DE102013101153A1 - Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 108
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 5
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 5
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 5
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 5
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 5
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017750 AgSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
- H01L33/505—Wavelength conversion elements characterised by the shape, e.g. plate or foil
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0041—Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
Eine lichtemittierende Vorrichtung enthält eine Basis, eine lichtemittierende Einheit, die einen auf der Basis angeordneten Halbleiterstapel enthält, und eine Wellenlängenumsetzungsschicht, die die lichtemittierende Einheit abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht mit der Basis nicht in Körperkontakt ist.
Description
- Die Erfindung betrifft das Gebiet der lichtemittierenden Vorrichtungen und insbesondere eine lichtemittierende Vorrichtung mit einer Halbleiter-Stapelschicht, die eine Wellenlängenumsetzungsschicht enthält, und ein Verfahren für deren Herstellung.
- Lichtemittierende Vorrichtungen, die mit Verbundhalbleiter-Leuchtdioden hergestellt sind, können verschiedene Farben erzeugen und werden für verschiedene Anwendungen einschließlich Lampen, elektrischer Anzeigetafeln und Anzeigevorrichtungen verwendet. Insbesondere werden sie, da die lichtemittierende Vorrichtung weißes Licht erzeugen kann, für allgemeine Beleuchtungszwecke verwendet.
- Im Allgemeinen kann weißes Licht durch eine Kombination aus einer blauen Leuchtdiode und Leuchtstoffen erhalten werden.
1A zeigt eine Leuchtdiode2 , die mit einer Leuchtstoffschicht1 abgedeckt ist. Die Leuchtdiode2 ist mit dem Substrat58 durch eine oder mehrere leitende Einheiten5 verbunden. Das Material der leitenden Einheit kann ein Metall wie etwa Au, Cu, Sn, Ag, Al oder eine Legierung wie etwa AuSn oder AgSn sein, wobei die leitende Einheit5 im Allgemeinen durch Bedampfen gebildet wird. Ein eutektischer Bond-Prozess ist ein übliches Verfahren zum Verbinden der Leuchtdiode2 und des Substrats58 . Da die Struktur der leitenden Einheit, die durch Bedampfen gebildet wird, locker ist, würde die leitende Einheit während des eutektischen Bond-Prozesses schrumpfen.1B zeigt die Leuchtdiode2 , die mit dem Substrat58 verbunden ist, wenn die leitenden Einheiten5 geschrumpft sind. Wenn die Schrumpfung der leitenden Einheiten5 auftritt, fließt ein Teil der Leuchtstoffschicht1A in den Zwischenraum zwischen dem Substrat und jeder der Einheiten5 , so dass ein Spalt100 gebildet wird, der ein fehlerhaftes eutektisches Bonden hervorrufen kann. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine lichtemittierende Vorrichtung zu schaffen, die die oben erwähnten Nachteile des Standes der Technik nicht besitzt.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 17. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine lichtemittierende Einheit mit einem Halbleiterstapel, die auf der Basis angeordnet ist, und eine Wellenlängenumsetzungsschicht, die die lichtemittierende Einheit abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht mit der Basis nicht in direktem Körperkontakt ist.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine Resistschicht auf der Basis, mehrere lichtemittierende Einheiten mit einer Seitenwand auf der Basis, wobei die Seitenwand jeder der lichtemittierenden Einheiten eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche besitzt und wobei sich die untere Oberfläche näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet und durch die Resistschicht abgedeckt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht auf der oberen Oberfläche jeder der lichtemittierenden Einheiten sowie einen Graben zwischen irgendwelchen zwei der lichtemittierenden Einheiten, wobei der Graben durch die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Eine lichtemittierende Vorrichtung gemäß einer nochmals weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst eine Basis, eine Resistschicht auf der Basis, mehrere lichtemittierende Einheiten mit einer Seitenwand auf der Basis, wobei die Seitenwand der lichtemittierenden Einheit eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche besitzt und wobei sich die untere Oberfläche näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet und durch die Resistschicht abgedeckt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht auf der oberen Oberfläche jeder der lichtemittierenden Einheiten, eine Klebstoffschicht auf der Wellenlängenumsetzungsschicht und einen Graben zwischen irgendwelchen zwei der lichtemittierenden Einheiten, wobei der Graben durch die Klebstoffschicht und die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen hervor, die auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt; es zeigen:
-
1A ,1B den bereits beschriebenen herkömmlichen Bond-Prozess für eine Leuchtdiode und eine Leuchtstoffschicht; -
2A ,2B Querschnittsansichten einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; -
3 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
4 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung; -
5 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; -
6 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung; -
7 eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung; -
8 eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, und einer Klebstoffschicht gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung; -
9A –9F Ansichten zur Erläuterung des Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die an einer ihrer Kanten einen vorstehenden Teil besitzt, gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
10A –10D Ansichten zur Erläuterung des Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung; -
11A –11B Ansichten zur Erläuterung eines weiteren Fertigungsprozesses der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung; und -
12 die Farbtemperaturverteilung des von der Leuchtdiode gemäß einer Ausführungsform der Erfindung emittierten Lichts. - Im Folgenden werden beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung im Einzelnen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die folgenden Ausführungsformen sind zur Erläuterung angegeben, um dem Fachmann auf dem Gebiet ein vollständiges Verständnis des Erfindungsgedankens der Erfindung zu ermöglichen. Daher sollte angemerkt werden, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die hier angegebenen Ausführungsformen eingeschränkt ist, sondern in vielen verschiedenen Formen verwirklicht werden kann. Ferner sind die Zeichnungen nicht maßstabsgerecht, wobei Komponenten in Breiten-, Höhen- und Längenrichtung übertrieben dargestellt sein können. Ähnliche oder gleiche Bezugszeichen bezeichnen in allen Zeichnungen ähnliche oder gleiche Komponenten.
- Die
2A und2B sind eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. - Wie in
2B gezeigt ist, besitzt die Leuchtdiode zwei Halbleiterstapelschichten22 ,24 ,26 und Elektroden28 , die an die Basis12 gebondet sind. Das Bond-Verfahren kann ein Bonden mit hoher Kraft, etwa ein eutektisches Bonden, ein Metall-Bonden oder ein Schmelz-Bonden, und ein Bonden mit geringer Kraft, etwa ein Klebstoff-Bonden, umfassen. Die Basis12 kann ein leitendes Substrat, ein Trägersubstrat oder ein temporäres Substrat sein, ohne auf ein bestimmtes Substrat eingeschränkt zu sein. Die Struktur der Elektroden28 kann eine einzelne Metallschicht oder mehrere Metallschichten umfassen, wobei das Material der Elektroden Pt, Au, Cu, Sn, Ag, Al und Legierungen hiervon oder Kombinationen hiervon umfasst. Die Elektroden werden im Allgemeinen durch Bedampfen, Ablagern, Galvanisieren oder chemisches Plattieren gebildet. Die Seitenwand7 der Leuchtdiode2 besitzt eine obere Oberfläche8 und eine untere Oberfläche10 , wobei sich die untere Oberfläche10 näher bei der Basis12 als die obere Oberfläche8 befindet. Die Wellenlängenumsetzungsschicht4 deckt nur die obere Oberfläche6 der Leuchtdiode2 und die obere Oberfläche8 ab, während sie die untere Oberfläche10 nicht abdeckt. Die Wellenlängenumsetzungsschicht4 enthält Leuchtstoff, der das Licht der ersten Wellenlänge, das von der Leuchtdiode2 emittiert wird, in Licht der zweiten Wellenlänge umwandeln kann. In der vorliegenden Ausführungsform ist die zweite Wellenlänge länger als die erste Wellenlänge. - Normalerweise ist die Struktur der Elektroden
28 , die durch Bedampfen gebildet werden, lockerer als jene, die durch Ablagern, Galvanisieren oder chemisches Plattieren gebildet wird. Wenn daher in2B die Leuchtdiode2 durch ein Bonden mit hoher Kraft an die Basis12 gebondet wird, schrumpfen die durch Bedampfen gebildeten Elektroden28 , wobei die Höhe32 jeder Elektrode28 abnimmt. Da die untere Oberfläche10 die Wellenlängenumsetzungsschicht4 selbst nach einem Bonden mit hoher Kraft in einem Abstand von der Basis12 hält, wird der Fluss der Wellenlängenumsetzungsschicht4 in den Raum zwischen der Elektrode28 und der Basis12 verhindert. -
3A ist eine Querschnittsansicht einer Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Die zweite Ausführungsform gemäß3A unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht4 einen vorstehenden Teil41 besitzt, der sich an den Enden nach außen erstreckt. Insbesondere ist der vorstehende Teil41 über der Grenze9 zwischen der oberen Oberfläche8 und der unteren Oberfläche10 gebildet. Wenn in der ersten Ausführungsform das von der aktiven Schicht24 emittierte Licht durch die obere Oberfläche8 und die untere Oberfläche10 verläuft, wird das Licht der ersten Wellenlänge, das sich durch die untere Oberfläche10 bewegt, nicht in das Licht der zweiten Wellenlänge umgesetzt, weil die untere Oberfläche10 nicht mit der Wellenlängenumsetzungsschicht4 abgedeckt ist. Mit dem vorstehenden Teil41 kann daher die Wellenlängenumsetzungsschicht4 mehr Licht der ersten Wellenlänge, das von der aktiven Schicht24 emittiert wird und durch die untere Oberfläche10 verläuft, als in dem Fall, in dem kein vorstehender Teil41 vorhanden ist, umwandeln. Im Allgemeinen ist, wie in3B angegeben ist, die Breite42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. -
4 ist eine Querschnittsansicht der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung. In4 unterscheidet sich die dritte Ausführungsform von der ersten und von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode eine Klebstoffschicht16 aufweist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht4 abdeckt. Die Klebstoffschicht16 kann die Wahrscheinlichkeit, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht4 herabfallen, verringern, so dass die Prozessstabilität beim Bilden der Wellenlängenumsetzungsschicht4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikonkautschuk, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. -
5 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung. Die vierte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode2 die obere Elektrode30 auf der oberen Oberfläche6 besitzt. -
6 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil41 besitzt, der sich an den Enden nach außen erstreckt. Insbesondere ist gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung der vorstehende Teil41 über der Grenze9 zwischen der oberen Oberfläche8 und der unteren Oberfläche10 gebildet. Die fünfte Ausführungsform unterscheidet sich von der zweiten Ausführungsform dadurch, dass die Leuchtdiode2 die obere Elektrode30 auf ihrer oberen Oberfläche6 aufweist. -
7 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung. Die sechste Ausführungsform unterscheidet sich von der vierten Ausführungsform dadurch, dass eine Klebstoffschicht16 vorhanden ist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht4 abdeckt. Die Klebstoffschicht16 kann die Wahrscheinlichkeit, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht4 herabfallen, verringern, so dass die Prozessstabilität beim Bilden der Wellenlängenumsetzungsschicht4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. -
8 ist eine Querschnittsansicht einer lichtemittierenden Vorrichtung mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, und einer Klebstoffschicht gemäß einer siebten Ausführungsform der Erfindung. Die siebte Ausführungsform unterscheidet sich von der fünften Ausführungsform dadurch, dass eine Klebstoffschicht16 vorhanden ist, die lichtdurchlässig ist und die Wellenlängenumsetzungsschicht4 abdeckt. Die Klebstoffschicht16 kann verhindern, dass Leuchtstoffpartikel von der Wellenlängenumsetzungsschicht4 herabfallen, so dass die Prozessstabilität des Bildens der Wellenlängenumsetzungsschicht4 erhöht ist. Die Klebstoffschicht16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. - Die
9A bis9F zeigen den Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht, die einen vorstehenden Teil besitzt, gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung. - Wie in
9A gezeigt ist, werden auf einem Band50 mehrere Leuchtdioden2 angeordnet. In9B sind die mehreren Leuchtdioden2 umgedreht und auf einem Substrat54 angeordnet, das durch eine Resistschicht52 abgedeckt ist, die verwendet wird, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht4 in späteren Schritten mit dem Substrat54 in Kontakt gelangt. Die Resistschicht52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht52 ein Photoresist oder Klebstoff sein kann. Die Seitenwand7 jeder Leuchtdiode2 besitzt eine obere Oberfläche8 und eine untere Oberfläche10 , wobei sich die untere Oberfläche10 näher bei dem Substrat54 befindet. Die untere Oberfläche10 jeder Leuchtdiode2 ist durch die Resistschicht52 abgedeckt. In9C ist das Band50 von der Leuchtdiode2 getrennt, woraufhin, wie in9D gezeigt ist, eine Wellenlängenumsetzungsschicht4 gebildet wird, um die Leuchtdioden2 und die Resistschicht52 abzudecken. Anschließend wird, wie in9E gezeigt ist, zwischen den Leuchtdioden2 auf der Wellenlängenumsetzungsschicht4 ein Graben43 gebildet, um die Resistschicht52 freizulegen. Der Graben43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden. Der Graben43 kann die Breite des vorstehenden Teils42 definieren. Wie in9F gezeigt ist, ist die Breite42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich werden, wie in9F gezeigt ist, die Resistschicht52 entfernt und das Substrat54 von den mehreren Leuchtdioden2 getrennt. - Die
10A bis10D zeigen den Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsformen der Erfindung. Wie in10A gezeigt ist, sind die mehreren Leuchtdioden2 auf dem Substrat54 angeordnet. Auf dem Substrat54 ist eine Resistschicht52 gebildet, die die untere Oberfläche10 jeder Leuchtdiode2 abdeckt. Die Resistschicht52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht52 ein Photoresist oder ein Klebstoff sein kann. Die Wellenlängenumsetzungsschicht4 ist ausgebildet, um die mehreren Leuchtdioden2 und die Resistschicht52 abzudecken. Die Resistschicht52 wird verwendet, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht4 mit dem Substrat54 in Kontakt gelangt. Wie in10B gezeigt ist, ist eine Klebstoffschicht16 , die lichtdurchlässig ist, ausgebildet, um die Wellenlängenumsetzungsschicht4 abzudecken. Die Klebstoffschicht16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet werden, wobei das Material der Klebstoffschicht16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. In10C wird zwischen den Leuchtdioden2 ein Graben43 gebildet, der sich von der Klebstoffschicht16 und durch die Wellenlängenumsetzungsschicht4 erstreckt, um die Resistschicht52 freizulegen. Der Graben43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden und kann die Breite des vorstehenden Teils42 definieren. Wie in10D gezeigt ist, ist die Breite42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich wird, wie in10D gezeigt ist, die Resistschicht52 entfernt und wird das Substrat54 von den mehreren Leuchtdioden2 getrennt. - Die
11A bis11E zeigen einen weiteren Fertigungsprozess der Leuchtdiode mit einer Wellenlängenumsetzungsschicht und einer Klebstoffschicht gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung. Wie in11A gezeigt ist, sind die mehreren Leuchtdioden2 auf dem Substrat54 angeordnet. Auf dem Substrat54 ist eine Resistschicht52 vorhanden, die die untere Oberfläche10 jeder Leuchtdiode abdeckt. Die Resistschicht52 kann durch Licht, Wärme oder Lösungsmittel entfernt werden, wobei das Material der Resistschicht52 ein Photoresist oder ein Klebstoff sein kann. Eine Wellenlängenumsetzungsschicht4 ist ausgebildet, um die mehreren Leuchtdioden2 und die Resistschicht52 abzudecken. Die Resistschicht52 wird verwendet, um zu verhindern, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht4 mit dem Substrat54 in Kontakt gelangt. Eine Klebstoffschicht16 , die lichtdurchlässig ist, ist ausgebildet, um die Wellenlängenumsetzungsschicht4 abzudecken. Die Klebstoffschicht16 kann durch Schleuderbeschichten, Drucken oder Klebstoffeinfüllen durch Gießen gebildet sein, wobei das Material der Klebstoffschicht16 lichtdurchlässig sein kann und ein elastisches Material wie etwa Epoxid, Silikongummi, Silikonharz, Silikongel, elastisches PU, poröses PU oder Acrylkautschuk sein kann. Anschließend wird, wie in den11B und11C gezeigt ist, auf der Klebstoffschicht16 ein Band18 angeordnet, wobei die Resistschicht52 und das Substrat54 entfernt werden. Wie in11D gezeigt ist, werden die mehreren Leuchtdioden2 umgedreht und wird zwischen den mehreren Leuchtdioden2 ein Graben43 gebildet, der sich von der Wellenlängenumsetzungsschicht4 und durch die Klebstoffschicht16 erstreckt, um das Band18 freizulegen. Der Graben43 kann durch ein Verfahren wie etwa Photolithographie, Ätzen oder ICP-Schneiden gebildet werden und kann die Breite des vorstehenden Teils42 definieren. Wie in11D gezeigt ist, ist die Breite42 des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als500 µm und liegt vorzugsweise im Bereich von 10 µm bis 300 µm. Schließlich wird, wie in11E gezeigt ist, das Band18 von den mehreren Leuchtdioden2 getrennt. -
12 zeigt die Farbtemperaturverteilung des Lichts, das von der Leuchtdiode2 emittiert wird, die durch die Wellenlängenumsetzungsschicht mit dem vorstehenden Teil abgedeckt ist. Der Betrachtungswinkel der XY-Ebene ist die Draufsicht der Leuchtdiode2 . Wie in12 gezeigt ist, kann die Farbtemperatur (CCT) dann, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) in der Umgebung von 90° oder –90° liegt, oder genauer, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) im Bereich von –90° bis –75° oder im Bereich von 75° bis 90° liegt, über 6000 K betragen. Mit anderen Worten, das von der Leuchtdiode2 erzeugte Licht kann bläulich sein, wenn der Betrachtungswinkel (Theta) in der Umgebung von 90° oder –90° liegt.
Claims (20)
- Lichtemittierende Vorrichtung, die umfasst: – eine Basis; – eine lichtemittierende Einheit, die einen Halbleiterstapel enthält, der auf der Basis angeordnet ist; und – eine Wellenlängenumsetzungsschicht, die die lichtemittierende Einheit abdeckt, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht mit der Basis nicht in direktem Körperkontakt ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtemittierende Einheit eine Seitenwand besitzt und dass die Seitenwand eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche, die sich näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet, besitzt und die Wellenlängenumsetzungsschicht die obere Oberfläche abdeckt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass von der lichtemittierenden Einheit Licht emittiert wird und dass das Licht bläulich ist, wenn der Betrachtungswinkel der Draufsicht der lichtemittierenden Vorrichtung in der Umgebung von 90° oder –90° liegt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe der unteren Oberfläche größer oder gleich 5 nm beträgt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht einen vorstehenden Teil umfasst.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2, gekennzeichnet durch eine Grenze zwischen der oberen Oberfläche und der unteren Oberfläche, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht einen vorstehenden Teil umfasst, der sich oberhalb der Grenze befindet.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite des vorstehenden Teils gleich oder kleiner als 500 µm ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtemittierende Einheit mit der Basis elektrisch verbunden ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine leitende Einheit, die zwischen der lichtemittierenden Einheit und der Basis gebildet ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Klebstoffschicht auf der Wellenlängenumsetzungsschicht.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht ein Leuchtstoffmaterial enthält.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wellenlängenumsetzungsschicht einen Teil des Lichts, das eine erste Wellenlänge besitzt und von der lichtemittierenden Einheit emittiert wird, in Licht mit einer zweiten Wellenlänge umsetzt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Basis ein elektrisch leitendes Substrat ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Basis ein temporäres Substrat ist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtemittierende Einheit eine obere Oberfläche aufweist.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtemittierende Einheit eine zweite leitende Einheit auf der oberen Oberfläche aufweist.
- Lichtemittierende Vorrichtung, die umfasst: – eine Basis; – eine Resistschicht auf der Basis; – mehrere lichtemittierende Einheiten mit einer Seitenwand auf der Basis, wobei die Seitenwand jeder der lichtemittierenden Einheiten eine obere Oberfläche und eine untere Oberfläche besitzt und die untere Oberfläche sich näher bei der Basis als die obere Oberfläche befindet und durch die Resistschicht abgedeckt ist; – eine Wellenlängenumsetzungsschicht auf der oberen Oberfläche jeder der lichtemittierenden Einheiten; und – einen Graben zwischen irgendwelchen zwei der lichtemittierenden Einheiten, wobei der Graben durch die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch eine Klebstoffschicht, die auf der Wellenlängenumsetzungsschicht gebildet ist, wobei der Graben durch die Klebstoffschicht und durch die Wellenlängenumsetzungsschicht verläuft, um die Resistschicht freizulegen.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 und 18, dadurch gekennzeichnet, dass von jeder der mehreren lichtemittierenden Einheiten Licht emittiert wird und das Licht bläulich ist, wenn der Betrachtungswinkel der Draufsicht der lichtemittierenden Vorrichtung in der Umgebung von 90° oder –90° liegt.
- Lichtemittierende Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, wobei die Wellenlängenumsetzungsschicht einen vorstehenden Teil umfasst.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/367,781 US8957429B2 (en) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | Light emitting diode with wavelength conversion layer |
US13/367,781 | 2012-02-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013101153A1 true DE102013101153A1 (de) | 2013-08-08 |
DE102013101153B4 DE102013101153B4 (de) | 2022-11-17 |
Family
ID=48794749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013101153.5A Active DE102013101153B4 (de) | 2012-02-07 | 2013-02-05 | Leuchtdiode mit Wellenlängenumsetzungsschicht |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8957429B2 (de) |
JP (1) | JP6145277B2 (de) |
KR (1) | KR101885316B1 (de) |
CN (1) | CN103247745B (de) |
DE (1) | DE102013101153B4 (de) |
TW (1) | TWI569478B (de) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013118072A2 (en) | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Koninklijke Philips N.V. | Wavelength converted light emitting device |
KR102034575B1 (ko) | 2012-03-19 | 2019-10-21 | 루미리즈 홀딩 비.브이. | 인광체의 도포 전 및 후의 발광 장치들에 대한 싱귤레이션 |
US9214610B2 (en) * | 2012-08-24 | 2015-12-15 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for fabricating phosphor-coated LED dies |
US8889439B2 (en) * | 2012-08-24 | 2014-11-18 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for packaging phosphor-coated LEDs |
US9246068B2 (en) * | 2012-08-24 | 2016-01-26 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Method and apparatus for fabricating phosphor-coated LED dies |
US20140151630A1 (en) * | 2012-12-04 | 2014-06-05 | Feng-Hsu Fan | Protection for the epitaxial structure of metal devices |
US10439107B2 (en) * | 2013-02-05 | 2019-10-08 | Cree, Inc. | Chip with integrated phosphor |
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TW201616689A (zh) | 2014-06-25 | 2016-05-01 | 皇家飛利浦有限公司 | 經封裝之波長轉換發光裝置 |
US10026882B2 (en) * | 2014-10-07 | 2018-07-17 | Epistar Corporation | Using MEMS fabrication incorporating into LED device mounting and assembly |
EP3239592B1 (de) * | 2014-11-18 | 2021-03-31 | Seoul Semiconductor Co., Ltd. | Lichtemittierende vorrichtung und fahrzeuglampe damit |
US10297731B2 (en) | 2014-11-26 | 2019-05-21 | Bridgelux, Inc. | Light emitting diode constructions and methods for making the same |
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CN105304802A (zh) * | 2015-10-12 | 2016-02-03 | 深圳万城节能股份有限公司 | 发光装置的制造方法 |
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JP6601552B2 (ja) * | 2018-12-05 | 2019-11-06 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
TW202119652A (zh) * | 2019-10-31 | 2021-05-16 | 隆達電子股份有限公司 | 顯示裝置及其製造方法 |
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---|---|---|---|---|
US6756186B2 (en) | 2002-03-22 | 2004-06-29 | Lumileds Lighting U.S., Llc | Producing self-aligned and self-exposed photoresist patterns on light emitting devices |
US7157745B2 (en) * | 2004-04-09 | 2007-01-02 | Blonder Greg E | Illumination devices comprising white light emitting diodes and diode arrays and method and apparatus for making them |
KR20110042249A (ko) * | 2003-06-04 | 2011-04-25 | 유명철 | 수직 구조 화합물 반도체 디바이스의 제조 방법 |
JP4496774B2 (ja) | 2003-12-22 | 2010-07-07 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7420218B2 (en) * | 2004-03-18 | 2008-09-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Nitride based LED with a p-type injection region |
US8547011B2 (en) * | 2004-04-28 | 2013-10-01 | Zeon Corporation | Layered product, luminescence device and use thereof |
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US8080828B2 (en) * | 2006-06-09 | 2011-12-20 | Philips Lumileds Lighting Company, Llc | Low profile side emitting LED with window layer and phosphor layer |
TWI308401B (en) * | 2006-07-04 | 2009-04-01 | Epistar Corp | High efficient phosphor-converted light emitting diode |
DE102007021009A1 (de) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Leuchtdiodenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer solchen |
JP5141077B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2013-02-13 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP5158472B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2013-03-06 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
TWI396298B (zh) * | 2007-08-29 | 2013-05-11 | Everlight Electronics Co Ltd | 發光半導體元件塗佈螢光粉的方法及其應用 |
US9024340B2 (en) * | 2007-11-29 | 2015-05-05 | Nichia Corporation | Light emitting apparatus and method for producing the same |
JP2009252898A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Toyoda Gosei Co Ltd | 光源装置 |
CN101621101A (zh) * | 2008-06-30 | 2010-01-06 | 展晶科技(深圳)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
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EP2535954B1 (de) * | 2010-02-09 | 2019-06-12 | Nichia Corporation | Lichtemittierende vorrichtung |
JP4875185B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 光半導体装置 |
US8241932B1 (en) * | 2011-03-17 | 2012-08-14 | Tsmc Solid State Lighting Ltd. | Methods of fabricating light emitting diode packages |
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-
2012
- 2012-02-07 US US13/367,781 patent/US8957429B2/en active Active
-
2013
- 2013-01-22 TW TW102102414A patent/TWI569478B/zh active
- 2013-01-31 CN CN201310039776.XA patent/CN103247745B/zh active Active
- 2013-02-05 JP JP2013020468A patent/JP6145277B2/ja active Active
- 2013-02-05 DE DE102013101153.5A patent/DE102013101153B4/de active Active
- 2013-02-06 KR KR1020130013343A patent/KR101885316B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130200398A1 (en) | 2013-08-08 |
CN103247745A (zh) | 2013-08-14 |
KR20130091273A (ko) | 2013-08-16 |
JP6145277B2 (ja) | 2017-06-07 |
JP2013162130A (ja) | 2013-08-19 |
DE102013101153B4 (de) | 2022-11-17 |
KR101885316B1 (ko) | 2018-08-03 |
CN103247745B (zh) | 2017-12-05 |
US8957429B2 (en) | 2015-02-17 |
TWI569478B (zh) | 2017-02-01 |
TW201334237A (zh) | 2013-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |