstellung des zylindrischen Körpers 23 in Umfangsrichtung weiter auf den Kontaktpunkt P1B auf der Seite der harten Kugel 13, was als Ursache dafür angesehen wird, daß die Umfangsverschiebung nicht beseitigt wird. Da die Umfangsveruschiebung weiterhin bestehen bleibt, kann die Sitzverschiebung nicht mit sehr hoher Genauigkeit korrigiert werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes anzugeben, das in der Lage ist, einen Sitzverschiebungsfehler nach der Rückbewegung des beweglichen Bauteils mit hoher Genauigkeit zu korrigieren.
  • Die Erfindung besteht in einem Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes, das aufweist: ein feststehendes Bauteil, ein bewegliches Bauteil mit einem Taststift; ein erstes Sitzreproduzierbauteil an dem feststehenden Bauteil und ein zweites Sitzreproduzierbauteil an dem beweglichen Bauteil, wobei das zweite Sitzreproduzierbauteil das erste Sitzreproduzierbauteil an einem Kontakt punktpaar an drei auseinanderliegenden Stellen berührt, wobei das Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes eine Verschiebung des beweglichen Bauteils relativ zu dem feststehenden Bauteil ermöglicht, wenn auf den Taststift eine äußere Kraft ausgeübt wird, und eine Rückstellung des beweglichen Bauteils in eine Ruheposition ermöglicht, wenn die äußere Kraft nicht aufgrund einer Vorbelastungskraft auf den Taststift ausgeübt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite Sitzreproduzierbbauteil so geformt sind, daß sich die Kontaktpunkte an dem feststehenden Bauteil und die Kontaktpunkte an dem beweglichen Bauteil während einer relativen gleitenden Verschiebung der Bauteile während der Rückkehr des beweglichen Bauteils in die Ruheposition um wenigstens einen vorbestimmten Weg ändern.
  • Erfindungsgemäß ändern der Kontaktpunkt an dem feststehenden Bauteil und der Kontaktpunkt an dem beweglichen Bauteil während der Rückstellbewegung des beweglichen Bauteils ihre Position. Daher behält weder der Kontaktpunkt an dem feststehenden Bauteil noch der Kontaktpunkt an dem beweglichen Bauteil seine elastische Verformung während der Verschiebung bei, im Gegensatz zu der herkömmlichen Anordnung, so daß die Oberflächenverformungsenergie durch die elastische Verformung durch die Verschiebung eliminiert wird. Daher wirkt keine Kraft zur Verhinderung der Rückstellung in die Ruheposition auf einen der Kontaktpunkte am feststehenden Bauteil und dem beweglichen Bauteil, so daß der Verschiebungsfehler bei der Sitzreproduktion wirksam korrigiert werden kann.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes kann der vorbestimmte Weg größer als die hertzsche elastische Verformung sein, die an den Berüh rungspunkten auf dem feststehenden Bauteil und dem beweglichen Bauteil bewirkt wird.
  • Da der Bewegungsbetrag an den Kontaktpunkten auf dem feststehenden Bauteil und dem beweglichen Bauteil die hertzsche elastische Verformung überschreitet, kann die Oberflächenverformungsenergie hinreichend durch elastische Verformung beseitigt werden, so daß eine wirksame Verschiebungskorrektur möglich ist.
  • Bei obiger Anordnung kann der Kontaktpunktverschieber vorzugsweise aufweisen: eine gekrümmte Oberfläche auf dem einen der beiden Sitzreproduzierbauteile; eine geneigte Oberfläche auf dem anderen der beiden Sitzreproduzierbauteile, wobei die geneigte Oberfläche relativ zu einer Radialrichtung zu einer Achse des Taststiftes geneigt ist; und eine Antriebsquelle zur Relativverschiebung des ersten Sitzreproduzierbauteils und des zweiten Sitzreproduzierbauteils.
  • Bei dieser Anordnung kann die Position beider Kontaktteile auf dem beweglichen Bauteil und dem feststehenden Bauteil durch eine einzige Antriebsquelle geändert werden. Daher kann der Aufbau des Sitzreproduziersystems vereinfacht werden.
  • Vorzugsweise ist das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile ein Paar harte Kugeln und das andere ein zylindrischer Körper mit einem konischen äußeren Umfang.
  • Alternativ kann das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile ein Paar zylindrischer Körper in V-förmiger Anordnung und das andere ein zylindrischer Körper mit konischem äußeren Umfang sein.
  • Als weitere Alternative kann das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile eine harte Kugel und das andere eine V-förmige Nut mit einer relativ zur Radialrichtung der Achse des Taststiftes geneigten Schnittfläche sein.
  • Bei obiger Konfiguration kann der erfindungsgemäße Effekt nur durch Änderung eines Teils eines Bauteils des herkömmlichen Sitzreproduziersystems erzielt werden. Daher können herkömmliche Herstellungseinrichtungen, Fertigungsteile und Herstellungsverfahren bei der Herstellung des erfindungsgemäßen Erzeugnisses benutzt bzw. angewandt werden, so daß wesentlich höhere Herstellungskosten vermieden werden. Ferner kann ein Bauteil auf einfache Weise mit hoher Genauigkeit hergestellt werden, so daß es einfach ist, den erfindungsgemäßen Effekt zu realisieren.
  • Bei dem obigen System enthält der Kontaktpunktverschieber vorzugsweise einen Verschiebungsgenerator zur relativen Verschiebung des ersten Sitzreproduzierbauteils und des zweiten Sitzreproduzierbauteils auf jeweiligen Berührungspunkten zwischen dem ersten Sitzreproduzierbauteil und dem zweiten Sitzreproduzierbauteil unter Aufrechterhaltung der Berührung zwischen dem beweglichen Bauteil und dem feststehenden Bauteil, nachdem die äußere Kraft nicht mehr auf das bewegliche Bauteil ausgeübt wird, um schließlich das bewegliche Bauteil in die Ruheposition zurückzubringen, wobei der Verschiebungsgenerator auch als Antriebsquelle dient.
  • Bei vorliegender Erfindung kann die Verschiebung in Umfangsrichtung während der Rückbewegung selbst ohne Verschiebungsgenerator durch Änderungen der Positionen beider Kontaktpunkte auf dem feststehenden Bauteil und dem beweglichen Bauteil, beispielsweise während einer winzigen Gleitverschiebung bei der Rückstellung des beweglichen Bauteils in die Ruhelage korrigiert werden. In diesem Fall ist die Antriebsquelle ein Mechanismus zur Rückstellung des beweglichen Bauteils in eine Anfangslage.
  • Ferner kann wenigstens eines der beiden Sitzreproduzierbauteile gedreht werden, um die Positionen der Kontaktpunkte sowohl auf dem feststehenden Bauteil als auch dem beweglichen Bauteil ohne Relativverschiebung des feststehenden und des beweglichen Bauteils zu ändern. In diesem Fall dient der Drehmechanismus als Antriebsquelle.
  • Wenn der Verschiebungsgenerator jedoch vorgesehen ist, um eine Relativverschiebung des feststehenden und des beweglichen Bauteils nach ihrer Rückbewegung zu bewirken, kann die Verschiebung in Umfangsrichtung durch einen einfachen Aufbau mit hoher Genauigkeit korrigiert werden.
  • Hierbei ist vorzugsweise dafür gesorgt, daß der Verschiebungsgenerator das jeweilige feststehende und das jeweilige bewegliche Bauteil nur in einer einzigen Richtung verschiebt.
  • Obwohl die vorstehend beschriebene Erfindung mittels piezoelektrischer Elemente zur Verschiebung in einer Vielzahl verschiedener Richtungen realisiert werden kann, kann der Aufbau kompliziert sein. Bei obiger Anordnung kann der Effekt der vorliegenden Erfindung dadurch erreicht werden, daß nur ein Verschiebungsgenerator für jede Kombination aus feststehendem und beweglichem Bauteil vorgesehen wird. Daher kann der Aufbau des Sitzreproduziersystems vereinfacht werden, ohne seine Herstellungskosten wesentlich zu erhöhen.
  • In den beiliegenden Zeichnungen stellen dar:
  • 1 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sitzreproduziersystems für einen Tastkopf,
  • 2(A) bis (H) Darstellungen zur Veranschaulichung eines Effekts der ersten Ausführungsform, wobei (A), (C), (E) und (G) Darstellungen der relativen Verschiebung eines zylindrischen Körpers 44 und einer harten Kugel 34, von dem beweglichen Bauteil aus gesehen, und (B), (D), (F) und (H) Endansichten von Querschnitten senkrecht zur Verschiebungsrichtung sind, wobei der Querschnitt den zylindrischen Körper 44, die harte Kugel 34 und deren Kontaktpunkt aufweist;
  • 3 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sitzreproduziersystems eines Tastkopfes;
  • 4 eine perspektivische Ansicht einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sitzreproduziersystems eines Tastkopfes;
  • 5 eine perspektivische Ansicht eines herkömmlichen Sitzreproduziersystems eines Tastkopfes;
  • 6 eine Darstellung zur Veranschaulichung des bei dem herkömmlichen Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes auftretenden Problems,
  • 7 eine perspektivische Ansicht eines herkömmlichen Sitzreproduziersystems mit einem Verschiebungsgenerator und
  • 8(A) bis (H) Darstellungen eines Problems, das bei dem herkömmlichen Sitzreproduziersystem mit dem Verschiebungsgenerator auftritt, wobei (A), (C), (E) und (G) Darstellungen der relativen Verschiebung des zylindrischen Körpers 23 und der harten Kugel 13, von dem beweglichen Bauteil aus gesehen, und (B), (D), (F) und (H) Endansichten von Querschnitten senkrecht zur Verschiebungsrichtung sind, wobei der Querschnitt den zylindrischen Körper 23, die harte Kugel 13 und deren Kontaktpunkt aufweist.
  • Nachstehend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Dabei sind bei den jeweiligen Ausführungsformen die gleichen Bezugszahlen an den gleichen Bauteilen angebracht, um deren Beschreibung zu erübrigen oder zu vereinfachen.
  • [Erste Ausführungsform]
  • 1 stellt eine erste Ausführungsform der Erfindung dar. Der Tastkopf 10 der ersten Ausführungsform weist ein feststehendes Bauteil 31, ein bewegliches Bauteil 41 mit einem Taststift 42 und ein Sitzreproduziersystem 10A zwischen dem feststehenden Bauteil 31 und dem beweglichen Bauteil 41 auf.
  • Das feststehende Bauteil 31 hat einen Basisteil mit einem durchgehenden Loch 35 zur Durchführung des Taststiftes 42 und drei Tragarme 32, die sich von dem Basisteil radial zur Taststiftachse in Abständen von 120° erstrecken. Auf jedem Tragarm 32 ist jeweils ein Paar harte Kugeln 34 neben dessen distalen Ende und ferner ein piezoelektrisches Element 33 zum Ausdehnen und Zusammenziehen des Tragarms durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen den harten Kugeln 34 und dem Basisteil vorgesehen.
  • Die harte Kugel 34 bildet ein Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils und das piezoelektrische Element 33 einen erfindungsgemäßen Verschiebungsgenerator.
  • Am freien Ende des Taststiftes 42 ist eine Kontaktkugel 43 vorgesehen, die mit dem Werkstück in Kontakt gebracht werden soll. Ferner hat das bewegliche Bauteil 41 drei zylindrische Körper 44, die sich radial zur Achse des Taststiftes 42 in Abständen von 120° erstrecken und einen äußeren Umfang mit einem sich auf einen Durchmesser verringernden Ende aufweisen, der kleiner als der am basisseitigen Ende ist, wobei das zugespitzte Ende eine Position einnimmt, die der Mitte der Basis des Paares aus harten Kugeln 34 entspricht. Der zylindrische Körper 44 bildet ein erfindungsgemäßes Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils.
  • Wenn die Kontaktkugel 43 bei obiger Anordnung mit dem Werkstück außer Kontakt kommt und das bewegliche Bauteil 41 eine Rückstellbewegung ausführt, stellt das be wegliche Bauteil 41 durch eine Vorbelastungskraft wieder den Kontakt mit dem feststehenden Bauteil her. Bei dieser Kontakt- und Rückstellbewegung gleiten die zylindrischen Körper 44 jeweils in einer Richtung, die annähernd entgegengesetzt zu dem Kontaktpunkt mit dem Werkstück relativ zu den jeweiligen harten Kugeln 34 ist, um verschoben zu werden.
  • Da die zylindrischen Körper 44 jedoch eine schräge Oberfläche haben, verschieben die Kontaktpunkte sowohl am zylindrischen Körper 44 als auch an der jeweiligen harten Kugel 34 ihre Lage. Daher wird die durch die Vorbelastungskraft bewirkte Rückstellung mit geringerer Wahrscheinlichkeit durch die elastische Verformung der jeweiligen Kontaktpunkte behindert, so daß die Umfangsverschiebung mit hoher Genauigkeit verhindert wird.
  • Nach dieser Rückstellbewegung wird eine Verschiebungsspannung jeweils an die piezoelektrischen Elemente 33 angelegt, um eine Verschiebungsbewegung synchron auszuführen.
  • Wenn die Verschiebungsspannung angelegt wird, verschieben sich die piezoelektrischen Elemente annähernd radial zur Achse des Taststiftes 42. Dabei überschreitet die Verschiebung die hertzsche elastische Verformung. Mit "Verschiebung" wird hier eine statische Verschiebung und keine "Vibration" bezeichnet, bei der eine winzige Bewegung durch das piezoelektrische Element wiederholt wird.
  • Bei dieser Verschiebung verschieben sich auch die harten Kugeln 34 jeweils in Verschiebungsrichtung des piezoelektrischen Elements, so daß sie eine relative Gleitbewegung der entsprechenden zylindrischen Körper 44 bewirken. Die betreffende harte Kugel 34 und der betreffende zylindrische Körper 44 werden durch die Gleitbewegung relativ zueinander verschoben, wie es in 2 dargestellt ist.
  • Insbesondere wird die Umfangsverschiebung, wie 2(A) zeigt, unmittelbar vor dem Anlegen der Verschiebungsspannung an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 33 bewirkt, und der zylindrische Körper 44 nur durch ein Paar harte Kugeln 34 (rechte Seite in der Figur) abgestützt. In diesem Augenblick stehen gemäß 2(B) der zylindrische Körper 44 und eine der harten Kugeln 34 im Kontaktpunkt P1 miteinander in Berührung.
  • Wenn die Verschiebungsspannung an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 33 angelegt wird und die piezoelektrischen Elemente 33 verformt werden, so daß sie sich vom Basisteil des feststehenden Bauteils 31 weg zu den harten Kugeln 34 ausdehnen, zieht sich der zylindrische Körper 44 relativ zu den harten Kugeln 34 in radialer Richtung zur Achse des Taststiftes zurück. Dabei bewegt sich der Kontaktpunkt an der Seite des zylindrischen Körpers 44 durch die relative Rückzugsbewegung des zylindrischen Körpers 44 von P1 nach P2 in der Figur. Ferner bewegt sich nach 2(D) der Kontaktpunkt P1 auf der Seite der harten Kugel 34 auch nach P3. Dies deshalb, weil die schräge Oberfläche des zylindrischen Körpers 44 aufgrund der auf das bewegliche Bauteil 41 ausgeübten Vorbelastungskraft in Umfangsrichtung (Richtung D in der Figur) gleitet. Dabei können die andere harte Kugel 34 (links in der Figur) und der zylindrische Körper 44 entsprechend der Größe der anfänglichen Umfangsverschiebung nicht miteinander in Berührung stehen.
  • Wenn sich die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 33 danach verformen, so daß sie sich von der harten Kugel 34 aus zum Basisteil des feststehenden Bauteils 31 hin zusammenziehen, verschiebt sich der zylindrische Körper 44 in radialer Richtung zur Achse des Taststiftes relativ zu der harten Kugel 34. Dabei gleitet die schräge Oberfläche des zylindrischen Körpers 44 durch die auf das bewegliche Bauteil 41 ausgeübte Vorbelastungskraft weiter in Richtung D, so daß der zylindrische Körper 44 und das Paar Hartkugeln 34 einander berühren und sich der Kontaktpunkt auf dem zylindrischen Körper 44 von P2 nach P4 in der Figur durch die relative Rückzugsbewegung des zylindrischen Körpers 44 bewegt. Ferner bewegt sich gemäß 2(F) auch der Kontaktpunkt P3 auf der harten Kugel 34 nach P5.
  • Wenn dann die Verschiebungsspannung nicht mehr angelegt wird und der zylindrische Körper 44 und die harte Kugel 34 stillstehen, bleiben der zylindrische Körper 44 und die harte Kugel 34 an zwei Punkten in Kontakt, wie es in 2(G) und 2(H) dargestellt ist.
  • Bei dieser Ausführungsform ändert der Kontaktpunkt sowohl auf dem zylindrischen Körper 44 als auch auf der harten Kugel 34 jeweils seine Position entsprechend der relativen Gleitbewegung des zylindrischen Körpers 44 und der harten Kugel 34 durch das piezoelektrische Element 33. Die elastische Verformung am Kontaktpunkt des zylindrischen Körpers 44 mit der harten Kugel 34 hindert den zylindrischen Körper 44 daher nicht an einer Gleitbewegung sowohl in Umfangsrichtung als auch in Axialrichtung. Daher kann ein Verschiebungsfehler bei der Sitzreproduzierung durch die durch das piezoelektrische Element 33 bewirkte Verschiebung mit hoher Genauigkeit korrigiert werden.
  • Da der zylindrische Körper 44 ferner eine schräge Oberfläche hat, die sich zum einen Ende hin von der Basis weg verjüngt, bewegt sich der zylindrische Körper 44 während der relativen Gleitbewegung durch das piezoelektrische Element 33 in Richtung einer Korrektur der Umgangsverschiebung in Abhängigkeit von der Vorbelastungskraft. Ferner ist eine weitere genaue Korrektur des bei der Sitzreproduzierung bewirkten Verschiebungsfehlers durch Anwendung eines piezoelektrischen Elements 33 möglich, das eine Verschiebung in nur einer Richtung bewirken kann. Da ferner die gleiche Anordnung wie bei den herkömmlichen Erzeugnissen, bis auf den zylindrischen Körper 44, benutzt werden kann, kann das Herstellungsverfahren und die Herstellungseinrichtung auch zur Herstellung des vorliegenden Erzeugnisses angewandt werden, so daß die Herstellungskosten nicht erhöht werden.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • 3 stellt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsform darin, daß ein sich umgekehrt verjüngender zylindrischer Körper 45 mit umgekehrt schräger Oberfläche, die ein dickeres distales Ende als das Basisende aufweist, als Sitzreproduzierbauteil auf leiten des beweglichen Bauteils anstelle des zylindrischen Körpers 44 der ersten Ausführungsform benutzt wird.
  • Bei vorliegende Ausführungsform bewegt sich ebenfalls der Kontaktpunkt sowohl an dem sich umgekehrt verjüngenden zylindrischen Körper 45 als auch an der harten Kugel 34 unter Änderung seiner Position am betreffenden Bauteil aufgrund der äußeren sich am Umfang verjüngenden Oberfläche des umgekehrt verjüngten zylindrischen Körpers 45 als Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils.
  • Daher kann der gleiche Effekt wie bei der ersten Ausführungsform erzielt werden.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • 4 stellt eine dritte Ausführungsform der Erfindung dar. Bei dieser Ausführungsform wird eine einzige harte Kugel 47 an einer Oberfläche des beweglichen Bauteils, die dem feststehenden Bauteil zugekehrt ist, als Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils benutzt.
  • Auf seiten des feststehenden Bauteils wird eine V-förmige Nut 36 in einem Vorsprung, der vom distalen Ende des Tragarms 32 absteht und eine relativ zur Richtung der Verschiebung durch das piezoelektrische Element 33 schräg zugeschnittene Oberfläche aufweist, als Sitzreproduzierbauteil benutzt.
  • Da bei dieser Ausführungsform die zugeschnittene Oberfläche der V-förmigen Nut 36 radial zur Achse des Taststiftes 42 geneigt ist, ändern die Kontaktpunkte an der harten Kugel 47 und der V-förmigen Nut 36 jeweils ihre Lage.
  • Daher wird die Kraft zur Verhinderung der Korrektur des Sitzreproduzier-Verschiebungsfehlers des beweglichen Bauteils nicht durch die elastische Verformung an den jeweiligen Kontaktpunkten erzeugt, so daß der Fehler mit hoher Genauigkeit korrigiert werden kann.
  • Da ferner die V-förmige Nut 36 eine sich zur Richtung der Verschiebung durch das piezoelektrische Element 33 geneigt zugeschnittene Oberfläche hat, bewegt sich die harte Kugel 47 zur Korrektur der Umfangsverschiebung durch die Vorbelastungskraft während der relativen Gleitbewegung durch das piezoelektrische Element 33. Daher ist eine weitere genaue Korrektur des Sitzreproduzierungs-Verschiebungsfehlers durch Verwendung des piezoelektrischen Elements 33 möglich, das sich nur in einer Richtung verschiebt.
  • [Abwandlungen]
  • Der Schutzumfang der Erfindung ist nicht auf die geschilderten Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern umfaßt auch folgende Abwandlungen, sofern die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst wird.
  • Die Konfiguration des erfindungsgemäßen beweglichen Bauteils ist nicht auf die der vorstehend beschriebenen Ausführungsform beschränkt, sondern kann auch eine Scheibe mit einem Durchmesser, der gleich der Länge oder größer als die Länge des Tragarms des feststehenden Bauteils 31 ist, oder ein Polygon, z.B. ein Dreieck, sein. Ferner ist die Konfiguration des feststehenden Bauteils 31 nicht auf die Ausbildung als kleines Basisteil mit Tragarmen beschränkt, sondern kann auch ein Polygon, z.B. ein Dreieck, mit einem durchgehenden Loch in der Mitte sein. Kurz gesagt, ist jede Konfiguration des feststehenden Bauteils und des beweglichen Bauteils möglich, sofern das Sitzreproduzierbauteil an dem beweglichen Bauteil so abgestützt wird, daß es dem Sitzreproduzierbauteil an dem feststehenden Bauteil entspricht.
  • Obwohl ein Paar harte Kugeln für das Reproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils bei der ersten und der zweiten Ausführungsform benutzt wird, kann statt dessen auch ein Zylinderpaar benutzt werden, das in V-Form angeordnet ist. Obwohl bei der dritten Ausführungsform die harte Kugel 47 als Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und die V-förmige Nut 36 als Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils benutzt wird, kann die Kombination aus Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils ein Paar harte Kugeln und ein Vorsprung mit einem beispielsweise V-förmigen Querschnitt sein. Alternativ kann die Kombination aus Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils nur eine harte Kugel und eine keilförmige Nut mit einer sich in Richtung zur Vorbelastungskraft hin mit zunehmenden Abstand von der Achse des Taststiftes neigenden Grundlinie sein.
  • Kurz gesagt, der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung umfaßt alle Anordnungen, bei denen sowohl die Position des Kontaktpunkts auf seiten des feststehenden Bauteils als auch die Position des Kontaktpunkts auf seiten des beweglichen Bauteils sich jeweils während der Relativverschiebung von feststehendem und beweglichem Bauteil ändert.
  • Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen wird ein Verschiebungsgenerator mit einem piezoelektrischen Element zur Verschiebung in annähernd radialer Richtung relativ zur Achse des Taststiftes als Antriebsquelle benutzt. Die erfindungsgemäße Antriebsquelle ist jedoch nicht auf den Verschiebungsgenerator beschränkt. Beispielsweise kann der die gleitende Bewegung während der Rückstellbewegung des beweglichen Bauteils nach der Kontaktierung des Werkstücks als Antriebsquelle oder alternativ ein rotierender Mechanismus zur Drehung des Sitzreproduzierbauteils auf seiten des beweglichen Bauteils und als Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils ohne Verschiebung benutzt werden.
  • Ferner ist der erfindungsgemäße Verschiebungsgenerator nicht auf das piezoelektrische Element beschränkt. Beispielsweise kann eine Erregungsspule oder alternativ ein anderes Antriebsmittel, z.B. ein elektrostatischer, ein Luftdruck- oder ein Hydraulikdruck-Mechanismus benutzt werden.
  • Ferner ist die Verschiebungsrichtung nicht auf die annähernd radiale Richtung relativ zur Achse des Taststiftes beschränkt, sondern sie kann auch eine Richtung senkrecht zu einer parallelen Linie zur Taststiftachse sein. Beispielsweise kann der Verschiebungsgenerator zwischen dem Hartkugelpaar bei der ersten Ausführungsform angeordnet sein. Obwohl ferner ein Verschiebungsgenerator bei jeder Kombination aus Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils benutzt wird, kann auch eine Vielzahl von Verschiebungsgeneratoren bei jeder Kombination benutzt werden. Obwohl ferner der Verschiebungsgenerator auf seiten des feststehenden Bauteils vorgesehen ist, kann er auch auf seiten des beweglichen Bauteils vorgesehen sein.
  • Mit anderen Worten, es ist jede Anordnung als Verschiebungsgenerator möglich, sofern eine relative Verschie bung zwischen dem Sitzreproduzierbauteil auf seiten des beweglichen Bauteils und dem Sitzreproduzierbauteil auf seiten des feststehenden Bauteils bewirkt werden kann.

Claims (8)

  1. Sitzreproduziersystem (10) eines Tastkopfes, das aufweist: ein feststehendes Bauteil (31); ein bewegliches Bauteil (41) mit einem Taststift (42); ein erstes Sitzreproduzierbauteil (34) an dem feststehenden Bauteil und ein zweites Sitzreproduzierbauteil (44) an dem beweglichen Bauteil, wobei das zweite Sitzreproduzierbauteil das erste Sitzreproduzierbauteil an einem Kontaktpunktpaar an drei auseinanderliegenden Stellen berührt, wobei das Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes eine Verschiebung des beweglichen Bauteils (41) relativ zu dem feststehenden Bauteil (31) ermöglicht, wenn auf den Taststift (42) eine äußere Kraft ausgeübt wird, und eine Rückstellung des beweglichen Bauteils in eine Ruheposition ermöglicht, wenn die äußere Kraft nicht aufgrund einer Vorbelastungskraft auf den Taststift ausgeübt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und das zweite Sitzreproduzierbauteil (34, 44) so geformt sind, daß sich die Kontaktpunkte an dem feststehenden Bauteil und die Kontaktpunkte an dem beweglichen Bauteil während einer relativen gleitenden Verschiebung der Bauteile während der Rückkehr des be weglichen Bauteils in die Ruheposition um wenigstens einen vorbestimmten Weg ändern.
  2. Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes nach Anspruch 1, bei dem der vorbestimmte Weg größer als die Hertzsche elastische Verformung ist, die an den Berührungspunkten auf dem feststehenden Bauteil und dem beweglichen Bauteil bewirkt wird.
  3. Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes nach Anspruch 1 oder 2, bei dem eine gekrümmte Oberfläche auf dem einen der beiden Sitzreproduzierbauteile (34, 44) und eine geneigte Oberfläche auf dem anderen der beiden Sitzreproduzierbauteile (34, 44) ausgebildet ist, wobei die geneigte Oberfläche relativ zu einer Radialrichtung zu einer Achse des Taststiftes geneigt ist und das System ferner eine Antriebsquelle (33) zur Relativverschiebung des ersten Sitzreproduzierbauteils (34) und des zweiten Sitzreproduzierbauteils (44) aufweist.
  4. Sitzreproduziersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile ein Paar harte Kugeln und das andere ein zylindrischer Körper (44, 45) mit einem konischen äußeren Umfang ist.
  5. System nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile (34, 44) ein Paar zylindrische Körper in V-förmiger Anordnung und das andere ein zylindrischer Körper mit konischem äußeren Umfang ist.
  6. System nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das eine der beiden Sitzreproduzierbauteile eine harte Kugel (47) und das andere eine V-förmige Nut (36) mit einer relativ zur Radialrichtung der Achse des Taststiftes geneigten Schnittfläche ist.
  7. Sitzreproduziersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, das ferner einen Verschiebungsgenerator (33) zur relativen Verschiebung des ersten Sitzreproduzierbauteils und des zweiten Sitzreproduzierbauteils auf jeweiligen Berührungspunkten zwischen dem ersten Sitzreproduzierbauteil und dem zweiten Sitzreproduzierbauteil unter Aufrechterhaltung der Berührung zwischen dem beweglichen Bauteil und dem feststehenden Bauteil, nachdem die äußere Kraft nicht mehr auf das bewegliche Bauteil ausgeübt wird, aufweist, um schließlich das bewegliche Bauteil in die Ruheposition zurückzubringen, wobei der Verschiebungsgenerator auch als Antriebsquelle dient.
  8. Sitzreproduziersystem eines Tastkopfes nach Anspruch 7, bei dem der Verschiebungsgenerator (33) die jeweils feststehenden Bauteile und die jeweils beweglichen Bauteile nur in einer einzigen Richtung verschiebt.
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