DE102013101153B4 - Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht - Google Patents
Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht Download PDFInfo
- Publication number
- DE102013101153B4 DE102013101153B4 DE102013101153.5A DE102013101153A DE102013101153B4 DE 102013101153 B4 DE102013101153 B4 DE 102013101153B4 DE 102013101153 A DE102013101153 A DE 102013101153A DE 102013101153 B4 DE102013101153 B4 DE 102013101153B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light emitting
- wavelength conversion
- conversion layer
- light
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 112
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 5
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 5
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 5
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 5
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017750 AgSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
- H01L33/505—Wavelength conversion elements characterised by the shape, e.g. plate or foil
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0041—Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Lichtemittierende Vorrichtung, die umfasst:- eine lichtemittierende Einheit (2), die einen Halbleiterstapel (22, 24, 26) umfasst;- eine Wellenlängenumsetzungsschicht (4), die über der lichtemittierenden Einheit (2) liegt und die lichtemittierende Einheit (2) abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht ein Leuchtstoffmaterial enthält;- eine Klebstoffschicht (16), die über der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) liegt und die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) abdeckt;- eine leitende Einheit (28), die unter der lichtemittierenden Einheit (2) angeordnet ist und von der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) und der Klebstoffschicht (16) unbedeckt ist,- wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) einen vorstehenden Teil (41) umfasst, der von der Klebstoffschicht (16) unbedeckt ist und sich von einem Ende der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) nach außen erstreckt, und wobei das Ende der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) in physischem Kontakt mit einer Seitenwand (7) der lichtemittierenden Einheit (2) ist; und- eine Basis (12) benachbart zur Seitenwand (7) der lichtemittierenden Einheit (2), wobei die Seitenwand eine obere Oberfläche (8) und eine untere Oberfläche (10) aufweist, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) und die Klebstoffschicht (16) die obere Oberfläche (8) der Seitenwand (7) abdecken und nicht in physischem Kontakt mit der unteren Oberfläche (10) der Seitenwand (7) sind, und wobei ein Bereich direkt unterhalb des vorstehenden Teils (41) und zwischen dem vorstehenden Teil (41) und der Basis (12) leer ist.
Description
- Die Erfindung betrifft das Gebiet der lichtemittierenden Vorrichtungen und insbesondere eine lichtemittierende Vorrichtung mit einer Halbleiter-Stapelschicht, die eine Wellenlängenumsetzungsschicht enthält, und ein Verfahren für deren Herstellung.
- Lichtemittierende Vorrichtungen, die mit Verbundhalbleiter-Leuchtdioden hergestellt sind, können verschiedene Farben erzeugen und werden für verschiedene Anwendungen einschließlich Lampen, elektrischer Anzeigetafeln und Anzeigevorrichtungen verwendet. Insbesondere werden sie, da die lichtemittierende Vorrichtung weißes Licht erzeugen kann, für allgemeine Beleuchtungszwecke verwendet. Weitere lichtemittierende Vorrichtungen sind in
US 7 157 745 B2 und inUS 2008 / 0 290 351 A1 - Im Allgemeinen kann weißes Licht durch eine Kombination aus einer blauen Leuchtdiode und Leuchtstoffen erhalten werden.
1A zeigt eine Leuchtdiode 2, die mit einer Leuchtstoffschicht 1 abgedeckt ist. Die Leuchtdiode 2 ist mit dem Substrat 58 durch eine oder mehrere leitende Einheiten 5 verbunden. Das Material der leitenden Einheit kann ein Metall wie etwa Au, Cu, Sn, Ag, Al oder eine Legierung wie etwa AuSn oder AgSn sein, wobei die leitende Einheit 5 im Allgemeinen durch Bedampfen gebildet wird. Ein eutektischer Bond-Prozess ist ein übliches Verfahren zum Verbinden der Leuchtdiode 2 und des Substrats 58. Da die Struktur der leitenden Einheit, die durch Bedampfen gebildet wird, locker ist, würde die leitende Einheit während des eutektischen Bond-Prozesses schrumpfen.1B zeigt die Leuchtdiode 2, die mit dem Substrat 58 verbunden ist, wenn die leitenden Einheiten 5 geschrumpft sind. Wenn die Schrumpfung der leitenden Einheiten 5 auftritt, fließt ein Teil der Leuchtstoffschicht 1A in den Zwischenraum zwischen dem Substrat und jeder der Einheiten 5, so dass ein Spalt 100 gebildet wird, der ein fehlerhaftes eutektisches Bonden hervorrufen kann. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine lichtemittierende Vorrichtung zu schaffen, die die oben erwähnten Nachteile des Standes der Technik nicht besitzt.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 1. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine lichtemittierende Einheit mit einem Halbleiterstapel, die auf der Basis angeordnet ist, und eine Wellenlängenumsetzungsschicht, die die lichtemittierende Einheit abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht mit der Basis nicht in direktem Körperkontakt ist.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine Resistschicht auf der Basis, mehrere lichtemittierende Einheiten mit einer Seitenwand auf der Basis, wobei die Seitenwand jeder der lichtemittierenden Einheiten eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche besitzt und wobei sich die untere Oberfläche näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet und durch die Resistschicht abgedeckt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht auf der oberen Oberfläche jeder der lichtemittierenden Einheiten sowie einen Graben zwischen irgendwelchen zwei der lichtemittierenden Einheiten, wobei der Graben durch die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer nochmals weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine Resistschicht auf der Basis, mehrere lichtemittierende Einheiten mit einer Seitenwand auf der Basis, wobei die Seitenwand der lichtemittierenden Einheit eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche besitzt und wobei sich die untere Oberfläche näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet und durch die Resistschicht abgedeckt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht auf der oberen Oberfläche jeder der lichtemittierenden Einheiten, eine Klebstoffschicht auf der Wellenlängenumsetzungsschicht und einen Graben zwischen irgendwelchen zwei der lichtemittierenden Einheiten, wobei der Graben durch die Klebstoffschicht und die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen hervor, die auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt; es zeigen:
-
1A ,1B den bereits beschriebenen herkömmlichen Bond-Prozess für eine Leuchtdiode und eine Leuchtstoffschicht; -
2A ,2B Querschnittsansichten einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; -
3 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
4 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung; -
5 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; -
6 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung; -
7 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung; -
8 eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, und einer Klebstoffschicht gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung; -
9A-9F Ansichten zur Erläuterung des Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die an einer ihrer Kanten einen vorstehenden Teil besitzt, gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
10A-10D Ansichten zur Erläuterung des Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung; -
11A-11B Ansichten zur Erläuterung eines weiteren Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung; und -
12 die Farbtemperaturverteilung des von der Leuchtdiode gemäß einer Ausführungsform der Erfindung emittierten Lichts. - Im Folgenden werden beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung im Einzelnen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die folgenden Ausführungsformen sind zur Erläuterung angegeben, um dem Fachmann auf dem Gebiet ein vollständiges Verständnis des Erfindungsgedankens der Erfindung zu ermöglichen. Daher sollte angemerkt werden, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die hier angegebenen Ausführungsformen eingeschränkt ist, sondern in vielen verschiedenen Formen verwirklicht werden kann. Ferner sind die Zeichnungen nicht maßstabsgerecht, wobei Komponenten in Breiten-, Höhen- und Längenrichtung übertrieben dargestellt sein können. Ähnliche oder gleiche Bezugszeichen bezeichnen in allen Zeichnungen ähnliche oder gleiche Komponenten.
- Die
2A und2B sind eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. - Wie in
2B gezeigt ist, besitzt die Leuchtdiode zwei Halbleiterstapelschichten 22, 24, 26 und Elektroden 28, die an die Basis 12 gebondet sind. Das Bond-Verfahren kann ein Bonden mit hoher Kraft, etwa ein eutektisches Bonden, ein Metall-Bonden oder ein Schmelz-Bonden, und ein Bonden mit geringer Kraft, etwa ein Klebstoff-Bonden, umfassen. Die Basis 12 kann ein leitendes Substrat, ein Trägersubstrat oder ein temporäres Substrat sein, ohne auf ein bestimmtes Substrat eingeschränkt zu sein. Die Struktur der Elektroden 28 kann eine einzelne Metallschicht oder mehrere Metallschichten umfassen, wobei das Material der Elektroden Pt, Au, Cu, Sn, Ag, Al und Legierungen hiervon oder Kombinationen hiervon umfasst. Die Elektroden werden im Allgemeinen durch Bedampfen, Ablagern, Galvanisieren oder chemisches Plattieren gebildet. Die Seitenwand 7 der Leuchtdiode 2 besitzt eine obere Oberfläche 8 und eine untere Oberfläche 10, wobei sich die untere Oberfläche 10 näher bei der Basis 12 als die obere Oberfläche 8 befindet. Die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 deckt nur die obere Oberfläche 6 der Leuchtdiode 2 und die obere Oberfläche 8 ab, während sie die untere Oberfläche 10 nicht abdeckt. Die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 enthält Leuchtstoff, der das Licht der ersten Wellenlänge, das von der Leuchtdiode 2 emittiert wird, in Licht der zweiten Wellenlänge umwandeln kann. In der vorliegenden Ausführungsform ist die zweite Wellenlänge länger als die erste Wellenlänge. - Normalerweise ist die Struktur der Elektroden 28, die durch Bedampfen gebildet werden, lockerer als jene, die durch Ablagern, Galvanisieren oder chemisches Plattieren gebildet wird. Wenn daher in
2B die Leuchtdiode 2 durch ein Bonden mit hoher Kraft an die Basis 12 gebondet wird, schrumpfen die durch Bedampfen gebildeten Elektroden 28, wobei die Höhe 32 jeder Elektrode 28 abnimmt. Da die untere Oberfläche 10 die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 selbst nach einem Bonden mit hoher Kraft in einem Abstand von der Basis 12 hält, wird der Fluss der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 in den Raum zwischen der Elektrode 28 und der Basis 12 verhindert. -
3A ist eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Die zweite Ausführungsform gemäß3A unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 einen vorstehenden Teil 41 besitzt, der sich an den Enden nach außen erstreckt. Insbesondere ist der vorstehende Teil 41 über der Grenze 9 zwischen der oberen Oberfläche 8 und der unteren Oberfläche 10 gebildet. Wenn in der ersten Ausführungsform das von der aktiven Schicht 24 emittierte Licht durch die obere Oberfläche 8 und die untere Oberfläche 10 verläuft, wird das Licht der ersten Wellenlänge, das sich durch die untere Oberfläche 10 bewegt, nicht in das Licht der zweiten Wellenlänge umgesetzt, weil die untere Oberfläche 10 nicht mit der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abgedeckt ist. Mit dem vorstehenden Teil 41 kann daher die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 mehr Licht der ersten Wellenlänge, das von der aktiven Schicht 24 emittiert wird und durch die untere Oberfläche 10 verläuft, als in dem Fall, in dem kein vorstehender Teil 41 vorhanden ist, umwandeln. Im Allgemeinen ist, wie in3B angegeben ist, die Breite 42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. -
4 ist eine Querschnittsansicht der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung. In -
4 unterscheidet sich die dritte Ausführungsform von der ersten und von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode eine Klebstoffschicht 16 aufweist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abdeckt. Die Klebstoffschicht 16 kann die Wahrscheinlichkeit, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 herabfallen, verringern, so dass die Prozessstabilität beim Bilden der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht 16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfällen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht 16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikonkautschuk, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. -
5 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung. Die vierte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode 2 die obere Elektrode 30 auf der oberen Oberfläche 6 besitzt. -
6 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil 41 besitzt, der sich an den Enden nach außen erstreckt. Insbesondere ist gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung der vorstehende Teil 41 über der Grenze 9 zwischen der oberen Oberfläche 8 und der unteren Oberfläche 10 gebildet. Die fünfte Ausführungsform unterscheidet sich von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode 2 die obere Elektrode 30 auf ihrer oberen Oberfläche 6 aufweist. -
7 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung. Die sechste Ausführungsform unterscheidet sich von der vierten Ausführungsform dadurch, dass eine Klebstoffschicht 16 vorhanden ist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abdeckt. Die Klebstoffschicht 16 kann die Wahrscheinlichkeit, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 herabfallen, verringern, so dass die Prozessstabilität beim Bilden der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht 16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht 16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. -
8 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, und einer Klebstoffschicht gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung. Die siebte Ausführungsform unterscheidet sich von der fünften Ausführungsform dadurch, dass eine Klebstoffschicht 16 vorhanden ist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abdeckt. Die Klebstoffschicht 16 kann verhindern, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 herabfallen, so dass die Prozessstabilität des Bildens der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht 16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht 16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. - Die
9A bis9F zeigen den Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung. - Wie in
9A gezeigt ist, werden auf einem Band 50 mehrere Leuchtdioden 2 angeordnet. In9B sind die mehreren Leuchtdioden 2 umgedreht und auf einem Substrat 54 angeordnet, das durch eine Resistschicht 52 abgedeckt ist, die verwendet wird, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 in späteren Schritten mit dem Substrat 54 in Kontakt gelangt. Die Resistschicht 52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht 52 ein Photoresist oder Klebstoff sein kann. Die Seitenwand 7 jeder Leuchtdiode 2 besitzt eine obere Oberfläche 8 und eine untere Oberfläche 10, wobei sich die untere Oberfläche 10 näher bei dem Substrat 54 befindet. Die untere Oberfläche 10 jeder Leuchtdiode 2 ist durch die Resistschicht 52 abgedeckt. In9C ist das Band 50 von der Leuchtdiode 2 getrennt, woraufhin, wie in9D gezeigt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht 4 gebildet wird, um die Leuchtdioden 2 und die Resistschicht 52 abzudecken. Anschließend wird, wie in9E gezeigt ist, zwischen den Leuchtdioden 2 auf der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 ein Graben 43 gebildet, um die Resistschicht 52 freizulegen. Der Graben 43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden. Der Graben 43 kann die Breite des vorstehenden Teils 42 definieren. Wie in9F gezeigt ist, ist die Breite 42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich werden, wie in9F gezeigt ist, die Resistschicht 52 entfernt und das Substrat 54 von den mehreren Leuchtdioden 2 getrennt. - Die
10A bis10D zeigen den Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsformen der Erfindung. Wie in10A gezeigt ist, sind die mehreren Leuchtdioden 2 auf dem Substrat 54 angeordnet. Auf dem Substrat 54 ist eine Resistschicht 52 gebildet, die die untere Oberfläche 10 jeder Leuchtdiode 2 abdeckt. Die Resistschicht 52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht 52 ein Photoresist oder ein Klebstoff sein kann. Die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 ist ausgebildet, um die mehreren Leuchtdioden 2 und die Resistschicht 52 abzudecken. Die Resistschicht 52 wird verwendet, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 mit dem Substrat 54 in Kontakt gelangt. Wie in10B gezeigt ist, ist eine Klebstoffschicht 16, die lichtdurchlässig ist, ausgebildet, um die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abzudecken. Die Klebstoffschicht 16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht 16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. In10C wird zwischen den Leuchtdioden 2 ein Graben 43 gebildet, der sich von der Klebstoffschicht 16 und durch die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 erstreckt, um die Resistschicht 52 freizulegen. Der Graben 43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden und kann die Breite des vorstehenden Teils 42 definieren. Wie in10D gezeigt ist, ist die Breite 42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich wird, wie in10D gezeigt ist, die Resistschicht 52 entfernt und wird das Substrat 54 von den mehreren Leuchtdioden 2 getrennt. - Die
11A bis11E zeigen einen weiteren Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung. Wie in11A gezeigt ist, sind die mehreren Leuchtdioden 2 auf dem Substrat 54 angeordnet. Auf dem Substrat 54 ist eine Resistschicht 52 vorhanden, die die untere Oberfläche 10 jeder Leuchtdiode abdeckt. Die Resistschicht 52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht 52 ein Photoresist oder ein Klebstoff sein kann. Eine Wellenlängenumsetzungsschicht 4 ist ausgebildet, um die mehreren Leuchtdioden 2 und die Resistschicht 52 abzudecken. Die Resistschicht 52 wird verwendet, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 mit dem Substrat 54 in Kontakt gelangt. Eine Klebstoffschicht 16, die lichtdurchlässig ist, ist ausgebildet, um die Wellenlängenumsetzungsschicht 4 abzudecken. Die Klebstoffschicht 16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet sein, wobei das Material der Klebstoffschicht 16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. Anschließend wird, wie in den11B und11C gezeigt ist, auf der Klebstoffschicht 16 ein Band 18 angeordnet, wobei die Resistschicht 52 und das Substrat 54 entfernt werden. Wie in11D gezeigt ist, werden die mehreren Leuchtdioden 2 umgedreht und wird zwischen den mehreren Leuchtdioden 2 ein Graben 43 gebildet, der sich von der Wellenlängenumsetzungsschicht 4 und durch die Klebstoffschicht 16 erstreckt, um das Band 18 freizulegen. Der Graben 43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden und kann die Breite des vorstehenden Teils 42 definieren. Wie in11D gezeigt ist, ist die Breite 42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich wird, wie in11E gezeigt ist, das Band 18 von den mehreren Leuchtdioden 2 getrennt. -
12 zeigt die Farbtemperaturverteilung des Lichts, das von der Leuchtdiode 2 emittiert wird, die durch die Wellenlängenumsetzungsschicht mit dem vorstehenden Teil abgedeckt ist. Der Betrachtungswinkel der XY-Ebene ist die Draufsicht der Leuchtdiode 2. Wie in12 gezeigt ist, kann die Farbtemperatur (CCT) dann, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) in der Umgebung von 90° oder -90° liegt, oder genauer, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) im Bereich von -90° bis -75° oder im Bereich von 75° bis 90° liegt, über 6000 K betragen. Mit anderen Worten, das von der Leuchtdiode 2 erzeugte Licht kann bläulich sein, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) in der Umgebung von 90° oder -90° liegt.
Claims (9)
- Lichtemittierende Vorrichtung, die umfasst: - eine lichtemittierende Einheit (2), die einen Halbleiterstapel (22, 24, 26) umfasst; - eine Wellenlängenumsetzungsschicht (4), die über der lichtemittierenden Einheit (2) liegt und die lichtemittierende Einheit (2) abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht ein Leuchtstoffmaterial enthält; - eine Klebstoffschicht (16), die über der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) liegt und die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) abdeckt; - eine leitende Einheit (28), die unter der lichtemittierenden Einheit (2) angeordnet ist und von der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) und der Klebstoffschicht (16) unbedeckt ist, - wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) einen vorstehenden Teil (41) umfasst, der von der Klebstoffschicht (16) unbedeckt ist und sich von einem Ende der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) nach außen erstreckt, und wobei das Ende der Wellenlängenumsetzungsschicht (4) in physischem Kontakt mit einer Seitenwand (7) der lichtemittierenden Einheit (2) ist; und - eine Basis (12) benachbart zur Seitenwand (7) der lichtemittierenden Einheit (2), wobei die Seitenwand eine obere Oberfläche (8) und eine untere Oberfläche (10) aufweist, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) und die Klebstoffschicht (16) die obere Oberfläche (8) der Seitenwand (7) abdecken und nicht in physischem Kontakt mit der unteren Oberfläche (10) der Seitenwand (7) sind, und wobei ein Bereich direkt unterhalb des vorstehenden Teils (41) und zwischen dem vorstehenden Teil (41) und der Basis (12) leer ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) einen Teil des Lichts, das eine erste Wellenlänge besitzt und von der lichtemittierenden Einheit (2) emittiert wird, in Licht mit einer zweiten Wellenlänge umsetzt. - Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe der unteren Oberfläche (10) größer oder gleich 5 nm beträgt. - Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Basis (12) ein elektrisch leitendes Substrat oder ein temporäres Substrat umfasst. - Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 4 , dadurch gekennzeichnet, dass die lichtemittierende Einheit (2) mit der Basis (12) elektrisch verbunden ist. - Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die lichtemittierende Einheit (2) eine obere Oberfläche (6) aufweist, die mit der Seitenwand (7) verbunden ist, und wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) die obere Oberfläche (6) abdeckt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , wobei das Leuchtmaterial Leuchtstoffpartikel umfasst, und wobei die Klebstoffschicht (16) ein transparentes und elastisches Material umfasst. - Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , wobei die lichtemittierende Einheit (2) von der Klebstoffschicht (16) getrennt ist. - Lichtemittierende Vorrichtung nach
Anspruch 1 , wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht (4) direkt mit der lichtemittierenden Einheit (2) verbunden ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/367,781 US8957429B2 (en) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | Light emitting diode with wavelength conversion layer |
US13/367,781 | 2012-02-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013101153A1 DE102013101153A1 (de) | 2013-08-08 |
DE102013101153B4 true DE102013101153B4 (de) | 2022-11-17 |
Family
ID=48794749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013101153.5A Active DE102013101153B4 (de) | 2012-02-07 | 2013-02-05 | Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8957429B2 (de) |
JP (1) | JP6145277B2 (de) |
KR (1) | KR101885316B1 (de) |
CN (1) | CN103247745B (de) |
DE (1) | DE102013101153B4 (de) |
TW (1) | TWI569478B (de) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013118072A2 (en) | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Koninklijke Philips N.V. | Wavelength converted light emitting device |
WO2013140291A1 (en) | 2012-03-19 | 2013-09-26 | Koninklijke Philips N.V. | Singulation of light emitting devices before and after application of phosphor |
US9246068B2 (en) * | 2012-08-24 | 2016-01-26 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for fabricating phosphor-coated LED dies |
US9214610B2 (en) * | 2012-08-24 | 2015-12-15 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for fabricating phosphor-coated LED dies |
US8889439B2 (en) * | 2012-08-24 | 2014-11-18 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for packaging phosphor-coated LEDs |
US20140151630A1 (en) * | 2012-12-04 | 2014-06-05 | Feng-Hsu Fan | Protection for the epitaxial structure of metal devices |
US10439107B2 (en) * | 2013-02-05 | 2019-10-08 | Cree, Inc. | Chip with integrated phosphor |
DE102013103079A1 (de) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips |
TW201616689A (zh) * | 2014-06-25 | 2016-05-01 | 皇家飛利浦有限公司 | 經封裝之波長轉換發光裝置 |
US10026882B2 (en) * | 2014-10-07 | 2018-07-17 | Epistar Corporation | Using MEMS fabrication incorporating into LED device mounting and assembly |
WO2016080768A1 (ko) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 서울반도체 주식회사 | 발광 장치 및 이를 포함하는 차량용 램프 |
US10297731B2 (en) | 2014-11-26 | 2019-05-21 | Bridgelux, Inc. | Light emitting diode constructions and methods for making the same |
CN105720173A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-06-29 | 日东电工株式会社 | 覆有荧光体层的光半导体元件和其制造方法 |
DE102015102460A1 (de) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines lichtemittierenden Bauteils und lichtemittierendes Bauteil |
CN110767793A (zh) * | 2015-05-05 | 2020-02-07 | 新世纪光电股份有限公司 | 发光装置及其制作方法 |
CN105304802A (zh) * | 2015-10-12 | 2016-02-03 | 深圳万城节能股份有限公司 | 发光装置的制造方法 |
JP6447548B2 (ja) * | 2016-03-14 | 2019-01-09 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
CN107689408B (zh) * | 2016-08-04 | 2020-03-17 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管覆晶晶粒及显示器 |
JP6601552B2 (ja) * | 2018-12-05 | 2019-11-06 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
TW202119652A (zh) * | 2019-10-31 | 2021-05-16 | 隆達電子股份有限公司 | 顯示裝置及其製造方法 |
CN114664994A (zh) * | 2020-12-22 | 2022-06-24 | 光宝光电(常州)有限公司 | 发光二极管结构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7157745B2 (en) | 2004-04-09 | 2007-01-02 | Blonder Greg E | Illumination devices comprising white light emitting diodes and diode arrays and method and apparatus for making them |
US20080290351A1 (en) | 2007-05-24 | 2008-11-27 | Shuichi Ajiki | Semiconductor light emitting apparatus |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6756186B2 (en) | 2002-03-22 | 2004-06-29 | Lumileds Lighting U.S., Llc | Producing self-aligned and self-exposed photoresist patterns on light emitting devices |
CN100483612C (zh) * | 2003-06-04 | 2009-04-29 | 刘明哲 | 用于制造垂直结构的复合半导体器件的方法 |
JP4496774B2 (ja) | 2003-12-22 | 2010-07-07 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7420218B2 (en) * | 2004-03-18 | 2008-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Nitride based LED with a p-type injection region |
US8547011B2 (en) * | 2004-04-28 | 2013-10-01 | Zeon Corporation | Layered product, luminescence device and use thereof |
US7569406B2 (en) * | 2006-01-09 | 2009-08-04 | Cree, Inc. | Method for coating semiconductor device using droplet deposition |
JP5091421B2 (ja) * | 2006-04-07 | 2012-12-05 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置 |
US8080828B2 (en) * | 2006-06-09 | 2011-12-20 | Philips Lumileds Lighting Company, Llc | Low profile side emitting LED with window layer and phosphor layer |
TWI308401B (en) * | 2006-07-04 | 2009-04-01 | Epistar Corp | High efficient phosphor-converted light emitting diode |
DE102007021009A1 (de) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Leuchtdiodenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer solchen |
JP5141077B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2013-02-13 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
TWI396298B (zh) * | 2007-08-29 | 2013-05-11 | Everlight Electronics Co Ltd | 發光半導體元件塗佈螢光粉的方法及其應用 |
WO2009069671A1 (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-04 | Nichia Corporation | 発光装置及びその製造方法 |
JP2009252898A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Toyoda Gosei Co Ltd | 光源装置 |
CN101621101A (zh) * | 2008-06-30 | 2010-01-06 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
JP2010161321A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Panasonic Corp | 光学デバイスおよびその製造方法 |
WO2011099384A1 (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-18 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置および発光装置の製造方法 |
JP4875185B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 光半導体装置 |
US8241932B1 (en) * | 2011-03-17 | 2012-08-14 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Methods of fabricating light emitting diode packages |
JP5656748B2 (ja) * | 2011-05-16 | 2015-01-21 | シチズンホールディングス株式会社 | 半導体発光素子の製造方法 |
-
2012
- 2012-02-07 US US13/367,781 patent/US8957429B2/en active Active
-
2013
- 2013-01-22 TW TW102102414A patent/TWI569478B/zh active
- 2013-01-31 CN CN201310039776.XA patent/CN103247745B/zh active Active
- 2013-02-05 JP JP2013020468A patent/JP6145277B2/ja active Active
- 2013-02-05 DE DE102013101153.5A patent/DE102013101153B4/de active Active
- 2013-02-06 KR KR1020130013343A patent/KR101885316B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7157745B2 (en) | 2004-04-09 | 2007-01-02 | Blonder Greg E | Illumination devices comprising white light emitting diodes and diode arrays and method and apparatus for making them |
US20080290351A1 (en) | 2007-05-24 | 2008-11-27 | Shuichi Ajiki | Semiconductor light emitting apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6145277B2 (ja) | 2017-06-07 |
TWI569478B (zh) | 2017-02-01 |
JP2013162130A (ja) | 2013-08-19 |
US20130200398A1 (en) | 2013-08-08 |
CN103247745A (zh) | 2013-08-14 |
DE102013101153A1 (de) | 2013-08-08 |
KR20130091273A (ko) | 2013-08-16 |
CN103247745B (zh) | 2017-12-05 |
US8957429B2 (en) | 2015-02-17 |
KR101885316B1 (ko) | 2018-08-03 |
TW201334237A (zh) | 2013-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102013101153B4 (de) | Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht | |
DE102013105030B4 (de) | Lichtemittierende Hableitervorrichtung mit Multi-Zellenarray | |
EP2901479B1 (de) | Optoelektronisches bauelement | |
DE102015114849A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Leuchtdiodenfilamenten und Leuchtdiodenfilament | |
DE102008011810A1 (de) | Lichtemittierendes Bauteil und Herstellungsverfahren eines solchen | |
DE102012109873A1 (de) | Anordnung von Hochvolt-Wechselstrom-LEDs | |
WO2019145350A1 (de) | Optoelektronisches halbleiterbauteil und verfahren zur herstellung von optoelektronischen halbleiterbauteilen | |
WO2016156329A1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip, optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterchips | |
DE112015005127B4 (de) | Optoelektronisches Halbleiterbauteil und Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils | |
DE102009035640A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Bauteils mit mindestens einem organischen Material und Bauteil mit mindestens einem organischen Material | |
DE202018006380U1 (de) | Leuchtdiode, LED Modul und Anzeigevorrichtung damit | |
DE102019218501A1 (de) | Bauteil für ein display und verfahren zur herstellung eines bauteils | |
DE102008011809A1 (de) | Optoelektronisches Bauelement | |
WO2019002098A1 (de) | Optoelektronisches halbleiterbauteil und anordnung mit einem optoelektronischen halbleiterbauteil | |
DE102006015115A1 (de) | Elektronisches Modul und Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Moduls | |
DE102010049961A1 (de) | Optoelektronisches Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterchip, einem Trägersubstrat und einer Folie und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO2017012956A1 (de) | Optoelektronisches bauelement, verbund von optoelektronischen bauelementen und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen bauelements | |
DE102015108420A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Trägerelements, Trägerelement und elektronisches Bauelement mit einem Trägerelement | |
DE102018131775A1 (de) | Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements | |
DE102016102765A1 (de) | Trägersubstrat und LED Modul, welches dieses aufweist | |
DE102021113592A1 (de) | Optoelektronisches halbleiterbauteil und paneel | |
WO2020182621A1 (de) | Verfahren zur herstellung von optoelektronischen halbleiterbauteilen und optoelektronisches halbleiterbauteil | |
WO2017162665A1 (de) | Multi-led system | |
WO2022100976A1 (de) | Optoelektronisches halbleiterbauteil und dessen verfahren zur herstellung | |
EP2619807B1 (de) | Optoelektronischer halbleiterchip und verfahren zu dessen herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |