DE102015207513A1 - Zwischen-Anschluss-Kapazitätsmessverfahren für ein Bauelement mit drei Anschlüssen und Vorrichtung hierfür - Google Patents
Zwischen-Anschluss-Kapazitätsmessverfahren für ein Bauelement mit drei Anschlüssen und Vorrichtung hierfür Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015207513A1 DE102015207513A1 DE102015207513.3A DE102015207513A DE102015207513A1 DE 102015207513 A1 DE102015207513 A1 DE 102015207513A1 DE 102015207513 A DE102015207513 A DE 102015207513A DE 102015207513 A1 DE102015207513 A1 DE 102015207513A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- terminal
- port
- route selector
- selector
- cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 39
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 7
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2607—Circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014-090325 | 2014-04-24 | ||
| JP2014090325A JP6431687B2 (ja) | 2014-04-24 | 2014-04-24 | 3端子デバイスの端子間容量測定方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102015207513A1 true DE102015207513A1 (de) | 2015-10-29 |
Family
ID=54262017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102015207513.3A Pending DE102015207513A1 (de) | 2014-04-24 | 2015-04-23 | Zwischen-Anschluss-Kapazitätsmessverfahren für ein Bauelement mit drei Anschlüssen und Vorrichtung hierfür |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10197618B2 (https=) |
| JP (1) | JP6431687B2 (https=) |
| DE (1) | DE102015207513A1 (https=) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6431687B2 (ja) | 2014-04-24 | 2018-11-28 | キーサイト テクノロジーズ, インク. | 3端子デバイスの端子間容量測定方法及びその装置 |
| JP6422424B2 (ja) * | 2015-11-11 | 2018-11-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイスの寄生容量測定システムにおける共振装置、半導体デバイスの寄生容量測定システム、および半導体デバイスの寄生容量の測定方法 |
| US10436827B2 (en) * | 2016-11-15 | 2019-10-08 | Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg | Measurement device and method for measuring the impedance of a device under test |
| JP7466502B2 (ja) | 2021-06-25 | 2024-04-12 | 三菱電機株式会社 | 測定装置 |
| JP7479335B2 (ja) | 2021-08-03 | 2024-05-08 | 三菱電機株式会社 | 入力容量測定回路および半導体装置の製造方法 |
| JP2025018056A (ja) | 2023-07-26 | 2025-02-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイスの容量の測定装置および測定治具 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63275965A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Fujitsu Ltd | Mos型トランジスタの測定方法 |
| JPH0730933A (ja) * | 1993-06-24 | 1995-01-31 | Hitachi Ltd | 通話路スイッチ |
| JP3289167B2 (ja) | 1994-04-28 | 2002-06-04 | 清水建設株式会社 | ハーフpc型枠およびコンクリートスラブの施工方法 |
| JP2850200B2 (ja) | 1994-10-28 | 1999-01-27 | 株式会社トーキン | 積層セラミック電子部品 |
| JPH08130749A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | マトリックス演算回路及び色補正回路 |
| JP2001330634A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Konica Corp | 容量測定方法及び容量測定装置 |
| US6731129B1 (en) * | 2002-12-17 | 2004-05-04 | International Business Machines Corporation | Apparatus for measuring capacitance of a semiconductor device |
| JP2005300495A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-10-27 | Agilent Technol Inc | 半導体特性測定装置および接続装置 |
| JP2005331520A (ja) * | 2005-06-01 | 2005-12-02 | Agilent Technol Inc | フィクスチャの電気長を求める方法、フィクスチャの電気長を求めるプログラム、および、電子測定装置 |
| JP4906978B2 (ja) | 2010-04-15 | 2012-03-28 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波診断システム |
| JP6431687B2 (ja) | 2014-04-24 | 2018-11-28 | キーサイト テクノロジーズ, インク. | 3端子デバイスの端子間容量測定方法及びその装置 |
-
2014
- 2014-04-24 JP JP2014090325A patent/JP6431687B2/ja active Active
-
2015
- 2015-04-21 US US14/691,799 patent/US10197618B2/en active Active
- 2015-04-23 DE DE102015207513.3A patent/DE102015207513A1/de active Pending
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| "Agilent Impedance Measurement Handbook, A guide to measurement technology and techniques (Agilent-Impedanzmessungshandbuch, Ein Leitfaden für Messtechnologie und -techniken), vierte Ausgabe", Agilent Technologies, Inc., 10. September 2013 |
| "Agilent Impedance Measurement Handbook, A guide to measurement technology and techniques, vierte Ausgabe" |
| Abschnitt 2.4.7 auf den Seiten 2 bis 14 des "Agilent Impedance Measurement Handbook, A guide to measurement technology and techniques, vierte Ausgabe" |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015210120A (ja) | 2015-11-24 |
| US20150309109A1 (en) | 2015-10-29 |
| US10197618B2 (en) | 2019-02-05 |
| JP6431687B2 (ja) | 2018-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102015207513A1 (de) | Zwischen-Anschluss-Kapazitätsmessverfahren für ein Bauelement mit drei Anschlüssen und Vorrichtung hierfür | |
| EP3637114B1 (de) | Hochvoltsystem und verfahren zur überwachung von isolationsfehlern in einem hochvoltsystem | |
| DE102018119727A1 (de) | Prüfen von MOS-Leistungsschaltern | |
| DE102019103144B4 (de) | Einrichtung und Verfahren zur Überwachung der Zuverlässigkeit einer Zellenimpedanzmessung einer Batteriezelle | |
| EP2068259A1 (de) | Verfahren und System zur Ueberpruefung des ESD-Verhaltens von integrierten Schaltungen auf Schaltungsebene | |
| DE10323668A1 (de) | Intergrierter Schaltkreischip und Wafer sowie Prüfverfahren und -vorrichtung | |
| DE4417573A1 (de) | System und Verfahren zum Erfassen von Kurzschlüssen, Leerläufen und verbundenen Anschlußstiften auf einer gedruckten Leiterplatte unter der Verwendung eines automatischen Testgeräts | |
| DE10304880A1 (de) | Systeme und Verfahren zum Ermöglichen eines Treiberstärketestens von integrierten Schaltungen | |
| DE10255113A1 (de) | Systeme und Verfahren zum Erleichtern eines Testens von Anschlußflächentreibern integrierter Schaltungen | |
| DE102007012214A1 (de) | Halbleiterbauelement und Verfahren zum Testen eines solchen | |
| WO2016113072A1 (de) | Transformatorprüfvorrichtung und verfahren zum prüfen eines transformators | |
| DE10129329A1 (de) | Fehlersimulationsverfahren und Fehlersimulator für einen Halbleiter-IC | |
| EP3391063B1 (de) | Mobile transformatorprüfvorrichtung und verfahren zum prüfen eines leistungstransformators | |
| EP2423771A1 (de) | Analoge Eingabebaugruppe für eine speicherprogrammierbare Steuerung | |
| DE102014014309B4 (de) | Verfahren zum Testen eines Signalpfades | |
| DE102005016127B4 (de) | Sensorsystem | |
| DE102017108207A1 (de) | Vorrichtung zur Stromversorgung für ein Steuergerät und Verfahren zur Überwachung einer Stromversorgung | |
| DE102004029944B4 (de) | Verfahren zur Ermittlung ESD-relevanter Schaltungsteile in einer Schaltung | |
| DE102015203866A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur leckstromkompensierten Widerstandsmessung | |
| DE102006007439B4 (de) | Halbleitereinzelchip, System und Verfahren zum Testen von Halbleitern unter Verwendung von Einzelchips mit integrierten Schaltungen | |
| DE10325389B4 (de) | Isolierungs-Prüfvorrichtung und Verfahren zur Prüfung der elektrischen Isolierung | |
| EP4427055A1 (de) | Zustandsanalyse eines elektrischen betriebsmittels | |
| EP3480609A1 (de) | Modifizieren von test-messsignalen für schutzeinrichtungen für elektrische stromnetze | |
| EP3948250B1 (de) | Verfahren zur diagnose von abgassensoren | |
| DE102025100592A1 (de) | Charakterisierung von leistungsbauelementen auf dem wafer mit einem automatischen parametrischen system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R016 | Response to examination communication |