DE10111460A1 - Magnetische Hochfrequenz-Einrichtung mit einem weichmagnetischen Schichtensystem - Google Patents

Abstract

Die magnetische Hochfrequenz-Einrichtung (2) enthält ein Schichtensystem (3), das mindestens eine Schicht (3a, 3b) aus weichmagnetischem Material aufweist, der mindestens eine weitere Schicht (3c) aus hartmagnetischem Material zugeordnet ist. Zu einer Einstellbarkeit der Permeabilität des Schichtensystems (3) mittels der hartmagnetischen Schicht (3c) ist diese als eine ein permanentes magnetisches Hintergrundfeld erzeugende Biasschicht für die weichmagnetische Schicht (3a, 3b) vorgesehen. Die Einrichtung ist insbesondere für einen Frequenzbereich über 10 MHz vorgesehen. Ihr Schichtensystem ist vorzugsweise in Dünnschichttechnik erstellt.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine magnetische Hochfrequenz- Einrichtung mit einem Schichtensystem, das mindestens eine Schicht aus weichmagnetischem Material aufweist, der mindes­ tens eine weitere Schicht aus einem anderen Material zugeord­ net ist. Eine Hochfrequenzeinrichtung mit einem entsprechen­ den Schichtensystem geht aus "NTT Review", Vol. 7, No. 6, No­ vember 1995, Seiten 89 bis 95 hervor.

Für zahlreiche Anwendungen der magnetischen Dünnfilmtechnolo­ gie, wie z. B. für Telekommunikationssysteme, werden magnetische Einrichtungen, wie Filter, Sensoren, Transformatoren oder In­ duktoren, in möglichst kleiner (miniaturisierter) Bauweise entwickelt. Diese magnetischen Einrichtungen werden deshalb im allgemeinen in Dünnfilmtechnik unter Verwendung von weich­ magnetischem Material erstellt. Um die Baugröße dieser Ein­ richtungen weiter reduzieren zu können, müssen sie in hohen Frequenzbereichen, beispielsweise im GHz-Bereich, arbeiten können. Ihr weichmagnetisches Material muss deshalb eine gro­ ße Permeabilität bei gleichzeitig hoher Cut-off-Frequenz, d. h. klassischer Wirbelstromgrenzfrequenz oder gyromagneti­ scher Grenzfrequenz, besitzen. Unter der Cut-off-Frequenz wird dabei die Frequenz verstanden, unterhalb derer die Permeabi­ lität zumindest annähernd konstant bleibt. Da die bisher ver­ wendeten Ferrite als weichmagnetische Materialien eine hin­ reichend hohe Permeabilität nur bei verhältnismäßig niedrigen Frequenzen zeigen, wurden Dünnschichtensysteme mit Schichten aus weichmagnetischen Materialien und dazwischenliegenden, nicht-magnetischen Zwischenschichten entwickelt, die ver­ gleichsweise höhere Permeabilitäten besitzen (vgl. die ein­ gangs genannte Literaturstelle).

Will man mit entsprechenden Dünnschichtensystemen Schwing­ kreise aufbauen, so wird häufig ein trimmbares L- und/oder C- Glied vorgesehen. Darüber hinaus ist auch eine magnetische Gleichfeldüberlagerung (Biasfeldüberlagerung) durch einen Spulenstrom dieses Kreises bekannt, der jedoch mit einem zu­ sätzlichen Energieverbrauch für den Spulenstrom verbunden ist.

Eine darüber hinaus bei hybrid aufgebauten Einrichtungen vielfach mögliche, mechanische Trimmung, insbesondere mittels eines veränderbaren Kern-Spule-Systems, ist bei miniaturisier­ ten Einrichtungen weder realisierbar noch gewünscht.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die magnetische Einrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend auszugestalten, dass ein miniaturisierter Aufbau ermöglicht ist und aufwendige Mittel zu einer Gleichfeldüberlagerung, wie insbesondere durch einen Spulenstrom, vermieden werden. Die Einrichtung soll dabei für einen Betrieb bei hohen Frequenzen auszulegen sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des An­ spruchs 1 gelöst. Dementsprechend weist die Hochfrequenz- Einrichtung mit einem Schichtensystem, das mindestens eine Schicht aus weichmagnetischem Material aufweist, der mindes­ tens eine weitere Schicht aus einem anderen Material zugeord­ net ist, eine Einstellbarkeit der Permeabilität µ ihres Schichtensystems auf. Hierzu besteht die mindestens eine wei­ tere Schicht aus einem hartmagnetischen Material und ist als eine, ein permanentes, magnetisches Hintergrundfeld erzeugende Biasschicht für die mindestens eine weichmagnetische Schicht vorgesehen. Dabei ist die Hochfrequenz(HF)-Eigenschaft der Einrichtung als eine Eignung zu einem Betrieb bei hohen Fre­ quenzen zu verstehen.

Mit der erfindungsgemäßen Maßnahme können die magnetischen Eigenschaften des Schichtensystems über dessen magnetische Permeabilität und damit eine Induktivität durch das perma­ nentmagneterzeugte Feld einer (sonst ungekoppelten) hartmag­ netischen Schicht oder Schichtenfolge variiert werden. Auf diese Weise lässt sich die Abstimmung z. B. einer Induktivität einer Leiteranordnung, wie z. B. einer Spulenwicklung, kontakt­ los an der Biasschicht entweder durch ein äußeres Magnetfeld einer Permanentmagnetanordnung oder durch das Feld eines Stromimpulses in einer Leiterbahn vornehmen. Die Vorteile der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Einrichtung bestehen also in einer einfachen, kontaktlosen und dauerhaften, jedoch auch nachveränderlichen Einstellungsmöglichkeit der Permeabilität von Magnetschichten bzw. der Induktivität. Damit ist eine starke Erweiterung des Einsatzpotenzials solcher magnetischer Einrichtungen verbunden. Die Einführung der hartmagnetischen Schicht in das Schichtensystem in vorzugsweise Dünnschicht­ technik ist einerseits wenig aufwendig; andererseits erwei­ tert diese durch die oben beschriebenen Möglichkeiten den Einsatzbereich induktiver Bauelemente, speziell von Mikroin­ duktoren oder induktiven Sensoren.

Durch die Einbringung der Biasschicht aus hartmagnetischem Material in das Schichtensystem lässt sich die (effektive) Permeabilität µ_eff des Schichtensystems vorzugsweise bei ho­ hen, festen Frequenzen von über 100 MHz in großen Bereichen, d. h. vorzugsweise µ_eff zwischen 1 und 10⁴, variieren bzw. die Cut-off-Frequenz so verschieben, dass im HF-Bereich eine Er­ höhung der frequenzabhängigen Permeabilität µ_eff gegenüber der entsprechenden Permeabilität des weichmagnetischen Materials der weichmagnetischen Schichten bei niedrigeren Frequenzen erhöhen. Auf diese Weise sind je nach Material (effektive) Permeabilitäten µ_eff von beispielsweise über 10⁴ auch in HF- Bereichen zu realisieren, die sonst mit ausschließlich weich­ magnetischen Schichten nicht erreichbar sind.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen, magneti­ schen Einrichtung gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.

So kann insbesondere die Einrichtung als eine Mikroinduktivi­ tät oder ein induktiver Sensor mit dem Schichtensystem als einem Magnetkern und mindestens einer Spulenwicklung ausge­ bildet sein. Entsprechende Bauelemente werden bevorzugt in stark miniaturisierten Geräten, wie z. B. der Kommunikations­ technik, eingesetzt und erlauben vorteilhaft einen Betrieb bei hohen Frequenzen. Vorzugsweise sind sie für einen Betrieb in einem Frequenzbereich oberhalb 100 MHz, insbesondere 1 GHz geeignet.

Die Teile der erfindungsgemäßen Einrichtung werden vorteil­ haft in Dünnfilmtechnik und/oder Planartechnik erstellt. Ent­ sprechende Techniken sind allgemein bekannt. Dabei liegt die Dicke der mindestens einen, weichmagnetischen Schicht des Schichtensystems im Allgemeinen im Bereich zwischen 0,1 µm und 2 mm, vorzugsweise unter 5 µm, während die Dicke der min­ destens einen, hartmagnetischen Biasschicht vielfach etwas ge­ ringer ist und im Allgemeinen zwischen 0,1 µm und 1 mm, vor­ zugsweise unter 1 µm liegt.

Weitere, vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen, magnetischen Einrichtung gehen aus den übrigen Ansprüchen hervor.

Bevorzugte Ausführungsformen von erfindungsgemäßen, magneti­ schen Einrichtungen werden nachfolgend an Hand der Zeichnung erläutert. Dabei zeigen jeweils schematisch deren

Fig. 1 und 2 an Hand eines Diagramms die Einstellung einer Permeabilität von weichmagnetischen Werkstoffen durch ein überlagertes, magnetisches Gleichfeld parallel bzw. senkrecht zur Aussteuerungsrichtung,

Fig. 3 an Hand eines Diagramms die Einstellung einer rema­ nenten Induktion in einer hartmagnetischen Schicht,

Fig. 4 an Hand eines Diagramms die frequenzmäßige Erweite­ rung des Betriebsbereichs eines Schichtensystems ei­ ner erfindungsgemäßen, magnetischen Einrichtung,

Fig. 5 und 6 als Schnittbild bzw. in Aufsicht den Kern bzw. die Spule mit einem solchen Kern als erfindungs­ gemäße, magnetische Einrichtung,

Fig. 7 und 8 als Schnittbild bzw. in Aufsicht den Kern für eine andere, magnetische Einrichtung sowie

Fig. 9 und 10 als Schnittbild bzw. in Aufsicht den Kern mit einer weiteren Spule als magnetische Einrichtung.

Dabei sind in den Figuren sich entsprechende Teile mit den­ selben Bezugszeichen versehen.

Bei der erfindungsgemäßen, magnetischen Einrichtung kann es sich insbesondere um eine Mikroinduktivität oder einen minia­ turisierten, induktiven Sensor handeln, die/der bei hohen Fre­ quenzen von über 100 MHz zu betreiben ist. Die Einrichtung wird deshalb als Hochfrequenz(HF)-Einrichtung angesehen. Sie wird vorzugsweise nach bekannten Verfahren der Dünnfilm- und/oder Planartechnik erstellt. Sie umfasst mindestens ein Dünnfilmschichtensystem mit wenigstens einer weichmagneti­ schen Schicht und wenigstens einer ihr zugeordneten, hartmag­ netischen Schicht. Da diese hartmagnetische Schicht ein mag­ netisches Gleichfeld als ein Hintergrundfeld (= Biasfeld) er­ zeugen soll, dem permanent die weichmagnetische Schicht aus­ gesetzt sein soll, ist diese hartmagnetische Schicht auch als eine Biasschicht zu betrachten. Dabei wird als ein weichmag­ netisches Material ein Werkstoff mit einer Koerzitivfeldstär­ ke H_c unter 10 A/cm verstanden, während ein Werkstoff mit ei­ ner Koerzitivfeldstärke H_c von über 100 A/cm als magnetisch hart betrachtet wird (vgl. das Buch von R. Boll: "Weichmagne­ tische Werkstoffe", Vacuumschmelze GmbH, 1990, Seiten 56 bis 59). Die Permeabilität µ dieses Schichtensystems ist erfin­ dungsgemäß über eine besondere Magnetisierung der hartmagne­ tischen Biasschicht einstellbar, insbesondere vorzugsweise in dem hohen Frequenzbereich auf Grund einer Verschiebung der Cut-off-Frequenz zu höheren Frequenzen hin gegenüber Systemen ohne Biasfeld in diesem erweiterten Frequenzbereich erhöht. Dabei wird nachfolgend als Permeabilität µ immer die sogenannte effektive Permeabilität µ_eff (des Schichtensystems) verstanden (vgl. z. B. das vorerwähnte Buch von R. Boll, Sei­ ten 44 bis 48). Der Einrichtung nach der Erfindung müssen deshalb besondere, magnetfelderzeugende Mittel zur Einstellung einer vorbestimmten, remanenten Induktion in der mindestens einen hartmagnetischen Biasschicht ihres Schichtensystems zu­ geordnet sein. Bei diesen magnetfelderzeugenden Mitteln han­ delt es sich im Allgemeinen um eine Permanentmagnetanordnung oder eine stromdurchflossene Leiteranordnung. An Hand der Fig. 1 bis 4 sei nachfolgend eine entsprechend vorzunehmende Einstellbarkeit dargelegt:
Gemäß dem Diagramm der Fig. 1 kann die Einstellung einer Permeabilität µ bei beliebigen, weichmagnetischen Werkstoffen z. B. durch ein überlagertes, magnetisches Gleichfeld erfolgen. In dem Diagramm sind in Abszissenrichtung das von einer ent­ sprechenden, magnetfelderzeugenden Vorrichtung in Form einer Biasschicht hervorgerufene Magnetfeld mit einer Stärke H (in A/m) und in Ordinatenrichtung die Induktion B (in T) jeweils in willkürlichem Maßstab aufgetragen. Das Diagramm zeigt die Magnetisierungskurve k_wp, einer weichmagnetischen Schicht in einer magnetischen Einrichtung mit einem Schichtensystem in Form eines Schichtenstapels aus abwechselnd weich- und hart­ magnetischen Schichten. Die Magnetisierung der Biasschicht ist dabei parallel zur Ausdehnungsrichtung des Schichtensys­ tems bzw. dessen weichmagnetischer Schicht (= sogenannte Aus­ steuerrichtung) vorgenommen. Wie dem Diagramm zu entnehmen ist, kann durch eine durch das Feld der Biasschicht hervorge­ rufene, permanent erzeugte Vormagnetisierung das Permeabili­ tätsniveau in den aktiven, weichmagnetischen Schichten des Schichtensystems (von µ₁ bei einer ersten Magnetfeldstärke H_1p auf µ₂ bei einer zweiten Magnetfeldstärke H_2p) einstellbar gestaltet werden. Dabei lässt sich die vorherige Einstellung der Magnetisierung der mindestens einen hartmagnetischen Schicht des Schichtensystems, die auch als Trimmung bezeich­ net wird, entweder von außen kontaktlos mittels eines magne­ tischen Gleichfeldes (DC-Magnetfeldes) oder eines magnetischen Wechselfeldes (AC-Magnetfeldes) durch Auf- oder Abmag­ netisieren vornehmen.

Fig. 2 zeigt in Fig. 1 entsprechender Darstellung die Mag­ netisierungskurven k_wq1 und k_wq2, die sich für dasselbe Schich­ tensystem bei einer Aussteuerrichtung ergeben, die quer bzgl. der Aussteuerrichtung nach Fig. 1 gerichtet ist. Die unter­ schiedlichen Magnetfeldstärken sind hier mit H_1q und H_2q be­ zeichnet.

Eine Permeabilitätseinstellung mittels einer Trimmung einer Biasschicht ist an Hand des Diagramms der Fig. 3 ersicht­ lich, für das dieselben Achsen wie für das gemäß Fig. 1 ge­ wählt wurden. Wie aus der Magnetisierungskurve k_hp der hart­ magnetischen Schicht zu entnehmen ist, kann die Einstellung einer remanenten Induktion in dieser Schicht durch Aufmagne­ tisieren oder gezieltes Entmagnetisieren auf Induktionswerte B₁, B₂ bzw. B₃ erfolgen. Diese remanente Induktion führt zu einem Feld H, das eine Änderung der Permeabilität µ(H) be­ wirkt. Selbstverständlich kann die remanente Polarisation dieser Schicht auch durch einen im Allgemeinen kurzzeitig ho­ hen Strom in einer Leiterbahn oder einer Spule beeinflusst werden. Dabei sind je nach Ausführungsform einer Induktivität verschiedene Freiheitsgrade bezüglich einer möglichen Vor­ zugsrichtung der Magnetisierung in dieser Schicht gegeben. Für das Diagramm wurde eine solche parallel zur Aussteuer­ richtung gewählt.

Die mit einer erfindungsgemäßen Integration mindestens einer Biasschicht in das Schichtensystem einer HF-Einrichtung er­ reichbare Erweiterung des Einsatzbereichs dieser Einrichtung nach hohen Frequenzen hin ist aus dem Diagramm der Fig. 4 abzulesen. In dem Diagramm sind in Abszissenrichtung die Fre­ quenz f (in Hz) und in Ordinatenrichtung die (effektive) Per­ meabilität µ von weichmagnetischen Schichtensystemen (in willkürlichen Einheiten) aufgetragen. Die Permeabilitätskurve k1 ergibt sich für ein bekanntes, weichmagnetisches Schichtensystem (z. B. gemäß der eingangs genannten Literaturstelle) ohne Biasschicht. Demgegenüber wird die Permeabilitätskurve k2 erhalten, wenn erfindungsgemäß eine Biasfeldüberlagerung der weichmagnetischen Schichten eines Schichtensystems mit­ tels wenigstens einer permanentmagnetischen Biasschicht vor­ gesehen wird. Diese Gleichfeldüberlagerung hat zur Folge, dass die Cut-off-Frequenz f_co zu höheren Frequenzen verscho­ ben wird und damit die Einsatzmöglichkeit der erfindungsgemä­ ßen HF-Einrichtung in diesen Frequenzbereich erweitert wird.

Die Fig. 5 und 6 zeigen eine stabförmige Mikroinduktivität bzw. Spule 2 mit einem Magnetkern K1, der mit in Dünnfilm­ technik erstellten Windungen einer Wicklung 4 aus einem band­ förmigen Leiter 5 bewickelt ist. Gemäß Fig. 3 besteht der Kern K1 beispielhaft aus einem Schichtensystem 3, das abwech­ selnd aus weich- und hartmagnetischen Schichten aufgebaut ist. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel besteht die­ ses Schichtensystem aus zwei weichmagnetischen Schichten 3a und 3b, zwischen denen eine hartmagnetische Biasschicht 3c angeordnet ist. Die weichmagnetischen Schichten bestehen aus üblichen, weichmagnetischen Materialien mit geringer Koerzi­ tivfeldstärke, wie z. B. aus einer handelsüblichen NiFe- Legierung mit dem Markennamen "Permalloy". Ihre Schichtdicke d1 bzw. d2 liegt im Allgemeinen zwischen 0,1 µm und wenigen µm (z. B. 2 bis 5 µm), kann aber auch bis zu einige mm (z. B. bis etwa 2 mm) betragen. Die hartmagnetische Schicht 3c hat eine Dicke d3, die im Allgemeinen geringer als die der be­ nachbarten, weichmagnetischen Schichten 3a und 3b ist und zwi­ schen 0,1 µm und 1 mm, insbesondere unter 5 µm, vorzugsweise unter 1 µm liegt. Als Material für diese Schicht 3c kommen bekannte, hartmagnetische Legierungen, wie beispielsweise eine Nd-Fe-B- oder Al-Ni-Co-Legierung in Frage. In den Fig. 5 und 6 sind darüber hinaus die möglichen Richtungen des auf­ magnetisierenden Feldes in bekannter Darstellung durch Pfeile ↑, → bzw. durch ein die senkrechte Richtung bezüglich der Zeichenebene symbolisierendes, umringtes Kreuz ⊗ dargestellt. Sie entsprechen denen eines rechtwinkligen x-y-z- Koordinatensystems. Die Richtungen sind allgemein mit r be­ zeichnet. Wie angedeutet, ist bei dieser Ausführungsform eine Veränderung der Permeabilität µ durch eine Einstellung einer Remanenz im hartmagnetischen Material in allen Richtungen x, y und z möglich. Die Induktivität der Spulenwicklung 4 kann so vorteilhaft kontaktlos durch ein äußeres Magnetfeld einge­ stellt werden. Dieses äußere Magnetfeld kann beispielsweise durch einen gegebenenfalls gepulsten Strom erzeugt werden. Andere hierfür geeignete, magnetfelderzeugende Einrichtungen, wie Permanentmagnete, sind hinlänglich bekannt.

Ein in den Fig. 7 und 8 angedeuteter, magnetischer Kern K2 unterscheidet sich von dem Kern K1 nach dem Fig. 5 und 6 nur durch seine Ringform mit geschlossenem Magnetkreis. Sein Schichtensystem 13 entspricht somit weitgehend dem des Kerns K1 nach Fig. 5. In den Fig. 7 und 8 sind ferner bevorzug­ te Richtungen r eines aufmagnetisierenden Magnetfeldes ange­ deutet. Hier folgt die Aufmagnetisierung vorteilhaft in senk­ rechter Richtung. Will man einen Ringkern mit einer In-Plane- Magnetisierung, so können nur in segmentartigen Bereichen der mindestens einen weichmagnetischen Schicht des Torus' hart­ magnetische Schichtstücke zugeordnet werden. Dies ist insbe­ sondere dann von Vorteil, wenn dadurch eine unerwünschte, uni­ axiale Anisotropie umgangen wird.

Abweichend von der Ausführungsform nach den Fig. 5 und 6 sind auch andere Ausführungsformen von insbesondere in Dünn­ filmtechnik zu erstellenden Kernen von Mikroinduktivitäten mit einem erfindungsgemäß ausgebildeten Schichtensystem mög­ lich. So zeigen die Fig. 9 und 10 in den Fig. 5 und 6 entsprechender Darstellung eine Mikroinduktivität 22 mit einer planaren Leiterwicklung 24 bzw. Spule, die in mindes­ tens einem Spulenbereich mit einem erfindungsgemäß aufgebau­ ten Schichtensystem 23 und/oder 23a abgedeckt ist. Der Schnitt durch das Schichtensystem 23 gemäß Fig. 9 zeigt einen dem Schichtensystem 3 des Kerns K1 nach Fig. 5 entspre­ chenden Aufbau. Auch in diesen Fig. 9 und 10 sind die bevorzugten Richtungen r der Aufmagnetisierung durch ein exter­ nes Magnetfeld angedeutet. Die in Fig. 10 parallel zur Lei­ terbahn gerichteten Pfeile auf der angedeuteten, hartmagneti­ schen Biasschicht 23a veranschaulichen die Richtung der Mag­ netisierung in Domänen, während die senkrecht dazu gerichte­ ten Pfeile die Richtung der Vormagnetisierung der Biasschicht zeigen.

Abweichend von den in den Figuren dargestellten Ausführungs­ formen ist ein Schichtensystem einer magnetischen Einrichtung nach der Erfindung nicht nur auf zwei weichmagnetische und eine dazwischenliegende, hartmagnetische Dünnschichten be­ schränkt. Vielmehr kann vorteilhaft eine periodische Abfolge von weichmagnetischen und hartmagnetischen Schichten vorgese­ hen sein, wobei die Anzahl der Perioden weit über 10 liegen kann.

Außerdem braucht die hartmagnetische Schicht auch nicht un­ mittelbar an der ihr zugeordneten, weichmagnetischen Schicht anzuliegen. Da es nur auf das durch die Biasschicht herzuru­ fende, magnetische Hintergrundfeld für die jeweilige weichmag­ netische Schicht ankommt, kann auch die Biasschicht gegenüber der zugeordneten, weichmagnetischen Schicht, z. B. über eine I­ solationsschicht, beabstandet sein. In dem entsprechenden Ab­ standsraum können gegebenenfalls sogar Leiterbahnen verlau­ fen.

Claims (13)

1. Magnetische Hochfrequenz-Einrichtung mit einem Schichten­ system, das mindestens eine Schicht aus weichmagnetischem Ma­ terial aufweist, der mindestens eine weitere Schicht aus ei­ nem anderen Material zugeordnet ist, gekenn­ zeichnet durch eine Einstellbarkeit der Permeabili­ tät (µ) des Schichtensystems (3, 13, 23, 23a) mittels der min­ destens einen, weiteren Schicht (3c), die aus einem hartmagne­ tischen Material besteht und als eine ein permanentes, magne­ tisches Hintergrundfeld erzeugende Biasschicht für die min­ destens eine weichmagnetische Schicht (3a, 3b) vorgesehen ist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die mindestens eine weich­ magnetische Schicht (3a, 3b) eine Dicke (d₁, d₂) zwischen 0,1 µm und 2 mm und die mindestens eine hartmagnetische Bias­ schicht (3c) eine Dicke (d₃) zwischen 0,1 µm und 1 mm haben.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, gekennzeich­ net durch mindestens eine weichmagnetische Schicht (3a, 3b) mit einer Schichtdicke (d₁ bzw. d₂) von unter 5 µm, vor­ zugsweise unter 2 µm.

4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, gekenn­ zeichnet durch mindestens eine Biasschicht (3c) mit einer Schichtdicke (d₃) von unter 5 µm, vorzugsweise unter 1 µm.

5. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch mindestens eine hartmag­ netische Biasschicht (3c), deren Dicke (d₃) kleiner als die Dicke (d₁, d₂) der mindestens einen ihr benachbarten, weich­ magnetischen Schichten (3a bzw. 3b) ist.

6. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Schichtensystem, ab­ wechselnd aus weich- und hartmagnetischen Schichten mit mehr als einer weichmagnetischen Schicht und mehr als einer hart­ magnetischen Biasschicht.

7. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die hart­ magnetische Biasschicht (3c) unmittelbar an der mindestens einen ihr zugeordneten, weichmagnetischen Schicht (3a, 3b) an­ liegt.

8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, dass die hartmagne­ tische Biasschicht (3c) bezüglich der mindestens einen ihr zugeordneten, weichmagnetischen Schicht (3a, 3b) beabstandet ist.

9. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Betrieb in einem Frequenzbereich oberhalb von 100 MHz, insbesondere oberhalb von 1 GHz.

10. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als Mik­ roinduktivität (2, 22) oder induktiver Sensor mit dem Schich­ tensystem (3, 13, 23, 23a) als ein Magnetkern (K1, K2) und mindestens einer zugeordneten Spulenwicklung (4, 24).

11. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Ausbildung in Dünn­ filmtechnologie und/oder Planartechnologie.

12. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass magnet­ felderzeugende Mittel zur Einstellung einer vorbestimmten, remanenten Induktion in der mindestens einen hartmagnetischen Biasschicht vorgesehen sind.

13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die magnetfelderzeugenden Mittel eine Permanentmagnetanordnung oder eine stromdurch­ flossene Leiteranordnung sind.