DE102014218043A1 - Magnetkern, induktives Bauteil und Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns - Google Patents
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- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 12
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 12
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 5
- FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co] FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGINPZWYSLFPRX-UHFFFAOYSA-N [Ti].[Zr].[Co] Chemical compound [Ti].[Zr].[Co] RGINPZWYSLFPRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- SIBIBHIFKSKVRR-UHFFFAOYSA-N phosphanylidynecobalt Chemical compound [Co]#P SIBIBHIFKSKVRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F10/131—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing iron or nickel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/13—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F10/132—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing cobalt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/14—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing iron or nickel
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F17/06—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/24—Magnetic cores
- H01F27/26—Fastening parts of the core together; Fastening or mounting the core on casing or support
- H01F27/263—Fastening parts of the core together
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F3/00—Cores, Yokes, or armatures
- H01F3/10—Composite arrangements of magnetic circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/046—Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0033—Printed inductances with the coil helically wound around a magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F3/00—Cores, Yokes, or armatures
- H01F3/10—Composite arrangements of magnetic circuits
- H01F2003/106—Magnetic circuits using combinations of different magnetic materials
Abstract
Die Erfindung betrifft einen Magnetkern für ein induktives Bauteil, hergestellt in Dünnschichttechnik, bei dem der Magnetkern aus wenigstens zwei verschiedenen magnetischen Materialien besteht.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Magnetkern für ein induktives Bauteil, hergestellt in Dünnschichttechnik. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns in Dünnschichttechnik.
- Aus der internationalen Patentveröffentlichung
WO 2013/072135 A1 - Aus der japanischen Patentzusammenfassung
JP 2010-278322 A - Mit der Erfindung soll ein Magnetkern für ein induktives Bauteil und ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns mittels Dünnschichttechnik verbessert werden.
- Erfindungsgemäß ist hierzu ein Magnetkern für ein induktives Bauteil, hergestellt in Dünnschichttechnik, vorgesehen, bei dem der Magnetkern aus wenigstens zwei verschiedenen magnetischen Materialien besteht.
- Überraschenderweise hat sich gezeigt, dass durch die Verwendung wenigstens zweier unterschiedlicher magnetischer Materialien bei der Herstellung eines Magnetkerns in Dünnschichttechnik sich das Sättigungsverhalten des Magnetkerns verbessern lässt. Vor allem ist es möglich, das Sättigungsverhalten des Magnetkerns gezielt zu beeinflussen, so dass es optimal auf die vorgesehene Anwendung eingestellt werden kann.
- In Weiterbildung der Erfindung wechseln sich über die Länge des Magnetkerns gesehen die verschiedenen magnetischen Materialien ab.
- Der Magnetkern besteht über seinen Umfang gesehen somit aus mehreren Abschnitten, die aus unterschiedlichen magnetischen Materialien bestehen.
- In Weiterbildung der Erfindung nehmen die verschiedenen magnetischen Materialien jeweils den vollständigen Querschnitt des Magnetkerns ein.
- Die verschiedenen Abschnitte des Magnetkerns bestehen somit vollständig aus einem einzigen magnetischen Material und sind, bildlich gesprochen, hintereinandergesetzt, um dann den vollständigen Magnetkern zu bilden.
- In Weiterbildung der Erfindung erstrecken sich die verschiedenen magnetischen Materialien jeweils über die gesamte Länge des Magnetkerns.
- Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind nicht in Längsrichtung des Magnetkerns, sondern in Querrichtung gesehen mehrere Abschnitte aus unterschiedlichem magnetischen Material vorgesehen. Beispielsweise sind mehrere Schichten aus unterschiedlichen magnetischen Materialien aufeinandergelegt, um den vollständigen Magnetkern zu bilden.
- In Weiterbildung der Erfindung ist ein Querschnitt des Magnetkerns aus verschiedenen magnetischen Materialien gebildet.
- In Weiterbildung der Erfindung bildet der Magnetkern einen geschlossenen Ring, wobei der Ring eine kreisrunde, ovale, elliptische, quadratische oder rechteckige Form hat.
- Eine quadratische oder rechteckige Form kann dabei spitze oder auch abgerundete Ecken aufweisen. Die Form des Magnetkerns beeinflusst die Induktivität des fertiggestellten induktiven Bauteils und kann somit entsprechend dem vorgesehenen Anwendungszweck gewählt werden.
- In Weiterbildung der Erfindung ist der Magnetkern mittels wenigstens eines äußeren Rings aus einem ersten magnetischen Material und eines inneren Rings aus einem zweiten magnetischen Material gebildet.
- Auf diese Weise kann das gewünschte Sättigungsverhalten des Magnetkerns eingestellt werden, beispielsweise durch die Dicke des äußeren und des inneren Rings sowie auch die Auswahl des ersten magnetischen Materials und des zweiten magnetischen Materials.
- In Weiterbildung der Erfindung sind die verschiedenen magnetischen Materialien aus den Materialien Ni, NiFe, CoFe, CoP und CoZrTi ausgewählt.
- Diese Materialien haben sich bei der Herstellung von Magnetkernen in Dünnschichttechnik bewährt und weisen unterschiedliche magnetische Eigenschaften auf, so dass gemäß der Erfindung ein gewünschtes Sättigungsverhalten des Magnetkerns eingestellt werden kann.
- In Weiterbildung der Erfindung ist eine den Magnetkern abschnittsweise umgebende Spule mittels Dünnschichttechnik hergestellt.
- Auf diese Weise kann nicht nur der Magnetkern, sondern das vollständige induktive Bauteil mittels Dünnschichttechnik hergestellt werden.
- Das der Erfindung zugrundeliegende Problem wird auch durch ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns gelöst, bei dem das Auftragen eines ersten magnetischen Materials mittels Dünnschichttechnik auf ein Substrat und das Auftragen eines zweiten magnetischen Materials mittels Dünnschichttechnik auf das Substrat vorgesehen sind, wobei das erste magnetische Material wenigstens abschnittsweise unmittelbar an das zweite magnetische Material angrenzt.
- Durch das erfindungsgemäße Verfahren kann ein Magnetkern in Dünnschichttechnik hergestellt werden und gleichzeitig können die gewünschten Eigenschaften des Magnetkerns, speziell dessen Sättigungsverhalten, durch Auswahl unterschiedlicher magnetischer Materialien sowie auch der Abmessungen der Abschnitte des Magnetkerns aus den unterschiedlichen Materialien eingestellt werden.
- In Weiterbildung der Erfindung wird das erste magnetische Material in Form eines ersten geschlossenen Rings auf das Substrat aufgetragen und das zweite Material wird in Form eines zweiten geschlossenen Rings auf das Substrat aufgetragen, wobei der zweite geschlossene Ring mit einer Seite unmittelbar an den ersten geschlossenen Ring angrenzt.
- Über den Querschnitt des Magnetkerns gesehen wechseln sich damit das erste und das zweite Material ab. Aus jedem der beiden unterschiedlichen magnetischen Materialien ist aber ein vollständiger Ring gebildet, wobei die Ringe wenigstens mit einer Seite unmittelbar aneinander anliegen.
- In Weiterbildung der Erfindung ist das Auftragen eines Abschnitts einer Spulenwicklung in Dünnschichttechnik auf das Substrat vorgesehen, nachfolgend ist das Auftragen des ersten und des zweiten Materials zum Bilden des Magnetkerns vorgesehen und weiter nachfolgend ist dann das Auftragen weiterer Abschnitte der Spulenwicklung vorgesehen, so dass die fertiggestellte Spulenwicklung den Magnetkern abschnittsweise umgibt.
- Auf diese Weise kann das vollständige induktive Bauteil einschließlich Magnetkern und Spulen mittels Dünnschichttechnik hergestellt werden.
- Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung im Zusammenhang mit den Zeichnungen. Einzelmerkmale der unterschiedlichen, dargestellten Ausführungsformen lassen sich dabei in beliebiger Weise miteinander kombinieren, ohne den Rahmen der Erfindung zu überschreiten. In den Zeichnungen zeigen:
-
1 eine schematische Ansicht eines Magnetkerns gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, -
2 ein Diagramm einer normierten Induktivität einer Spule mit dem Magnetkern der1 über der Stromaufnahme, -
3 eine schematische Darstellung eines Magnetkerns gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, -
4 ein Diagramm der normierten Induktivität einer Spule mit dem Magnetkern der3 über der Stromaufnahme, -
5 eine schematische Darstellung der Verfahrensschritte bei der Herstellung des Magnetkerns der1 und -
6 eine schematische Darstellung der Verfahrensschritte zur Herstellung des Magnetkerns der3 . - Die Darstellung der
1 zeigt einen erfindungsgemäßen Magnetkern10 , der in Dünnschichttechnik auf einem nicht dargestellten Substrat hergestellt wurde. Der Magnetkern10 weist eine Ringform auf. Speziell weist der Magnetkern10 die Form eines rechteckigen Rings mit abgerundeten Ecken auf. Der Magnetkern10 besteht aus insgesamt vier Abschnitten12 ,14 ,16 und18 . Die Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 bilden, in Umfangsrichtung oder Längsrichtung des Magnetkerns10 gesehen, jeweils einen Abschnitt der Länge des Magnetkerns. Mit ihren Enden liegen die Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 unmittelbar aneinander an. Die Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 bilden somit einen durchgehenden, nicht unterbrochenen Ring. - Die beiden Abschnitte
12 ,16 bestehen dabei aus einem ersten magnetischen Material, beispielsweise Nickel-Eisen (NiFe). Dabei kann Nickel-Eisen in verschiedenen Legierungen eingesetzt werden, beispielsweise NiFe 81/19, NiFe 45/55 usw. Die Abschnitte14 ,18 bestehen dahingegen aus einem zweiten magnetischen Material mit anderen magnetischen Eigenschaften. Hier kann beispielsweise Kobalt-Eisen (CoFe) oder auch andere Materialien verwendet werden. Beispielsweise ist auch die Verwendung von Nickel-Eisen sowohl in den Abschnitten12 ,16 als auch in den Abschnitten14 ,18 möglich, wobei dann unterschiedliche Legierungen verwendet werden, beispielsweise NiFe 81/19 in den Abschnitten12 ,16 und NiFe 45/55 in den Abschnitten14 ,18 . Die unterschiedlichen magnetischen Materialien für die Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 können beispielsweise aus der Gruppe mit den Materialien Nickel (Ni), Nickel-Eisen (NiFe), Kobalt-Eisen (CoFe), Kobalt-Phosphor (CoP), Kobalt-Zirkonium-Titan (CoZrTi) ausgewählt werden. - Die Kombination zweier unterschiedlicher magnetischer Materialien in dem Magnetkern
10 erlaubt es, die Sättigung des Magnetkerns10 auf einen gewünschten Verlauf einzustellen. -
2 zeigt beispielhaft ein Diagramm, in dem die Induktivität L als Funktion des Stroms I aufgetragen ist. Die Induktivität L ist dabei normiert aufgetragen, um unabhängig von der den Magnetkern umgebenden Spule einen typischen Verlauf aufzuzeigen. In gestrichelten Linien ist in1 dabei zum Vergleich die Induktivität L eines Magnetkerns mit den Abmessungen der1 dargestellt, wobei dieser Magnetkern dann ausschließlich aus dem Material NiFe besteht. In gepunkteten Linien ist dann die Induktivität L des Magnetkerns10 der1 aufgetragen, wobei dann die Abschnitte12 ,16 aus NiFe und die Abschnitte14 ,18 aus CoFe bestehen. Wie ohne weiteres zu erkennen ist, weist der Magnetkern der1 durchgängig eine höhere Sättigung auf. Dies wird durch die Kombination der aus unterschiedlichen magnetischen Materialien bestehenden Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 erzielt, die dann gemeinsam den segmentierten Magnetkern10 bilden. - Durch Aufteilen des Magnetkerns
10 in Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 aus unterschiedlichen Materialien lässt sich dadurch ein verbessertes Sättigungsverhalten erzielen. Die gewünschten Eigenschaften können dabei durch die geometrischen Abmessungen der Abschnitte12 ,14 ,16 ,18 sowie auch durch die Auswahl der magnetischen Materialien eingestellt werden. - Die Darstellung der
3 zeigt einen Magnetkern20 gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Der Magnetkern20 weist, wie der Magnetkern10 der1 , die Form eines rechteckförmigen Rings mit abgerundeten Ecken auf. Im Unterschied zum Magnetkern10 der1 besteht der Magnetkern20 aus einem inneren Ring22 aus einem ersten magnetischen Material und einem äußeren Ring24 aus einem zweiten magnetischen Material. Der innere Ring22 grenzt dabei mit seiner Außenseite unmittelbar an die Innenseite des äußeren Rings24 . Auch bei dem Magnetkern20 sind somit Abschnitte aus unterschiedlichen magnetischen Materialien miteinander kombiniert, wobei sich die Abschnitte, nämlich die beiden Ringe22 ,24 , jeweils über die vollständige Länge des Magnetkerns20 erstrecken. Beispielsweise ist der innere Ring22 aus Nickel-Eisen (NiFe) hergestellt, der äußere Ring24 dahingegen aus Kobalt-Eisen (CoFe). - Die Darstellung der
4 zeigt ein Diagramm, in dem die normierte Induktivität L des Magnetkerns20 der3 über der Stromaufnahme aufgetragen wurde. Die gestrichelte Linie stellt die Induktivität eines Magnetkerns dar, der ausschließlich aus Nickel-Eisen besteht. Im Vergleich hierzu ist mit einer gepunkteten Linie die Induktivität des Magnetkerns20 der3 aufgetragen. Es ist zu erkennen, dass der Magnetkern20 der3 ein erheblich verbessertes Sättigungsverhalten aufweist. Dies wird durch die Kombination der unterschiedlichen magnetischen Materialien im inneren Ring22 und im äußeren Ring24 erreicht. Das Sättigungsverhalten des Magnetkerns20 lässt sich durch die geometrischen Abmessungen des inneren Rings22 bzw. des äußeren Rings24 sowie auch die Auswahl der magnetischen Materialien für den inneren Ring22 und den äußeren Ring24 auf den vorgesehenen Anwendungsfall abstimmen. - Die Darstellung der
5 zeigt schematisch Verfahrensschritte zur Herstellung eines induktiven Bauteils mit dem Magnetkern10 der1 in Dünnschichttechnik oder Dünnfilmtechnik. - Ausgehend von einem Substrat
30 beginnt der Herstellungsprozess des Magnetkerns. Das Substrat30 enthält dabei bereits Abschnitte32 einer Spulenwicklung, die ebenfalls in Dünnschichttechnik hergestellt wird. Das Substrat30 enthält damit bereits die untere Spulenlage32 und der noch herzustellende magnetische Kern befindet sich dann zwischen der unteren Spulenlage32 und einer oberen, nicht dargestellten Spulenlage. - Im Schritt A wird auf das Substrat
30 eine metallische Startschicht32 aufgetragen. Im Substrat30 ist, wie auch bei den nachfolgenden Verfahrensschritten, der Übersichtlichkeit halber die untere Spulenlage23 nicht mehr eingezeichnet. Die metallische Startschicht32 wird beispielsweise durch Kathodenzerstäubungsverfahren aufgebracht. Als Startschicht können Nickel (Ni), Titan (Ti), Tantal (Ta), Nickel-Eisen (NiFe) oder Kupfer (Cu) verwendet werden. - Im Schritt B wird eine Photoresist-Maskierung
34 durchgeführt, wobei die Photoresist-Maskierung34 dann die Form für die nachfolgende galvanische Abscheidung eines ersten magnetischen Materials bildet. - Im Schritt C wird die galvanische Abscheidung des ersten magnetischen Materials
36 vorgenommen und die zugehörige Abbildung zeigt den Zustand nach beendeter Abscheidung. Das erste magnetische Material36 füllt nun die Zwischenräume zwischen der Photoresist-Maskierung34 auf. Bezogen auf die1 werden durch das erste magnetische Material36 nun die Abschnitte12 ,16 des Magnetkerns10 gebildet. Das erste magnetische Material ist bei der dargestellten Ausführungsform Nickel-Eisen (NiFe). - Im Schritt D wird die Photoresist-Maskierung
34 entfernt, so dass auf der metallischen Startschicht32 nun nur noch das erste magnetische Material36 in Form der Abschnitte12 ,16 , siehe1 , angeordnet ist. - Im Herstellungsschritt E wird eine zweite Photoresist-Maskierung
38 aufgetragen, die dann eine Form für das Auftragen des zweiten magnetischen Materials bildet. Bezogen auf die1 lässt die zweite Photoresist-Maskierung38 lediglich die Abschnitte14 ,18 frei, die dann mit dem zweiten magnetischen Material gefüllt werden sollen. - Im Herstellungsschritt F wird dann das zweite magnetische Material
40 abgeschieden, das dann unmittelbar an das erste magnetische Material36 angrenzt. Bezogen auf die1 sind nun die beiden Abschnitte12 ,14 aus dem ersten magnetischen Material36 durch die beiden Abschnitten14 ,18 aus dem zweiten magnetischen Material40 miteinander verbunden. Das zweite magnetische Material ist bei der dargestellten Ausführungsform Kobalt-Eisen. - In einem Herstellungsschritt G wird die zweite Photoresist-Markierung
38 entfernt. Auf der metallischen Startschicht32 ist nun der Magnetkern10 angeordnet, wobei, wie ausgeführt wurde, die Abschnitte12 ,16 aus dem ersten magnetischen Material36 und die Abschnitte14 ,18 aus dem zweiten magnetischen Material40 gebildet sind. - Im Verfahrensschritt H wird die Startschicht
32 in den Bereichen entfernt, in denen sie nicht durch den Magnetkern10 bedeckt ist. Die Startschicht32 wird dabei entweder durch Plasmaätzen, Ionenstrahlätzen oder auch durch ein nasschemisches Verfahren mit Säure entfernt. - Nach dem Verfahrensschritt H befindet sich auf dem Substrat
30 somit der fertiggestellte Magnetkern10 . In weiteren Verfahrensschritten kann nun das induktive Bauteil vollständig hergestellt werden, indem die untere Spulenlage32 mit einer oberen Spulenlage und seitlichen Spulenabschnitten kombiniert wird. - Die Darstellung der
6 zeigt schematisch mehrere Herstellungsschritte des Magnetkerns20 der3 . - Das Substrat
30 enthält wieder eine untere Spulenlage32 , die dann nach Herstellung des Magnetkerns20 mit seitlichen Spulenabschnitten und einer oberen Spulenlage zu einer vollständigen, den Magnetkern20 abschnittsweise umgebenden Spule vervollständigt wird. - Im Herstellungsschritt A erfolgt das Aufbringen der metallischen Startschicht
32 . - Im Herstellungsschritt B wird eine erste Photoresist-Maskierung
34 aufgetragen, wobei die erste Photoresist-Maskierung34 in diesem Fall die Form für den inneren Ring22 des Magnetkerns20 der3 bildet. In der zum Herstellungsschritt B gehörenden Darstellung sowie auch in den nachfolgenden Darstellungen ist die untere Spulenlage32 der Übersichtlichkeit halber nicht mehr dargestellt. - Im Herstellungsschritt C wird dann das erste magnetische Material
36 galvanisch abgeschieden, das dann, siehe3 , den inneren Ring22 bildet. - Im Herstellungsschritt D wird die erste Photoresist-Maskierung
34 entfernt. - Im Herstellungsschritt E wird die zweite Photoresist-Maskierung
38 aufgetragen, die dann die Form für den äußeren Ring24 des Magnetkerns20 der3 bildet. - Im Herstellungsschritt F wird das zweite magnetische Material
40 abgeschieden, das dann unmittelbar an das erste magnetische Material36 angrenzt und dann den äußeren Ring24 des Magnetkerns20 der3 bildet. Es ist dabei festzustellen, dass die Darstellungen der6 schematisch sind und lediglich ein Schnitt durch den Magnetkern20 dargestellt ist, um die aufeinanderfolgenden Verfahrensschritte zu verdeutlichen. - Im Verfahrensschritt G wird die zweite Photoresist-Maskierung
38 entfernt. - Im Verfahrensschritt H wird dann die metallische Startschicht
33 in den Bereichen entfernt, in denen sie nicht durch das erste magnetische Material36 oder das zweite magnetische Material40 abgedeckt ist. Auf dem Substrat30 ist somit nur noch der magnetische Kern20 , siehe3 , angeordnet. Die untere Spulenlage32 kann nun in den nachfolgenden Verfahrensschritten zu einer, den Magnetkern20 abschnittsweise umgebenden Spule vervollständigt werden. - Die Erfindung findet für mikrotechnische induktive Bauteile Anwendung, beispielsweise Speicherdrosseln und Transformatoren für hohe Schaltfrequenzen, wie sie insbesondere bei DC-DC-Wandlern eingesetzt werden. Die Möglichkeit, das Sättigungsverhalten der verwendeten magnetischen Kerne
10 ,20 auf ein gewünschtes Sättigungsverhalten einstellen zu können, bietet dabei erhebliche Vorteile. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- WO 2013/072135 A1 [0002]
- JP 2010-278322 A [0003]
Claims (13)
- Magnetkern für ein induktives Bauteil, hergestellt in Dünnschichttechnik, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetkern (
10 ,20 ) aus wenigstens zwei verschiedenen magnetischen Materialien (36 ,40 ) besteht. - Magnetkern nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass über die Länge des Magnetkerns (
10 ) gesehen sich die verschiedenen magnetischen Materialien (36 ,40 ) abwechseln. - Magnetkern nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die verschiedenen magnetischen Materialien (
36 ,40 ) jeweils den vollständigen Querschnitt des Magnetkerns (10 ) einnehmen. - Magnetkern nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die verschiedenen magnetischen Materialien (
36 ,40 ) jeweils über die gesamte Länge des Magnetkerns (20 ) erstrecken. - Magnetkern nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Querschnitt des Magnetkerns (
20 ) aus verschiedenen magnetischen Materialien (36 ,40 ) gebildet ist. - Magnetkern nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetkern (
10 ,20 ) einen geschlossen Ring bildet, wobei der Ring eine kreisrunde, ovale, elliptische, quadratische oder rechteckige Form hat. - Magnetkern nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetkern (
20 ) mittels wenigstens eines inneren Rings (22 ) aus einem ersten magnetischen Material (36 ) und eines äußeren Rings (24 ) aus einem zweiten magnetischen Material (40 ) gebildet ist. - Magnetkern nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die verschiedenen magnetischen Materialien aus den Materialen Ni, Ni-Fe, CoFe, CoP und CoZrTi ausgewählt sind.
- Induktives Bauteil mit einem Magnetkern nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei eine den Magnetkern (
10 ,20 ) abschnittsweise umgebende Spule mittels Dünnschichttechnik hergestellt ist. - Verfahren zum Herstellen eine Magnetkerns (
10 ,20 ) nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Auftragen eines ersten magnetischen Materials (36 ) mittels Dünnschichttechnik auf ein Substrat (30 ) und Auftragen eines zweiten magnetischen Materials (40 ) mittels Dünnschichttechnik auf das Substrat (30 ), wobei das erste magnetische Material (36 ) wenigstens abschnittsweise unmittelbar an das zweite magnetische Material (40 ) angrenzt. - Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Auftragen des zweiten magnetischen Materials (
40 ) ein geschlossener Ring aus dem ersten magnetischen Material (36 ) und dem zweiten magnetischen Material (40 ) gebildet wird. - Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das erste magnetische Material in Form eines ersten geschlossenen Rings (
22 ) auf das Substrat (30 ) aufgetragen wird und das zweite magnetische Material (40 ) in Form eines zweiten geschlossenen Rings (24 ) auf das Substrat (30 ) aufgetragen wird, wobei der zweite geschlossenen Ring (24 ) mit einer Seite unmittelbar an den ersten geschlossenen Ring (22 ) angrenzt. - Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 10 bis 13, gekennzeichnet durch Auftragen eines Abschnitts (
32 ) einer Spulenwicklung in Dünnschichttechnik auf das Substrat (30 ), nachfolgend Auftragen des ersten und des zweiten magnetischen Materials (36 ,40 ) zum Bilden des Magnetkerns (10 ,20 ) und dann Auftragen weiterer Abschnitte der Spulenwicklung, so dass die fertiggestellte Spulenwicklung den Magnetkern (10 ,20 ) abschnittsweise umgibt.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014218043.0A DE102014218043A1 (de) | 2014-09-10 | 2014-09-10 | Magnetkern, induktives Bauteil und Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns |
CN201580048746.2A CN106605280B (zh) | 2014-09-10 | 2015-08-06 | 磁芯、电感部件以及用于制造磁芯的方法 |
US15/506,985 US20170278614A1 (en) | 2014-09-10 | 2015-08-06 | Magnetic Core, Inductive Component, And Method For Producing A Magnetic Core |
PCT/EP2015/068180 WO2016037776A1 (de) | 2014-09-10 | 2015-08-06 | Magnetkern, induktives bauteil und verfahren zum herstellen eines magnetkerns |
EP15749777.7A EP3192090B1 (de) | 2014-09-10 | 2015-08-06 | Magnetkern, induktives bauteil und verfahren zum herstellen eines magnetkerns |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014218043.0A DE102014218043A1 (de) | 2014-09-10 | 2014-09-10 | Magnetkern, induktives Bauteil und Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102014218043A1 true DE102014218043A1 (de) | 2016-03-10 |
Family
ID=53835424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102014218043.0A Withdrawn DE102014218043A1 (de) | 2014-09-10 | 2014-09-10 | Magnetkern, induktives Bauteil und Verfahren zum Herstellen eines Magnetkerns |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170278614A1 (de) |
EP (1) | EP3192090B1 (de) |
CN (1) | CN106605280B (de) |
DE (1) | DE102014218043A1 (de) |
WO (1) | WO2016037776A1 (de) |
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CN106605280B (zh) | 2018-09-18 |
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