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Die vorliegende Erfindung betrifft Mehrprogrammschleifmaschinen, die eine Mehrzahl Werkstücke an einem drehenden Tisch halten und jedes Werkstück mit einer Mehrzahl von Schleifscheiben schleifen, indem sie mit einem Prozess jedes Mal voranschreiten, wenn der drehende Tisch gedreht wird, und Schleifverfahren.
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In dem Fall des Schleifens eines Werkstücks, das ein Teil aufweist, das als Rotationsfläche durch eine Mehrzahl von Prozessen zu schleifen ist, ist Schleifen durch aufeinanderfolgendes Übertragen des Werkstücks zwischen oder unter einer Mehrzahl von Schleifmaschinen durchgeführt.
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Betreffend Oberflächenschleifen von Wafern gibt es eine Technik, die einen drehenden Tisch verwendet, der eine Mehrzahl Wafer an seiner oberen Oberfläche hält und eine Mehrzahl Schleifvorrichtungen, die so platziert sind, dass sie zu dem drehenden Tisch gerichtet sind. In dieser Technik wird jeder Wafer aufeinanderfolgend zu der Mehrzahl der Schleifvorrichtungen durch Drehung des drehenden Tisches so zugeführt, dass ein vorbestimmter Prozess bei jeder Schleifvorrichtung durchgeführt wird. Siehe die Druckschrift
JP 2012-240186 A .
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In dem Fall des Schleifens eines Werkstücks durch eine Mehrzahl von Prozessen durch aufeinanderfolgendes Übertragen des Werkstücks zwischen oder unter einer Mehrzahl von Schleifmaschinen wird das Werkstück in jedem Prozess angebracht und abgenommen. Das Werkstück wird deswegen in jedem Prozess an verschiedenen Positionen gehalten, was die Genauigkeit reduzieren kann.
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Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine bereitzustellen, die in der Lage ist, einer Mehrzahl Schleifprozesse durchzuführen, während ein Werkstück gehalten wird, das ein zu schleifendes Teil als Rotationsfläche aufweist, und ein Schleifverfahren.
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Gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegender Erfindung hat eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine: einen drehenden Tisch; eine Mehrzahl Werkstückreitstöcke, die jeweils eine Arbeitsspindel haben, die eine Drehachse aufweist, die parallel zu einer Schwenkachse ist, die eine Drehmitte des drehenden Tischs ist, und von denen jeder derart an dem drehenden Tisch montiert ist, dass eine Mitte der Arbeitsspindel an einem Unfang um die Schwenkachse angeordnet ist; eine Werkstückhaltevorrichtung, die an einem Ende der Arbeitsspindel montiert ist; eine Mehrzahl Säulen, die in einer Richtung rechtwinklig zur Schwenkachse vorrücken und sich zurückziehen; eine Mehrzahl Schleifköpfe, die an den Säulen montiert sind, und die in der Richtung parallel zur Schwenkachse vorrücken und sich zurückziehen; eine Mehrzahl Schleifscheiben, die an einer Mehrzahl der Schleifköpfe montiert sind, und die sich um ihre Scheibenspindeln parallel zu der Schwenkachse drehen; eine Werkstückpositionierungsvorrichtung, die ein Werkstück positioniert, das durch die Werkstückhaltevorrichtung zu halten ist; und eine Steuervorrichtung, die den drehenden Tisch, die Werkstückreitstöcke, die Säulen, die Schleifköpfe, die Schleifscheiben und die Werkstückpositionierungsvorrichtung so steuert, dass das durch die Werkstückhaltevorrichtung gehaltene Werkstück durch eine Drehung des drehenden Tisches aufeinanderfolgend zu jeder Position bewegt wird, in der das Werkstück durch eine entsprechende der Schleifscheiben zu schleifen ist, und durch die Schleifscheiben geschliffen wird.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine hält das Werkstück, das ein als eine Rotationsfläche zu schleifendes Teil derart aufweist, dass eine Mitte des zu schleifenden Teils als die Rotationsfläche zu der Mitte der Arbeitsspindel passt und das zu schleifende Teil mit der entsprechenden Schleifscheibe schleift, während das Werkstück gedreht wird.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunkts dreht das Werkstück, das das zu schleifende Teil als Rotationsfläche aufweist, während sie das Werkstück durch die Werkstückhaltevorrichtung hält, und bewegt das Werkstück aufeinanderfolgend durch die Drehung des drehenden Tisches. Eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine, die eine Mehrzahl von Schleifprozessen durchführen kann, während sie ein Werkstück hält, kann somit implementiert werden.
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In der Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunkts kann die Werkstückhaltevorrichtung die Seitenoberfläche des Werkstücks halten, wenn das Werkstück eine zylindrische äußere Randoberfläche hat und eine flache Seitenoberfläche aufweist.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunkts hält die flache Seitenoberfläche des zylindrischen Werkstücks. Eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine, die ein Werkstück durch die gleiche Werkstückhaltevorrichtung sogar dann hält, wenn der Durchmesser des Werkstücks sich ändert, kann somit implementiert werden.
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In der Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunktes kann die Werkstückpositionierungsvorrichtung das Werkstück durch Positionieren eines Bezugselements, das zwei Bezugsoberflächen aufweist, die flache Oberflächen parallel zu der Schwenkachse sind und die einander derart queren, dass ein Abstand von der Mitte der Arbeitsspindel zu den zwei Bezugsoberflächen in der Richtung rechtwinklig zu der Schwenkachse gleich einem Radius der zylindrischen äußeren Randoberfläche des Werkstücks ist, positionieren und die zylindrische äußere Randoberfläche des Werkstücks mit den zwei flachen Oberflächen in Berührung bringen, die die Bezugsoberflächen ausbilden.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunktes positioniert das Bezugselement derart, dass der Abstand von der Mitte der Arbeitsspindel zu den zwei Bezugsoberflächen gleich dem Radius der zylindrischen äußeren Randoberfläche des Werkstücks ist. Eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine, die ein Werkstück derart halten kann, dass eine Mitte des Werkstücks sogar dann einer Drehmitte einer Arbeitsspindel entspricht, wenn der Durchmesser des Werkstücks sich ändert, kann somit implementiert werden.
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In der Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunktes kann die Werkstückhaltevorrichtung die Seitenoberfläche des Werkstücks magnetisch ansaugen.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine des voranstehend beschriebenen Gesichtspunktes hält das zylindrische Werkstück durch magnetisches Ansaugen der flachen Seitenoberfläche des Werkstückes. Eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine, an die ein Werkstück einfach angebracht und von der es einfach abgenommen werden kann, kann somit implementiert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die voranstehend beschriebenen und weiteren Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung von beispielhaften Ausführungsformen mit Bezug auf die anhängenden Zeichnungen deutlich werden, in denen gleiche Bezugszeichen verwendet werden, um gleiche Elemente zu bezeichnen, und in denen:
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1 eine schematische Ansicht ist, die die allgemeine Konfiguration einer Mehrprogrammbetriebschleifmaschine gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 eine Draufsicht eines drehenden Tisches der Ausführungsform ist;
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3 eine Schnittansicht entlang einer Linie A-A in 2 ist;
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4 Ansichten zeigt, die Schleifzustände in jedem Schritt zeigen;
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5A ein Flussdiagramm ist, das einen Schleifprozess zeigt; und
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5B ein Flussdiagramm ist, das den Schleifprozess zeigt.
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Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine beschrieben, die einen Außenring eines Lagers als Werkstück schleift.
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Wie aus 1 ersichtlich ist, hat eine Mehrprogrammbetriebschleifmaschine 1 ein Bett 2 und einen drehenden Tisch 5, der auf dem Bett 2 vorgesehen ist. Der drehende Tisch 5 kann um eine C-Achse (Schwenkachse) drehen. Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine 1 hat außerdem Säulen 3a, 3b, 3c auf dem Bett 2. Die Säule 3a kann sich in einer Xa-Achsenrichtung hin- und herbewegen, die Säule 3b kann sich in einer Xb-Achsenrichtung hin- und herbewegen und die Säule 3c kann sich in einer Xc-Achsenrichtung hin- und herbewegen. Die C-Achse ist eine vertikale Achse und die Xa-, Xb- und Xc-Achsen sind horizontale Achsen rechtwinklig zu der C-Achse. Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine 1 hat außerdem Schleifköpfe 4a, 4b, 4c auf Seitenoberflächen der Säulen 3a, 3b, 3c. Der Schleifkopf 4a kann in einer Za-Achsenrichtung vorrücken und sich zurückziehen, der Schleifkopf 4b kann in einer Zb-Achsenrichtung vorrücken und sich zurückziehen, und der Schleifkopf 4c kann in einer Zc-Achsenrichtung vorrücken und sich zurückziehen. Die Za-, Zb- und Zc-Achsen liegen parallel zu der C-Achse. Der Schleifkopf 4a stützt drehbar eine Schleifscheibe 9a, und der Schleifkopf 4b stützt drehbar eine Schleifscheibe 9b. Jeder Schleifkopf 4a, 4b ist drehend durch einen Scheibenspindeldrehmotor (nicht gezeigt) angetrieben. Der Schleifkopf 4c hält einen Schleifstein 9c.
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Wie aus 2 ersichtlich ist, sind vier Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64 in regelmäßigen Abständen an dem gleichen Umfang um die C-Achse auf dem drehenden Tisch 5 vorgesehen. Wie insbesondere aus 3 ersichtlich ist, ist ein Werkstückreitstock 81 an der Rückfläche des drehenden Tisches 5 befestigt. Der Werkstückreitstock 81 hat einen Spindelkörper 811 und eine Arbeitsspindel 812. Die Arbeitsspindel 812 ist drehbar durch den Spindelkörper 811 gelagert und drehend durch einen Motor angetrieben, der nicht gezeigt ist. Ähnlich sind Werkstückreitstöcke 82, 83, 84, die nicht gezeigt sind, an der Rückfläche des drehenden Tischs 5 befestigt. Die Werkstückreitstöcke 81, 82, 83, 84 sind in regelmäßigen Abständen an dem gleichen Umfang um die C-Achse vorgesehen. Drehachsen der Arbeitsspindeln 812, 822, 832, 842 der Werkstücksreitstöcke 81, 82, 83, 84 liegen parallel zu der C-Achse. Die Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64 sind an den oberen Enden der Arbeitsspindeln 812, 822, 832, 842 gehalten, wodurch Drehmitten der Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64 ebenfalls in regelmäßigen Abständen auf dem gleichen Umfang um die C-Achse vorgesehen sind. Jede Werkstückhaltevorrichtung 61, 62, 63, 64 hält ein Werkstück durch magnetisches Ansaugen des Werkstücks an seiner Endfläche.
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Wie aus 1 ersichtlich ist, ist eine Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 an dem Bett 2 vorgesehen, um zu den Säulen 3a, 3b, 3c mit dem drehenden Tisch 5 dazwischen eingefügt gerichtet zu sein. Die Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 hat einen Positionierungskörper 71 und ein Bezugselement 72. Der Positionierungskörper 71 ist an dem Bett 2 befestigt, und das Bezugselement 72 ist durch den Positionierungskörper 71 gelagert und kann vorrücken und sich zurückziehen. Wie aus 2 ersichtlich ist, hat das Bezugselement 72 Bezugsoberflächen 72a, 72b. Die Bezugsoberflächen 72a, 72b sind flache Oberflächen, die parallel zu der C-Achse liegen, nämlich parallel zu der Achse der Arbeitsspindel 812, und liegen quer zueinander. Das Bezugselement 72 rückt in der Richtung der geraden Linie m vor und zieht sich zurück, und der drehende Tisch 5 und die Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 sind so vorgesehen, dass die gerade Linie m durch die Drehmitte der Werkstückhaltevorrichtung 61, 62, 63, 64 durchführt, die an einer Position sehr nahe an der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 zugeordnet sind. Die gerade Linie m betrifft eine gerade Linie, die einen querenden Winkel schneidet, oder einen durch die zueinander gerichteten Bezugsoberflächen 72a, 72b ausgebildeten Winkel. Die Mitte des Werkstücks W, das eine äußere Randoberfläche als Rotationsfläche aufweist, die gleichzeitig beide Bezugsoberflächen 62a, 62b berührt, ist somit auf der geraden Linie m angeordnet. Es kann daher dafür gesorgt werden, dass die Mitte des Werkstücks W zu der Drehmitte der Werkstückhaltevorrichtung 61, 62, 63, 64 passt, indem die Position angepasst wird, zu der das Bezugselement 72 vorrückt oder sich zurückzieht gemäß dem Radius der äußeren Randoberfläche des Werkstücks W. Der Abstand von der Drehmitte der Arbeitsspindel 812, 822, 832, 842 zu der Bezugsoberfläche 72a, 72b ist nämlich gleich dem Radius der äußeren Randoberfläche des Werkstücks W gemacht.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine 1 hat außerdem eine Steuervorrichtung 30. Die Steuervorrichtung 30 hat als ihre funktionelle Konfiguration eine X-Achsensteuereinheit 31, eine Z-Achsensteuereinheit 32, eine C-Achsensteuereinheit 33, eine Spindelsteuereinheit 34, eine Positionierungssteuereinheit 35, eine Scheibenspindelsteuereinheit 36, eine Aufzeichnungseinheit 37 usw.. Die X-Achsensteuereinheit 31 steuert das Zuführen der Säulen 3a, 3b, 3c. Die Z-Achsensteuereinheit 32 steuert das Zuführen der Schleifköpfe 4a, 4b, 4c. Die C-Achsensteuereinheit 33 steuert die Drehung des drehenden Tischs 5. Die Spindelsteuereinheit 34 steuert die Drehung der Werkstückreitstöcke 81, 82, 83, 84 und das Ansaugen der Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64. Die Positionierungssteuereinheit 35 steuert das Vorrücken und Zurückziehen des Bezugselements 72 der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7. Die Scheibenspindelsteuereinheit 36 steuert die Drehung der Schleifscheiben 9a, 9b. Die Aufzeichnungseinheit 37 zeichnet Daten oder Programme darin auf.
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Die Steuervorrichtung 30 steuert jede Vorrichtung ausgehend von voreingestellten Steuerwerten so, dass eine Mehrzahl der Schleifprozesse durchgeführt werden kann.
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Ein Außendurchmesser-(OD-)Schleifprozess, ein Laufringoberflächenfeinschleifprozess und ein Laufringoberflächenfeinschleifprozess eines Lageraußenrings als Werkstück wird ausgehend von 4, 5A und 5B beschrieben.
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Wie in dem Zustand A der 4 ersichtlich ist, wird der drehende Tisch 5 anfänglich derart positioniert, dass die Werkstückhaltevorrichtung 61 zur Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist. Die Drehposition des drehenden Tisches 5 zu dieser Zeit ist gleich C = 0.
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Zuerst wird ein Werkstück W1 an der Werkstückhaltevorrichtung 61 angebracht. Das Werkstück W1 wird insbesondere dann, wenn das Bezugselement 72 der Werkstückspositionierungsvorrichtung 7 zu einer vorgerückten Position bewegt wird, derart geladen, dass die äußere Randoberfläche des Werkstück W1 gleichzeitig beide Bezugsoberflächen 72a, 72b berührt. In diesem Zustand wird das Werkstück W1 durch die Werkstückhaltevorrichtung 1 magnetisch angesaugt und gehalten. Das Bezugselement 72 wird dann zurückgezogen. Das Werkstück W kann durch einen Bediener oder eine Lade-/Endladevorrichtung geladen und entladen werden (S1). Der drehende Tisch 5 wird im Uhrzeigersinn um 90° gedreht, so dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 gleich C = 90 ist. Wie aus dem Zustand B in 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W1 somit zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist, und die Werkstückhaltevorrichtung 62 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist (S2). Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W1 wird durchgeführt. Das Zuführen der Säule 3a und des Schleifkopfes 4a wird ausgehend von einem OD-Schleifprogramm insbesondere dann, wenn das Werkstück 1 und der Schleifkopf 4a gedreht werden, so gesteuert, so dass die Schleifscheibe 9a die äußere Randoberfläche des Werkstück W1 berührt. Nachdem ein vorbestimmtes Schleifen beendet ist, wird die Schleifscheibe 9a zu ihrer Abwarteposition zurückgezogen (S3). Parallel mit dem Schritt S3 wird ein Werkstück W2 an der Werkstückhaltevorrichtung 62 angebracht (S4).
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Der drehende Tisch 5 wird im Uhrzeigersinn um 90° so gedreht, dass die Drehposition des drehenden Tischs 5 gleich C = 180 ist. Wie in dem Zustand C der 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W1 somit zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, das Werkstück W2 ist zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist, und die Werkstückhaltevorrichtung 63 ist zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist (S5). Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W2 wird durchgeführt (S6). Der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W1 wird ebenfalls durchgeführt. Insbesondere, wenn das Werkstück W1 und die Schleifscheibe 9b gedreht werden, wird das Zuführen der Säule 3b und des Schleifkopfs 4b ausgehend von einem Laufringoberflächenschleifprogramm so gesteuert, dass die Schleifscheibe 9b die Laufringoberfläche an dem inneren Rand des Werkstücks W1 berührt. Nachdem das vorbestimmte Schleifen beendet ist, wird die Schleifscheibe 9b zu ihrer Abwarteposition zurückgezogen (S7). Parallel zu den Schritten S6, S7 wird ein Werkstück W3 an der Werkstückhaltevorrichtung 63 angebracht (S8). Der drehende Tisch 5 wird im Uhrzeigersinn um 90° gedreht, so dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 C = 270 beträgt. Wie aus dem Zustand D der 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W1 somit zu der Position zugeordnet, die zu dem Schleifstein 9c gerichtet ist, das Werkstück W2 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, das Werkstück W3 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist, und die Werkstückhaltevorrichtung 64 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist (S9).
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Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W3 wird durchgeführt (S10), und der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W2 wird durchgeführt (S11). Der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W1 wird ebenfalls durchgeführt. Insbesondere mit dem gedrehten Werkstück W1 wird das Zuführen der Säule 3c und des Schleifkopfs 4c ausgehend von einem Laufringoberflächenfeinschleifprogramm so gesteuert, dass der stationäre Schleifstein 9c die Laufringoberfläche an dem inneren Rand des Werkstücks W1 berührt. Nachdem das vorbestimmte Feinschleifen beendet ist, wird der Schleifstein 9c zu seiner Abwarteposition zurückgezogen (S12). Parallel zu den Schritten S10, S11, S12 wird das Werkstück W4 an der Werkstückhaltevorrichtung 62 angebracht (S13). Der drehende Tisch 5 wird im Uhrzeigersinn um 90 Grad gedreht, so dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 C = 360 ist. Wie aus dem Zustand E der 4 ersichtlich ist, ist das Werkstück W1 somit zu der Position zugeordnet, in der es zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist, das Werkstück W2 ist zu der Position zugeordnet, in der es zu dem Schleifstein 9c gerichtet ist, das Werkstück W3 ist zu der Position zugeordnet, in der es zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, und das Werkstück W4 ist zu der Position zugeordnet, in der es zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist (S14).
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Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W4 (S15), der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W3 (S16) und der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W2 (S17) werden durchgeführt. Parallel zu den Schritten S15, S16, S17 wird das Werkstück W1 abgenommen und dann ein Werkstück W5 an der Werkstückhaltevorrichtung 61 angebracht (S18). Der drehende Tisch 5 wird um 270 Grad gegen den Uhrzeigersinn gedreht, so dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 C = 90 ist. Wie aus dem Zustand F der 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W2 somit zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist, das Werkstück W3 wird zu der Position zugeordnet, die zu dem Schleifstein 9c gerichtet ist, das Werkstück W4 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, und das Werkstück W5 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist (S19).
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Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W5 (S20), der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W4 (S21), und der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W3 (S22) werden durchgeführt. Parallel mit den Schritten S20, S21, S22 wird das Werkstück W2 abgenommen und dann ein Werkstück W6 an der Werkstückhaltevorrichtung 62 angebracht (S23). Der drehende Tisch 5 wird im Uhrzeigersinn um 90 Grad so gedreht, dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 C = 180 ist. Wie aus dem Zustand G der 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W3 somit zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist, das Werkstück W4 wird zu der Position zugeordnet, die zu dem Schleifstein 9c gerichtet ist, das Werkstück W5 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, und das Werkstück W6 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist (S24).
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Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W6 (S25), der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W5 (S26), und der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W4 (S27) werden durchgeführt. Parallel mit den Schritten S25, S26, S27 wird das Werkstück W3 abgenommen und dann ein Werkstück W7 an der Werkstückhaltevorrichtung 63 angebracht (S28). Der drehende Tisch 5 wird um 90 Grad in dem Uhrzeigersinn gedreht, so dass die Drehposition des drehenden Tisches 5 C = 270 ist. Wie aus dem Zustand H der 4 ersichtlich ist, wird das Werkstück W4 somit zu der Position zugeordnet, die zu der Werkstückpositionierungsvorrichtung 7 gerichtet ist, das Werkstück W5 wird zu der Position zugeordnet, die zu dem Schleifstein 9c gerichtet ist, das Werkstück W6 wird zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9b gerichtet ist, und das Werkstück W7 ist zu der Position zugeordnet, die zu der Schleifscheibe 9a gerichtet ist (S29).
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Der OD-Schleifprozess des Werkstücks W7 (S30), der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W6 (S31), und der Laufringoberflächenfeinschleifprozess des Werkstücks W7 (S32) werden durchgeführt. Parallel mit den Schritten S30, S31, S32 wird das Werkstück W4 abgenommen und dann ein Werkstück W8 an der Werkstückhaltevorrichtung 64 angebracht (S33). In dem Fall des Weiterfortführens des kontinuierlichen Betriebs werden die Schritte S19 bis S33 durch aufeinanderfolgendes Abnehmen des Werkstücks W5 und der darauf folgenden Werkstücke und Anbringen des Werkstücks W9 und der darauf folgenden Werkstücke wiederholt. Das Mehrprogrammbetriebschleifen wird somit kontinuierlich durchgeführt.
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Wie voranstehend beschrieben wurde, können gemäß dem Schleifverfahren der vorliegenden Ausführungsform der erste bis letzte Prozess, nämlich das Schleifen der äußeren Randoberfläche bis zu dem Feinschleifen der Laufringoberfläche durchgeführt werden, während das Werkstück durch die Werkstückhaltevorrichtung gehalten wird, und das Werkstück wird weder angebracht noch abgenommen bis die Prozesse für das Werkstück beendet sind. Die Position des Werkstücks wird deswegen unter den Prozessen nicht verschoben, was die relative Positionsgenauigkeit der Werkstückoberfläche in jedem Prozess verbessert.
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In der voranstehend beschriebenen Ausführungsform sind auf dem drehenden Tisch 5 die vier Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64 in regelmäßigen Abständen an dem gleichen Umfang vorgesehen. Jedoch kann eine beliebige Anzahl von Werkstückhaltevorrichtungen verwendet werden, wie gewünscht ist. Die Werkstückhaltevorrichtungen müssen notwendigerweise nicht in gleichmäßigen Abständen vorgesehen sein.
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In der voranstehend beschriebenen Ausführungsform saugen die Werkstückhaltevorrichtungen die Werkstücke magnetisch an. Jedoch können die Werkstückhaltevorrichtungen Werkstücke unter Verwendung eines Unterdruckfutters ansaugen. Alternativ kann eine Flüssigkeit gefroren werden, um die Werkstückhaltevorrichtungen und das Werkstück zu befestigen.
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In einer Mehrprogrammbetriebschleifmaschine sind die Drehmitten von Werkstückhaltevorrichtungen 61, 62, 63, 64 auf einem Umfang um die Schwenkachse eines drehenden Tisches 5 platziert.
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Die Mehrprogrammbetriebschleifmaschine hat: Säulen 3a, 3b, 3c, die in einer Richtung rechtwinklig zu der Schwenkachse vorrücken und sich zurückziehen; Schleifköpfe 4a, 4b, 4c, die an den Säulen montiert sind und die in einer Richtung parallel zu der Schwenkachse vorrücken und sich zurückziehen; und Schleifscheiben 9a, 9b, die auf den Schleifköpfen montiert sind und die um ihre Drahtspindeln parallel zu der Schwenkachse drehen.
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Ein Werkstück W, das seine Endfläche durch die Werkstückhaltevorrichtung derart gehalten aufweist, dass die Mitte eines zu schleifendes Teils der Mitte einer Arbeitsspindel entspricht, wird aufeinanderfolgend durch eine Drehung des drehenden Tisches 5 bewegt und einer Mehrzahl von Schleifprozessen ausgesetzt. Die inneren und äußeren Randoberflächen des Werkstücks werden auf diese Weise geschliffen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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